KR940007558A - 초음파광편향기의 입사각 자동조정장치 - Google Patents

Abstract

입사하는 광을 초음파로 회절시켜서 그 광을 스캔시키거나 또는 원하는 방향에 고속으로 단속하는데 쓰이는 초음파광편향기에 대하여, 그 입사면에 일정한 각도로 광이 입사하도록 그 입사면의 기울기를 자동조정하기 위한 장치가 개시되어 있다. 그 장치는 적어도 한 방향에 양분된 분할영역을 갖는 광검출소자로 초음파광편향기의 입사면에서 반사하는 광을 검지하여 전기적 신호를 출력하고, 이 신호로 액튜에이터를 작동시키며, 액튜에이터가 그 입사면의 기울기를 조정하기 위하여 구비하는 조정스테이지를 구동하도록 구성된다. 초음파광편향기의 입사면과 그 입사광의 각도편차가 생기게 되면, 광검출소자의 분할영역으로부터 정부의 신호가 얻어지고, 따라서 액튜에이터가 조정스테이지를 구동하여 초음파광편향기 입사면의 기울기를 변화시키게 작동됨으로써, 그 각도편차가 자동적으로 보상되는 것이다. 그리하여 개시된 장치는 그 셋팅시의 기울기를 조정하여야 했던 불편을 없애 주고, 또 셋팅후의 발생될 수 있는 광축오차에 따른 오동작을 방지하여 주는 유용한 것이다.

Description

초음파광편향기의 입사각 자동조정장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 초음파광편향기의 작동원리를 설명하기 위하여 나타낸 개요 평면도.

제2도는 초음파광편향기에 입사하는 광축오차를 설명하기 위하여 나타낸 사시도.

제3도는 본 발명에 따른 초음파광편향기의 입사각 자동조정장치를 나타낸 사시도.

제4도는 본 발명에 따른 초음파광편향기의 입사각 자동조정장치에 사용되는 광검출소자의 정면도.

제5도는 본 발명에 따른 초음파광편향기의 입사각 자동조정장치의 작동을 설명하기 위하여 나타낸 평면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 결정체 1a : 입사면

5 : 송광기 6 : 조정스테이지

7 : 액튜에이터 8 : 광검출소자

9 : 차동증폭기 10 : 콜리메이팅 렌즈

Claims (5)

1. 초음파광편향기를 적어도 하나의 조정스테이지에 설치하여, 송광기로부터의 입사광의 광축오차에 따라 그 초음파광편향기의 입사면의 기울기를 조정하기 위한 초음파광편향기의 입사각 자동조정장치에 있어서, 상기 적어도 하나의 조정스테이지를 작동시키는 적어도 하나의 액튜에이터와, 상기 입사면의 광축에 수직한 적어도 어느 한 방향으로 양분된 분할영역을 갖고서 그 입사면에서 반사하는 반사광으로부터 각각 전기신호를 검출하는 광검출소자를 포함하고, 그 전기신호를 차동하여 얻는 신호에 의하여 상기 액튜에이터가 작동하도록 구성된 것을 특징으로 하는 초음파광편향기의 입사각 자동조정장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 초음파광편향기가 상기 액튜에이터에 의하여 회전작동되고, 그 회전중심이 그 초음파광편향기를 통과하는 입사광 광축의 굴절지점을 관통하게 구성한 것을 특징으로 하는 초음파광편향기의 입사각 자동조정장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 초음파광편향기의 입사면을 송광기의 광축에 대하여 수직하게 형성하고, 상기 광검출소자를 그 송광기에 장착하여 된 것을 특징으로 하는 초음파광편향기의 입사각 자동조정장치.
4. 제1항 또는 제3항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 광검출소자가 동심원의 내경부와 외경부를 갖는 고리형으로 형성되고, 그 내경부로 상기 송광기로부터의 입사광이 경유하게 구성한 것을 특징으로 하는 초음파광편향기의 입사각 자동조정장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 광검출소자의 내경부를 경유한 입사광이 평행광으로 되도록 그 내경부에 콜리메이팅 렌즈가 위치하여 된 것을 특징으로 하는 초음파광편향기의 입사각 자동조정장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.