KR920700314A - 결정성장 장치의 실리콘 고체입자 공급장치 - Google Patents

결정성장 장치의 실리콘 고체입자 공급장치

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KR920700314A
KR920700314A KR1019900702702A KR900702702A KR920700314A KR 920700314 A KR920700314 A KR 920700314A KR 1019900702702 A KR1019900702702 A KR 1019900702702A KR 900702702 A KR900702702 A KR 900702702A KR 920700314 A KR920700314 A KR 920700314A
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지이. 윌리스 존
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버나드 엠. 길레스피
모빌솔라 에너지 코포레이션
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Abstract

내용 없음

Description

결정성장 장치의 실리콘 고체입자 공급장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 실리콘공급장치가 사용되는 결정성장로의 단면도,
제2도는 본 발명 실리콘공급장치의 개략단면도.

Claims (20)

  1. 저면벽을 갖고 실리콘용융물이 수용되는 도가니를 포함하는 중공형 관상결정체 성장장치에 실리콘고체입자를 공급하기 위한 장치에 있어서, 이 장치가 실리콘고체입자를 저장하기 위한 저장수단, 상기 저장수단에 저장된 실리콘고체입자가 상기 저장수단으로부터 상기 도가니로 이송되도록 상기 저장수단으로부터 상기 도가니로 연장된 통로를 형성하기 위하여 상기 저장수단과 상기 도가니에 결합된 도관수단과, 상기 저장수단에 저장된 실리콘 고체입자를 상기 도관수단으로 공급하고 상기 도관수단내의 실리콘고체입자가 사기 도가니로 이송될 수 있도록 상기 도관수단에 가압유체를 공급하기 위한 공급수단으로 구성됨을 특징으로 하는 결정성장치의 실리콘고체입자 공급장치.
  2. 청구범위 1항에 있어서, 상기 도관수단이 실리콘고체입자를 수용하기 위한 수용챔버, 상기 저장수단을 상기 수용챔버에 연결하는 제1도관과, 상기 수용챔버에 결합되고 상기 도가니에 결합가능한 제2도관으로 구성됨을 특징으로 하는 장치.
  3. 청구범위 2항에 있어서, 상기 수용챔버가 방사상 내측으로 경사진 저면부와, 이 저면부에서 상기 수용챔버를 상기 공급수단에 연결하는 통공으로 구성됨을 특징으로 하는 장치.
  4. 청구범위 2항에 있어서, 상기 저장수단이 상기 수용챔버상에 배치되고 상기 제1도관이 상기 저장수단으로부터 상기 수용챔버를 향하여 하향경사짐을 특징으로 하는 장치.
  5. 청구범위 2항에 있어서, 상기 제2도관이 상측단부를 가지며 상기 제2도관을 이 제2도관이 상기 도가니에 착설되어 상기 도가니의 내부를 통해 상향연장되므로 상기 제2도관의 상기 상측단부가 상기 도가니에 수용된 용융실리콘의 표면상부에 위치함을 특징으로 하는 장치.
  6. 청구범위 1항에 있어서, 상기 공급수단이 상기 저장수단에 저장된 실리콘고체입자를 상기 도관수단으로 강제로 보내도록 상기 저장수단을 가압하기 위한 수단으로 구성됨을 특징으로 하는 장치.
  7. 청구범위 1항에 있어서, 상기 공급수단이 상기 저장수단에 저장된 실리콘고체입자가 상기 도관수단으로 이동되도록 상기 저장수단을 진동시키기 위하여 상기 저장수단에 결합된 진동수단으로 구성됨을 특징으로 하는 장치.
  8. 청구범위 1항에 있어서, 상기 도관수단이 상기 통로가 상기 도가니에 수용된 용융물의 표면위의 선택된 위치에서 끝나도록 상기 도가니에 결합된 수 있게될 장치.
