KR950002410A - 고체 촬상 장치 - Google Patents

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KR950002410A
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Abstract

광전변환영역 및 그에 대응하는 마이크로 렌즈의 레이아웃이 변경되어 그 감도특성이 개선된 고체촬상장치가 개시된다.
종래의 단순격자상으로 배열되는 광전변환영역에서는 그 위로 형성되는 마이크로 렌즈의 대각선방향으로 집광효율이 불량하여 이를 개선하는 것이다.
본 발명은 반도체기판의 표면영역에서 복수의 광전변환영역이, 매트릭스상으로 배열되어 있고, 상기 매트릭스상의 인접한 수직열사이에 형성되는 전송채널 방향으로 상호 1/2피치 만큼 이동되어 배치되도록 형성된다.
따라서 비수광부에서의 집광효율이 증대하고 광감도가 매우 향상된다.

Description

고체촬상소자
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제7도는 본 발명의 화소 어레이상에 형성되는 마이크로 렌지의 유효집광면의 배열을 나타내는 개략도, 제8도는 본 발명의 일 실시예에 의한 고체촬상장치의 화소 레이아웃도, 제9도는 상기 제8도의 화소 레이아웃도상에 형성된 마이크로 렌즈의 배열도.

Claims (12)

  1. 반도체기판에 형성된 적어도 하나의 전하전송채널; 및 상기 전하전송채널에 인접하여 위치하되 매트릭스적으로 배열되고, 외부로부터 인가되는 빛을 전하량으로 변환하는 기능을 수행하며, 상기 전하전송채널을 개재하여 상호 인접하게 되는 부분들이 서로 엇갈리어 배열되는 복수의 광전변환영역을 구비하는 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 광전변환영역의 표면형상은 사각형인 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 광전변환영역 위로 그에 대응하여 사각형의 마이크로 렌즈가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 광전변환영역의 표면현상은 육각형인 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  5. 제4항에 있어서, 광전변환영역 위로 그에 대응하여 육각형의 마이크로 렌즈가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  6. 반도체기판과, 상기 반도체기판의 포면영역에서 주위와는 다른 도전형으로 이루어지고, 그 표면배열이 매트릭스상으로 되어 있고, 상기 매트릭스상의 인접한 수평열과 수직열로 한정되는 각 면의 중앙부에도 형성되어 인접한 수직열 간에 서로 엇갈린 형태가 되도록 배열되는 복수의 광전변환영역과, 상기 광전변환영역의 각 수직열 사이로 형성되는 복수의 전하전송채널과 그에 대응하여 상기 전하전송채널 위로 절연되어 형성된 복수의 전하전송전극을 구비하여 이루어진 전하전송수단과, 상기 광전변환영역만이 노출되도록 상기 전하전송전극 위로 절연되어 형성되는 차광층, 및 상기 차광층 및 광전변환영역 위로 평탄화층을 게재하여 각 광전변환영역 위로 대응되어 형성된 복수의 집광수단을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 광전변환영역은 상기 반도체기판의 표면영역에 다른 도전형의 불순물이 주입되어 형성된 웰의 내부에 형성되고 상기 반도체기판과 동일한 도전형으로 된 것임을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 전하전송채널은 반도체기판내에 매몰된 매몰형인 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  9. 제6항에 있어서, 상기 광전변환영역 칼러필터층이 형성되어 있으며 그 표면도 평탄화층으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  10. 제6항에 있어서, 상기 집광수단은 마이크로 렌즈인 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  11. 제6항에 있어서, 상기 광전변환영역은 사각형의 형상을 지니며, 상기 광전변환영역 위로 그에 대응하여 표면이 평탄한 사각형의 마이크로 렌즈가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  12. 제6항에 있어서, 상기 광전변환영역은 육각형의 형상을 지니며, 상기 광전변환영역 위로 그에 대응하여 표면이 평탄한 육각형의 마이크로 렌즈가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930012224A 1993-06-30 1993-06-30 고체 촬상 장치 KR950002410A (ko)

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