KR910008741Y1 - Cleansing apparatus - Google Patents
Cleansing apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- KR910008741Y1 KR910008741Y1 KR2019890004207U KR890004207U KR910008741Y1 KR 910008741 Y1 KR910008741 Y1 KR 910008741Y1 KR 2019890004207 U KR2019890004207 U KR 2019890004207U KR 890004207 U KR890004207 U KR 890004207U KR 910008741 Y1 KR910008741 Y1 KR 910008741Y1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- compressed air
- container case
- bubble generator
- washing
- solution
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
- B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
내용 없음.No content.
Description
제1도는 본 고안의 초음파 진동세척장치의 평면도.1 is a plan view of the ultrasonic vibration cleaning device of the present invention.
제2도는 제1도의 A-A선을 따라 절취한 상태의 단면도.2 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
1 : 용기케이스 2 : 압축공기 유입구1: container case 2: compressed air inlet
3 : 압축공기 배관파이프 4 : 압축공기 배기구멍3: compressed air piping pipe 4: compressed air exhaust hole
5 : 망사틀 6 : 세척용액 배출구5: nettle 6: washing solution outlet
7 : 세척용액7: washing solution
본 고안은 초음파 진동세척장치에 관한 것으로, 특히 반도체 제조공정시 사용된 각종 기구들에 묻어 있는 불순물을 압축공기를 이용한 세척용액의 진동을 이용하여 제거할 수 있도록 구성한 초음파 진동세척장치에 관한 것이다.The present invention relates to an ultrasonic vibration washing apparatus, and more particularly, to an ultrasonic vibration washing apparatus configured to remove impurities buried in various apparatuses used in a semiconductor manufacturing process using vibration of a cleaning solution using compressed air.
일반적으로 반도체제조공정을 살펴보면, 웨이퍼(Wafer), 웨이퍼절단(Sawing), 칩본딩(Die Attach), 오븐 큐어링(Oven Curing), 및 와이어본딩(Wire Bonding), 칩코팅(Chip Coating), 몰딩(Molding), 마킹(Marking)등의 공정을 거치게 된다.In general, semiconductor manufacturing processes include wafer, wafer cutting, chip bonding, oven curing, and wire bonding, chip coating, and molding. (Molding, Marking, etc.)
상기 공정중에는 여러가지 기구들이 이용되는데, 이 기구들은 세척작업을 통하여 재사용이 가능하도록 유지된다.Various instruments are used during the process, which are retained for reuse through cleaning operations.
즉, 칩본딩 공정에서 사용되어져 에폭시 접착재료가 묻어있는 에폭시컵(Epoxy Cup) 및 에폭시 픽업툴(Epoxy Pick-up Tool), 와이어 본딩공정시 사용하여 금선찌꺼기, 알루미늄찌꺼기 등이 끼어 있는 캐필러리(Capillary), 및 마킹공정시 사용하여 마킹잉크(Marking Ink)가 묻어있는 마킹툴(Marking Tool)등은 세척작업을 통하여 재사용이 가능하도록 하는 것이다.In other words, it is used in chip bonding process, epoxy cup and epoxy pick-up tool with epoxy adhesive material, and used for wire bonding process. (Capillary), and the Marking Tool (Marking Ink) that is used in the marking process (Marking Ink) is to be reused through the cleaning process.
종래에는 상기 에폭시 접착제, 마킹잉크, 금선 및 알루미늄찌꺼기 등이 묻어 있는 각 기구를 세척하기 위하여, 작업자가 면봉에 해당 세척용액(엠-파이롤용액, 알코올용액, 왕수용액)등을 묻혀 각각 수작업으로 세척하는 방법을 사용하였는데, 이는 장시간의 작업시간이 소요될 뿐만 아니라 세척용액의 유해성으로 작업자의 안전 문제도 고려되었으며, 세척 상태가 고르지 못한 점등으로 기구들의 재사용시 제품의 품질에 영향을 끼치는 등의 문제가 있었다.Conventionally, in order to wash each apparatus with the epoxy adhesive, marking ink, gold wire and aluminum residues, the worker washes a cotton swab with a corresponding cleaning solution (M-pyrrole solution, alcohol solution, aqua regia solution) and the like by hand. The cleaning method was used, which not only takes a long time, but also considered the safety problem of the worker due to the harmfulness of the cleaning solution, and the problem that the quality of the product was affected when the equipment was reused due to uneven lighting. There was.
이에 본 고안은 수작업시 수반되는 상술한 문제점들을 해소하여, 세척작업시간의 단축 및 고른 세척효과를 얻을 수 있도록 구성한 초음파 진동세척장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above-mentioned problems associated with manual work, to provide an ultrasonic vibration cleaning device configured to shorten the washing time and to obtain an even cleaning effect.
이하, 본 고안의 구성을 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명하면 제1도는 본 고안의 평면도로서, 본 고안을 이루는 용기케이스(1), 압축공기 배관파이프(3) 및 망사틀(5)의 구성을 나타낸다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the configuration of the present invention in detail FIG. 1 is a plan view of the present invention, the configuration of the container case (1), compressed air piping pipe (3) and the mesh frame (5) constituting the present invention Indicates.
상부면이 개방된 용기케이스(1)내부 저면에는 압축공기 유입구(2)와 연결된 압축공기 배관파이프(3)가 위치한다. 당해 압축공기 배관파이프(3)는 그 단면이 원형으로서, 용기케이스(1)내의 한정된 공간에 길게 형성하기 위하여 용기케이스(1)측면 벽쪽의 파이프를 라운딩 처리하여, 평면상에 U자형의 다수열을 이룬 상태로 구성한다. 또한 압축공기 배관파이프(3)상측에는 다수의 압축공기 배기구멍(4)을 구성하며, 배관파이프(3) 상부에는 저면이 망사로 이루어진(도면상에는 도시하지 않음)망사틀(5)을 설치한다.The compressed air piping pipe 3 connected to the compressed air inlet 2 is located at the inner bottom of the container case 1 having the upper surface open. The compressed air piping pipe 3 has a circular cross section, and rounds the pipe on the side wall of the container case 1 to form a long space in a limited space in the container case 1. Configure in a state of being made. In addition, a plurality of compressed air exhaust holes 4 are formed above the compressed air piping pipe 3, and a mesh frame 5 having a bottom surface of a mesh (not shown in the drawing) is provided on the upper portion of the piping pipe 3. .
이를 도면 제2도를 통하여 구체적으로 설명하면, 제2도는 제1도의 A-A선을 따라 절취한 상태의 단면도로서, 세척장치내에는 세척용액이 채워지며 다수의 원형으로 도시된 압축공기배관파이프(3) 상부에 망사틀이 위치한 것을 도시하고 있으며 일측단에는 외부로부터의 압축공기를 유입시켜 배관파이프(3)에 전달하는 압축공기 유입구(2)가 설치되어 있다. 상기 망사틀(5)내에는 세척하고자 하는 기구가 수용되는데 저면이 망사로 되어있어 이 틈을 통하여 세척용액이 망사틀 내부로 스며들게 구성된다.Specifically, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 1, and a washing solution is filled in the washing apparatus and the compressed air piping pipe 3 is shown in a plurality of circles. It is shown that the mesh frame is located in the upper part and the compressed air inlet (2) is provided at one side end to pass the compressed air from the outside to the pipe pipe (3). In the mesh frame (5) is housed utensils to be washed, the bottom is made of mesh is configured to soak the cleaning solution into the mesh through this gap.
한편 용기케이스(1) 상부 테두리는 내측으로 하향 굴곡시켜 형성하는데 이는 본 고안을 작동시킬 경우 유동하는 세척용액의 외부 이탈을 방지하기 위함이다. 일측 하부에는 세척용액 배출구(6)를 형성하여 작업을 종료한 후, 세척용액을 원활히 배출할 수 있도록 구성한다.On the other hand, the upper edge of the container case (1) is formed by bending downward to the inner side in order to prevent the external separation of the flowing washing solution when operating the present invention. After forming the washing solution outlet (6) on the lower side of one end, and configured to smoothly discharge the washing solution.
이상과 같은 본 고안의 기능을 설명하면, 전술한 바와같이 각 기구에 묻어있는 불순물(에폭시 접착제, 마킹잉크, 금선찌꺼기)을 제거하기 위하여, 먼저 용기 케이스내에 해당 세척용액(엠-파이롤용액, 알코올용액, 왕수용액)을 수용한 상태에서, 망사틀(5)내에 각 기구(에폭시컵, 마킹툴, 캐필러리)를 담은 후, 용기케이스(1)내의 압축공기 배관파이프(3) 상부에 위치시킨다.When explaining the function of the present invention as described above, in order to remove impurities (epoxy adhesive, marking ink, gold residue) on each device as described above, first, the cleaning solution (M-pyrrole solution, In the state in which alcohol solution and aqua regia solution are accommodated, each device (epoxy cup, marking tool, capillary) is contained in the mesh frame 5, and then the upper part of the compressed air piping pipe 3 in the container case 1 is placed. Position it.
이 상태에서 용기케이스(1) 상부로 연장된 압축공기유입구(2)로 압축공기를 유입시키면, 이 압축공기는 압축공기 배관파이프(3)내로 유동하게 되며, 유동되는 압축공기는 파이프 상측에 형성된 압축공기 배기구멍(4)를 통하여 배출된다.In this state, when compressed air is introduced into the compressed air inlet 2 extending above the container case 1, the compressed air flows into the compressed air piping pipe 3, and the compressed compressed air is formed above the pipe. It is discharged through the compressed air exhaust hole (4).
