KR920020792A - 방전여기가스레이저장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 있어서의 구성을 표시한 구성도.
제2도는 본 발명의 제1 및 제2실시예에 있어서의 동작을 설명한 동작설명도.
제3도는 본 발명의 제2실시예에 있어서의 구성을 표시한 구성도.
Claims (10)
- 방전을 개시시키기 위한 스위치소자와, 상기 스위치소자를 동작시키는데 충분한 전하를 축적하는 주방전충전콘덴서를 포함한 충전회로와, 주방전전극과 주방전을 위한 전하를 축적하는 피이킹콘덴서를 포함한 방전회로를 가진 제1전기회로를 포함하는 레이저매질을 방전여기하기 위한 주방전수단과, 복수의 예비여기방전전극과, 예비여기방전을 위하여 전하를 축적하고 또한 상기 복수의 예비여기방전전극의 각각의 전류를 균일화하여 용량이 각각 대략 동등한 예비여기분배콘덴서를 가진 제2전기회로를 포함하는 상기 주방전수단을 예비여기하기 위한 예비여기수단을 구비하고, 상기 제1전기회로와 제2전기회로가 서로 실질적으로 독립하고 있는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1전기회로와 제2전기회로와 다같이 상기 스위치소자에결합되어 있는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제2전기회로의 동작속도가, 상기 충전회로의 동작속도보다 빠른 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
- 제3항에 있어서, 상기 제2전기회로의 축적에너지가, 상기 충전회로의 축적에너지보다 작은 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
- 제4항에 있어서, 상기 제2전기회로가, 예비여기분배콘덴서에 접속된 예비여기충전코일을 가진 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
- 제1항에 있어서, 상기 충전회로는 LC 반전용량 이행형인 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 제1전기회로와 제2전기회로와 다같이 상기 스위치소자에 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저 장치.
- 제7항에 있어서, 상기 제2전기회로의 동작속도가, 상기 충전회로의 동작속도보다 빠른 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
- 제8항에 있어서, 상기 제2전기회로의 축적에너지가, 상기 충전회로의 축적에너지보다 작은 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
- 제9항에 있어서, 상기 제1전기회로가, 예비여기분배콘덴서에 접속된 예비여기충전코일을 가진 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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