KR940022147A - 액정표시소자 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 액정표시 장치의 박막 트랜지스터 제조방법에 관한 것으로, 특히 박막트랜지스터의 게이트 금속 양극 산화시 건해액 표면에서 액체의 성질에 의해 패드부분에 기복이 생기는 것을 방지하는데 적당하도록 한 것이다.
종래의 기술을 게이트 패드(7) 부분과 전해액(5)의 경계면에서 액체의 성질에 의해 불규칙한 산화가 이루어져 양극 산화시키지 않으려는 게이트 패드부분(Ⅰ)도 산환되는 경우가 발생하여 접촉저항이 커지는 경우가 발생되었다.
따라서 본 발명은 공기중에 노출된 부분과 전해액속에 잠긴 부분의 게이트 패드 경계면에 양극 산화를 방지하기 위한 패드보호막을 설치하여 패드부분의 양극 산화막을 균일하게 증착시키는 액정표시소자의 박막트랜지스터 제조방법을 제공하고자 한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 5 도는 본 발명의 양극 산화방법을 보인 전해액 수면부 수직단면도.
제 6 도는 본 발명의 양극 산화방법을 보인 게이트 패드 평면도.
Claims (3)
- 양극 산화조 내의 전해액(5)과 공기중에 노출되는 게이트 패드(7)의 경계 부분에 양극 산화 방지를 위한 패드 보호막(15)을 설치하여 양극산화 공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 패드보호막(15)은 절연성을 갖는 절연물질인 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 절연불질로 SiO2, SiN4를 사용하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930005365A KR940022147A (ko) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 액정표시소자 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930005365A KR940022147A (ko) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 액정표시소자 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940022147A true KR940022147A (ko) | 1994-10-20 |
Family
ID=66912469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019930005365A KR940022147A (ko) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 액정표시소자 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940022147A (ko) |
-
1993
- 1993-03-31 KR KR1019930005365A patent/KR940022147A/ko not_active Application Discontinuation
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