KR920704121A - 광학 검사 방법 및 장치 - Google Patents

광학 검사 방법 및 장치

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KR920704121A
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마틴 필립 스미스
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마틴 필립 스미스
카밀로 안디나, 롤프 산츠쉬
게르산 에스타블리쉬멘트
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Abstract

내용 없음.

Description

광학 검사 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 제위치에서 샘플-준비 또는 압출 헤드로 제2도의 수직 적정면 B-B상의 단면에서 장치를 도시하고,
제2도는 제1도의 평면 A-A상의 단면도이고,
제3도는 광학 측정헤드를 도시한다.

Claims (18)

  1. 개방용기에 재료를 위치시키는 것과, 예정된 위치에 참고표면을 제공하는 것과, 참고 표면과 초기 접촉하도록 그 안에 미립자 재료의 노출된 표면을 가져오도록 함으로써 용기를 이동시키는 것과, 그렇게 형성된 위치에서 용기를 지지하는 것과, 참고 표면에 의해 형성된 예정된 위치에 위치하게 되고 거의 편평한 노출된 표면을 갖는 샘플을 나타냄에 따라 참고표면을 제거하는 것을 포함한 미립자 재료의 샘플을 준비하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 미립자 재료를 압축함으로써 미립자 재료는 참고표면에 대항하여 종용하도록 된 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 예정된 위치에 예정된 방법으로 배치된 광학 조사수단에 의해 상기 위치에 배치된 미립자 재료의 노출된 표면을 광학적으로 조사하는 단계를 포함하도록 된 방법.
  4. 지지체와, 지지체에 대하여 높이방향으로 이동하기 위하여 장착된 개방 샘플 용기와, 용기에 미리 위치한 미립자 재료의 샘플이 하부 표면의 접촉하여 현수되는 것과 같이 지지체에 대하여 예정된 높이로 위치한 하부 표면을 갖는 참고 부재와, 상기 접촉에 의해 형성된 제위치에서 용기를 지지하기 위한 수단을 포함하고, 상기 참고부재는 상기 위치에서 노출된 표면의 연속 광학 조사를 허용하도록 제위치에서 용기로부터 떨어져서 이동가능하도록 된 미립자 재료의 광학 조사용 장치.
  5. 제4항에 있어서, 하부 표면에 대항하여 샘플을 압축하기 위하여 참고 부재쪽으로 용기를 종용하는 수단을 포함하도록 된 장치.
  6. 제5항에 있어서, 용기는 상부 표면을 측정하기 위하여 채택된 압력 분포를 하부 표면과 그것과의 사이에 제공하도록 내부 하부표면을 갖도록 된 장치.
  7. 제4항, 제5항 또는 제6항에 있어서, 참고 부재는 샘플의 표면을 측정하기 위하여 수직 축에 대하여 회전 가능하도록 된 장치.
  8. 제4항, 제5항, 제6항 또는 제7항에 있어서, 참고 부재의 제거후 샘플 표면을 조사하기 위하여 상기 위치에 대하여 예정된 높이로 배치가능하거나 배치된 광학 조사 수단을 포함하도록 된 장치.
  9. 제8항에 있어서, 참고 부재는 지지체로부터 제거가능한 캐리어상에 장착되고, 캐리어 및 지지체는 캐리어가 지지체상에 위치하게 될때 참고부재가 예정된 설정레벨의 하부 표면에 있게 되는 것과 같이 상호 작동 위치 수단이 제공되고, 샘플 표면이 참고 부재에 의해 결정된 예정된 관계로 광학 조사를 형상 나타나게 함으로써 캐리어가 지지체상에 배치될때 샘플표면을 조사하도록 배열된 광학 조사수단을 이송고 지지체상에서 제거가능하게 배치가능한 캐리어를 포함하도록 된 장치.
  10. 몸체와, 재료의 샘플을 수용하기 위하여 몸체에서 이동가능하게 지지된 용기와, 예정된 위치로 표면을 갖는 용기위에 위치가능하고 그 하부 측면상에 참고 및 압축 표면을 갖는 참고 부재와, 상기 표면에 대항하여 샘플을 종용함에 따라 샘플이 위치될 때 상기 부재쪽으로 샘플을 수용한 용기를 이동하기 위한 수단과, 광학조사를 위하여 노출된 압축 및 편평한 샘플 표면을 떠나기 위하여 상기 부재가 제거될때 그렇게 형성된 위치에서 용기를 지지하기 위한 수단을 포함하도록 된 장치.
  11. 제10항에 있어서, 용기는 몸체에서 수직 구멍에 미끄럼가능하게 수용된 풀런저의 형태 그 하부 부분을 갖는 플랫포옴상에서 제거가능하게 지지된 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 플랫포옴은 몸체의 부분과 플런저 사이의 스프링 작용에 의해 위쪽으로 종용하게 된 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 풀랫포옴의 상부 이동은 기계적인 댐핑에 종속하게 된 장치.
  14. 제10항 내지 제13항의 어느 한 항에 있어서, 용기는 원형 개구를 가지고 상기 표면을 제공한 상기 부재의 하부 부분은 원형이고 상기 용기가 상기 부재쪽으로 이동할 때 용기에 근접하도록 된 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 표면을 제공한 상기 부재의 하부 부분은 표면에 수직인 축에 대하여 회전가능하게 된 장치.
  16. 제10항 내지 제15항의 어느 한 항에 있어서, 상기 용기의 베이스는 샘플이 샘플 표면을 보호하기 위하여 압축하게 될 때 샘플내에 적절한 압력을 제공할 수 있도록 형성된 장치.
  17. 첨부된 도면에 따라서 여기에 기재된 바와 같은 광학 조사장치.
  18. 첨부된 도면에 따라서 이안에 기재되고 도시된 바와 같이 미립자 재료를 광학적으로 조사하는 방법.
    ※참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019920701664A 1990-01-25 1991-01-25 광학 검사 방법 및 장치 KR920704121A (ko)

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