KR200200656Y1 - Nozzle cleaning apparatus of encapsulation dispenser - Google Patents

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KR200200656Y1
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이성노
황태상
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태석기계주식회사
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    • B08B5/02Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
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    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017Apparatus for fluid treatment

Abstract

본 고안은 반도체 조립공정 중 리드 프레임에 레진을 도포하는 정량 토출 장치에서 레진이 토출되는 토출 밸브의 노즐을 청결하게 유지될 수 있도록 세척하는 정량 토출 장치의 노즐 세척 장치에 관한 것으로서, 본 고안은 저면으로 상향 요입되게 하여 세척공간(11)을 형성하고, 중앙에는 노즐(40)의 팁단부(41)가 삽입되도록 하면서 상기 세척공간(11)과 연통되도록 관통홀(12)을 형성하며, 상기 관통홀(12)의 세척공간(11)측 외주연에는 방사상으로 다수의 분출공(13)이 형성되도록 하여 일측으로부터 유입되는 압축공기가 상기 분출공(13)을 통해 분사되도록 하는 세척 블록(10)과; 상기 세척 블록(10)의 세척공간(11)의 내경면으로 상단부가 강제 끼움에 의해 삽입되며, 상향 개방되게 내부가 빈 통형의 수거용기(20); 및 상기 수거용기(20)가 상부로부터 하향 삽입되도록 하는 삽입 공간(31)을 형성하면서 측면의 서로 대응되는 면에는 내부와 연통되게 개방시킨 개구(32)를 형성하고, 상기 개구(32)의 외측 주면에 일단이 부착되도록 한 판스프링(33)이 상기 개구(32)에 삽입되면서 상기 삽입 공간(31)으로 삽입된 상기 수거용기(20)의 외주면을 가압하여 탄력 지지하는 용기 고정구(30)로서 이루어지는 구성이 특징이다.The present invention relates to a nozzle cleaning apparatus for a fixed quantity dispensing apparatus for cleaning the nozzle of the discharge valve from which the resin is discharged in the fixed quantity dispensing apparatus for applying the resin to the lead frame during the semiconductor assembly process. And the through hole 12 is formed in communication with the cleaning space 11 while allowing the tip end portion 41 of the nozzle 40 to be inserted into the washing space 11. In the outer circumference of the washing space 11 side of the hole 12, a plurality of blow holes 13 are formed radially so that the compressed air flowing from one side is sprayed through the blow holes 13. and; An upper end portion is forcibly inserted into the inner diameter surface of the washing space 11 of the washing block 10, and an empty tubular collection container 20 is opened upwardly; And an opening 32 which is open in communication with the inside, and forms an insertion space 31 for allowing the collection container 20 to be inserted downward from the top thereof, and the outside of the opening 32. A leaf spring 33 having one end attached to a main surface thereof is inserted into the opening 32, and is a container fixture 30 that elastically supports the outer circumferential surface of the collection container 20 inserted into the insertion space 31. It is characterized by the configuration made.

Description

정량 토출 장치의 노즐 세척장치{Nozzle cleaning apparatus of encapsulation dispenser}Nozzle cleaning apparatus of encapsulation dispenser

본 고안은 반도체 조립공정 중 리드 프레임에 레진을 도포하는 정량 토출 장 치에서 레진이 토출되는 토출 밸브의 노즐을 청결하게 유지될 수 있도록 세척하는 정량 토출 장치의 노즐 세척 장치에 관한 것이다.The present invention is a fixed-quantity ejection sheet for applying resin to a lead frame during a semiconductor assembly process. The nozzle cleaning apparatus of the fixed-quantity discharge device for cleaning the nozzle of the discharge valve from which the resin is discharged from the teeth to be kept clean.

