KR940022057A - 전자빔 측정장치 - Google Patents

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KR940022057A
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히로요시 모리
히데오 도도고로
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가나이 쯔도무
가부시기 가이샤 히다찌 세이사꾸쇼
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    • G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
    • G—PHYSICS
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Abstract

화상디스플레이유닛이 측정대상의 확대화상을 디스플레이할 때, 측정유닛은 소정 위치에서 화상의 치수를 자동적으로 계산한다. 허용범위 설정유닛은 상한치 및 하한치가 공급되어 이에 따라 소정위치에서 대상물 치수의 정상여부를 판단할 수 있는 한편, 비교판정유닛은 이렇게 게산된 치수가 상한치와 하한치 사이에 존재하는지를 판정한다. 측정결과가 상한치와 하한치 사이의 범위 밖에서 발견될 때, 가부판정데이타는 메모리에 저장되고 적절한 타이밍으로 화상디스플레이유닛에 의해 화상의 형태로 재디스플레이된다.

Description

전자빔 측정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명에 따른 주요부품의 구성을 나타내는 기능블록다이어그램,
제 4 도는 가부판정데이타를 일예로 나타낸 다이아그램.

Claims (5)

  1. 측정대상물의 확대화상의 치수를 측정하는 측정유닛과 ; 소정 위치에서 치수의 허용범위를 설정하는 허용범위설정유닛과 ; 상기 측정결과와 상기 허용범위를 비교하여 상기 측정결과가 상기 허용범위내에 존재하는지의 여부를 판단하는 비교판정수단과 ; 상기 측정결과가 상기 허용범위 밖이라 판단되면 이렇게 행해진 상기 판단의 가부를 판단하기 위한 데이타를 저장하는 가부판단데이타 메모리와 ; 화상디스플레이유닛상에 상기 가부판단데이타를 재디스플레이하기 위해 가부판단데이타와 접속된 재디스플레이유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 측정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 가부판정데이타는 측정대상물의 화상, 측정결과 및 라인프로파일중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 전자빔 측정장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2항에 있어서, 상기 가부판정데이타는 측정대상물을 식별하기 위한 데이타와 함께 저장되는 것을 특징으로 하는 전자빔 측정장치.
  4. 제 1 항 내지 3항중 어느 한항에 있어서, 상기 가부판정데이타는 측정조건과 함께 저장되는 것을 특징으로 하는 전자빔 측정장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4항중 어느 한항에 있어서, 상기 측정유닛은, 상기 비교판정수단에 의해 측정결과가 상기 허용범위 밖이라고 판단되면 예정회수만큼 측정을 반복하고 ; 상기 가부판정대이타 메모리는, 상기 비교판정수단에 의해 측정결과가 모두 상기 허용범위 밖이라고 판단되면 이렇게 행해진 상기 판단의 가부를 판단하기 위한 데이타를 저장하는 것을 특징으로 하는 전자빔 측정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940005407A 1993-03-23 1994-03-18 전자빔측정장치 KR100310388B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100295057B1 (ko) * 1998-06-13 2001-07-12 윤종용 반도체장치의 콘택 불량 검사장치 및 방법

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09184714A (ja) * 1995-12-28 1997-07-15 Hitachi Ltd パターン寸法測定方法
US5818260A (en) * 1996-04-24 1998-10-06 National Semiconductor Corporation Transmission line driver having controllable rise and fall times with variable output low and minimal on/off delay
US6864493B2 (en) * 2001-05-30 2005-03-08 Hitachi, Ltd. Charged particle beam alignment method and charged particle beam apparatus
US20040234106A1 (en) * 2003-05-23 2004-11-25 Luu Victor Van Method and apparatus for providing nanoscale dimensions to SEM (Scanning Electron Microscopy) or other nanoscopic images
JP2007212288A (ja) * 2006-02-09 2007-08-23 Toshiba Corp パターン検査方法、パターン検査装置およびプログラム
JP6500055B2 (ja) * 2017-05-25 2019-04-10 株式会社ホロン 電子ビーム画像取得装置および電子ビーム画像取得方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5264955A (en) * 1975-11-26 1977-05-28 Hitachi Ltd Simultaneous indicating system for results and conditions of measureme nt of analyzer
JPS59163506A (ja) * 1983-03-09 1984-09-14 Hitachi Ltd 電子ビ−ム測長装置
JPS61502486A (ja) * 1984-03-20 1986-10-30 マノクエスト・カナダ・インコーポレイテッド 精密ｓｅｍ測定のための方法と装置
JPS6180011A (ja) * 1984-09-28 1986-04-23 Toshiba Corp 寸法測定装置
JPH01311551A (ja) * 1988-06-08 1989-12-15 Toshiba Corp パターン形状測定装置
JP2602287B2 (ja) * 1988-07-01 1997-04-23 株式会社日立製作所 Ｘ線マスクの欠陥検査方法及びその装置
JPH02100181A (ja) * 1988-10-07 1990-04-12 Mitsubishi Electric Corp 視覚センサ
JP2943815B2 (ja) * 1990-04-06 1999-08-30 日本電子株式会社 電子ビーム測長機における測長方式
JP3192158B2 (ja) * 1991-04-17 2001-07-23 株式会社三協精機製作所 監視装置
US5254854A (en) * 1991-11-04 1993-10-19 At&T Bell Laboratories Scanning microscope comprising force-sensing means and position-sensitive photodetector

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100295057B1 (ko) * 1998-06-13 2001-07-12 윤종용 반도체장치의 콘택 불량 검사장치 및 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR100310388B1 (ko) 2001-12-28
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US5463221A (en) 1995-10-31
EP0617257A1 (en) 1994-09-28
DE69412676D1 (de) 1998-10-01

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