KR910007328B1 - 일체로된 써어멀 잉크 제트 프린트헤드 및 그 제조방법 - Google Patents

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휴렛트-팩카드 캄파니
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Abstract

내용 없음.

Description

일체로된 써어멀 잉크 제트 프린트헤드 및 그 제조방법
제1도 내지 10도는 본 발명의 적합한 프로세스 및 구조적인 실시예를 순차적으로 도시하는 횡간 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 기체 12 : 광저항 마스크
14 : 상부 표면 16 : 개구부
18 : 오리피스판 20 : 제1장벽층
22 : 히이터 레지스터 24, 26, 28 : 도체
30 : 제2장벽층 40,42 : 잉크격실
47, 49 : 잉크 유동 포오트 48 : 잉크 저장기
51, 52 : 전기 연결 장치
본 발명은 써어멀 잉크 제트(TIJ)인쇄에 관한 것이며 특히 신규하고 개선된 일체로된 잉크 제트 프린트 헤드 및 상기 제품의 신규한 제조방법에 관한 것이다.
써어멀 잉크 제트 인쇄의 분야에서, 현존하는 많은 방법들은 프린트헤드의 얇은 필름 레지스터(TFR) 기체(substrate)부분을 제조하기 위해 얇은 필름 처리기술을 사용하며 금속 오리피스판의 자체의 내부의 잉크방출 오리피스들이 요구되는 수 및 형상을 갖도록 하기 위해 별도의 오리피스판 제조기술을 사용한다. 다음에 임계 정렬 기술(critical alignment techniques)들을 사용하여, 오리피스판은 기체의 히이터 레지스터들이 오리피스판 내의 오리피스들과 함께 정밀하게 정렬되도록 얇은 필름 레지스터와 함께 정밀하게 정렬된다. 따라서, 히이터 레지스터들은 양 히이터 레지스터들, 및 오리피스판내의 오리피스들과 함께 항상 정렬되어 있는 관련된 잉크저장기들 내의 잉크를 가열하도록 위치되어 있다. 이에 따라 잉크는 가열되어 비등하게 되고 써어멀 잉크 제트인쇄 작업중에 오리피스들로부터 방출되게 된다. 상술한 형식의 제조방법들중 하나의 방법이 1985년 5월자 "휴렛트-팩카드 저어널", 제38권 제5호에 기재되어 있으며, 여기서는 참조로 한다.
상기 휴렛트-팩카드의 방법은 대부분의 관점들에 있어서 매우 성공적인 방법으로 입증되고 있으나, 상기방법은 오리피스판과 얇은 필름 레지스터 기체 사이의 임계정렬을 필요로 하며, 또한 오리피스판을 성형하고 대체로 정렬된 얇은 필름 레지스터를 성형하기 위한 별도의 방법을 필요로 한다.
본 발명의 목적은 상기 오리피스판 제조방법과 얇은 필름 레지스터 기체 제조방법이 신규한 단일 제조방법으로 결합된 개선된 써어멀 잉크 제트 프린트헤드 및 그 제조방법을 제공하기 위함이다. 본 발명은 써어멀 잉크 제트 프린트헤드들의 광범위한 스케일에 대해 비교적 염가이며 신뢰성있는 제조방법을 제공하며, 부가해서 선행기술의 상기 임계 정렬 문제점을 극복한다.
본 발명의 다른 목적은 현재 이용 가능한 프린트헤드들에 비해 더 긴수명을 갖는 신규하고 개선된 일체로된 써어멀 잉크 제트 프린트헤드 및 그 제조방법을 제공하기 위함이다.
본 발명의 특징은 더미(dummy)기체 상에 오리피스판 및 히이터 레지스터들을 순차적으로 제조하기 위한 개선된 자정렬(self-aligning)방법을 제공하는 것이다. 상기 방법은 현재 이용가능한 프린트헤드 오리피스판 정렬 방법들에 비해 매우 단순화되어 있다.
본 발명의 다른 특징은 잉크 제트 프린트헤드의 3개의 임계의 부품들을 매우 정밀하게 정열시키는 정렬방법을 재공하는 것이며, 이에 따라 상기와 같은 프린트헤드의 개선된 성능을 제공하게 된다.
