KR930015152A - 이트륨(Yttrium)계 고온 초전도 박막의 제조방법 - Google Patents
이트륨(Yttrium)계 고온 초전도 박막의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 Y-계 초전도 박막의 제조방법에 과한 것으로, 좀 더 구체적으로는 증착물질로 NaNO3를 동시에 증착하여 산소를 공급하는 Y-계 초전도 박막의 제조방법에 관한 것이다.
본원 발명의 Y-계 초전도 박막은 열처리시 외부에서 산소를 공급하지 않고도 양질의 박막을 제조할 수 있으며, 내부에서 산소를 공급하므로 격자내의 산소의 양을 더욱 증가시킬 수 있다. 따라서 증착공정이 단순해지는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (3)
- Y-계 초전도 박막 제조시, 산소를 공급하는 증착물질을 증착하는 것을 특징으로 하는 고온 초전도 박막의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 증착물질이 NaNO3임을 특징으로 하는 고온 초전도 박막의 제조방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 증착물질이 250℃~300℃에서 증착됨을 특징으로 하는 고온 초전도 박막의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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| KR (1) | KR930015152A (ko) |
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1991
- 1991-12-30 KR KR1019910025186A patent/KR930015152A/ko not_active Application Discontinuation
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