일반적으로 반도체를 제조하는 공정에서 리드 프레임에 에폭시나 실리콘과 같은 레진을 도포하여 리드 프레임 상의 반도체 칩과 와이어가 보호되도록 하는 몰딩작업을 수행하는 장비를 정량 토출 장치(encapsulation dispenser)라 한다.In general, in the process of manufacturing a semiconductor, a device that performs molding to apply a resin such as epoxy or silicon to the lead frame to protect the semiconductor chip and wire on the lead frame is called an encapsulation dispenser.

이 정량 토출 장치에는 통상 직접 레진을 토출시키는 정량 토출 밸브가 구비되는데 이러한 정량 토출 밸브에서 특히 중요한 구성중에 하나가 노즐이다.This metering device is usually provided with a metering valve for direct discharge of a resin. One of the particularly important components of this metering valve is a nozzle.

노즐은 단순히 정량 토출 밸브로부터 일정한 압력으로 레진을 이동시키게 될 때 레진을 직접 리드 프레임에 도포시키게 되는 것으로서, 레진의 토출량은 통상 레진이 지나는 내경을 조금씩 차이가 나게 하여 조정되도록 하고 있다.The nozzle is to apply the resin directly to the lead frame when the resin is simply moved from the metered discharge valve to a constant pressure, and the discharge amount of the resin is usually adjusted by slightly varying the inner diameter through which the resin passes.

하지만 이러한 노즐에 이물질이 부착이 되면 리드 프레임의 정확한 위치에 레진이 도포되지 않게 될 뿐만 아니라 레진의 토출량이 부족해지면서 제작 불량이 초래되기도 한다.However, when foreign matter is attached to these nozzles, not only the resin is not applied at the correct position of the lead frame but also the discharge amount of the resin is insufficient, resulting in a poor manufacturing.

따라서 이러한 노즐에 부착된 이물질 제거를 위해 별도로 구비되는 것이 노즐 세척장치이며, 현재 사용되는 노즐 세척장치는 대부분 흡입 압력을 이용하는 방식이다.Therefore, the nozzle cleaning device is provided separately to remove the foreign matter attached to such a nozzle, the nozzle cleaning device currently used is the method using the suction pressure.

하지만 노즐에 부착되는 이물질은 고착력에 다소 차이가 있는데 반해 이러한 이물질을 제거하기 위한 흡입력은 일정하게 공급되므로 종종 흡입력 부족에 의해 세척 상태가 불량하게 이루어지게 될 뿐만 아니라 특히 노즐 팁단부의 측면 세척이 거의 이루어지지 않는 문제점이 있다.However, foreign matter adhering to the nozzle is somewhat different in sticking force, whereas suction power to remove such foreign matter is supplied constantly, which often leads to poor cleaning due to insufficient suction force, and in particular, side cleaning of the nozzle tip end is difficult. There is a problem that is hardly made.

또한 노즐을 세척하는 공간은 밀폐성이 좋아야 하는 구조적 난제가 있다.In addition, the space for cleaning the nozzles has a structural difficulty that must be sealed.

이에 본 고안은 상기한 문제점을 개선시키기 위해 안출한 것으로서, 본 고안은 노즐에 압축된 공기를 분사하는 샤워방식에 의해 이물질이 제거되도록 하므로서 보다 완벽한 노즐 세척이 이루어질 수 있도록 하는데 주된 목적이 있다.The present invention has been made in order to improve the above problems, the present invention has a main purpose to make a more perfect nozzle cleaning by removing the foreign matter by a shower method for injecting compressed air to the nozzle.

또한 본 고안은 노즐로부터 분리시킨 이물질을 곧바로 수거용기에 수거되게 하므로서 작업 환경이 개선되도록 하는 동시에 이러한 수거용기는 탈착이 가능토록 하여 영구적인 사용이 가능토록 하는데 다른 목적이 있다.In addition, the present invention is to collect the foreign matter separated from the nozzle immediately in the collection container to improve the working environment and at the same time, such a collection container has a different purpose to enable the permanent use.

도 1은 일반적인 본 고안에 따른 노즐 세척장치의 분리된 구성을 도시한 단면도,1 is a cross-sectional view showing a separate configuration of a nozzle cleaning apparatus according to the present invention,

도 2는 본 고안의 결합 단면도,2 is a cross-sectional view of the present invention,

도 3은 본 고안에 따른 세척 블록의 횡단면 구조도,3 is a cross-sectional structural view of the washing block according to the present invention;

도 4는 본 고안에 따른 사용상태도.4 is a use state according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

10 : 세척 블록 11 : 세척 공간10: washing block 11: washing space

12 : 관통공 13 : 분출공12: through hole 13: blowout hole

20 : 수거용기 30 : 용기 고정구20: collection container 30: container fixture

상기의 목적을 달성하기 위한 수단으로 본 고안은 저면으로 상향 요입되게 하여 세척공간을 형성하고, 중앙에는 노즐의 팁단부가 삽입되도록 하면서 세척공간과 연통되도록 관통홀을 형성하며, 이 관통홀의 세척공간측 외주연에는 방사상으로 다수의 분출공이 형성되도록 하여 일측으로부터 유입되는 압축공기가 분출공을 통해 분사되도록 하는 세척 블록과; 세척 블록의 세척공간의 내경면으로 상단부가 강제 끼움에 의해 삽입되며, 상향 개방되게 내부가 빈 통형의 수거용기; 및 수거용기가 상부로부터 하향 삽입되도록 하는 삽입 공간을 형성하면서 측면의 서로 대응되는 면에는 내부와 연통되게 개방시킨 개구를 형성하여 외주면에 일단이 부착된 판스프링의 타단이 삽입되면서 삽입 공간으로 삽입된 수거용기의 외주면을 가압하여 탄력 지지하는 용기 고정구로 구비되도록 하는데 가장 두드러진 특징이 있다.As a means for achieving the above object, the present invention forms a washing space by inclining upward to the bottom surface, and forms a through hole in communication with the washing space while inserting the tip end of the nozzle in the center thereof, and the washing space of the through hole. A side of the outer periphery of the washing block so that a plurality of blow holes are formed radially so that compressed air flowing from one side is injected through the blow holes; The upper end portion is inserted into the inner diameter surface of the washing space of the washing block by forcible fitting, and an empty cylindrical container having an upward opening; And forming an opening for opening the container to be inserted downward from the top while forming an opening in communication with the inside of the side of the side, and the other end of the leaf spring having one end attached to the outer circumferential surface is inserted into the insertion space. By pressing the outer circumferential surface of the container The most striking feature is to be provided with a resilient support container fixture.

상기한 구성을 첨부한 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.The above-described configuration will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 고안에 따른 노즐 청소장치의 분리 단면도이고, 도 2는 도 1의 구성을 결합시킨 상태의 단면도이다.1 is an exploded cross-sectional view of a nozzle cleaning apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of a state in which the configuration of FIG. 1 is combined.

도면부호 10은 세척 블록을 도시한 것으로서, 세척 블록(10)은 실질적으로 노즐의 팁단부가 삽입되면서 세척이 되는 부위이다.Reference numeral 10 denotes a cleaning block, and the cleaning block 10 is a portion to be cleaned while the tip end of the nozzle is inserted.

이러한 세척 블록(10)은 도시된 바와같이 저면으로 상향 요입되게 하여 세척공간(11)이 형성되도록 한 형상으로서. 중앙에는 노즐의 팁단부가 삽입되면서 세척공간(11)과 연통되는 관통홀(12)을 형성하고, 이 관통홀(12)의 세척공간(11)측 외주연에는 방사상으로 다수의 분출공(13)이 관통홀(12)의 직하부를 향하도록 형성되게 한 구성이다.This cleaning block 10 is as shown in the shape so that the washing space 11 is formed to be concave upward to the bottom surface. The tip end of the nozzle is inserted into the center to form a through hole 12 which communicates with the washing space 11, and a plurality of blowout holes 13 are radially formed at the outer periphery of the washing space 11 side of the through hole 12. ) Is formed to face directly below the through hole 12.

이때 세척 블록(10)의 일측으로는 압축 공기가 유입되는 유입구가 형성되고, 이 유입구를 통해 유입되는 압축 공기는 도 3에서와 같이 각 분출공(13)과 연통되게 형성한 유로(14)로 유도되며, 유로(14)에서 각 분출공(13)으로 압축 공기가 분기되면서 분사되도록 하는 것이다.At this time, one side of the washing block 10 is formed with an inlet through which compressed air is introduced, and the compressed air introduced through the inlet is a flow passage 14 formed in communication with each of the blow holes 13 as shown in FIG. 3. It is guided, so that the compressed air is branched to each jet hole 13 in the flow path 14 to be injected.

또한 세척 블록(10)의 하향 개방되게 형성한 세척공간(11)에는 내부가 비고 상향 개방된 형상의 수거용기(20)의 상단부가 강제 끼움에 의해 결합되도록 한다.In addition, the washing space (11) formed to be opened downward of the cleaning block (10) is empty inside the upper end of the collection container 20 of the open shape to be coupled by a forced fit.

수거용기(20)는 세척 블록(10)에서 노즐의 팁단부를 세척시 노즐로부터 떨어진 이물질들이 모여지도록 하는 보관 수단이다.The collection container 20 is a storage means for collecting foreign substances away from the nozzle when the tip end of the nozzle in the washing block 10 is collected.

한편 이러한 수거용기(20)는 용기 고정구(30)에 삽입되면서 고정되도록 한다.On the other hand such a collection container 20 is to be fixed while being inserted into the container fixture (30).

이때의 용기 고정구(30)는 내부가 수거용기(20)를 삽입할 수 있는 크기로 내경을 가지며, 측면의 서로 대응되는 부분은 일부가 절개되면서 외부와 연통되게 개방되도록 하고, 이 개방된 개구(32)의 외측 주면에는 일단이 고정되면서 타단은 측면의 개구(32)를 통해 삽입되는 판스프링(33)이 구비되도록 하되 이 판스프링(33)은 용기 고정구(30)의 내측 삽입 공간(31)으로 삽입되도록 한 수거용기(20)의 외주면을 탄력적으로 가압하면서 지지되도록 한다.At this time, the container fixture 30 has an inner diameter in which the interior can be inserted into the collection container 20, the corresponding portions of the side to open in communication with the outside while cutting a part, the open opening ( One end is fixed to the outer main surface of the 32, and the other end is provided with a leaf spring 33 is inserted through the opening 32 of the side, the leaf spring 33 is the inner insertion space 31 of the container fixture 30 It is to be supported while elastically pressing the outer circumferential surface of the collection container 20 to be inserted into.

한편 용기 고정구(30)에 형성되는 판스프링(33)은 용기 고정구(30)의 내부로 수거용기(20)를 삽입 및 분리가 용이하게 수거용기(20)에 접촉되는 부위가 삽입 공간(31)측으로 만곡지는 형상으로서 되도록 하는 것이 보다 바람직하다.On the other hand, the leaf spring 33 formed in the container fixture 30 has a portion in contact with the collection container 20 to easily insert and remove the collection container 20 into the interior of the container fixture 30, the insertion space 31 It is more preferable to make it curved as a side.

이와같은 구성을 갖는 본 고안에 따른 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation according to the present invention having such a configuration as follows.

본 고안은 도 2에서와 같이 용기 고정구(30)의 삽입 공간(32)으로는 수거용기(20)가 삽입되도록 하고, 수거용기(20)는 상단부가 세척 블록(10)의 저면을 상향 요입되게 한 세척공간(11)에 억지 끼움에 의해 결합되는 구성이다.The present invention is such that the collection container 20 is inserted into the insertion space 32 of the container fixture 30, as shown in Figure 2, the collection container 20 is the upper end of the bottom of the washing block 10 to be recessed upward It is a configuration that is coupled by interference fit in one washing space (11).

따라서 정량 토출 장치의 레진 토출 밸브를 본 고안의 세척장치로 이동시켜 도 4에서와 같이 노즐의 팁단부(41)를 세척 블록(10)의 중앙에 형성한 관통공(12)으로 삽입시키게 되면 노즐(40)의 팁단부(41)가 관통공(12)을 관통하여 세척공간(11)으로 일부가 돌출되며, 이때 세척 블록(10)으로 압축 공기를 공급하게 되면 압축 공기는 세척 블록(10)의 저면에 형성시킨 다수의 분출공(13)을 통해 분 사된다.Therefore, when the resin discharge valve of the metered discharge device is moved to the cleaning device of the present invention and the tip end portion 41 of the nozzle is inserted into the through hole 12 formed in the center of the cleaning block 10 as shown in FIG. The tip end portion 41 of the 40 penetrates the through hole 12, and a part of the tip end portion 41 protrudes into the washing space 11. In this case, when the compressed air is supplied to the washing block 10, the compressed air is the washing block 10. Through a plurality of blow holes 13 formed in the bottom of the Be bought.

이렇게 분사되는 압축 공기는 관통공(12)에 삽입된 노즐(40)의 팁단부(41)에 분사되면서 팁단부(41)에 부착된 각종 이물질들을 떼어내게 된다.The compressed air is sprayed on the tip end portion 41 of the nozzle 40 inserted into the through hole 12 to remove various foreign substances attached to the tip end portion 41.

이때 압축 공기는 팁단부(41)의 측면으로 분사되므로 노즐 팁단부(41)의 끝단부와 측면에 부착되어 있게 되는 이물질들을 동시에 제거시키게 된다.At this time, since the compressed air is injected to the side of the tip end portion 41, foreign substances that are attached to the end and side of the nozzle tip end portion 41 are removed at the same time.

한편 노즐(40)의 팁단부(41)로부터 떨어진 이물질들은 세척 블록(10)의 저부에 결합된 수거용기(20)에 모여지게 되며, 이렇게 해서 모여진 이물질의 양이 일정량이 되면 세척 블록(10)으로부터 수거용기(20)와 용기 고정구(30)가 분리되도록 한 후 다시 용기 고정구(30)로부터 수거용기(20)를 분리시켜 수거용기(20)내에 채워진 이물질들을 폐기시킨다.On the other hand, foreign matters away from the tip end 41 of the nozzle 40 are collected in the collection container 20 coupled to the bottom of the cleaning block 10, so that the amount of foreign matters collected is a certain amount of cleaning block 10 The container 20 and the container fixture 30 are separated from the container container 20, and the container 20 is separated again from the container fixture 30 to discard the foreign matters filled in the container 20.

따라서 수거용기(20)는 내부에 채워진 이물질들을 제거하므로서 재사용이 가능하게 될 뿐만 아니라 반영구적인 사용이 가능한 이점이 있다.Therefore, the collection container 20 has the advantage that can be reused as well as semi-permanent use by removing foreign matters filled therein.

그러므로 본 고안에 따른 세척장치는 정량 토출 장치의 밸브 노즐(40)을 압축 공기에 의한 샤워방식에 의해 세척되게 하므로서 팁단부(41)에 부착되는 이물질을 보다 효과적으로 제거시킬 수 있도록 하는 동시에 이물질을 안정적으로 수거하여 폐기하므로서 작업 환경의 개선과 자동화 생산 효율 및 제품의 품질 신뢰성을 향상시키게 되는 매우 유용한 효과를 제공하게 되는 것이다.Therefore, the cleaning device according to the present invention allows the valve nozzle 40 of the metered discharge device to be cleaned by the shower method by compressed air, thereby making it possible to more effectively remove the foreign matter adhering to the tip end portion 41 and at the same time stable the foreign matter. By collecting and discarding the wastes, the waste water can be used to provide a very useful effect that improves the working environment and improves the efficiency of automated production and product quality reliability.

Claims (4)

저면으로 상향 요입되게 하여 세척공간(11)을 형성하고, 중앙에는 노즐(40)의 팁단부(41)가 삽입되도록 하면서 상기 세척공간(11)과 연통되도록 관통홀(12)을 형성하며, 상기 관통홀(12)의 세척공간(11)측 외주연에는 방사상으로 다수의 분출공(13)이 형성되도록 하여 일측으로부터 유입되는 압축공기가 상기 분출공(13)을 통해 분사되도록 하는 세척 블록(10)과;The through hole 12 is formed to communicate with the cleaning space 11 while allowing the tip end portion 41 of the nozzle 40 to be inserted into the bottom surface so as to be recessed upwardly. At the outer circumference of the washing space 11 side of the through hole 12, a plurality of blow holes 13 are formed radially so that compressed air flowing from one side is sprayed through the blow holes 13. )and; 상기 세척 블록(10)의 세척공간(11)의 내경면으로 상단부가 강제 끼움에 의해 삽입되며, 상향 개방되게 내부가 빈 통형의 수거용기(20); 및An upper end portion is forcibly inserted into the inner diameter surface of the washing space 11 of the washing block 10, and an empty tubular collection container 20 is opened upwardly; And 상기 수거용기(20)가 상부로부터 하향 삽입되도록 하는 삽입 공간(31)을 형성하면서 측면의 서로 대응되는 면에는 내부와 연통되게 개방시킨 개구(32)를 형성하고, 상기 개구(32)의 외측 주면에 일단이 부착되도록 한 판스프링(33)이 상기 개구(32)에 삽입되면서 상기 삽입 공간(31)으로 삽입된 상기 수거용기(20)의 외주면을 가압하여 탄력 지지하는 용기 고정구(30);While forming the insertion space 31 through which the collection container 20 is inserted downward from the top, the opening 32 is formed in the surface corresponding to each other of the side and open in communication with the inside, the outer main surface of the opening 32 A container fixture (30) for pressing the outer circumferential surface of the collection container (20) inserted into the insertion space (31) while the leaf spring (33) having one end thereof is attached to the opening (32); 로 구비되는 정량 토출 장치의 노즐 세척장치.Nozzle cleaning device of the metered discharge device provided with. 제 1 항에 있어서, 상기 세척 블록(10)은 압축 공기가 일측으로 유입되면 상기 다수의 분출공(13)과 동시에 연통되는 유로(14)를 통해 유도되고, 상기 유로(14)로부터 상기 분출공(13)을 통해 방사상으로 방사되도록 하는 정량 토출 장 치의 노즐 세척장치.According to claim 1, The washing block 10 is guided through the flow path 14 which is in communication with the plurality of blow holes 13 at the same time when the compressed air is introduced to one side, the blow holes from the flow path (14) Dispensing field to radially radiate through 13 Nozzle cleaning device. 제 1 항에 있어서, 상기 분출공(13)은 상기 관통공(12)으로 삽입되어 세척 공간(11)으로 돌출되는 노즐(40)의 팁단부(41)를 향해 형성되는 정량 토출 장치의 노즐 세척장치.The nozzle cleaning method of claim 1, wherein the ejection hole 13 is inserted toward the tip end portion 41 of the nozzle 40 that is inserted into the through hole 12 and protrudes into the washing space 11. Device. 제 1 항에 있어서, 상기 판스프링(33)은 상기 수거용기(20)에 접촉되는 부위가 삽입 공간(31)측으로 만곡지는 형상인 정량 토출 장치의 노즐 세척장치.The nozzle cleaning apparatus according to claim 1, wherein the leaf spring (33) has a shape in which a portion contacting the collection container (20) is curved toward the insertion space (31).
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