본 발명의 상기 목적들, 특징들 및 장점들은 먼저, 재사용 가능 또는 더미 기체를 제공함으로써 및 설정된 전기주형 기술들을 사용하여 그 상부에 오리피스판을 성형함으로써 이루어진다. 다음에, 제1절연장벽층을 오리피스판 상에 성형하고, 히이터 레지스터들을 미리 설정된 형태로 제1장벽층 상에 선택적으로 격설시킨다. 다음에 제2절연 장벽층을 제1장벽층 상에 배설하고 히이터 레지스터들의 상부로 연장시켜 상기 레지스터들을 잉크 부식 및 캐비테이션 웨어(cavitation wear)로부터 보호한다. 다음에, 잉크 저장기 형성층이 제2장벽층상에 형성되고, 오리피스판들 내의 개구부들과 함께 정렬된 다수의 잉크 저장기 개구부들을 자체의 내부에 갖는다. 마지막으로, 더미 기체는 오리피스판으로부터 기계적으로 분리되어 오리피스판 내의 개구부들을 개방시키게 되고, 잉크 저장기 형성층은 이제 잉크 공급 격실에 또는 펜 본체 하우징등에 고정될 수 있게 된다.
본 발명은 또한 상기 제조방법에 의해 제조된 프린트헤드 구조물에 관한 것이다.
이하 첨부된 도면을 참조로하여 본 발명을 상술한다.
이제 제1도를 참조하면, 기체 스타팅(starting)재료(10)은 실리콘 또는 유리일수 있으며 그 두께는 통상적으로 200 내지 300미크론이 된다. 광저항 패턴(pattern)(12)가 기체(10)의 상부 표면 (14) 상에 도시된 형태로 형성되어 있고, 광저항 마스크(12)는 노출된 상부 표면(14)상에 제2도에 도시된 형태로 전기주형된 침착된 니켈 패턴(18) 내의 개구부(16)들을 형성시킨다. 실리콘 또는 유리 상에 니켈을 전기주형 시키는 상기 방법은 써어멀 잉크 제트프린트헤드들용 오리피스판들의 제조기술에 있어서 잘 공지되어 있으며, 예컨대 상기 "휴렛트-팩카드 저어널" 및 쵸 에스. 챤 등에게 허여된 "써어멀 잉크 제트 프린트 헤드 조립체용 장벽층 및 오리피스판"이라는 명칭이 미합중극 특허 제4,694,308호에 기재되어 있다.
이제 제3도를 참조하면 질화규소 또는 옥시질화규소 또는 이산화규소와 같은 절연 필름의 제1장벽층(20)이 니켈층(18)의 상부 상에 침착된다.
다음에, 적합하게 취급되는 경우 히이터 레지스터로서 및 도체로서의 레지스터 및 도체 기능을 수행하게 되는 얇은 필름 레지스터/도체 재료(22) 및 (28)이 스퍼터링(sputtering)에 의해 절연층(20)의 상부 표면 상에 침착된다.
레지스터 부분은 제4a도 및 4b도에서 (22)로 표시되어 있고 도체부분은 (24,26 및 28)로 표시되어 있다. 상기 얇은 필름 레지스터/도체층은 종래의 광저항 마스킹 및 부식 방법들에 의해 형성된다. 레지스터식 히이터재료(22)의 얇은 패턴은 제4a도 및 4b도의 원형 형태내에서 성형되고 제4b도에 도시된 형태로 인입도체(24,26 및 28)들과 함께 일체로 성형된다.
원형 스트립(22)는 히이터 레지스터에게 되는데 이는 주어진 면적에서 더 많은 제곱수를 갖기 때문이다. 즉, 양 히이터 레지스터(22) 및 도체재료(24)의 저항R은 RSL/A와 같는데, 여기서 RS는 재료의 시이트 저항이고, L은 재료의 길이이며, A는 재료의 횡간 단면적이다. 즉, R=RSL/A이다. 따라서 제4a도의 절연층(20) 상부의 일체로된 레지스터/도체 스트립의 레지스터 부분(22) 및 도체부분(24,26,28)을 형성하는 데에 사용된 마스크 내의 개구부들의 폭 및 길이를 적당하게 설정함으로써, 레지스터/도체 스트립의 상기 요소들의 저항이 공지된 기술과 마찬가지로 제어될 수 있다.
