KR920001791A - 가스레이저 장치 - Google Patents
가스레이저 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR920001791A KR920001791A KR1019910008811A KR910008811A KR920001791A KR 920001791 A KR920001791 A KR 920001791A KR 1019910008811 A KR1019910008811 A KR 1019910008811A KR 910008811 A KR910008811 A KR 910008811A KR 920001791 A KR920001791 A KR 920001791A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- laser
- gas
- chamber body
- windows
- spherical body
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 부분 절취 개략 측면도.
제2도는 사시도.
제3도는 부분측면도.
Claims (9)
- 투명 레이저창들이 레이저 챔버 몸체상에 구비된 가스레이저 장치에 있어서, 상기 레이저 챔버 몸체내의 가스를 순환시키기 위한 인입구와 배출구를 통해 상기 레이저 챔버 몸체에 연결된 순화 수단과, 상기 순환수단에 배치된 여과수단을 포함하는 것이 특징인 가스레이저 장치.
- 제1항에 있어서, 레이저 챔버 몸체내에는 동작가스가 봉입되어 있는 것이 특징인 가스레이저 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 레이저챔버 몸체의 양단부상에는 서브챔버가 구비되어 있고, 상기 레이저창들은 상기 서브챔버의 단부에 구비되어 있고, 상기 배출구는 상기 서브 챔버상에 구비되어 있는 것이 특징인 가스레이저 장치.
- 투명 레이저창들이 레이저 챔버 몸체상에 구비되어 그내에 가스가 봉입되어 있는 가스레이저 장치에 있어서, 상기 가스를 차단시키도록 상기 레이저 챔버 몸체와 상기 레이저창 사이에 구비된 차단수단을 포함하는 것이 특징인 가스레이저 장치.
- 레이저 챔버 몸체와 레이저창들이 연결블록에 의해 연결되며, 상기 연결블록과 상기 레이저창은 착탈 가능하게 장치되며, 상기 연결블록내에는 볼발브가 배치되고, 상기 볼발브는 유통로를 갖고 있는 구형몸체로서 상기 연결블록내의 유통로내에 회전가능하게 기밀하게 배치되며, 상기 구형몸체는 상기 유통로를 개방 및 차단시킬수 있도록 회전되는 것이 특징인 가스레이저 장치.
- 제5항에 있어서, 가스레이저 챔버 몸체내에는 동작가스가 봉입된 것이 특징인 가스레이저 장치.
- 내부에 통로를 형성하도록 일단부가 레이저 챔버 몸체측면상에 장치된 연결블록내에 구형몸체가 회전가능하게 기밀로 배치되며, 상기 구형 몸체내에 유통로를 형성되어 있고, 상기 유통로의 내면상에 유통샤프트에 대해 수직으로 돌출된 링형 돌출부가 구비되어 있고, 상기 링형돌출부의 양측면상에는 레이저 창들이 착탈 가능하게 구비되어 있고, 상기 구형몸체가 180도 회전되면 2레이저창들의 위치가 반전되는 것이 특징인 가스레이저 장치.
- 제5 또는 제6 또는 제7항중 어느 한항에 있어서, 상기 구형몸체의 회전각도 제어는 레이저 챔버로부터 레이저 비임의 차단 및 조사를 제어하는 것이 특징인 가스레이저 장치.
