KR920001791A - 가스레이저 장치 - Google Patents

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KR920001791A
KR920001791A KR1019910008811A KR910008811A KR920001791A KR 920001791 A KR920001791 A KR 920001791A KR 1019910008811 A KR1019910008811 A KR 1019910008811A KR 910008811 A KR910008811 A KR 910008811A KR 920001791 A KR920001791 A KR 920001791A
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KR
South Korea
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laser
gas
chamber body
windows
spherical body
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KR1019910008811A
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Inventor
미쓰구 데라따
겐 오오마따
미찌또 우에하라
히데아끼 시바따
야스오 오에다
유우이찌로오 데라시
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다께바야시 쇼오고
미쓰이세기유 가가꾸고오교오 가부시끼가이샤
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    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
    • HELECTRICITY
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    • H01S3/034Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
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Abstract

내용 없음

Description

가스레이저 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 부분 절취 개략 측면도.
제2도는 사시도.
제3도는 부분측면도.

Claims (9)

  1. 투명 레이저창들이 레이저 챔버 몸체상에 구비된 가스레이저 장치에 있어서, 상기 레이저 챔버 몸체내의 가스를 순환시키기 위한 인입구와 배출구를 통해 상기 레이저 챔버 몸체에 연결된 순화 수단과, 상기 순환수단에 배치된 여과수단을 포함하는 것이 특징인 가스레이저 장치.
  2. 제1항에 있어서, 레이저 챔버 몸체내에는 동작가스가 봉입되어 있는 것이 특징인 가스레이저 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 레이저챔버 몸체의 양단부상에는 서브챔버가 구비되어 있고, 상기 레이저창들은 상기 서브챔버의 단부에 구비되어 있고, 상기 배출구는 상기 서브 챔버상에 구비되어 있는 것이 특징인 가스레이저 장치.
  4. 투명 레이저창들이 레이저 챔버 몸체상에 구비되어 그내에 가스가 봉입되어 있는 가스레이저 장치에 있어서, 상기 가스를 차단시키도록 상기 레이저 챔버 몸체와 상기 레이저창 사이에 구비된 차단수단을 포함하는 것이 특징인 가스레이저 장치.
  5. 레이저 챔버 몸체와 레이저창들이 연결블록에 의해 연결되며, 상기 연결블록과 상기 레이저창은 착탈 가능하게 장치되며, 상기 연결블록내에는 볼발브가 배치되고, 상기 볼발브는 유통로를 갖고 있는 구형몸체로서 상기 연결블록내의 유통로내에 회전가능하게 기밀하게 배치되며, 상기 구형몸체는 상기 유통로를 개방 및 차단시킬수 있도록 회전되는 것이 특징인 가스레이저 장치.
  6. 제5항에 있어서, 가스레이저 챔버 몸체내에는 동작가스가 봉입된 것이 특징인 가스레이저 장치.
  7. 내부에 통로를 형성하도록 일단부가 레이저 챔버 몸체측면상에 장치된 연결블록내에 구형몸체가 회전가능하게 기밀로 배치되며, 상기 구형 몸체내에 유통로를 형성되어 있고, 상기 유통로의 내면상에 유통샤프트에 대해 수직으로 돌출된 링형 돌출부가 구비되어 있고, 상기 링형돌출부의 양측면상에는 레이저 창들이 착탈 가능하게 구비되어 있고, 상기 구형몸체가 180도 회전되면 2레이저창들의 위치가 반전되는 것이 특징인 가스레이저 장치.
  8. 제5 또는 제6 또는 제7항중 어느 한항에 있어서, 상기 구형몸체의 회전각도 제어는 레이저 챔버로부터 레이저 비임의 차단 및 조사를 제어하는 것이 특징인 가스레이저 장치.
  9. 제5 또는 제6 또는 제7항중 어느 한항에 있어서, 상기 구형몸체의 외부에는 외부로 연장된 샤프트가 구비되어 있고, 상기 샤프트의 단부에는 구형몸체를 회전시키는 코크손잡이가 형성되어 있는 것이 특징인 가스레이저 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910008811A 1990-06-01 1991-05-29 가스레이저 장치 KR920001791A (ko)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2-143447 1990-06-01
JP14344790A JPH0437179A (ja) 1990-06-01 1990-06-01 気体レーザ装置
JP19215690A JPH0478176A (ja) 1990-07-20 1990-07-20 気体レーザ装置
JP2-192156 1990-07-20

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KR920001791A true KR920001791A (ko) 1992-01-30

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ID=26475173

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US (1) US5197078A (ko)
EP (1) EP0459491A3 (ko)
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CA (1) CA2043512A1 (ko)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2800593B2 (ja) * 1992-10-28 1998-09-21 三菱電機株式会社 レーザ発振器
US5359620A (en) * 1992-11-12 1994-10-25 Cymer Laser Technologies Apparatus for, and method of, maintaining a clean window in a laser
US5622682A (en) * 1994-04-06 1997-04-22 Atmi Ecosys Corporation Method for concentration and recovery of halocarbons from effluent gas streams
JP2003042967A (ja) * 2001-07-27 2003-02-13 Hitachi Ltd パターン欠陥検査装置
US6843830B2 (en) * 2003-04-15 2005-01-18 Advanced Technology Materials, Inc. Abatement system targeting a by-pass effluent stream of a semiconductor process tool
US6973112B2 (en) * 2003-07-31 2005-12-06 Visx, Incorporated Passive gas flow management and filtration device for use in an excimer or transverse discharge laser
US20050083984A1 (en) * 2003-10-17 2005-04-21 Igor Bragin Laser system sealing
US20080013589A1 (en) * 2006-07-17 2008-01-17 Cymer, Inc. Window assembly for a gas discharge laser chamber

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2243538B1 (ko) * 1973-09-06 1976-06-18 Comp Generale Electricite
US3993965A (en) * 1975-02-24 1976-11-23 Coherent Radiation Laser having improved windows
FR2591816B1 (fr) * 1985-12-16 1990-10-05 Asulab Sa Laser a gaz equipe de vannes a trois fonctions
JPS639175A (ja) * 1986-06-30 1988-01-14 Komatsu Ltd 縦型エキシマレ−ザのレ−ザヘツド
JPH07118556B2 (ja) * 1987-08-10 1995-12-18 三菱電機株式会社 エキシマレ−ザ装置
JPH021190A (ja) * 1988-06-09 1990-01-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd エキシマ・レーザー装置

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Publication number Publication date
CA2043512A1 (en) 1991-12-02
US5197078A (en) 1993-03-23
EP0459491A3 (en) 1992-01-08
EP0459491A2 (en) 1991-12-04

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