  9. 청구범위 8항에 있어서, 상기 공급수단이 상기 도관수단내의 실리콘 입자를 상기 선택된 위치의 상부위치로 이송되게함을 특징으로 하는 장치.
  10. 청구범위 9항에 있어서, 상기 장치가 상기 용융물의 열변화를 최소화하기 위하여 상기 실리콘입자가 상기 용융물에 공급되도록 상기 실리콘 입자가 상기 선택된 위치의 상기 상부위치로 편향되게하는 편향기로 구성됨을 특징으로 하는 장치.
  11. 청구범위 1항에 있어서, 상기 가압유체가 불활성기체임을 특징으로 하는 장치.
  12. 청구범위 1항에 있어서, 상기 저장수단이 상기 실리콘고체입자를 저장하기 위하여 저면벽과 내부챔버를 갖는 용기로 구성되고, 상기 용기는 도관수단을 상기 내부챔버에 연결하는 상기 저면벽에 인접한 통공을 포함함을 특징으로 하는 장치.
  13. 저면벽을 갖고 실리콘용융물이 수용되는 도가니를 포함하는 중공형 관상결정체 성장장치에 실리콘고체입자를 공급하기 위한 장치에 있어서, 이 장치에 상기 실리콘고체입자를 저장하기 위한 저장수단이 구성되어 있고, 상기 저장수단은 상기 실리콘고체입자를 저장하기 위하여 저면벽과 내부챔버를 갖는 용기로 구성되며, 상기 용기는 이에 수용된 실리콘용자가 이용기로부터 공급되도록 상기 저면벽에 인접한 통공을 포함하고, 상기 저장수단에 저장된 실리콘고체입자가 상기 저장수단으로부터 상기 도가니에 이송되도록 상기 저장수단으로부터 상기 도가니측으로 통로를 형성하는 도관수단이 구성되어 있으며, 상기 도관수단은 상기 실리콘고체입자를 수용하기 위한 수용챔버, 상기 저장수단을 상기 수용챔버에 연결하는 제1도관과, 상기 수용챔버에 연결되고 또한 상기 도가니에 결합되는 제2도관으로 구성되고, 상기 수용챔버는 상기 용기의 하측에 배치되어 상기 제1도관이 상기 용기로부터 상기 수용챔버측으로 하향 경사져 있으며, 상기 제2도관은 상기 도가니에 수용된 용융물의 표면상부의 선택된 위치에 놓이는 상측단부로 구성되고, 상기 통공을 통하여 상기 제1도관을 지나도록 상기 용기에 저장된 실리콘입자를 공급하기 위하여 상기 용기의 상기 내부챔버에 결합된 공급수단이 구성되어 있으며, 상기 공급수단이 가압가스공급원으로 구성되고, 상기 수용챔버내에서 실리콘고체입자가 동반되어 이를 상기 제2도관을 통해 보내기 위하여 상기 수용챔버내에 가압기체를 공급하기 위한 공급수단과, 상기 실리콘입자를 도가니에 수용된 용융물의 전 표면에 균일하게 분포토록 가압유체의 흐름에 의하여 이송된 실리콘입자를 상기 제2도관의 상기 상측단부를 지나 편향시키도록 상기 제2도관의 상기 상측단부상에 배치된 편향수단이 구성되어 있음을 특징으로 하는 결정성장장치의 실리콘고체입자 공급장치.
  14. 저면벽을 갖고 실리콘용융물이 수용되는 도가니를 포함하는 중공형 관상결정체 성장장치에 실리콘고체입자를 공급하기 위한 장치에 있어서, 이 장치에 실리콘고체입자를 저장하기 위한 내부챔버와 실리콘입자가 공급될 수 있도록 한 통공을 갖는 용기가 구성되어 있고, 상기 용기에 연결되어 상기 용기의 상기 내측챔버가 연통되는 중공내부를 갖는 도관이 구성되어 있으며, 상기 도관은 상기 도가니와 연결될 수 있어 상기 도가니의 내측챔버가 상기 도관의 상기 중공내부와 연통하고, 상기 도관은 이 도관이 도가니에 착설될 때에 상기 도가니의 상기 내부챔버측으로 연장될 수 있게 되어 있으며, 상기 용기의 내부챔버를 가압하도록 상기 용기에 결합되는 제1가압기체공급원이 구성되어 있고, 상기 도관내에서 가압가스의 흐름이 이루어지도록 상기 도관과 결합되는 제2가압기체공급원이 구성되어 있음을 특징으로 하는 결정성장 장치의 실리콘고체입자 공급장치.
