KR930006433A - 3차원 측정장치 - Google Patents

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KR930006433A
KR930006433A KR1019920017178A KR920017178A KR930006433A KR 930006433 A KR930006433 A KR 930006433A KR 1019920017178 A KR1019920017178 A KR 1019920017178A KR 920017178 A KR920017178 A KR 920017178A KR 930006433 A KR930006433 A KR 930006433A
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케이이치 요시즈미
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다니이 아끼오
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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Abstract

본 발명은 측정면의 기울기방향이 변화해도 포커스오차를 발생하지 않는 광프로브를 구비한 3차원 측정장치를제공하는 것이다
본 발명은, 무편광빔스플릿터(10)를 설치함으로써, 측정면(7)이 경사져서 반사광로가 변화해도 무편광빔스플릿터(10)에 의한 분리기가 바뀌지 않기 때문에 포커스오차는 발생하지 않는 것을 특징으로 한다.

Description

3차원 측정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1는 본 제1발명의 실시예의 구성도,
제2도는 본 제1발명의 실시예의 설명도,
제3돈 본 발명의 실시예의 제어계 구성도,
제4도는 본 제1발명과 제2발명을 포함한 실시예의 구성도.

Claims (4)

  1. 레이저광원과 이 레이저광을 피측정면위에 집광시키기 위한 대물렌즈와 이 대물렌즈에 의해서 피측정면 위에 집광한후, 반사한 레이저광을 입사광로로부터 분리하기 위한 빔스플릿트와 이 빔스플릿터에 의해서 분리된 반사광을 평광방향에 의하지 않고 일정한 분리비율에서 분리하는 무편광빔스플릿터와 이 무편광빔스플릿터에 의해서 분리된 한쪽 광의 집광점의 앞쪽에 놓이 제1핀홀과 제1핀홀을 투과한 광을 수광하는 제1광출기와 상기 무편광빔스플릿터에 의해서 분리된 다른록 광의 집광정의 뒤쪽에 놓인 제2핀홀과 제2핀홀을 투과한 광을 수광하는 제2광검출기와 상기 제1광정출기와 상기 제2광검출기의 출력의 차를 오차신호로서 상기 대물렌즈를 적어도 내장하는 광학계를 구동시키는 구동수단을 구비한 광프로브를 내장한 젓을 특징으로 하는 3차원 측정장치.
  2. 오토포커스제어를 위한 오차신호를 발생하는 기능을 가진 광프로브과, 이 광프로브를 z방향으로 진직도 좋게 가동으로 하는 z슬라이드와 이 광프로브의 양쪽에 고착한 코일과 이 코일에 전류를 흐르게 하므로써 z방향으로 구동력을 발생시키도록 배치한 자기회로와 상기 오차신호출력에 따른 제어전류를 상기 코일에 흐르게 하기 위한 서보회로를 가진 것을 특징으로 하는 3차원 측정장치.
  3. 오토포커스제어를 위한 오차신호를 발생하는 기능을 가진 광프로브과, 이 광프로브를 z방향으로 진직도 좋게 가동으로 하는 z슬라이드와 이 광프로브를 z방향으로 구동하는 구동수단과 상기 z슬라이드의 가동전역에 걸쳐서 상기 광프로브를 포함한 z가동부의 중량과 거의 동등한 장력을 발생하는 소용돌이 형상으로 감긴 박판으로 이루어진 정하중 스프링에 의해서 지지된 프로브부를 가진 것을 특징으로 하는 3차원 측정장치.
  4. 제3항에 있어서, 정하중 스프링을 2개 대향해서 배치함로써 이들 장력의 합이 z방향에만 발생하도록 배치한 정하중 스프링에 의해서 지지된 프로브부를 가진 것을 특징으로 하는 3차원 측정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920017178A 1991-09-27 1992-09-21 3차원 측정장치 KR970003271B1 (ko)

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