KR920018842A - 칼라필터의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2(A)∼(D)도는 이 발명에 따른 칼라필터의 제조공정도이다.
Claims (7)
- 복수의 화소들이 매트릭스 형상으로 배치된 기판의 상부에 형성하는 칼라필터의 제조방법에 있어서, 상기 반도체 기판의 상부에 평탄화층을 형성하는 제1과정; 상기 평탄화층의 상부에 제1감광박을 형성하는 공정과; 상기 제1감광막 상부에 해상도가 좋은 물질로 제2감광막을 형성하는 제2과정; 상기 제2감광막 상부에 상기 임의의 포토다이오드와 대응되도록 소정부분의 감광막을 노광시킨후 현상하여 패턴닝을 형성하는 공정과, 상기 노광된 소정부분의 제1감광막을 노광시키는 공정과, 상기 제2감광막을 스트립(Strip)시킨후 상기 제1감광막을 현상하여 염색층 패턴을 형성하는 공정과, 상기 염색층 패턴에 염료로 염색하여 염색층을 형성하는 공정과, 상기 염색층의 상부에 중간층을 형성하는 공정으로 이루어지는 제3과정; 상기 제3과정을 최소한 2회 반복처리하는 제4과정; 상기 제4과정후 최상의 중간층의 상부에 보호막층을 형성하는 제5과정; 상기 보호막층의 상부에 상기 복수의 화소들과 대응하는 복수의 렌즈들을 형성하는 제6과정으로 형성하는 것을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1감광막은 광파장 영역대가 436㎚에 노광되는 물질로 형성함을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1감광막의 두께는 0.6∼1.2㎛정도로 형성함을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제2감광막은 해상도가 좋으며 광파장 영역대가 365㎚에 노광되는 물질로 형성함을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제2감광막의 두께는 0.5∼0.7㎛정도로 형성함을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제1감광막의 두께를 다르게 형성함을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 복수의 렌즈들을 이웃하는 렌즈들과 서로 접촉되도록 형성함을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910003696A KR920018842A (ko) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 칼라필터의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910003696A KR920018842A (ko) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 칼라필터의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920018842A true KR920018842A (ko) | 1992-10-22 |
Family
ID=67400635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910003696A KR920018842A (ko) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 칼라필터의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR920018842A (ko) |
-
1991
- 1991-03-07 KR KR1019910003696A patent/KR920018842A/ko not_active IP Right Cessation
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