KR930018763A - 코드리드용 패턴 및 그 코드리드용 패턴의 촬상장치 - Google Patents

코드리드용 패턴 및 그 코드리드용 패턴의 촬상장치 Download PDF

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Abstract

반도체웨이퍼 등의 물체상에 정보를 나타내기 위해 형성된 코드리드용 패턴 및 그 리드용 패턴의 촬상장치에 관한 것으로써, 반도체 웨이퍼상의 문자 등을 포함하는 코드의 리드성능의 향상을 도모하기 위해, 일정한 피치의 반복형상으로 코드리드용 패턴(5)를 구성하고, 코드리드용 패턴(5)의 코드를 촬상하는 경우에 패턴(5)로 부터의 반사광을 공간주파수필터(7)로 필터링하고, 이 공간주파수필터(7)에 의해 정반사광을 차광해서 회절광만을 관찰한다.
이러한 장치를 이용하는 것에 의해, 코드의 리드성능이 향상된다.

Description

코드리드용 패턴 및 그 코드리드용 패턴이 촬상장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예1에 의한 코드리드용 패턴을 도시한 상면도.
제2도는 본 발명의 실시예2에 의한 코드리드용 패턴을 도시한 상면도.
제3도는 제2도의 A-A'단면도.

Claims (12)

  1. 공간주파수필터링방식을 사용해서 촬상하는 코드리드용 패턴에 있어서, 코드를 붙인 물체표면상에 일정한 피치의 반복형상으로 구성한 패턴을 마련한 것을 특징으로 하는 코드리드용 패턴.
  2. 공간주파수필터링방식을 사용해서 촬상하는 코드리드용 패턴에 있어서, 코드를 붙인 물체표면상에 일정한 피치의 반복형상으로 구성한 패턴을 입적으로 마련한 것을 특징으로 하는 코드리드용 패턴.
  3. 공간주파수필터링방식을 사용해서 촬상하는 코드리드용 패턴에 있어서, 물체표면상의 하나의 영역내에 여러개의 다른 종류의 일정한 피치의 반복형상을 구성한 패턴을 마련한 것을 특징으로 하는 코드리드용 패턴.
  4. 공간주파수필터링방식을 사용해서 촬상하는 코드리드용 패턴에 있어서, 물체표면상의 하나의 영역내에 여러개의 다른 종류의 일정한 피치의 반복형상을 구성한 패턴을 입체적으로 마련한 것을 특징으로 하는 코드리드용 패턴.
  5. 코드를 붙인 물체표면상에 일정한 피치의 반복형상으로 구성한 패턴을 마련한 코트리드용 패턴을 평행광에 의해서 조명하는 조명수단, 상기 조명된 코드리드용 패턴으로 부터의 반사광을 결상하는 결상수단, 상기 결상수단의 뒤쪽의 초점면 근방에서 공간주파수필터링방식에 의해 상기 조명된 코드리드용 패턴으로 부터의 회절광을 투과시키며, 또한 정반사광을 차광하는 투과수단 및 상기 투과된 회절광을 수광하는 수광수단을 구비한 것을 특징으로 하는 코드리드용 패턴의 촬상장치.
  6. 코드를 붙인 물체표면상에 일정한 피치의 반복형상으로 구성한 패턴을 입체적으로 마련한 코트리드용 패턴을 평행광에 의해서 조명하는 조명수단, 상기 조명된 코드리드용 패턴으로 부터의 반사광을 결상하는 결상수단, 상기 결상수단의 뒤쪽의 초점면근방에서 공간주파수필터링방식에 의해 상기 조명된 코드리드용 패턴으로 부터의 회절광을 투과시키며, 또한 정반사광을 차광하는 투과수단 및 상기 투과된 회절광을 수광하는 수광수단을 구비한 것을 특징으로 하는 코드리드용 패턴의 촬상장치.
  7. 물체표면상에 하나의 영역내에 여러개의 다른 종류의 일정한 피치의 반복형상을 구성한 패턴을 마련한 코드리드용 패턴을 평행광에 의해서 조명하는 조명수단, 상기 조명된 코드리드용 패턴으로 부터의 반사광을 결상하는 결상수단, 상기 결상수단의 뒤쪽의 초점면 근방에서 상기 각 패턴에 다른 공간주파수필터링방식에 의해 상기 조명된 여러개의 패턴으로 부터의 회절광을 투과시키며, 또한 정반사광을 차광하는 투과수단 및 상기 투과된 각 회절광을 수광하는 수광수단을 구비한 것을 특징으로 하는 코드리드용 패턴의 촬상장치.
  8. 물체표면상에 하나의 영역내에 여러개의 다른 종류의 일정한 피치의 반복형상으로 구성한 패턴을 입체적으로 마련한 코드링용 패턴을 평행광에 의해서 조명하는 조명수단, 상기 조명된 코드리드용 패턴으로 부터의 반사광을 결상하는 결상수단, 상기 결상수단의 뒤쪽의 초점면근방에서 상기 각 패턴에 따른 공간주파수필터링방식에 의해 상기조명된 여러개의 패턴으로 부터의 각 회절광을 투과시키며, 또한 정반사광을 차광하는 투과수단 및 상기 투과된 각 회절광을 수광하는 수광수단을 구비한 것을 특징으로 하는 코드리드용 패턴의 촬상장치.
  9. 코드를 붙인 물체표면상에 일정한 피치의 반복형상으로 구성한 패턴을 마련한 코드리드용 패턴을 평행광에 의해서 조명하는 조명수단, 상기 조명된 코드리드용 패턴으로 부터의 +n차 또는 -n차의 회절광(n=1, 2, 3,...중 어느 것인가 1개)의 광로상 또는 광로부근에서, 또한 상기 코드리드용 패턴으로 부터의 회절광이 수직 또는 수직에 가까운 각도로 입사하도록 배치된 결상렌즈, 상기 결상렌즈의 뒤쪽의 초점면근방에서 공간주파수필터링 방식에 의해 상기 조명된 코드리드용 패턴으로 부터의 반사광중 상기 결상렌즈의 중앙부 또는 중앙부 부근에 수직 또는 수직에 가까운 각도로 입사한 회절광을 투과시키며, 또한 정반사광을 차광하는 투과수단 및 상기 투과된 회절광을 수광하는 수광수단을 구비한 것을 특징으로 하는 코드리드용 패턴의 촬상장치.
  10. 코드를 붙인 물체표면상에 일정한 피치의 반복형상으로 구성한 패턴을 입체적으로 마련한 코드리드용 패턴을 평행광에 의해서 조명하는 조명수단, 상기 조명된 코드리드용 패턴으로 부터의 +n차 또는 -n차의 회절광(n=1, 2, 3,...중 어느 것인가 1개)의 광로상 또는 광로부근에서, 또한 상기 코드리드용 패턴으로 부터의 회절광이 수직 또는 수직에 가까운 각도로 입사하도록 배치된 결상렌즈, 상기 결상렌즈의 뒤쪽의 초점면근방에서 공간주파수필터링방식에 의해 상기 조명된 코드리드용 패턴으로 부터의 반사광중 상기 결상렌즈의 중앙부 또는 중앙부 부근에 수직 또는 수직에 가까운 각도로 입사한 회절광을 투과시키며, 또한 정반사광을 차광하는 투과수단 및 상기 투과된 회절광을 수광하는 수광수단을 구비한 것을 특징으로 하는 코드리드용 패턴의 촬상장치.
  11. 코드를 붙인 물체표면상에 일정한 피치의 반복형상으로 구성한 패턴을 마련한 코드리드용 패턴을 평행광에 의해서 조명하는 조명수단, 상기 조명된 코드리드용 패턴으로 부터의 반사광을 결상하는 결상수단, 상기 조명수단에 의한 평행광의 파장을, 상기 코드 리드용 패턴의 일정한 피치를 p, 상기 결상수단의 초점거리를 f로 해서 상기 코드리드용 패턴으로 부터의 반사광의 광축중심에서 n××f/p(n=1,2,3,...)만큼 떨어진 위치에 반사광을 통과시키는 열린구멍부를 마련하고, 상기 결상수단의 뒤쪽의 초점면근방에서 상기 조명된 코드리드용 패턴으로 부터의 회절광을 투과시키며, 또한 정반사광을 차광하는 공간주파수필터 및 상기 투과된 회절광을 수광하는 수광수단을 구비한 것을 특징으로 하는 코드리드용 패턴의 촬상장치.
  12. 코드를 붙인 물체표면상에 일정한 피치의 반복형상으로 구성한 패턴을 입체적으로 마련한 코드리드용 패턴을 평행광에 의해서 조명하는 조명수단, 상기 조명된 코드리드용 패턴으로 부터의 반사광을 결상하는 결상수단, 상기 조명수단에 의한 평행광의 파장을, 상기 코드 리드용 패턴의 일정한 피치를 p, 상기 결상수단의 초점거리를 f로 해서 상기 코드리드용 패턴으로 부터의 반사광의 광축중심에서 n××f/p(n=1,2,3,...)만큼 떨어진 위치에 반사광을 통과시키는 열린구멍부를 마련하고, 상기 결상수단의 뒤쪽의 초점면근방에서 상기 조명된 코드리드용 패턴으로 부터의 회절광을 투과시키며, 또한 정반사광을 차광하는 공간주파수필터 및 상기 투과된 회절광을 수광하는 수광수단을 구비한 것을 특징으로 하는 코드리드용 패턴의 촬상장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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