- 제5 또는 제6 또는 제7항중 어느 한항에 있어서, 상기 구형몸체의 외부에는 외부로 연장된 샤프트가 구비되어 있고, 상기 샤프트의 단부에는 구형몸체를 회전시키는 코크손잡이가 형성되어 있는 것이 특징인 가스레이저 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2-143447 | 1990-06-01 | ||
JP14344790A JPH0437179A (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 | 気体レーザ装置 |
JP19215690A JPH0478176A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | 気体レーザ装置 |
JP2-192156 | 1990-07-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR920001791A true KR920001791A (ko) | 1992-01-30 |
Family
ID=26475173
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019910008811A KR920001791A (ko) | 1990-06-01 | 1991-05-29 | 가스레이저 장치 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5197078A (ko) |
EP (1) | EP0459491A3 (ko) |
KR (1) | KR920001791A (ko) |
CA (1) | CA2043512A1 (ko) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2800593B2 (ja) * | 1992-10-28 | 1998-09-21 | 三菱電機株式会社 | レーザ発振器 |
US5359620A (en) * | 1992-11-12 | 1994-10-25 | Cymer Laser Technologies | Apparatus for, and method of, maintaining a clean window in a laser |
US5622682A (en) * | 1994-04-06 | 1997-04-22 | Atmi Ecosys Corporation | Method for concentration and recovery of halocarbons from effluent gas streams |
JP2003042967A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Hitachi Ltd | パターン欠陥検査装置 |
US6843830B2 (en) * | 2003-04-15 | 2005-01-18 | Advanced Technology Materials, Inc. | Abatement system targeting a by-pass effluent stream of a semiconductor process tool |
US6973112B2 (en) * | 2003-07-31 | 2005-12-06 | Visx, Incorporated | Passive gas flow management and filtration device for use in an excimer or transverse discharge laser |
US20050083984A1 (en) * | 2003-10-17 | 2005-04-21 | Igor Bragin | Laser system sealing |
US20080013589A1 (en) * | 2006-07-17 | 2008-01-17 | Cymer, Inc. | Window assembly for a gas discharge laser chamber |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2243538B1 (ko) * | 1973-09-06 | 1976-06-18 | Comp Generale Electricite | |
US3993965A (en) * | 1975-02-24 | 1976-11-23 | Coherent Radiation | Laser having improved windows |
FR2591816B1 (fr) * | 1985-12-16 | 1990-10-05 | Asulab Sa | Laser a gaz equipe de vannes a trois fonctions |
JPS639175A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-14 | Komatsu Ltd | 縦型エキシマレ−ザのレ−ザヘツド |
JPH07118556B2 (ja) * | 1987-08-10 | 1995-12-18 | 三菱電機株式会社 | エキシマレ−ザ装置 |
JPH021190A (ja) * | 1988-06-09 | 1990-01-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | エキシマ・レーザー装置 |
-
1991
- 1991-05-29 KR KR1019910008811A patent/KR920001791A/ko not_active Application Discontinuation
- 1991-05-29 CA CA002043512A patent/CA2043512A1/en not_active Abandoned
- 1991-05-31 EP EP19910108883 patent/EP0459491A3/en not_active Ceased
- 1991-05-31 US US07/708,498 patent/US5197078A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2043512A1 (en) | 1991-12-02 |
US5197078A (en) | 1993-03-23 |
EP0459491A3 (en) | 1992-01-08 |
EP0459491A2 (en) | 1991-12-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
AR247617A1 (es) | Valvula esferica con amplitud intrinseca mejorada | |
DE3778368D1 (de) | Ventileinheit. | |
ES1018600Y (es) | Valvula de agua para instalaciones sanitarias. | |
KR920001791A (ko) | 가스레이저 장치 | |
DE69811243D1 (de) | Fluidfilteranordnung mit einem ventil und einem fluidstandanzeiger und entsprechendes betriebsverfahren | |
FI892956A (fi) | Foerfarande och anordning foer effektivering av finfoerdelaningen av inhalerbar laekemedelspulver. | |
ATE9392T1 (de) | Daempfungsmethode fuer den ventildurchfluss eines mediums und ventil dafuer. | |
CA2078692A1 (en) | A ball valve | |
BR112021002324A2 (pt) | dispositivo para colocar um gás e um líquido em contato, método para colocar um gás em contato com um líquido e uso do dispositivo para colocar um gás e um líquido em contato | |
CA2115640A1 (en) | Rotary flow control valve | |
EE04505B1 (et) | Kuulventiil ja selle kasutamine aine voolu reguleerimiseks | |
SE8406414L (sv) | Riktningsventil | |
KR102319167B1 (ko) | 정화 모듈 및 이를 포함하는 헬멧 | |
ES2075375T3 (es) | Valvula de control. | |
DK23783D0 (da) | Flervejsventil, isaer til anvendelse i dialyseapparater | |
CA2198182A1 (en) | Rotary Control Valve for a Water Conditioning System | |
ES2054269T3 (es) | Valvula de control de fluido. | |
DE3876787D1 (de) | Erhitzer. | |
SE8503705L (sv) | Ventilanordning | |
ATE58580T1 (de) | Kugelhahn. | |
KR930000137Y1 (ko) | 세라믹 디스크(Ceramic Disk)를 이용한 보일러의 난방 및 온수용 쓰리웨이밸브(Three ways valve) | |
NZ511341A (en) | Dual isolation valve with rectangular flow passageways | |
ES2183117T3 (es) | Ensamblaje de valvula para sistemas de calefaccion y aparatos de calentamiento de agua y procedimiento para la fabricacion. | |
PT752365E (pt) | Dispositivo para a eliminacao de co2 de veiculos submersiveis | |
SU1736330A3 (ru) | Устройство дл принудительной вентил ции защитных костюмов |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |