SU397827A1 - Камера образцов для электронно-зондового микроанализатора - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к рентгеноснектрал)ным приборам с узким электронным пучокэлектронным зондом дл  возбуждени  в локальном участке образца характеристического рентгеновского излучени , по которому определ етс  химический состав в этом участке.

Известны камеры образцов дл  электроннозондовых микроанализаторов, в которых помимо объекта помещают эталоны, играющие роль внешнего стандарта при количественных измерени х концентрации элементов в микрообъемах образца; при этом образец и эталоны помещают на одной подвижной площадке столика образцов. Дл  замены образца эталоном и эталона образцом площадку перемещают прецизионным механизмом столика образцов.

Однако замена образца эталоном и обратно происходит довольно медленно, так как механизм перемещени  микрометрический, а линейные рассто ни  от образца до эталона больщие. Кроме того, микрометрический .механизм подвергаетс  ускоренному износу из-за частого подведени  иод электронный зонд. Дл  установки образца в первоначальное положение после увода эталона нужно по отсчетным устройствам механизма столика выставить ранее отсчитанные координаты, что также замедл ет и усложн ет работу.

Цель изобретени  - ускорение ввода эталонов под электронный зонд на место образца

и вывода их из-под зонда, автоматизаци  возвращени  образца в первоначальное положение после увода эталона и уменьщение износа прецизионного механизма столика образцов. Предлагаема  камера образцов отличаетс  тем, что столик образцов снабжен двум  каретками , перва  из которых с образцами при вводе эталонов под электронный зонд отводитс  второй кареткой с эталонами. При выводе эталонов из-под зонда образец автоматически возвращаетс  в исхо.дное положение.

На чертеже схематически показан микроавализатор с подробным изображением деталей механизма столика образцов.

Панцырь короткофокусной линзы снизу заканчиваетс  частью корпуса камеры образцов, к нижнему скосу которой на вакуумном уплотнении подсоединена втора  часть корпуса

1 со столиком образцов.

Образец 2 располагают в держателе 3 .на подвижной каретке 4, установленной на верхней площадке 5 механизма столика образцов. Каретка 4 подт нута 6 к упору 7.

Столик образцов выполнен на упругих безлюфтовых параллелограм.мных механизмах, позвол ющих точно перемещать образец по трем координатам х, у, z. Верхн   площадка 5 закреплена на упругих в направлении х

плоских пружинах 8, соединенных с площадкой 9, котора  жестко св зана с подвижной в направлении у площадкой 10.

Площадка 5 подт нута пружиной 11 через шарнирный упор к отсчетной руко тке 12.

Площадка 10 закреплена на упругих в направлении у плоских пружинах 13, соединенных с подвижной в направлении z стойкой 14. Площадка 10 подт нута пружинной 15 через два щарнирных упора и двуплечий рычаг к винту отсчетной руко тки 16. Стойка 14 на упорном ша,рнире 17 соединена с двуплечим рычагом 18, который также соединен упругим щарниром 19 с корпусом камеры 1 и упираетс  на установочный винт 20. Нижний конец стойки 14 соединен упругим звеном 21 с корпусом камеры 1.

Эталоны 22 ра1аполагают в держателе 23 на каретке 24, котора  установлена на стойке 14 и подт нута дружиной 25 к толкателю 26 в корпусе камеры. Поверхности образца и эталолов наход тс  в одной плоскости.

Дл  ввода на место образца эталона нажимают на толкатель 26 и пр молинейно перемещают каретку 24 с держателем эталонов 23. Каретка 24, подойд  к каретке 4, упором отводит ее вместе с образцом в сторону. Дл  установки нужного эталона толкатель 26 останавливаетс  в положении, соответствующем положению данного этанола под электронным зондом. Пазвани  или номера эталонов прочитываютс  на шкале толкател .

Дл  отвода эталона и установки образца в первоначальное положение относительно электронного зонда толкатель 26 перемещают в обратном направлении. При этом под действием пружин 6 и 25 начинают перемещатьс  В обратном направлении каретки 4 и 24. Каретка 4 с образцом автоматически останавливаетс  в исходном положении, дойд  до упора 7. Удары ее об упор гас тс  установленным на ней центробежным тормозом (на чертеже не показан).

При вводе и выводе эталона прецизионный механизм перемещени  образца по ос м х и у находитс  в статическом положении.

Предмет изобретени 

Камера образцов дл  электронно-зоадового микроанализатора, в корпусе которой размещен столик ДЛ1Я образцов .и эталонов с механизмами перемещени , отличающа с  тем, что, с целью повышени  оперативности анализа , столик снабжен двум  каретками с подвижными част ми, одна из которых предназначена дл  образцов, а друга  -дл  эталоВОВ , причем перва  каретка лодт нута пружиной к упору на подвижной части, а втора  установлена на подъемной части механизма перемещени  столика, подт нута пружиной к толкателю, размещенному в корпусе камеры,

и снабжена упором дл  отвода первой каретки .

/3

16