KR930007383Y1 - 스탭퍼 조명계의 노광조절장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

스탭퍼 조명계의 노광조절장치

제 1 도는 본 고안 장치의 작동상태도.

제 2 도는 종래장치의 작동상태도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 회전체 2 : 날개

3 : 개구부 4,5 : 포토스위치

본 고안은 반도체 제조공정에서 포토공정시 웨이퍼에 포토레지스트를 도포한후 노광장비인 스탭퍼에서 노광작업을 할때 웨이퍼의 노광시간 및 노광에너지를 미세하게 제어할 수 있도록 한 스탭퍼 조명계의 노광조절장치에 관한 것으로서, 특히 셔터날개의 구조를 개량하여 셔터의 작동시간을 미세조절할수 있도록 한것이다.

일반적으로 스탭퍼(Stepper)는 광학렌즈를 사용하여 확대한 감광원판의 상을 일정한 배율로 축소한후 웨이퍼에 주사시켜 웨이퍼의 표면을 노광시키는 장비로서, 웨이퍼상에 노광을 실시하기 위해 빛을 통과시키기 위한 셔터를 설치하여 셔터에 의해 웨이퍼상에 노광을 실시하게 되는데, 이때 빛이 투과되는 시간을 조절하기 위한 장치의 설치가 요구된다.

종래에는 웨이퍼상에 빛이 투과되는 시간, 즉 웨이퍼의 노광시간을 조절하기 위해 제 2 도에 도시한 바와 같이 개구부(13)를 폐쇄하기 위한 한쌍의 날개(12)를 가진 회전체(11)를 구동수단에 의해 회전하도록 설치하고 개구부(13)의 반대편측으로는 날개(12)의 폭(ℓ)보다 좁은 간격(ℓ₁)이 되도록 한쌍의 포토스위치(14)(15)를 설치하여 날개(12)가 포토스위치(14)(15)를 온,오프시킴에 따라 빛이 개구부(13)를 통해 웨이퍼로 노광될 수 있도록 되어 있다.

그러나 이러한 종래의 장치는 날개(12)가 포토스위치(14)(15)를 작동시키기 위해서는 반드시 90도를 회전하여야 개구부(13)를 폐쇄시킬수 있도록 되어 있어 포토스위치(14)(15)를 작동시키기 위한 시간이 지연되어 90도 회전하는 동안 일부의 빛이 개구부(13)를 통해 통과하게 되므로 미세한 폭의 균일도를 높여야 하는 반도체 리소그래피 공정에서 노광에너지 또는 노광시간을 미세하게 제어할수 없게 되고, 이에따라 노광에너지의 제어에 많은 어려움이 수반되어 미세한 선폭의 균일도를 안정적으로 유지할수 없게 되므로 불균일한 선폭, 즉 노광에너지의 재현안정성이 저하되는 결점이 있었다.

또한 노광후 날개(12)가 개구부(13)를 폐쇄시키는 시간만큼의 지연시간은 웨이퍼가 장착된 XY-스테이지(Stage)(도시는 생략함)의 구동을 멈추게 하므로서 웨이퍼 표면의 노광시간은 더욱 길어지게 되므로 생산성이 저하되는 결점도 있었다.

본 고안은 종래의 이와같은 결점을 감안하여 안출한 것으로서, 개구부를 개방 또는 폐쇄시키는 회전체의 날개수를 늘리고 포토스위치의 설치위치를 변경하여 날개가 개구부를 폐쇄시킬 때까지 걸리는 지연시간을 줄일 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은 형태에 따르면, 회전체의 회전으로 날개가 개구부를 개방 또는 폐쇄시킴에 따라 웨이퍼상에 노광을 실시하도록 된것에 있어서, 회전체에 3개의 날개를 등간격으로 형성함과 함께 포토스위치를 개구부의 직각방향 내측으로 설치하여 1개의 날개가 개구부를 폐쇄시킴에 따라 또 다른 2개의 날개에 의해 포토스위치가 이를 감지할 수 있도록 하여서된 스탭퍼조명계와 노광조절장치가 제공된다.

이하, 본 고안을 일실시예로 도시한 첨부된 도면 제 1 도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제 1 도는 본 고안 장치의 작동상태도로서, 구동모터(도시는 생략함)에 의해 회전하는 회전체(1)에 3개의 날개(2)가 등간격으로 형성되어 있고 회전체(1)의 일측에는 웨이퍼상에 빛을 투과시키기 위한 개구부(3)가 형성되어 있으며, 개구부(3)의 직각방향 내측으로는 한쌍의 포토스위치(4)(5)가 설치되어 있는데, 이때 포토스위치(4)(5)의 설치 위치는 1개의 날개(2)가 개구부(3)를 폐쇄시킴에 따라 또 다른 2개를 날개에 의해 이를 감지할 수 있는 위치에 설치되어야 한다.

이와같이 구성된 본 고안은 구동모터에 의해 회전체(1)가 회전함에 따라 3개의 날개(2)가 순차적으로 개구부(3)를 폐쇄 또는 개방하게 됨과 동시에 포토스위치(4)(5)를 온, 오프시키게 되므로 제어계를 제어하게 된다.

이에따라 빛이 개구부(3)를 통해 웨이퍼로 노광될 수 있도록 되어 있으므로 미세선폭을 만들경우, 노광에너지 및 노광시간을 더욱 작고 미세하게 제어할 수 있게 됨은 물론 재현안정성을 얻을 수 있게 된다.

또한 웨이퍼를 노광시킨후 개구부(3)를 폐쇄시킬때까지의 지연시간을 단축시킬수 있게 되어 있으므로서 XY-스테이지가 구동되어 웨이퍼를 전부 노광시키는데 걸리는 시간을 단축시킬수 있게 되므로 생산성을 향상시킬 수 있게 되는 효과를 얻게 된다.

Claims (1)

1. 회전체(1)의 회전으로 날개가 개구부(3)를 개방 또는 폐쇄시킴에 따라 웨이퍼상에 노광을 실시하도록 된 것에 있어서, 회전체(1)에 3개의 날개(2)를 등간격으로 형성함과 함께 포토스위치(4)(5)를 개구부(3)의 직각 방향 내측으로 설치하여서 됨을 특징으로 하는 스탭퍼조명계의 노광조절장치.