KR910009026B1 - Magnetic head and manufacturing method - Google Patents

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KR910009026B1
KR910009026B1 KR1019880012201A KR880012201A KR910009026B1 KR 910009026 B1 KR910009026 B1 KR 910009026B1 KR 1019880012201 A KR1019880012201 A KR 1019880012201A KR 880012201 A KR880012201 A KR 880012201A KR 910009026 B1 KR910009026 B1 KR 910009026B1
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알프스 덴기 가부시기가이샤
가다오까 마사다까
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Abstract

내용 없음.No content.

Description

자기헤드 및 그 제조방법Magnetic Head and Manufacturing Method Thereof

제1도는 본 발명에 의한 자기헤드의 사시도.1 is a perspective view of a magnetic head according to the present invention.

제2도는 마찬가지로 최종 가공후의 단면도.2 is a cross-sectional view after final processing as well.

제3도 및 제4도는 본 발명의 단결정-다결정의 펠라이트 결합체의 제법을 설명하기 위한 도.3 and 4 are views for explaining the preparation of the monocrystalline-polycrystalline ferrite binder of the present invention.

제5a도 내지 (h)는 본 발명에 의한 자기헤드의 제법의 공정을 순차적으로 나타낸 것으로, (a) 내지 (g)는 사시도, (h)는 정면도.5a to (h) sequentially show a step of manufacturing the magnetic head according to the present invention, (a) to (g) is a perspective view, and (h) is a front view.

제6도 및 제7도는 본 발명의 효고를 나타낸 그래프.6 and 7 are graphs showing the effect of the present invention.

제8도는 종래의 자기헤드의 사시도이다.8 is a perspective view of a conventional magnetic head.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

11 : 하프코어(하프코어블럭) 11a : 맞댐면11: Half core (Half core block) 11a: Butt surface

11b : 단결정 펠라이트면 11c : 다결정 펠라이트11b: single crystal ferrite surface 11c: polycrystalline ferrite

12 : 자기갭 13 : 박막부착홈12: magnetic gap 13: thin film attachment groove

14 : 금속자성막 d : 다결정 펠라이트층의 두께14: magnetic metal film d: thickness of the polycrystalline ferrite layer

본 발명은 펠라이트로 이루어진 한쌍의 하프코어의 맞댐면에 이 맞댐면에 대하여 경사진 박막부착홈을 형성하고, 이 박막부착홈에 부착시킨 금속자성막의 접합면을 자기갭으로 하는 형식의 자기헤드에 관한 것이다.The present invention forms a thin film attachment groove inclined with respect to the abutment surface of a pair of half-core abutments made of ferrite, and uses a magnetic gap in which the junction surface of the metal magnetic film attached to the thin film attachment groove is a magnetic gap. It's about the head.