  15. 중공형 관상결정체의 성장시스템에 있어서, 이 시스템이 중공형 관상결정체 성장장치로 구성되고, 이 장치가 실리콘용융물을 수용하기 위한 내부챔버, 상측단부와, 저면단부를 갖는 도가니를 포함하며, 또한 상기 장치가 상기 저면부의 하측으로부터 상기 내측챔버를 통하여 연장되고 상기 도가니의 상기 상측단부의 상부에서 끝나는 중공파이프를 포함하며, 실리콘고체입자를 저장하기 위한 저장수단, 상기 저장수단에 저장된 실리콘고체입자가 상기 저장수단으로부터 상기 중공파이프로 이송될 수 있도록 상기 저장수단으로부터 상기 중공파이프측으로 통로를 형성하기 위하여 상기 중공파이프와 상기 저장수단에 결합된 도관수단과, 상기 저장수단내에 저장된 실리콘고체입자를 상기 도관수단으로 강제공급하고 상기 도관수단내의 실리콘고체입자가 상기 가압유체에 의하여 상기 중공파이프를 통해 이송되도록 상기 도관수단내에 가압유체의 흐름이 이루어지도록하는 공급수단으로 구성됨을 특징으로 하는 중공형 관상결정체 성장시스템.
  16. 중공형 결정체 성장장치의 도가니에 실리콘용융물을 보급하는 방법에 있어서, 이 방법이 실리콘용융물을 수용하는 내부챔버와 상기 도가니하측에 배치된 저면단부, 상기 도가니의 상기 내부챔버를 통하여 연장된 중간부분과, 상기 도가니에 수용된 상기 실리콘용융물의 상부면상에 위치하는 상측단부를 갖는 중공파이프를 갖는 도가니로 구성된 중공형 관상결정체 성장치를 제공하는 단계(1), 구상 실리콘고체입자를 저장하기 위한 저장수단, 상기 저장수단에 저장된 구상 실리콘고체입자가 상기 저장수단으로부터 상기 중공파이프로 이송되도록 상기 저장수단으로부터 상기 중공파이프측으로 통로를 형성하기 위하여 상기 저장수단에 결합되고 상기 중공파이프에 결합될 수 있는 도관수단과, 상기 도관수단으로 상기 저장수단에 실리콘고체 입자를 공급하고 상기 도관수단이 상기 중공파이프에 연결되었을 때에 상기 도관수단내에서 실리콘입자가 동반되어 상기 중공파이프를 통해 이송되도록 상기 도관수단내에 가압기체의 흐름이 이루어지도록하는 공급수단으로 구성되어 상기 도가니내의 용융물에 구상 실리콘고체입자를 보급하기 위한 시스템을 제공하는 단계(2), 상기 도관수단의 일측단부를 상기 중공파이프의 상기 저면단부에 결합하는 단계(3), 상기 저장수단에 예정된 직경의 구상실리콘 고체입자를 공급하는 단계(4), 상기 도관수단의 상기 일측단부를 향하는 연장되는 상기 도관수단내의 선택된 압력의 가압기체의 흐름을 형성하는 단계(5), 상기 도관수단에 상기 입자를 공급하는 단계(6)와, 상기 가압기체의 흐름에 상기 입자가 동반되어 상기 중공파이프측으로 이송되고 상기 파이프의 상측단부로부터 상기 입자를 방출하여 상기 입자가 상기 도가니에 수용된 상기 용융물내로 낙하하도록하는 단계(7)로 구성됨을 특징으로 하는 방법.
  17. 청구범위 16항에 있어서, 상기 단계(6)가 상기 저장수단에 수용된 상기 실리콘입자를 강제로 상기 도관수단으로 보내도록 상기 저장수단을 가압하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 방법.
  18. 청구범위 16항에 있어서, 상기 단계(7)가 상기 입자가 상기 용융물에서 열변화가 최소화될 수 있게 상기 용융물에 공급되도록 상기 파이프의 상측단부로부터 방출된 상기 입자를 편향시키는 단계를 포함함을 특징으로 하는 방법.
  19. 청구범위 16항에 있어서, 상기 단계(4)에서 상기 저장수단에 공급되는 상기 입자의 의상직경이 약 1±1/2mm임을 특징으로 하는 방법.
  20. 청구범위 16항에 있어서, 상기 단계(6)이후에 상기 저장수단으로부터 상기 도관수단을 통하여 상기 가압기체의 흐름과 접촉토록 공급된 상기 입체를 이송하는 단계가 포함됨을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900702702A 1989-05-24 1990-04-25 결정성장 장치의 실리콘 고체입자 공급장치 KR920700314A (ko)

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