KR920007061A - 형광프린터헤드 및 그 제조방법 - Google Patents

형광프린터헤드 및 그 제조방법 Download PDF

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KR920007061A
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다쓰오 야마우라
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호소야 레이지
후다바 덴시 고오교오 가부시끼가이샤
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Abstract

내용 없음.

Description

형광프린터헤드 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 1실시예인 형광프린터헤드의 1제조공정을 도시하는 평면도.
제 2 도 내지 제 6 도는 각각 동 제조공정을 도시하는 단면도.
제 7 도는 종래의 형광프린터헤드의 1구조예를 예시하는 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 절연기판으로서의 유리기판 2 : 양극(陽極)도체
4 : 전극부 6 : 종점검출용 패턴
7 : 절연층 9 : 포토레지스트
10 : 제어전극 11 : 슬릿
12 : 형광체 20 : 양극

Claims (3)

  1. 절연기판과, 상기 절연기판의 윗면에 도트형상의 패턴으로 열지어 설치된 금속박막의 양극도체에, 각각 형광체를 피착시켜 구성된 복수의 도트형상 양극으로 형성되는 양극렬과, 상기 양극렬의 양쪽에 절연층상에 상기 양극렬에 따라 각각 박막으로서 형성된 한쌍의 제어전극과, 상기 절연기판의 윗쪽에 배열설치된 선(線)형상 음극과, 상기 전극군을 덮어서 상기 절연기판의 뒷면에 밀봉부착된 진공용기를 구비한 프린터 헤드에 있어서, 상기 한쌍의 제어전극이 상기 절연층보다도 상기 양극렬쪽에 갹각 돌출하여 형성되고, 상기 제어전극에 대향하는 한쌍의 가장자리부에 형성되는 슬릿에 의해 상기 양극렬이 일정폭으로 구획되어 있는 것을 특징으로 하는 형광프린터헤드.
  2. 절연기판 윗면에 금속박막을 피착시켜, 포토리소그래피법에 의해 도트형상의 양극도체를 일렬로 형성하는 공정과, 상기 양극도체가 형성된 절연기판상에 절연층을 피착시키는 공정과, 상기 절연층상에 금속박막을 피착시키고 , 다시 이 금속피막상에 포토레지스트를 피착시켜, 포토리소그래피법에 의해 이금속박막에 포토레지스트를피착시켜, 포토리소그래피법에 의해 이 금속박막에 일정폭의 슬릿을 이루는 한쌍의 제어전극을 형성하는 공정과, 상기 절연층을 에칭하고, 상기 절연층을 상기 제어전극의 슬릿폭이상으로 제거하여 상기 양극도체를 노출시키는 공정과, 노출된 상기 양극도체에 전착법으로 형광체를 피착시키는 공정과, 상기 금속박막상의 포토레지스트를 제거하고, 상기 절연기판의 윗쪽에 선형상 음극을 덮어 설치하고, 이 절연기판에 진공용기를 밀봉부착하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 형광프린터헤드의 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 절연층을 에칭하는 공정에 있어서, 절연기판의 끝부분에 설치한 종점검출용 패턴의 한쌍의 전극부간의 저항을 측정하여, 에칭의 종점을 결정하는 것을 특징으로 하는 형광프린터 헤드의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910015914A 1990-09-13 1991-09-12 형광프린터헤드 및 그 제조방법 KR950003102B1 (ko)

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DE4130014A1 (de) 1992-03-19
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