KR930020213A - 인쇄 회로 기판용 외관 검사 지지 시스템 - Google Patents

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오끼에 다니
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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Abstract

외관 검사 지지 시스템은 촬상 수단에 의해 촬상된 대상물의 실시간 영상을 표시하는 디스플레이 실시간 영상 위의 접점을 지적하는 입력 디바이스, 및 XY 테이블용 수평 드라이브 및 카메라 촛점 조정 메카니즘용 수직 드라이브를 제어하고 입력 디바이스에 의해 지적된 접점에 관련하여 데이타를 처리하는 제어기를 포함한다.

Description

인쇄 회로 기판용 외관 검사 지지 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 접촉판을 갖고 있는 디스플레이를 도시한 정면도.
제2도는 결함 요소 디스플레이 영역 및 영상 디스플레이 영역을 갖고 있는 디스플레이를 도시한 제1도와 유사한 도면.
제3도는 접촉판이 제거된 디스플레이를 도시한 제2도와 유사한 도면.

Claims (22)

  1. 대상물의 외관검사를 지지하는 시스템에 있어서, 대상물을 배치하기 위해 이동 가능하게 배열된 XY테이블, 상기 XY테이블을 구동시키도록 배열된 제1드라이브, 상기 XY테이블 상에 배치된 대상물을 촬상하는 수단, 상기 촬상 수단에 의해 촬상도니 상기 대상물의 실시간 영상을 표시하기 위해 상기 촬상 수단에 접속된 디스플레이 및 상기 제1드라이브 및 상기 촬상 수단에 접속된 마이크로컴퓨터에 기초한 제어장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  2. 제1항에 있어서 상기 마이크로컴퓨터에 기초한 제어장치가, 상기 제1드라이브가 구동되는 상기 대상물의 촬상상태를 적합하게 설정하기 위한 제어 프로그램을 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 디스플레이 상에 표시된 상기 실시간 영상의 집점을 지적하는 입력 디바이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  4. 제2항에 있어서, 상기 마이크로컴퓨터에 기초한 제어장치가 상기 입력 디바이스에 의해 지적된 상기 집점에 관련하여 제1데이타를 처리하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 촬상 수단의 촛점을 조정하여 상기 촬상 수단을 촛점조정 위치에 보유하는 촛점 조정메카니즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 촛점 조정 수단이 상기 촬상 상태에 따라 제2드라이브에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1드라이브 및 제2드라이브가 서로 연동하여 자동적으로 구동되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  8. 제4항에 있어서, 상기 마이크로 컴퓨터에 기초한 제어장치는 상기 XY테이블의 구동상태, 상기 대상물, 및 결함 요소와 관련하여 상기 제1데이타를 제2데이타와 결합함으로써 얻어진 검사 데이타를 순차적으로 저장하는 데이타 베이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  9. 제5항에 있어서, 상기 촛점 조정 메카니즘이 회전 샤프트, 이동장치, 가이드 레일 및 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  10. 제1항에 있어서, 상기 마이크로컴퓨터에 기초한 제어장치가 상기 외관 검사와 병행하여 상기 대상물의 상기 실시간 영상의 검사를 실행하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 상기 마이크로컴퓨터에 기초한 제어장치가 상기 외관 검사에 무관하게 상기 대상물의 상기 실시간 영상의 검사를 실행하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  12. 제1항에 있어서, 상기 촬상 수단이 카메라 및 확대 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  13. 제6항에 있어서, 상기 촬상 상태가 상기 디스플레이 상에 표시될 다수의 상기 실시간 확대율, 순서 및 기간을 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  14. 제3항에 있어서, 상기 입력 디바이스가 도트 접촉판을 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  15. 대상물의 외관 검사를 지지하는 시스템에 있어서, 대상물을 배치하기 위해 이동 가능하게 배열된 XY테이블, 상기 XY테이블 상에 배치된 대상물을 촬상하는 수단, 상기 촬상수단의 촛점을 조정하여 촛점 조정 위치에 상기 촬상 수단을 보유하도록 배열된 촛점 조정 메카니즘, 상기 촛점을 조정 메카니즘을 구동시키도록 배열된 제2드라이브, 상기 촬상 수단에 의해 촬상된 상기 대상물의 실시간 영상을 표시하기 위해 상기 촬상 수단에 접속된 디스플레이, 상기 디스플레이 상에 표시된 상기 실시간 영상 위의 접점을 지적하도록 배열된 입력 디바이스, 및 상기 제1드라이브 및 상기 제2드라이브를 제어하고 상기 입력 디바이스에 의해 지적된 상기 접점에 관련하여 제1데이타를 처리하기 위해 상기 제1드라이브, 상기 제2드라이브 및 상기 촬상 수단에 접속된 마이크로컴퓨터에 기초한 제어장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  16. 제15항에 있어서, 상기 마이크로컴퓨터에 기초한 제어장치가, 상기 제1드라이브 및 제2드라이브가 구동되는 상기 대상물의 촬상 상태를 적합하게 설정하기 위한 제어 프로그램을 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제1드라이브 및 제2드라이브가 서로 연동하여 자동적으로 구동되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  18. 제16항에 있어서, 상기 마이크로컴퓨터에 기초한 제어장치는 상기 XY테이블의 구동상태, 상기 대상물, 및 결함 요소와 관련하여 상기 제1데이타를 제2데이타와 결합함으로써 얻어진 검사 데이타를 순차적으로 저장하는 데이타 베이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  19. 제15항에 있어서, 상기 촬상 수단이 카메라 및 확대 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  20. 제16항에 있어서, 상기 촬상 상태가 상기 디스플레이 상에 표시될 다수의 상기 실시간 영상, 및 이의 확대율, 순서 및 기간을 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  21. 제15항에 있어서, 상기 입력 디바이스가 도트 접촉판을 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
  22. 대상물의 외관 검사를 지지하는 시스템에 있어서, 대상물을 배치하기 위해 이동 가능하게 배열된 XY테이블, 상기 XY테이블을 구동시키도록 배열된 제1드라이브, 상기 XY테이블 상에 배치된 대상물을 촬상하는 수단, 상기 촬상 수단의 촛점을 조정하여 촛점 조정위치에 상기 촬상 수단을 보유하도록 배열된 촛점 조정 메카니즘, 상기 촛점 조정 메카니즘을 구동시키도록 배열된 제2드라이브, 상기 촬상수단에 의해 촬상된 상기 대상물의 실시간 영상을 표시하기 위해 상기 촬상 수단에 접속된 디스플레이, 상기 제1드라이브 및 상기 제2드라이브를 제어하기 위해 상기 제1드라이브, 상기 제2드라이브 및 상기 촬상 수단에 접속된 마이크로컴퓨터에 기초한 제어장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 지지 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초 출원된 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930003069A 1992-03-04 1993-03-03 인쇄 회로 기판용 육안 검사 지원 시스템 KR0129784B1 (ko)

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JP92-188524 1992-06-08
JP92-188525 1992-06-08
JP92-77988 1992-10-02
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