이때 압축공기 배기구멍을 통하여 배출되는 압축공기는 세척용액을 진동시킴과 동시에 기포를 발생시키며 이로 인하여 초음파 진동 세척효과를 나타내게 되어, 각 기구(에폭시컵, 마킹툴, 캐필러리)에 점착되어 있는 불순물을 제거하는 역할을 수행한다.At this time, the compressed air discharged through the exhaust hole of the compressed air vibrates the cleaning solution and generates bubbles at the same time, thereby exhibiting an ultrasonic vibration cleaning effect, which is adhered to each apparatus (epoxy cup, marking tool, capillary). It serves to remove impurities.
상기 압축공기 배관파이프(3) 상측에 형성한 압축공기 배기구멍(4)은 균일한 세기의 기포발생 및 세척용액의 유동을 위하여 압축공기 유입구(2)와 연접한 측은 그 직경이 작으나, 파이프 끝단으로 갈수록 직경이 커지게 하여 이미 배출된 압축공기의 압력을 보상할 수 있도록 한다. (단, 도면상에는 편의상 동일한 크기의 구멍으로 도시하였음.)The compressed air exhaust hole 4 formed above the compressed air piping pipe 3 has a small diameter at the side of the compressed air inlet 2 that is in contact with the compressed air inlet 2 for the generation of uniform bubbles and the flow of the cleaning solution. As the diameter increases, the diameter is increased so that the pressure of the compressed air discharged can be compensated. (However, in the drawings, the same sized holes are shown for convenience.)
이상과 같이 본 고안은 한 번에 다량의 기구를 세척할 수 있어 작업시간을 단축시킬 수 있으며, 또한 크기가 다른 압축공기 배기구멍(4)에서 발생된 압축공기를 이용하여 세척작용을 하므로 고른 세척효과를 얻을 수 있다.As described above, the present invention can wash a large amount of equipment at one time, thereby shortening the working time, and also using the compressed air generated in the compressed air exhaust holes 4 having different sizes, thus washing evenly. The effect can be obtained.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019890004207U KR910008741Y1 (en) | 1989-04-04 | 1989-04-04 | Cleansing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019890004207U KR910008741Y1 (en) | 1989-04-04 | 1989-04-04 | Cleansing apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR900018334U KR900018334U (en) | 1990-11-05 |
| KR910008741Y1 true KR910008741Y1 (en) | 1991-11-04 |
Family
ID=19284973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019890004207U KR910008741Y1 (en) | 1989-04-04 | 1989-04-04 | Cleansing apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR910008741Y1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101859897B1 (en) * | 2018-01-24 | 2018-05-21 | 성진하이쿨(주) | ultrasonic dishwasher |
-
1989
- 1989-04-04 KR KR2019890004207U patent/KR910008741Y1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101859897B1 (en) * | 2018-01-24 | 2018-05-21 | 성진하이쿨(주) | ultrasonic dishwasher |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR900018334U (en) | 1990-11-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8241432B2 (en) | Solar wafer cleaning systems, apparatus and methods | |
| KR101397408B1 (en) | Magazine and PCB cleaning apparatus | |
| JPH07273077A (en) | Method and apparatus for rinsing wafer | |
| JP2018118230A (en) | Cleaning device, and cleaning method | |
| US2595838A (en) | Apparatus for cleaning parts and for separating suspended particles from liquids | |
| KR910008741Y1 (en) | Cleansing apparatus | |
| KR101975721B1 (en) | Cleaning device of semiconductor ingot block | |
| KR100718484B1 (en) | Apparatus and method for cleaning electronic components | |
| JP2006013015A (en) | Cleaning device and cleaning method | |
| KR101008340B1 (en) | Substrate cleaning apparatus and method | |
| JPH049670A (en) | Analyzing apparatus | |
| KR20030086240A (en) | Ultrasonic cleaning module | |
| KR20190071897A (en) | Cleaning device of wafer polishing pad | |
| KR102083268B1 (en) | Metal mesh cleaning equipment | |
| KR20150092200A (en) | Wafer cleaning apparatus and methods | |
| KR100231840B1 (en) | Ultrasonic cleaning machine | |
| JPH0513397A (en) | Cleaning device | |
| KR101370074B1 (en) | Shower head cleaning apparatus | |
| JPH1012585A (en) | Closed type wafer-cleaning equipment | |
| CN206286277U (en) | Coated rubber plug hairbrush, flushing one cleaning machine | |
| KR200200656Y1 (en) | Nozzle cleaning apparatus of encapsulation dispenser | |
| KR200301711Y1 (en) | Ultrasonic cleaner | |
| JP2827305B2 (en) | Cleaning equipment | |
| CN220559606U (en) | Special washing jig for cleaning porous ceramic nozzle part of semiconductor etching device | |
| JP4045407B2 (en) | Ultrasonic cleaning method and apparatus |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E601 | Decision to refuse application | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| J2X1 | Appeal (before the patent court) |
Free format text: APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL |
|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| REGI | Registration of establishment | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 19951101 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |