KR910008064Y1 - 전열 소성로 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

전열 소성로

제1도는 종래 소성로의 문 개방상태 사시도.

제2도는 본 고안 소성로의 문 개방상태 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 노체 2 : 개폐문

3 : 선반 6, 7 : 상, 하측 슬라이드바

7' : 랙기어 8, 9 : 상하측 블래키트

10 : 하측 피니언

본 고안은 전열 소성로에 관한 것이다.

형광체의 소성이나 반도체 제조공정에서의 시료소성 공정등에 쓰이는 전열 소성로는 통상적으로 제1도의 도시와 같이 내화 벽돌로 된 노체(1)에 개폐문(2)을 장착한 구조로 되어 있다.

이와 같은 노의 구조로 인하여 시료(A)는 노체(1)의 내부에 수용된 상태로서 가열소성되는 것인 바, 소성중에 노내 온도는 도시생략된 온도센서에 의해 감지제어된다.

소성을 끝내고 시료를 꺼내려면 냉각되지 않은 채로 방치되는 노체(1)의 내부에서 꺼내야 하기 때문에 안전사고의 위험이 높고, 여러종류의 시료를 일괄하여 소성하는 경우에는 시료의 구분이 모호해지며, 또, 시료는 단순히 노체(1)의 바닥에 놓여 진 채로 소성됨에 따라 회수취급중에 엎질러지거나 주위로 비산되어 노체(1)의 내부 오염을 일으킬 우려가 있다는 등의 단점을 갖는다.

본 고안은 상기한 바와 같은 종래의 소성로에서 볼 수 있는 단점을 해결하기 위하여 시료를 개폐문에 의지한 채로 노채내에 장입시킬 수 있게 한 전열 소성로를 제공함에 그 목적이 있다.

이에 따라 본 고안은 통상적인 노체를 개폐하는 내측에 시료를 얹기 위한 선반을 설치함과 아울러, 개폐문을 슬라이드 바아로서 지지하여 개폐시 요동을 일으키지 않게 구성함을 특징으로 한다.

본 고안에서 선반은 시료의 종류를 구분하여 수용할 수 있게 다수의 구멍이 뚫려진 빠레트 형태로 하는 것이 좋다.

이와 같은 본 고안에 의하면 시료의 장입과 회수를 개폐문의 내측에서 행할 수 있게 되므로 안전사고의 위험이 없고, 시료를 수용하는 용기는 선반에 뚫려있는 구멍을 이용하여 재치할 수 있으므로 종류별로 용이하다는 이점이 있다.

이하 본 고안을 첨부도면 제2도에 따라 실시예로서 상세히 설명한다.

도시한 바와 같이 노체(1)의 개폐문(2)은 내측에 선반(3)을 보유한다.

선반(3)은 개폐문(2)을 형성하는 내화벽돌층 사이에 단열판재 또는 알루미나판 등을 삽입개재시켜 설치된다. 보다 구체적으로 선반(3)의 재질은 실리콘카바이드, 질화규소, 알루미나, 율라이트, 석영등이 좋다.

또 선반(3)의 판면에 다수의 구멍(4)를 뚫어서 시료가 수용된 용기(5)를 안정되게 또한 종류별로 구분하여 놓을 수 있게 하는 것이 좋다.

전기한 개폐문(2)는 상하변에 각각 1쌍의 슬라이드 바(6)(7)을 연장설치하고 있다.

상측 슬라이드 바(6)는 노체(1)의 상단면 블래키트(8)에 관통설치되는 한편, 하측 슬라이드 바(7)은 노체(1)의 하단면 블래키트(9)를 관통하여 피니언(10)과 치차물림되어 있다.

하측 슬라이드 바(7)은 피니언(10)과의 치차물림을 위하여 상면에 랙기어(7')를 보유한다.

이들 각 구성요소는 노체(1)의 외부를 둘러싸는 단열재(C)에 의해 보호된다.

이상과 같이 구성된 본 고안은 개폐문(2)의 내측선반(3)에 시료용기(5)를 얹고 닫은 다음, 통상적인 방식대로 소성을 행하고, 소성완료 후에는 단지 개폐문(2)를 열어 놓은 것 만으로서 시료용기(5)가 노체(1)에서 나오게 되기 때문에, 종래와 같이 고온상태로 있는 노체(1)의 내부로 부터 시료용기(5)를 꺼내는 것에 비하여 안전사고의 위험이 감소된다.

또 선반(3)의 다수의 구멍(4)를 갖추고 있는 경우에는 시료용기(5)를 전기한 구멍(4)에 삽입지지 시킴으로서 보다 안정되고 종류별로 구분된 상태로서 노체(1)의 내부에 수용할 수 있게 된다.

개폐문(2)의 개폐에 있어서 개폐문(2)는, 상, 하변측의 슬라이드 바(6)(7)에 의해 지지되기 때문에, 개폐시 요동이 생기지 않게 된다.

더우기 하측 슬라이드 바(7)은 노체(1)의 하측 피니언(10)과 치차물림되어 하측 블래키트(9)를 지점으로 해서 개폐문(2)의 중량을 받쳐주는 한편, 개폐문(2)의 개폐상태에 변화가 생기지 않게 해 준다.

상술한 바와 같이 본 고안은 개폐문에 선반을 부착함에 따라 시료용기는 개폐문의 개폐조작에 의해 장입 회수되어 안전사고의 위험을 대폭 감소시키게 된다.

그리고 개폐문은 슬라이드 바아에 의해 안정된 상태로 지지되어 있어서 문의 개폐중에 요동이 발생하지 않게 되므로, 시료용기가 전도되거나 하는 일이 생기지 않는다.

Claims (1)

1. 노체(1)과 개폐문(2)로 이루어지는 전열소성로에 있어서, 개폐문(2)의 내측에 선반(3)을 설치함과 아울러, 전기한 개폐문(2)의 상하변에는 각각 1쌍의 상, 하측 슬라이드 바(6)(7)을 연장하여 노체(1)의 상하측 블래키트(8)(9)에 지지시키고, 하측 슬라이드 바(7)의 랙기어(7')를 노체(1)의 하측 피니언(10)에 치차물림하여 구성됨을 특징으로 하는 전열 소성로.