금속자성막 자기갭이 경사져 있는 형식의 자기헤드코어로서, 종래에는 제8도에 나타낸 것이 제안되고 있다. 즉 단결정 펠라이트로 이루어진 한쌍의 하프코어(11)의 맞댐면에는 각각 형성해야할 자기갭(12)에 대하여 경사진 박막부착홈(13)이 상하관계로 역으로 하여 형성되어 있고, 이 박막부착홈(13)에 스퍼터링, 증착등의 박막형성 수단에 의하여 센더스트등의 금속자성막(14)이 부착되어 있다. 다시 하프코어(11)의 맞댐면에서 그 코어(11)의 양측에는 트랙폭규제홈(15)이 자기갭(12)의 중앙에 대하여 점대칭관계로 형성되어 있다. 이 트랙폭규제홈(15)은 박막부착홈(13)의 맞댐면 가까이의 일단을 절결하도록 배치되어 있다. 자기갭(12)은 박막부착홈(13)에 부착형성된 금속자성막(14)의 단면(端面)간의 공극에 형성되어 있다. 그리고 대략 V자 형상을 이루는 금속자성막(14)의 공간과 트랙폭규제홈(15)의 공간에는 유리등의 비자성 산화물접합재료(이하 간단히 유리라함)(16)이 충전되어 한쌍의 하프코어(11)가 접합고착되어 있다. 또한 한쪽의 하프코어(11)에는 코일 권선구멍(17)이 형성되어 있다. 여기서 하프코어(11)로서 단결정 펠라이트를 사용하는 이유는 단결정 펠라이트는 기계적 특성이 우수하여 내마모성을 가지고 있기 때문에 단결정 펠라이트를 사용한 자기헤드코어는 트랙가공을 고정밀도로 형성할 수 있고 장시간의 사용에도 충분히 견딜 수 있기 때문이다.As the magnetic head core of the type in which the magnetic gap of the metal magnetic film is inclined, the one shown in FIG. 8 is conventionally proposed. That is, the thin film attachment groove 13 inclined with respect to the magnetic gap 12 which should be formed, respectively, is formed in the up-down relationship in the abutment surface of a pair of half core 11 which consists of single crystal ferrite, and this thin film adhesion groove is A magnetic metal film 14, such as sender, is attached to 13 by thin film forming means such as sputtering and vapor deposition. The track width restricting grooves 15 are formed on both sides of the core 11 at the abutting surface of the half core 11 in a point symmetrical relationship with respect to the center of the magnetic gap 12. The track width restricting groove 15 is arranged to cut one end near the mating surface of the thin film attachment groove 13. The magnetic gap 12 is formed in the gap between the end faces of the metal magnetic film 14 attached to the thin film attachment groove 13. The nonmagnetic oxide bonding material (hereinafter simply referred to as glass) 16, such as glass, is filled in the space of the metal magnetic film 14 having a substantially V-shape and the space of the track width restricting groove 15 to thereby provide a pair of half cores. (11) is bonded and fixed. The coil winding hole 17 is formed in one half core 11. The reason for using the single crystal ferrite as the half core 11 is that since the single crystal ferrite has excellent mechanical properties and wear resistance, the magnetic head core using the single crystal ferrite can form track processing with high precision and use for a long time. Because can withstand enough.

그러나, 단결정 펠라이트로 코어를 형성한 펠라이트자기헤드는 단결정 펠라이트 특유의 잡음을 발생한다. 따라서 최근의 고품위 비디오 레코더용의 영상용의 자기헤드로서는 S/N비(신호잡음비)가 낮은 것이 문제가 되고 있다. 이 잡음발생의 원인은 자성체가 단결정재료로 이루어진 경우에는 자화에 있어서의 자구(磁區)고정요소가 극히 적고 자벽(磁壁) 이동이 용이하게 발생되어 버리는 결과라고 말해지고 있다.However, the ferrite magnetic head in which the core is formed of single crystal ferrite generates noise peculiar to the single crystal ferrite. Therefore, as a magnetic head for video for a high quality video recorder in recent years, low S / N ratio (signal noise ratio) has become a problem. The cause of this noise is said to be that when the magnetic body is made of a single crystal material, there are very few magnetic domain fixing elements in the magnetization, and the movement of the magnetic wall is easily generated.

한편, 다결정 펠라이트 코어로 사용한 것은 자성체가 다결정 재료이기 때문에 결정 입계(粒界)를 가지고 있고, 이것이 자구를 고정하는 요소로서 작용하기 때문에 단결정 펠라이트의 경우와 같은 잡음발생이 없고, 고 S/N 비가 요구되는 장치에도 충분히 사용가능한 자기헤드를 형성할 수 있다. 그러나 상기 다결정 펠라이트를 코어로 한 것은 가령 그것이 고온프레스재료 및 열간 정수압(靜水壓)프레스재료와 같은 치밀한 조직을 가지는 것이더라도, 접촉형 자기헤드로서 사용했을 경우에 기록매체에 접촉하는 면에 있어서 결정입계로 부터 일부가 탈락되어 비교적 단시간에 사용불능이 되어 버린다. 또 갭근방에 있어서의 결정축이 랜덤이기 때문에 출력특성이 얻어지지 않는다는 등의 결점을 가지고 있다.On the other hand, the polycrystalline ferrite core used has a crystal grain boundary because the magnetic material is a polycrystalline material, and since it acts as an element for fixing the magnetic domain, there is no noise generation as in the case of the single crystal ferrite, and the high S / It is possible to form a magnetic head which can be used sufficiently even in a device where the N ratio is required. However, the polycrystalline ferrite as a core may have a dense structure such as a high-temperature press material and a hot hydrostatic press material, even if it is used as a contact type magnetic head. As a result, part of the grain boundary is dropped and becomes unusable in a relatively short time. In addition, there is a drawback that the output characteristics cannot be obtained because the crystal axes near the gap are random.

본 발명은 이와 같은 문제를 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 코어의 자기 매체가 접촉하는 단측에 있는 부분은 단결정 펠라이트, 기타의 부분을 다결정 펠라이트로 구성하여 고 S/N 비를 가지는 자기헤드를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and the portion on the side where the magnetic medium of the core contacts is composed of single crystal ferrite and other portions of polycrystalline ferrite to provide a magnetic head having a high S / N ratio. It aims to do it.

본 발명에 의한 자기헤드는 한쌍의 하프코어의 맞댐면에 금속자성막을 설치한 자기헤드에 있어서 상기 하프코어의 자기매체가 접촉하는 면측의 부분을 단결정 펠라이트, 기타의 부분을 다결정 펠라이트로 구성하고, 상기 단결정 펠라이트의 두께를 60㎛ 이하로 설정한 것이다. 단결정의 두께를 60㎛ 이하로 한정한 것은 두께가 이 이상이 되면 노이즈의 발생량이 증가하여 충분한 S/N 비를 얻는것이 곤란해지기 때문이다.In the magnetic head according to the present invention, in the magnetic head in which a metal magnetic film is provided on a mating surface of a pair of half cores, the portion on the side where the magnetic medium of the half core contacts is composed of single crystal ferrite, and the other portion is made of polycrystalline ferrite. And the thickness of the said single crystal ferrite is set to 60 micrometers or less. The thickness of the single crystal is limited to 60 µm or less because when the thickness becomes more than this, the amount of noise generated increases, making it difficult to obtain a sufficient S / N ratio.

본 발명에 의하면 코어의 자기매체와 접촉하는 면의 극히 얇은 층이 다결정 펠라이트로 이루어지기 때문에 이 층의 존재에 의한 노이즈의 발생에의 영향이 대단히 작고, 기타의 부분이 다결정 펠라이트로 이루어지기 때문에 전부가 단결정으로 이루어진 경우에 비하여 S/N비가 대폭적으로 양호해진다. 한편, 이 충에 있어서는 입계에 있어서의 박리가 없고 내마모성도 높으므로 내용(耐用) 기간에 연장됨과 동시에 기계적 가공에 대해서도 강하기 때문에 트랙가공의 정밀도로 높게할 수 있다.According to the present invention, since the extremely thin layer of the surface in contact with the magnetic medium of the core is made of polycrystalline ferrite, the influence on the generation of noise due to the presence of this layer is very small, and the other part is made of polycrystalline ferrite. Therefore, the S / N ratio is considerably better than when the whole is made of single crystal. On the other hand, in this case, since there is no peeling at the grain boundary and the wear resistance is high, it is prolonged in the service period and strong against mechanical processing. Therefore, the precision of track processing can be increased.

이와 같은 자기헤드의 제조방법으로서는 단결정 펠라이트와 다결정 펠라이트를 접촉시키고, 가열에 의한 고상(固相) 반응에 의하여 단결정 펠라이트를 다결정측에 결정성장시켜 단결정과 다결정의 두께의 영역을 가지는 하프코어블럭을 형성하는 방법이 적합하다. 이 경우 가열온도와 반응시간을 조정하므로서, 단결정측의 두께를 60㎛ 이하로 제어할 수가 있다.As a method of manufacturing such a magnetic head, a half having a region having a thickness of a single crystal and a polycrystal is brought into contact with a single crystal ferrite and a polycrystalline ferrite, and the single crystal ferrite is grown on the polycrystal side by solid phase reaction by heating. A method of forming the core block is suitable. In this case, by adjusting heating temperature and reaction time, the thickness of the single crystal side can be controlled to 60 µm or less.

이하, 본 발명에 의한 자기헤드의 일실시예를 제1도 내지 제7도에 의거하여 설명한다. 제1도 및 제2도는 본 발명의 일실시예를 나타낸 도이고, 제1도는 자기매체에의 접촉면을 가공하기 전의 자기헤드, 제2도는 가공후의 자기헤드의 단면을 나타내고 있다. 또한 자기헤드자체의 기본적 형상은 상기한 종래예와 동일하므로 설명을 생략한다. 이 실시예에서는 단결정 펠라이트층(11b)과 다결정 펠라이트(11c)로 이루어진 하프코어(11)이 맞댐면(11a)(제5a도 참조)에 형성한 트랙폭규제홈(15)과, 이 트랙폭규제홈(15)에 충전한 유리(16)의 사이에 활성화금속 혹은 금속산화물의 단층막 또는 활성화금속과 금속산화물의 적층막으로 이루어지는 침식(侵食)방지막(20)을 개재시키고 있다. 이것은 유리(16)에 의한 금속자성막(14)의 침식을 방지하는 것이다. 또 침식방지막(20)을 활성화금속 금속산화물의 복합체로 구성에도 좋다. 이 경우 활성화금속으로서는 Cr, Ti, Zr, Hf 등이 바람직하고, 금속산화물로서는 SiO2, Ta2O5등이 바람직하다. 박막부착홈(13)에 부착형성되어 있는 금속자성막(14)의 V자 형상 공간에도 유리(16)가 충전되나, 침식방지막(20)은 이 금속자성막(14)과 유리(16)와의 사이에도 개재되어 있다.Hereinafter, an embodiment of the magnetic head according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7. 1 and 2 show an embodiment of the present invention. FIG. 1 shows a magnetic head before processing a contact surface to a magnetic medium, and FIG. 2 shows a cross section of the magnetic head after processing. In addition, since the basic shape of a magnetic head itself is the same as that of the prior art example, it abbreviate | omits description. In this embodiment, the track width regulating groove 15 formed by the half core 11 formed of the single crystal ferrite layer 11b and the polycrystalline ferrite 11c on the mating surface 11a (see FIG. 5a), and An erosion prevention film 20 made of a single layer film of an activated metal or a metal oxide or a laminated film of an active metal and a metal oxide is interposed between the glass 16 filled in the track width restricting groove 15. This prevents the erosion of the magnetic metal film 14 by the glass 16. The erosion prevention film 20 may be composed of a composite of an activated metal metal oxide. In this case, as active metal, and the like Cr, Ti, Zr, Hf preferred, as the metal oxides are preferred, such as SiO 2, Ta 2 O 5. The glass 16 is filled in the V-shaped space of the magnetic metal film 14 attached to the thin film attachment groove 13, but the erosion prevention film 20 is formed of the magnetic magnetic film 14 and the glass 16. It is interposed in between.

다음에 본 발명에 의한 자기헤드의 제조방법에 대하여 설명한다.Next, a method of manufacturing the magnetic head according to the present invention will be described.

제3도, 제4도는 본 발명에서 사용되는 단결정-다결정의 펠라이트 결합체의 제조방법을 나타낸 것으로, 1은 종자로 사용하는 Mn-Zn계의 단결정 펠라이트판, 2는 동일조성을 가지는 단결정화하고저 하는 다결정 펠라이트블럭, 3은 단결정 펠라이트판(1)과 다결정 펠라이트블럭(2)과의 접합계면이다. 상기 양펠라이트(1,2)의 접합면은 SiC저립(砥粒)(2000메시, 4000메시)으로 랩핑하고, 그후 입경 3㎛의 다이어먼드로 경면(鏡面)연마한다. 청정(淸淨)하게한 양쪽의 접합면에 희(희박)초산을 도포한후, 서로를 맞붙여 접합체로 하고, 이것을 형재(型材)중에 넣어 질소 가스를 흐르게 한 분위기중에서 접합면에 수직인 방향으로 가압하여 고온프레스한다(온도 1250℃, 압력 30kg/㎠, 처리시간 30분). 고온프레스후, 접합체를 열간정수압 프레스(HIP)법에 의하여 온도 1320℃에서 1000kg/㎠의 압력을 3시간 가하여 가압열처리한다. 그결과 상기 접합 계면(3)이 상호의 고상반응을 유기(誘起)하여 다결정 펠라이트(2)측에 단결정이 육성되어 단결정화영역(4)이 형성된다. 이것을 소정의 블럭으로 절단하여 하프코어 블럭으로 형성한다.3 and 4 show a method for producing a single crystal-polycrystalline ferrite conjugate used in the present invention, 1 is a Mn-Zn-based single crystal ferrite plate used as a seed, and 2 is a single crystal having the same composition. The lower polycrystalline ferrite block, 3 is the interface between the single crystal ferrite plate 1 and the polycrystalline ferrite block 2. The joining surfaces of the two fellites 1 and 2 are wrapped with SiC abrasive grains (2000 mesh, 4000 mesh), and then mirror polished with a diamond having a particle diameter of 3 µm. After applying lean acetic acid to both clean surfaces of the joint, they are bonded to each other to form a bonded body, which is placed in a shape and perpendicular to the joint surface in an atmosphere in which nitrogen gas flows. Pressurize to a high temperature (temperature 1250 ° C., pressure 30 kg / cm 2, treatment time 30 minutes). After the high temperature press, the bonded body was subjected to pressurized heat treatment by applying a pressure of 1000 kg / cm 2 at a temperature of 1320 ° C. for 3 hours by a hot hydrostatic press (HIP) method. As a result, the bonding interface 3 induces a solid phase reaction with each other, and single crystals are grown on the polycrystalline ferrite 2 side to form a single crystallization region 4. This is cut into predetermined blocks to form a half core block.

상기 공정에 있어서 고상(固相)반응에 의하여 형성되는 단결정층의 두께는 열간정수압 프레스법에 있어서의 온도와 처리시간을 조정하여 제어하므로서 이루어진다.In the above process, the thickness of the single crystal layer formed by the solid phase reaction is controlled by adjusting the temperature and the treatment time in the hot hydrostatic press method.

다음에 상기 하프코어블럭을 사용한 자기헤드의 제조공정을 제5도에 따라 설명한다. 또한, 하프코어블럭(11)의 가공에 있어서는 단결정 펠라이트(11b)가 미리 자기매체와의 접촉면측에 위치하도록 한다. 제1공정에서, 하프코어블럭(11)의 맞댐면(11a)에 쐐기형상의 박막부착홈(13)이 형성된다(제5a도). 제2공정에서 이 박막부착홈(13)에, 센더스트등으로 이루어진 금속자성막(14)이 스퍼터링등에 의하여 부착형성된다(제5b도). 제3공정에서 금속자성막(14)이 랩연마되어 박막부착홈(13)내의 금속자성막(14)만이 남겨진다(제5c도). 제4공정에서, 금속자성막(14)이 부착된 박막부착홈(13)에 인접하고, 이 박막부착홈(13)의 일부를 절결하도록 트랙폭규제홈(15)이 가공형성된다(제5d도).Next, a manufacturing process of the magnetic head using the half core block will be described with reference to FIG. In the processing of the half-core block 11, the single crystal ferrite 11b is positioned in advance on the contact surface side with the magnetic medium. In the first step, a wedge-shaped thin film attachment groove 13 is formed in the mating surface 11a of the half core block 11 (Fig. 5A). In the second step, the magnetic metal film 14 made of sender or the like is attached to the thin film attachment groove 13 by sputtering or the like (FIG. 5B). In the third process, the magnetic metal film 14 is lap polished so that only the magnetic metal film 14 in the thin film attachment groove 13 is left (Fig. 5C). In the fourth step, the track width restricting groove 15 is formed to be adjacent to the thin film attachment groove 13 to which the magnetic metal film 14 is attached, and to cut a part of the thin film attachment groove 13 (5d). Degree).

다음의 제5공정에서 침식방지막(20)이 금속자성막(14)과 트랙폭규제홈(15)에 스퍼터링등의 박막부착수단에 의하여 형성된다(제5e도). 이 침식방지막(20)은 Cr, Ti, Zn, Hf등의 활성화금속 혹은 SiO2, Ta2O5등의 금속산화물의 어느 하나를 막두께 0.4~2㎛로 단층으로 형성해도 좋으나, 상기 활성화금속과 금속산화물을 적층으로 형성할 수도 있다. 적층형성의 경우에는 예를들면 먼저 Cr를 막두께 0.4~2㎛로 스퍼터링하고, 다시 그 위로부터 SiO2를 막두께 0.4~1㎛로 스퍼터링하여 형성한다. 또 침식방지막(20)은 상기한 활성화금속막과 금속산화물의 복합체에 의하여 형성할 수도 있다. 이 경우는 예를들면 Cr와 SiO2의 복합체 소결 타아게트를 스퍼터링 하여 형성한다. 이와 같은 침식방지막(20)는 다음의 공정인 유리(16)의 용융청정시에 하프코어블럭(11)의 재료인 펠라이트등 혹은 금속자성막(14)의 재료인 센더스트등의 유리(16)에 의하여 침식되는 것을 방지하게 된다. 제5공정에서 침식방지막(20)의 형성이 완료된 후, 제6공정에서는 이 침식방지막(20)위에 유리(16)가 용융충전된다. 이로서 유리(16)는 침식방지막(20)을 거쳐 금속자성막(14)과 침식방지막(20)의 공간에 충전된다(제5f도). 그리고, 제7공정에서 유리(16)는 금속자성막(14)의 접합면(14a)이 소정량 노출될때까지 저석(砥石)에 의하여 랩(lap)연마되어 자기갭(12)의 갭폭이 결정된다(제5g도). 제8공정에서 접합면(14a)의 연마가 종료된 한쌍의 하프코어블럭(11)이 자기갭(12)이 되어야할 접합면(14a)을 위치결정하여 맞대어지고, 양하프코어블럭(11)이 접합되어 접합코어블럭이 된다(제5h도). 이접합코오블록을 절단선(A-B)에 따라 소정폭으로 절단하여 제1도에 나타낸 자기헤드 소재로 하고 이것의 자기매체 접촉면을 원호면으로 가공하여 제2도에 나타낸 바와 같은 자기헤드를 얻는다.In the following fifth step, the erosion prevention film 20 is formed in the magnetic metal film 14 and the track width restricting groove 15 by means of thin film attachment means such as sputtering (FIG. 5E). The erosion prevention film 20 may be formed of a single layer of any one of activated metals such as Cr, Ti, Zn, and Hf or metal oxides such as SiO 2 and Ta 2 O 5 with a film thickness of 0.4 to 2 μm. And a metal oxide may be formed by lamination. In the case of lamination, for example, Cr is sputtered first at a film thickness of 0.4 to 2 탆, and then SiO 2 is sputtered at a film thickness of 0.4 to 1 탆 from above. In addition, the erosion prevention film 20 may be formed by the composite of the activated metal film and the metal oxide. In this case, for example, it is formed by sputtering a composite sintered target of Cr and SiO 2 . The erosion prevention film 20 as described above is made of glass 16 such as ferrite or the like, which is the material of the half-core block 11, or sender, which is the material of the magnetic metal film 14, during the fusion cleaning of the glass 16, which is the next step. ) To prevent erosion. After the formation of the erosion prevention film 20 is completed in the fifth step, the glass 16 is melt-filled on the erosion prevention film 20 in the sixth step. Thus, the glass 16 is filled in the space between the magnetic metal film 14 and the erosion prevention film 20 via the erosion prevention film 20 (FIG. 5f). In the seventh step, the glass 16 is lap-polished by low stone until the bonding surface 14a of the magnetic metal film 14 is exposed to a predetermined amount, thereby determining the gap width of the magnetic gap 12. (Figure 5g). In the eighth step, the pair of half-core blocks 11 whose polishing of the bonding surface 14a is finished are positioned to face each other by positioning the bonding surface 14a to be the magnetic gap 12, and the two half-core blocks 11 The joints are joined to form a bonded core block (Fig. 5h). The heterojunction co-block is cut to a predetermined width along the cutting line AB to form a magnetic head material shown in FIG. 1, and its magnetic medium contact surface is processed into an arc surface to obtain a magnetic head as shown in FIG.

이하, 이 발명의 효과를 더욱 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the effect of this invention is demonstrated more concretely.

제6도는 본 발명에 있어서의 자기헤드의 단결정 펠라이트층(11b)의 두께(제2도에 d로 표시함)을 변화시켰을 경우의 섭동노이즈의 측정치를 나타낸 것으로, 이 d의 값과 섭동노이즈의 양이 거의 비례관계에 있음을 알 수 있다. 이 경우 d의 값이 작을수록 섭동노이즈는 작아지나, 이 자기헤드를 상기한 바와 같은 고품위 비디오 테이프 레코더에 사용하기 위해서는 섭동노이즈가 7dB 이하인 것이 바람직하고, 이를 위해서는 60㎛ 이하로 하는 것이 필요하다.FIG. 6 shows measured values of perturbation noise when the thickness (denoted by d in FIG. 2) of the single crystal ferrite layer 11b of the magnetic head in the present invention is changed. It can be seen that the amount of is almost proportional. In this case, the smaller the value of d, the smaller the perturbation noise. However, in order to use this magnetic head in a high-quality video tape recorder as described above, the perturbation noise is preferably 7 dB or less, and for this purpose, it is required to be 60 m or less.

제7도는 상기와 동일하게 d를 변화시킨 경우에 있어서, 이 자기헤드를 사용하여 일정한 조건에서 신호를 자기테이프에 입력하고, 재생했을때의 출력을 측정한 결과를 나타낸 것으로, d의 증가와 함께 출력이 증가하는 경향을 볼 수 있다. 이것은 상기한 바와 같이 갭근방에 있어서 다결정중의 결정축의 분산의 영향이 단결정 펠라이트의 존재에 의하여 경감되기 때문이다. d를 감소시키므로서 열화의 정도는 상기한 섭동노이즈의 저하량에 비교하여 작고 개선의 효과쪽이 크다는 것을 알 수 있다.FIG. 7 shows the result of measuring the output when the signal is input to the magnetic tape using a magnetic head and is reproduced under the same conditions in the case where d is changed as described above. You can see the output tends to increase. This is because, as described above, the influence of the dispersion of the crystal axes in the polycrystal near the gap is reduced by the presence of the single crystal ferrite. It can be seen that the degree of deterioration is small compared to the above-mentioned amount of perturbation noise and the effect of improvement is large by reducing d.

이상 설명한 바와 같이 본 발명의 자기헤드는 하프코어의 자기매체와 접촉하는 면측의 부분을 단결정 펠라이트, 기타의 부분을 다결정 펠라이트로 구성하고, 단결정 펠라이트층의 두께를 60㎛ 이하로 하였기 때문에 자기매체와의 접촉면의 기계적 특성의 항쟁과, 양호한 자기특성의 양쪽을 동시에 얻을 수가 있다. 즉 단결정층이 얇기 때문에 그 결정인 섭동노이즈의 발생이 억제되어 고품위 비디오 테이프 레코더등에 사용해도 충분할 정도의 S/N비를 유지할 수 있어, 선명한 화상이 얻어진다. 또 단결정층의 이점이 높은 내마모성에 의하여 자기헤드의 수명을 연장시킴과 동시에 트랙가공의 정밀도를 향상시켜 치수의 불균일이 없는 자기헤드가 제공되고, 또 다결정의 자기헤드에 비교하여 높은 출력특성을 얻을 수가 있다.As described above, in the magnetic head of the present invention, since the portion of the surface side in contact with the magnetic medium of the half core is composed of single crystal ferrite and other portions of polycrystalline ferrite, the thickness of the single crystal ferrite layer is 60 占 퐉 or less. Both the mechanical properties of the contact surface with the magnetic medium and the good magnetic properties can be obtained at the same time. That is, since the single crystal layer is thin, the generation of perturbation noise as the crystal can be suppressed, and the S / N ratio can be maintained enough to be used for a high quality video tape recorder or the like, thereby obtaining a clear image. In addition, due to the high wear resistance of the single crystal layer, it is possible to extend the life of the magnetic head and to improve the accuracy of track processing, thereby providing a magnetic head without dimension irregularities, and to obtain high output characteristics compared to the polycrystalline magnetic head. There is a number.

또한, 하프코어의 단결정과 다결정의 두개의 영역은 고상반응에 의한 단결정육성법에 의하여 제조하고 있기 때문에 본원과 같이 두개의 영역을 사용하는 코어의 작성에는 가장 적합하고, 또 제조도 간단하여 상기 영역의 제어도 용이하다. 또 두개의 영역의 경계면에 있어서의 자기저항의 증대도 없다는 등의 현저한 효과를 나타낸다.In addition, since the half-core single crystal and polycrystal two regions are manufactured by the single crystal growth method by solid phase reaction, it is most suitable for preparing a core using two regions as in the present application. Easy to control It also has a remarkable effect such as no increase in the magnetoresistance at the interface between the two regions.

Claims (2)

펠라이트로 이루어진 한쌍의 하프코어의 맞댐면에 금속자성막을 형성하고, 그 금속자성막을 맞대어 자기갭으로 한 자기헤드에 있어서, 상기 하프코어의 자기매체가 접촉하는 면측의 부분을 두께 60㎛ 이하의 단결정 펠라이트층, 기타의 부분을 다결정 펠라이트로 구성한 것을 특징으로 하는 자기헤드.In a magnetic head in which a metal magnetic film is formed on a mating surface of a pair of ferrite half cores, and the metal magnetic film is opposed to the magnetic gap, a portion on the surface side where the magnetic medium of the half core is in contact with each other has a thickness of 60 μm or less. A magnetic head comprising a single crystal ferrite layer and other portions made of polycrystalline ferrite. 단결정 펠라이트와 다결정 펠라이트를 접촉시키고, 가열에 의한 고상반응에 의하여 단결정 펠라이트를 다결정측에 결정성장시켜 단결정과 다결정의 두개의 영역을 가지는 한쌍의 하프코어블럭을 형성하고, 그 한쌍의 하프코어블럭의 맞댐면에 금속자성막을 부착시킨 다음에 상기 단결정영역을 자기매체의 접촉면측이 되도록 트랙폭규제홈을 형성하고, 다음에 상기 트랙폭규제홈내에 유리를 용융충전하고, 그 다음 상기 맞댐면을 연마하여 자기갭이 되는 금속자성막의 단면을 노출시킨 다음에, 금속자성막의 단면을 맞대어 하프코어블럭을 접합하고, 그 다음에 이 접합코어블럭을 소정폭으로 절단하는 것을 특징으로 하는 자기헤드의 제조방법.The single crystal ferrite and the polycrystalline ferrite are brought into contact with each other, and the single crystal ferrite is grown on the polycrystalline side by solid phase reaction by heating to form a pair of half core blocks having two regions of single crystal and polycrystal, and the pair of half After attaching the magnetic metal film to the abutment surface of the core block, a track width regulation groove is formed so that the single crystal region is the contact surface side of the magnetic medium. Then, the glass is melt-filled in the track width regulation groove, and then the abutment is performed. The surface is polished to expose the end face of the metal magnetic film that becomes the magnetic gap, and then the half core blocks are joined to the end faces of the metal magnetic film, and then the joint core blocks are cut to a predetermined width. Method of manufacturing a magnetic head.
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