KR930006220B1 - 좌표측정 기계용 회전테이블 및 테이블 회전축 결정방법 - Google Patents

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Description

좌표측정 기계용 회전테이블 및 테이블 회전축 결정방법

제1도는 본발명에 따른 회전작업테이블을 결합한 수평 아암 측정기계의 사시도.

제2a도는 구성요소가 부착된 테이블 베이스의 평면도 제2b도 내지 e도는 제2a도에서 단면 A-A, B-B, C-C, D-D, 및 E-E를 따라 취해진 부분도.

제3도는 구동 및 공기 베어링 지지구성요소를 도시한 회전테이블의 단면정면도.

제4도는 기준 보올 실린더의 단면정면도.

제5도는 피스톤과 실린더 하우징 사이의 동클램핑 작용을 도시한 기준 보올 실린더의 횡단면도.

제6도는 기준 보올 실린더 설치에 사용되는 온도 보정회로의 선도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 좌표측정기계 12 : 가공물지지테이블

18 : 프로브팁 20 : 테이블지지표면

36 : 테이블윗판 38 : 구동수단

116,128,136 : 베어링부재 a : 축

W : 가공물 X,Y,Z : 직각축

본발명은 좌표측정기계에 관한 것이며 보다 상세히는 측정과정중에 가공물을 지지하는 가공물을 지지하는 회전테이블에 관한 것이다.

좌표측정기계에 있어서, 프로브는 가공물지지 테이블 표면위에 있는 공간내의 어떤 지점으로 이동하도록 장착되며, 이 공간은 측정범위라고 칭한다. 프로브이동은, 광학적 격자 및 광센서를 전형적으로 포함한 변환기와 같이, 전기신호를 발생시키는 변환기에 의해서 조정된다. 변환기 신호는 측정영역에서 각각의 직각축을 따라 프로브의 이동범위에 대응하고 가공물상의 위치 사이에서 프로브를 이동시킴으로써 측정은 이루어 질 수 있다.

수평 아암 측정기계에 있어서, 프로브는 수평으로 테이블 표면위에 뻗어 있고 테이블은 프로브 지지캐리지와 베이스에 나란히 위치된다. 가공물의 표면으로 완전한 접근을 하기 위하여, 테이블이 회전하면 프로브 팁으로부터 이격된 표면이 프로브에 면하게 되며 이에따라 프로브에 접근가능하게 된다. 가공물 위치상에서 테이블 회전의 결과는 컴퓨터로 계산함으로써 정확하게 이루어지고 따라서 가공물 위치에 대해 테이블 회전의 축의 위치를 정확하게 결정하는 데 필요하다.

회전축 위치를 결정하는 종래기술은 테이블 표면상에 기준 보올을 설치하여 여러 위치를 통하여 테이블을 회전시켜 각각의 위치가 프로브에 의해서 체크되는 것이다.

그러나, 가공물이 테이블상에 위치된 후 절차가 수행된다면, 가공물 특히 크고 무거운 가공물이 제거되는데 시간이 많이 소모된다.

또한, 기준 보울의 설치는 수동으로 수행되어, 자동화 과정을 못하게 된다.

측정영역에서의 영구적인 기준 보올의 설치가 측정범위에서 사용가능한 공간을 결과적으로 감소시키는 단점을 갖게 되기 때문에 기준 보올은 제거되어야 한다. 이러한 테이블은 기계의 화강암 베이스상에 장착되고 철제 테이블 베이스와 화강암 기계베이스 사이에서 열팽창 차이에 의해서 발생되는 비틀림을 피하는 것이 중요하다.

이러한 비틀림은 테이블 이동과 결합된 변환기 신호 사이에서 대응하여 비반복 가능한 변화를 만드는 경향이 있다.

본발명은 베이스상에 영구적을 장착된 기준 보올 조립체를 가진 베이스상에 회전 가능하게 지지된 좌표측정기계용 가공물 지지테이블을 포함하고 참고요소를 제공하도록 측정영역내의 위치로 동력으로 나갈 수 있는 분리가능한 기준 보올을 가지고 있다. 실린더 피스톤은 회전 테이블축에 고정된 관계로 측정영역내의 정밀하게 반복가능한 위치에서 기준 보올을 유지하도록 운동적으로 파지된다.

수축가능한 기준 보올의 설비는 축정영역 공간의 전체사용에 허용하는 것에 미치지 못하는 곳을 제외하면 필요할때 정밀하게 위치된 참고요소가 측정범위로 선택적으로 이동되는 장점을 갖고 있다. 이 배열은 또한 회전 테이블의 축에 위치하기 위하여 테이블로부터 가공물의 제거에 소모시간이 필요하지 않는 장점을 갖고 있다.

공기 스핀들은 정밀하게 위치된 축에 대해 테이블의 회전을 위하여 지지부를 제공하는데 사용되고 공기필름 쓰러스터 베어링은 이 회전중에 테이블의 중량을 지지하는데 사용된다.

반력 마찰구동부는, 테이블 회전에 동력을 공급하고, 거기에서 정반대로 대향하여 위치된 휘일의 주위표면과 접촉하여 가압된 아이들러 휘일을 구비한 테이블의 주위표면에 대해 가압된 마찰 구동휘일을 포함하고 베어링 하중을 중립시킨다. 그러므로, 공기 스핀들은 마찰 맞물림을 유지하기 위하여 구동휘일에 의해서 받는 힘에 종속되지 않는다.

공기 스핀들 회전 지지부는 정밀하게 위치된 테이블축을 제공하고 반력 마찰구동부와 결합될때 매우 낮은 항력에 대해 신속하고 강한 반응을 제공하는 장점을 가지고 있다.

테이블은 테이블에 위치한 연결부에 의해서 화강암 베이스상에 지지되는 반면에, 상대적인 열팽창을 허용하고, 다양한 테이블과 베이스 재질의 열성장 차이에 의해서 발생되는 테이블 구조내에서의 비틀림을 피하게되는 장점을 가지고 있다.

제1도는 본발명에 따른 가공물지지테이블(12)을 사용하는 좌표측정기계를 도시하고 있다.

수평으로 뻗어있는 프로브축(14)은 직립한 칼럼(16)상의 근축을 따라 왕복운동을 하기 위해 지지된다. 프로브축(14)의 팁(18)은 테이블 표면상에 배치된 가공물(도시되지 않음)상에 중요한 지점에 접촉 가능하도록 가공물지지테이블(12)의 상부표면(20) 위로 뻗어 있다.

프로브축(14)은 또한 Y축을 따라 상하 수직운동을 하기 위하여 칼럼(16)상에 지지된다.

칼럼(16)은 차례로 화강암 베이스(22)상의 X축을 따라 수평운동하기 위하여 지지되어 프로브팁(18)이 각각의 직각 X, Y, Z축에서 그 운동범위내의 테이블지지표면(20) 위로 공간 둘레를 이동하게 된다.

거리변환기(24)는 각각의 축을 따라 프로브팁(18)의 이동범위에 대응하는 전기신호를 제공하고, 이 신호는 컴퓨터(26)에 저장되어 처리될 수 있으며 지시장치(28)에 나타난 치수를 계산할 수 있다. 이 장치는 도량형학 분야에서 통상 잘 알려져 있고 이 장치의 상세는 본발명의 일부분을 형성하지 않기 때문에 여기에서 포함하지 않는다.

가공물지지테이블(12)은 테이블지지표면(20)을 형성한 통상 정사각형의 테이블윗판(36)의 측면을 둘러싼 커버(34)를 구비한 화강암과 같은 적합한 재질로 만들어진 상부부분(32)과 기계베이스(30)의 연장부상에 지지되어 있다.

제2a도는 3개의 동일하게 이격된 지지피트(44 ; feet)로 이루어진 연성 철제 테이블 베이스(40)을 위한 지지부를 도시하고 이 테이블 베이스는 화강암 상부부분(32)과 연성 철제 테이블 베이스(40)상 사이의 열팽창 차이에서 발생되는 응력을 피하기 위하여 회전연결부(46)와 블록과 캠종동자 연결부(48)와 조합에 의해서 상부부분(32)상의 위치에서 유지된다.

제2b도는 나사(49)에 의해서 테이블 베이스(40)에 부착된 블록(50)을 구비한 회전연결부(46)를 더욱 상세하게 도시하고 있고 블록(50)은 베어링 슬리이브(53)를 수용한 보어(52)를 가지고 있다.

차례로 베어링 슬리이브(53)는 화강암 상부부분(32)에 설치된 앵커부분(55)을 가진 핀(54)을 수용한다.

제2c도는 블록(56)을 수용한 축(63A,63B)에 의해서 판(61)상에서 이격되어 회전 가능하게 장착된 2개의 캠종동자(57)를 가진 캠종동자 연결부(48)와 블록을 도시하고 있다. 블록(56)은 화강암 상부부분(32)에 직접 체결된 플랜지판(59)에 의해서 화강암 상부부분(32)에 확고하게 장착된다. 축(63A)은 직선인 반면에, 축(63B)는 편심으로 되어 있어서, 블록(56)과 캠종동자(57) 사이의 과도한 측면 대측면 간극이 편심인축(63B)의 회전에 의해서 조정될 수 있다. 회전연결부(46)과 블록과 캠종동자 연결부(48)와의 이 배열은 테이블 베이스(40)의 위치를 고정한 반면에 열의 신축차이가 테이블 베이스(40)상에 비틀림 응력 부과하지 않고 발생되는 것을 허용한다.

제2a도는 또한 반력 로울러 조립체(42)에 정반대로 대향하여 위치된 회전구동수단(38)을 도시하고 있다. 이 회전구동수단(38)은 장착 브래킷으로 부터 수직으로 허용된 전기구동모우터(62)를 포함한다. 구동 캡스턴(66)은 구동 캡스턴(66)에 의해서 맞물리게 되는 큰직경 휘일(70)과 테이블윗판(36)의 플레임 경화된 주위표면(74)과 맞물리는 소직경 휘일(72)을 가진 단차식 마찰기어(68)을 차례로 구동시키는 구동모우터(62)에 의해서 구동된다.

제2d도는 스프링(84)이 장착 브래킷(64)와 일체인 러그(86 ; lug)를 관통하는 캡나사(85) 아래로 가압되고 캡스턴(66)을 휘일(70)과의 마찰 맞물림으로 가압하기 위하여 피봇판(78)상에 형성된 보스(88)내에 수용된 것을 도시하고 있다. 캡스턴(66)의 합성스프링 하중은 마찰휘일에서의 거칠기가 없기 때문에 약간의 이동을 허용한다.

제2e도는 피봇판(78)의 웨브(96)를 통과하는 캡나사(95)로써 테이블 베이스(40)에 부착된 장착부(94)에 수용된 캡나사(92) 아래의 벨레빌(Belleville) 스프링(90)에 의해서 소직경 휘일(72)과 주위표면(74) 사이의 맞물림 압력을 증가시키기 위하여 가압되는 것을 도시하고 있다. 벨레빌 스프링(90)은 마찰휘일의 거칠기가 없기 때문에 약간의 이동을 허용한다.

제2f도는 장착 브래킷(64)은 핀(76)에 의해서 피봇판(78)에 피봇적으로 장착되어 있는 것을 도시하고 있다.

제2g도는 피봇판(78)이 캡나사(83)에 의해서 테이블 베이스(40)에 체결된 브래킷(82)내에 수용되는 핀(80)상에 피봇적으로 장착되어 있는 것을 도시하고 있다. 피봇판(78)은 액슬핀(69)상의 단차식 마찰기어(68)를 회전가능하게 지지한다.

제2도 및 제3도는 주위표면(74)과 마찰기어 휘일(72)과의 접촉 지점에 반대로 대향하여 위치된 마찰전동에 의해서 받는 측력을 중립시키기 위해 제공된 반력조립체(42)의 세부를 도시하고 있다. 반력조립체(42)는 테이블 베이스(40)에 고정된 장착 브래킷(106)상에 형성된 웨브(104)내에 수용되는 숄더나사(102)아래에서 가압된 스프링(100)에 의해서 테이블윗판의 주위표면(74)과의 맞물림으로 밀어넣는 반력 로울러(98)를 포함한다. 이 로울러(98)는 스프링(100)의 가압하에서 맞물림이동을 허용하기 위하여 장착 브래킷에 대해 피봇 브래킷으 다른 한쪽(14)에서 피봇되어 신장된 피봇브래킷(112)의 자유단에 수용된 액슬핀(110)상에서 지지된다. 스프링은 또한 표면(98,74)의 거칠기가 없기 때문에 약간의 이동을 허용한다.

제3도는 캡나사(117)로 테이블 베이스(40)의 중심에 체결되고 테이블윗판(36)내의 보어에서 유지되는 베어링 슬리이브(118)내에 수용된 공기 스핀들(116)을 포함한 테이블 베이스(40)상의 테이블윗판(36)을 지지하는 공기 베어링 수단을 도시하고 있다. 공기 통로(128)는 공기 유동을 공기 스핀들(116)과 베어링 슬리이브(118) 사이의 간극 공간으로 향해 있으며, 이 공기 통로(128)는 환형부(130)와 테이블 베이스(40)내의 통로(132)를 경유하여 공기 유동을 수용한다. 공기 공급라인(도시되지 않음)은 포오트(134)에 연결된다.

공기 쓰러스트 베어링 배열은 테이블 베이스(40)내에 형성된 복수의 공기 포오트(138)로 이루어져 있고 또한 공기 공급부에 연결되고 당해 기술로 알려진 방식으로 공기 필름상에서 테이블 윗면이 부동하도록 테이블윗판(36) 아래에서 공기 유동을 향하게 한다. 콜렉터 환형부(138)는 표면사이의 방사상 내측 공기 통과부를 형성하고 있고 이 유동이 배출되도록 한다. 공기 유동은 단지 테이블윗판(36)이 구동될때 개시되어 테이블윗판은 통상 측정이 이루어지면 직접 테이블 베이스(40)상에 정지된다.

테이블윗판(36) 주위에 뻗어 있는 광학격자(143)에 병렬된 전기광학변환기(141)는 그 회전축에 대해 테이블윗판(6)의 각 운동에 대응하는 전기신호를 제공한다.

제2a도는 테이블 베이스(40)의 주위에 체결된 연장브래킷(142)에 의해서 테이블 베이스상에 지지된 텔레스코픽형 기준 보올 조립체(140)를 도시하고 있다. 위치결정요소(144)가 테이블윗판(36)의 테이블지지표면(20) 위에 위치되도록 점선(점선으로 도시된 바와같이,소형판(36A)이 사용됨)으로 도시된 바와같이 사용될 대형판 테이블윗판(36)의 주위 외부에 위치된다.

제4도는, 단부캡(148), 몸체부재(150), 및 볼트(154)와 함께 유지되는 단부캡(152)에 의해서 형성된 동력실린더(146)으로 이루어진 기준 보올 조립체(140)를 도시하고 있다.

피스톤(158)은 리테이너 디스크(164)에 체결된 시일링 로링립 다이어프램(162)에 의해서 약간 각진 위치에서 가요가능하게 위치된 실린더 보어(160)내에서 이동가능하게 장착된다. 피스톤로드(166)는 피스톤(158)으로부터 상향으로 뻗도록 너트(168)에 체결되고 부슁(170)을 통해서 통과한다. 위치결정요소(144)는 로드(166)의 축소된 직경부(170)에 부착된다.

복귀스프링(174)은 공기 압력이 포오트(176)와 선택적으로 작동가능한 제어밸브작용(도시되지 않음)을 통해서 유입되지 않을 때마다 위치결정요소(144)를 수축하도록 하향으로 피스톤(158)을 가압한다.

위치 보올(178)은 피스톤(158)의 상부면에 형성된 포켓(180)에서 체결되는 반면에, 이격된 복수의 위치로드(182)는 대향위치에서 단부캡(1480의 내부면(184)에 부착된다.

제5도는 등이격된 위치보올(178)이 평면내의 피스톤 또한 정확한 각 위치에 위치되도록 3개의 등이격된 복수의 위치로드(182)와 결합한 것을 도시하고 있다.

위치결정요소(144)로 부터 회전의 테이블 중심으로의 간격은 20℃의 일정한 주위온도에서 눈금 조정된다. 결과로서 이 장비는 일정한 온도 20℃와 다른 온도환경에서 사용되며, 위치결정요소(144)의 위치와 테이블윗면(36)의 회전축 "a"사이의 대응은 연장브래킷(142)과 테이블 베이스(40)의 성장 및 수축 때문에 변하게 된다.

제6도는 덜미스터(thermistor)와 같이 연장브래킷과 테이블 베이스(40)의 온도를 감지하고 대응 전기신호를 발생하는 온도감지변환기(186)를 포함한 단순한 보상시스템의 다이어그램을 도시하고 있다.

온도신호는 컴퓨터(26)에서 처리되고 위치결정요소(144)의 위치와 테이블윗판(36)의 회전축 "a" 사이에서 대응의 기억부(188)에 저장된 값을 변경한다.

작동중에, 가공물(W)은 테이블윗판(36)의 테이블지지표면(20) 위해 적재된다. 프로브팁(18)은 저장된 및/또는 전개된 치수 값을 가진 가공물(W)상의 중요지점으로 이동된다.

가공물(W)의 접근 불가능한 면을 검침하는 것이 필요하다면, 테이블 공기베어링으로의 공기유동은 테이블윗판(36)을 부동시키는데 사용된다. 구동모우터(62)는, 변환기(14)에서 온 신호에 의해서 결정된 이 각 위치로, 테이블윗판(36)을 적합한 각 위치로 회전시키기 위해 작동된다.

회전축 "a"이 참고된 결과로써, 위치결정요소(144)는 뻗게 되고 판독은 프로브팁(18)에 의해서 성취되어 테이블윗판(36)의 회전축 "a"를 결정하게 된다.

Claims (10)

1. 측정범위내에서 3개의 직각축(X,Y,Z)을 따라 이동가능한 프로브팁(18), 측정이 가공물(W)상의 지점 사이에서 상기 프로브팁(18)을 이동시킴으로써 이루어지도록 상기 이동에 대응하는 전기신호를 발생시키는 거리변환기(24), 테이블 베이스(40)상에서 지지된 테이블윗판(36)을 가진 가공물 지지테이블(12), 상기 프로브팁(18)에 의해서 접근가능한 상기 측정범위내에 위치된 가공물(W)을 위하여 지지표면(20)을 제공하는 상기 테이블윗판(36), 축(a)에 대해 회전하기 위하여 상기 테이블윗판을 지지하는 베어링 부재(116,128,136), 및 상기 축에 대해 상기 테이블윗판(36)을 회전시키기 위한 구동수단(38)을 가진 좌표측정기계에 있어서, 위치결정요소(144), 상기 테이블 베이스(40)에대해 상기 기준 보올 조립체(140)를 고정하는 수단(142), 상기 측정범위내에서 상기 테이블지지표면(20) 위의 상승위치와 상기 측정범위 외측에서 상기 테이블지지표면(20) 아래의 하강위치 사이의 상기 위치결정요소(144)를 선택적으로 신축하는 수단(146)을 포함하고 있는 수축가능한 기준 보올 조립체, 상기 상승위치에 있을때 상기 프로브팁(18)에 의해서 접근가능하게 위치되는 상기 위치결정요소 ; 및 상기 위치결정요소가 상기 상승위치로 뻗을 때마다 상기 테이블축의 회전이 설정되고 정밀하게 수축가능한 관계로 상기 측정범위내의 공간내에서 상기 위치결정요소를 상기 테이블위에 위치하도록 상기 기준 보올 조립체상에서 작용하는 위치결정수단(178,182)을 포함하는 있는 것을 특징으로 하는 좌표측정기계.
2. 제1항에 있어서, 신축하는 상기 수단(146)은 피스톤(158)과 실린더(146)를 가진 수직으로 장착된 동력실린더 수단을 포함하며, 상기 피스톤(158)은 상기 피스톤(158)에 부착된 피스톤 로드(166)를 구비한 상기 실린더(146)내의 피스톤 보어(160)에 장착되고, 상기 피스톤 로드(166)는 상기 위치결정요소(144)를 포함하여 부착된 보올을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 좌표측정기계.
3. 제2항에 있어서, 위치결정수단(178,182)은 상기 실린더(146)위의 공간에 상기 위치결정요소(144)를 정확하게 위치시키기 위하여 상기 피스톤(158)과 상기 상승위치에서 상기 피스톤(158)을 구비한 상기 실린더 캡(148) 사이에서 작용하는 것을 특징으로 하는 좌표측정기계.
4. 제1항에 있어서, 주위온도에 대응하는 전기신호를 발생시키는 온도센서부재(186), 및 상기 위치결정요소(144)와 상기 윗판(36)의 상기 회전축(a)의 위치 사이에서 대응한 변화를 일으킨 그 변화를 보정하는 수단(26)을 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 좌표측정기계.
5. 3개의 직각축(x,y,z)을 따라 이동가능한 프로브팁(18), 측정이 가공물(W)상의 지점 사이에서 상기 프로브팁(18)을 이동시킴으로써 이루어지도록 상기 이동에 대응하는 전기신호를 발생시키는 거리변환기(24), 테이블 베이스(40)상에서 지지된 윗판(36)을 가진 가공물지지테이블(12), 상기 프로브팁(18)에 의해서 접근가능하게 위치된 가공물(W)을 위하여 지지표면(20)을 제공하는 상기 테이블윗판(18), 축(a)에 대해 회전하기 위하여 상기 테이블윗판을 지지하는 베어링수단(116,128,136), 및 상기 테이블윗판(36)을 회전시키기 위한 구동수단(38)을 가진 좌표측정기계에 있어서, 상기 베어링수단(116,128,136)은, 상기 테이블윗판(36)내에서 상기 테이블윗판(36)을 회전가능하게 하는 공기스핀들(116), 공기유동을 상기 공기스핀들(116)에 이입시키는 공기공급수단(128), 상기 테이블을 회전시키는 상기 축에 평행한 회전축에 대해 회전가능하고 상기 테이블윗판(36)의 원통형 주위표면(74)에 대해 측으로 가압되는 회전구동부재(72)를 포함한 상기 회전구동수단(38), 및 방사상 대향위치에서 상기 회전구동부재(72)로부터 상기 주위표면에 맞물려서 연속적으로 가압되는 구동부재의 회전축에 평행한 축에 대해 회전가능한 반력로울러(98)를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 좌표측정기계.
6. 제5항에 있어서, 상기 회전구동부재는 상기 주위표면(74)에 마찰로 맞물리는 마찰휘일을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 좌표측정기계.
7. 제6항에 있어서, 상기 구동부재(72)를 가압하는 조정가능한 스프링력을 적용시키기 위한 스프링수단(90,92)과 상기 주위표면(74)과 맞물림으로의 상기 로울러를 가압하는 조정가능한 스프링력을 적용시키기 위한 스프링수단(100,102)을 더 포함하고 있고, 또한 상기 스프링수단(90,92)은 구동표면내의 거칠기를 수용하기 위하여 약간의 방사상 이동을 허용하는 것을 특징으로 하는 좌표측정기계.
8. 3개의 직각축(X,Y,Z)을 따라 이동가능한 프로브팁(18), 측정이 가공물(W)상의 지점 사이에서 상기 프로브팁(18)을 이동시킴으로써 상기 이동에 대응하는 전기신호를 발생시키는 거리변환기(24), 연성 철제 테이블 베이스(40)상에서 지지되는 연성 철제 윗판(36)을 가진 가공물지지테이블(12), 상기 프로브팁(18)에 의해서 접근 가능하게 위치된 가공물(W)을 위하여 지지표면(20)을 제공하는 상기 테이블윗판(36), 및 상기 테이블윗판(36)을 회전시키기 위한 구동수단을 가진 좌표측정기계(10)에 있어서, 기계베이스(40)는, 화강암 상부부분(32), 상기 베이스(40)를 상기 기계베이스(30)의 상기 화강암 상부부분(32)에 부착시키기 위한 수단, 회전연결부(36), 블록, 신장된 블록(56)으로 이루어진 캠종동자 연결부(48), 및 상기 기계베이스의 화강암 상부부분(32)상의 방사상 대향위치에서 상기 기계베이스의 화강암 상부부분(32) 또는 상기 테이블 베이스에 각각 장착되는 스트래들 로울러(57)를 포함하며, 이것에 의해 상기 테이블 베이스와 상기 기계 베이스의 상부부분(32)사이의 서로다른 열성장이 수용되는 것을 특징으로 하는 좌표측정기계.
9. 상기 테이블윗판(36)이 좌표측정기계(10)에 의해서 측정되는 가공물(W)을 지지하는 상부지지표면(20)을 가지고 있고 테이블 베이스(40)상에서 회전가능하게 지지된 테이블윗판(36)의 회전축을 결정하는 방법에 있어서, 브래킷(142)에 의해서 상기 테이블 베이스(40)에 대해 상기 위치결정요소(144)를 고정하는 단계 ; 상기 회전축(a)이 상기 테이블 위의 공간내에서 정확하게 위치되는 위치로 결정되면 상기 위치결정요소를 상기 지지표면(20)의 레벨위로 뻗는 단계 : 상기 회전축(a)의 위치를 결정하기 위하여 상기 위치결정요소(144)의 위치를 측정하는 단계 ; 및 측정이 상기 가공물(W)상에서 수행될때 상기 위치결정요소(144)를 수축시키는 단계를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 방법.
10. 제9항에 있어서, 상기 위치결정요소(144)와 브래킷(142)의 주위온도를 감지하는 단계, 및 주위온도의 변화에 의해서 발생되는 상기 회전축(a)과 그 위치 사이에 관계변화를 보정하는 단계를 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 방법.

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