KR940009799A - 마이크로센서의 구동제어장치 - Google Patents

마이크로센서의 구동제어장치 Download PDF

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KR940009799A
KR940009799A KR1019930021937A KR930021937A KR940009799A KR 940009799 A KR940009799 A KR 940009799A KR 1019930021937 A KR1019930021937 A KR 1019930021937A KR 930021937 A KR930021937 A KR 930021937A KR 940009799 A KR940009799 A KR 940009799A
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drive control
microsensor
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humidity
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KR1019930021937A
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Inventor
준지 마나카
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요시다 아쯔미
리코세이키 가부시키가이샤
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/56—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content

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Abstract

결로에 기인하여 발생하는 전기적인 단락을 회피하여 어떤 사용 환경에서도 출력전압을 얻어 센서로서의 기능을 보증한다. 기밀성을 가지는 기판에, 이 기판을 적층했을 때 대향하는 위치에 복수의 오목부를 설치하고, 상기 기판을 접합영역을 개재시켜 적층하며, 박막발열체를 가교 배치하는 마이크로센서의 구동제어장치에 있어서, 주위의 습도를 검출하는 습도검출부(101)와, 습도검출부(101)에 의해 검출된 검출값에 따라 펄스구동제어와 상시 통전 구동제어를 선택하는 선택부(103)를 구비한다.

Description

마이크로센서의 구동제어장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 마이크로센서의 구동제어장치의 개략구성을 나타낸 설명도이다.
제3도는 센서칩의 구성을 나타낸 단면도이다.

Claims (4)

  1. 기밀성을 가지는 기판에, 이 기판을 적층했을 때 대향하는 위치에 복수의 오목부를 설치하고, 상기 기판을 접합 영역을 개재시켜 적층하며, 상기 오목부에서 명성된 복수의 공간에 각각 검출용 및 온도보사용의 박막발열체를 가교 배치하는 마이크로센서의 구동제어장치에 있어서, 상기 마이크로센서에 대해 상시(常時) 통전하는 것을 특징으로 하는 마이크로센서의 구동제어장치.
  2. 기밀성을 가지는 기판에, 이 기판을 적층했을 때 대향하는 위치에 복수의 오목부를 설치하고, 상기 기판을 접합 영역을 개재시켜 적층하며, 상기 오목부에서 형성된 복수의 공간에 각각 검출용 및 온도보상용의 박막발열체를 가교 설치하는 마이크로센서의 구동제어장치에 있어서, 주위의 습도를 검출하는 검출수단과, 상기 검출수단에 의해 검출된 검출값에 따라 펄스구동제어와 상시통전 구동제어를 선택하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로센서의 구동제어장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 펄스구동제어에 있어서의 펄스 전압은 상시 전압인가 상태인 것을 특징으로 하는 마이크로센서의 구동제어장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 검출수단이 90%이상의 습도를 검출했을 때 펄스구동제어를 상시통전 구동제어로 절환하며, 90%이하의 습도를 검출했을 때 상시통전 구동제어를 펄스구동제어로 절환하는 것을 특징으로 하는 마이크로센서의 구동제어장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930021937A 1992-10-23 1993-10-21 마이크로센서의 구동제어장치 KR940009799A (ko)

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JP92-309405 1992-10-23
JP4309405A JPH06138071A (ja) 1992-10-23 1992-10-23 マイクロセンサの駆動制御装置

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KR1019930021937A KR940009799A (ko) 1992-10-23 1993-10-21 마이크로센서의 구동제어장치

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EP (1) EP0594215A1 (ko)
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FI934673A (fi) 1994-04-24
EP0594215A1 (en) 1994-04-27
FI934673A0 (fi) 1993-10-22
US5467651A (en) 1995-11-21
JPH06138071A (ja) 1994-05-20

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