이제 제5a도 및 5b도를 참조하면, 제2장벽층(30)이 제4b도의 레지스터 및 도체 스트립들의 상부에 형성되어 있는데, 상기 제2장벽층(30)은 적합한 질화규소 및 탄화규소의 조합으로 되어 있다. 먼저 질화규소가 제4a 도의 표면상에 침착되고 다음에 높은 불활성 합성체 Si3N4/SiC 제2장벽층(30)을 제공하기 위해 탄화규소가 침착된다. 상기 장벽층(30)은 하층 재료를 잉크 제트 인쇄 작업중의 잉크 부식 및 캐비테이션웨어로부터 보호한다. 다음에 제2장벽층(30)은 히이터레지스터(22)들을 구동시키도록 하층 도체 트레이스(trace)재료(24) 및 (26)에 대해 전기적인 연결을 가능하게 하기 위해 제5b도의 접촉 구역(32) 및 (34)들내에서 부분적으로 부식된다.
이제 제6도를 참조로 하면 티탄, 크롬, 또는 니켈과 같은 적합한 시이드(seed)스트립 또는 패드(36)이 장벽층(30)상에 형성되어 있고 잘 공지된 방법으로 마스킹 및 부식에 의해 광규정(photo defined)되어 있다. 상기 시이트 재료(36)은, 전기 침착 및/또는 전기요금에 의해, 제7도에 도시된 환상 도움 형태로 성장하는 대형 상층 니켈 패턴(38)의 성형을 시작 시키는데에 사용된다. 니켈(38)은 다수의 잉크 저장기들 또는 잉크 격실 구역(40) 및 (42)들을 형성하는 부분적으로 개방된 환상 구역들의 형태로 성형된다. 상기 잉크 격실(40) 및 (42)들은 제7도에 도시되어 있고 니켈 오리피스판(18) 내의 이미 형성된 개구부(16)들과 함께 정렬되어 있다.
오리피스판(18)은 자체의 인접된 절연층 및 도체 필름층들과 함께 이제 상기 층을 자체로부터 벗김으로써 기체(10)으로부터 분리될 수 있다. 기체(10)은 기본적으로 제조과정 중에 다양한 얇은 필름층들의 규정중에 오리피스판(18)에 대한 일시적인 지지기체로서의 기능을 수행한다. 상기 기체(10)은 상술한 방법에 있어서 반복하여 사용될 수 있다. 오리피스판(18)을 기체(10)으로부터 벗기는 상기 단계에서, 광저항 패드들의 상부 상의 다중 절연층들의 구역(43) 및 (45)들은 광저항 패드(12)들중 함께 제7도의 오리피스판으로부터 당겨져, 제8도에 도시된 오리피스판 구조물 내에 개구부(44) 및 (46)들을 남기게 된다. 따라서, 상기와 같이 성형된 개구부(44)및(46)들은 제8도에 도시된 헤어진(ragged)연부들을 갖는 상태로 남아있게 되나, 상기 연부(44) 및 (46)들을 미세한 그리트를 사용하는 경 샌드블레스팅 또는 플라즈마 침식과 같은 기계적인 작업에 의해 제거될 수 있고 부드럽게 될 수 있다.
제9b도는 본 발명의 적합한 실시예의 평면도이며 제4b도 및 5b도의 평면도에 대해 90°회전된 상태를 도시하며, 제9a도는 제9b도의 선 A-A에 따른 횡간단면도이다. 각각의 오리피스 개구부와 관련된 잉크저장기들 또는 격실(40)들을 형성하게 되는 환상형 도움(38)들에는 잉크 유동 포오트(47) 및 (49)들이 구비되어 있다. 상기 포오트(47) 및 (49)들은 통상적으로 기체(18)의 중심구역 내의 격설된 공통 잉크 공급개구부(도시되지 않음)로부터의 공통 잉크 공급통로와 함께 연통되게 된다. 상기 공통 잉크 공급 개구부는 공지된 마스킹 및 샌드블레스팅 처리들에 의해 형성되게 되는 연신된 슬로트 형태를 취할 수 있다. 상기와 같은 잉크 공급 슬로트들 및 그 성형방법들은 예컨대, 제임스 폴레섹(James Pollacek)등에게 허여된 "재료들의 정밀 밀링" 이라는 명칭의 미합중국 특허 제052,630호에 및 사무엘 에이. 존슨(Samuel A.Johnson)에게 허여된 "써어멀 잉크 제트 프린트헤드 및 그 제조방법"이라는 명칭의 미합중국 특허 제4,680,859호에 기재되어 있으며, 상기 양 특허은 본 양수인에게 양도되었으며 여기서는 참조로 한다.
다음에, 제9도의 구조물은 제10도에 도시된 바와 같이 공지된 납땜 처리를 사용하여 대형 잉크 공급 격실(48)에 고정되어 격실(48)의 외측 벽면을 금속 도움(38)들에 영구적으로 결합시킬 수 있다. 대형 격실(48)은 잉크를 화살표(50)들의 방향으로 제9도의 일체로된 써어멀 잉크 제트 프린트헤드 내의 각각의 잉크격실(40) 및 (42)들로 공급한다. 전기 연결장치(51,52)들이 대형 잉크 저장기(48)의 외측 표면 상에 장착되어 제9도의 프린트헤드에 대해 펄스 구동회로를 제공할 수 있다. 예컨대, 절연 기체(51)은 통상적으로 전기 리이드(52)들을 자체의 상부(또는 내부)에 보유하게 되고, 실제로는 공지된 형식의 가요성(FLEX)회로 또는 테이프 자동식 본드(TAB)본드 회로의 형태를 취할 수 있다. 상기와 같은 회로들내의 각각의 전기 리이드(52)들은 공지된 와이어 또는 비임 리이드 본딩기술(도시되지 않음)들을 사용하여 프린트헤드도체(24,26,28)들 내로 연결될 수 있으며, 상기와 같은 하나의 적합한 단일 포인트 TAB 본딩 방법이, 예컨데 게리 이.핸슨(Gary E. Hanson)에게 허여된 미합중국 특허 제4,635,073호에 기재되어 있고, 여기서는 참조로 한다.
다음의 표 1은 본 발명을 수용하기 위해 현재 공지된 최선 형태에 따른 프린트헤드 제조에 사용될 수 있는 적합한 적층 침착 방법들. 적층 두께들, 및 재료들을 나타낸다. 그러나 본 표 1은 단지 예로서 주어진 것이며, 적합한 처리 단계들의 하나의 단일 세트 및 이와 관련된 세부 사항들이 현재로서는 설정되어 있지 않으므로 본 프린트헤드를 제조하기 위한 임의의 단일한 절대적인 최선 방법을 가리키는 것은 아니다.
[표 1]
Figure kpo00001
* 플라즈마 강화 화학 증착
** 저압 화학 증착
상기 표 1에서, PECVD는 플라즈마 강화 화학 증착을 나타내며, LPCVD는 저압 화학 증착을 나타낸다. 상기 방법들은 얇은 필름 기술에 있어서 일반적으로 잘 공지되어 있으므로 여기서는 더 이상 설명하지 않는다. 그러나, 상기 기술 또는 이와 관련된 얇은 필름 기술들에 관한 상세한 설명은 다음의 얇은 필름 기술에 관한 3가지 책자들을 참조할 수 있다. 즉,
(1)1968년, 뉴욕, Van Nostrand Reinhold 사간, 베리 (Berry), 홀(Hall) 및 헤리스(Harris)공저, "얇은 필름기술".
(2)1970년, 뉴욕, McGraw Hill Book사간, 마이셀(Maissel) 및 글랭(Glang)공저, "얇은 필름 기술 핸드북".
(3)1978년, 뉴욕, Academic Press사간, 보센(Vossen) 및 케른(Kern)공저, "얇은 필름 프로세시즈" 따라서, 여러번 재사용될 수 있는 하나의 지지 더미기체 상에 자체의 전체가 제조되어 있는 써어멀 잉크 제트 프린트헤드가 기재되어 잉크 제트 프린트헤드의 제조 비용을 감소시킨다. 잉크 제트 프린트헤드의 제조시 사용된 상기 마스킹 단계들은 얇은 필름 레지스터 기체 및 대응 금속 오리피스판을 각각 별도로 성형하는데 있어서 종래의 공지된 방법들이 6개의 단계들을 사용하는데 비해 총 4개의 단계들을 사용하게 된다. 선행 기술의 방법들에서, 오리피스판 및 히이터 레지스터들은 상이한 기체들 상에 제조되어 있으므로 서로 정밀하게 정렬되어야 하게 되어 시간이 소비되고 작업에 난해하다. 그러나, 본 발명에 따르면, 정밀한 정렬을 필요로 하는 잉크제트 프린트헤드의 모든 임계 부품들, 즉 오리피스판, 잉크 제트 격실들 및 히이터 레지스터들이 모두 동일한 기체 상에 성형되므로 신규한 자정렬 방법을 제공하게 된다. 상기 3개의 임계 부품들의 정밀한 정렬은 프린트헤드 수명 및 잉크 방울 궤적에 있어서 개선된 성능을 제공할 수 있는 정밀한 얇은 필름 구조물을 제공하게 된다. 잉크 방울들이 상기 프린트헤드의 오리피스들로부터 방출된 후에, 히이터 레지스터에서 직접 이동하는 대신에, 오리피스에서의 쇠약해지는(Collapsing)잉크 메니스커스(meniseus)가 잉크 공급 격실을 향해 이동한다. 상기와 같은 방법에 따라, 히이터 레지스트들은 잉크 제트 인쇄 작업중에 직접적인 캐비테이션 힘들을 받지 않게 되어 잉크제트 프린트헤드의 수명이 증가되게 된다.

Claims (19)

  1. 써어멀 잉크 제크 프린트헤드를 제조하기 위한 자정렬 방법에 있어서 a. 재사용가능한 기체를 제공하는 단계, b. 상기 기체 상에 오리피스판을 성형 하는 단계, c. 상기 오리피스판 상에 제1장벽층을 성형하는 단계. d. 히이터 레지스터들을 미리 설정된 형태로 상기 제1장벽층 상에 성형하고 상기 오리피스판내의 개구부들에 대해 격설시키는 단계, e. 상기 제1장벽층 상에 제2장벽층을 성형하고, 상기 히이터 레지스터들을 잉크 부식 및 캐비테이션 웨어로부터 방지하기 위해 상기 히이터 레지스터들의 상부로 연장시키는 단계. f. 상기 제2장벽층 상에 잉크 저장기 형성층을 형성시키고 상기 오리피스판 내의 개구부들과 함께 정렬된 다수의 잉크 저장기 개구부들을 형성시키는 단계, g. 상기 제1 및 제2장벽층들을 통해 통로들을 제공하고 상기 저장기들로부터 상기 오리피스판 내의 개구부들까지 연장시켜, 잉크를 상기 다수의 잉크저장기들로 공급하도록 상기 잉크 저장기층이 잉크 공급 격실에 고정될 수 있게 되는 단계, 및 h. 상기 재사용가능한 기체를 상기 오리피스판으로부터 제거하는 단계들을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 잉크를 공통 잉크 공급원으로부터 각각의 상기 저장기들로 공급하도록 잉크 공급격실을 상기 저장기 형성층에 부착시키는 단계를 또한 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 히이터 레지스터들을 상기 제1장벽층의 표면상의 인입 도체들과 일체로 성형하고 레지스터/도체 재료의 횡간 단면적을 조절함으로써 레지스터/도체 저항을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제2항에 있어서, 히이터 레지스터들을 상기 제1장벽층의 표면 상의 인입 도체들과 함께 일체로 성형하고 레지스터/도체 재료의 횡간 단면적들을 조절함으로써 레지스터/도체 저항을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 잉크 제트펜을 제조하는 방법에 있어서 , a. 얇은 필름 변환기 구조물을 재사용가능한 기체상에 성형하고 열 발생 변환기들 내로 인도되는 도체들을 포함시키는 단계, b. 상기 변환기들과 인접된 잉크 저장기형성 벽면들을 성형하는 단계. c. 상기 기체를 제거하는 단계, d. 상기 벽면들을 잉크공급 용기에 접착시키는 단계. 및 e. 전류를 상기 변환기들로 제공하도록 상기 도체들을 상기 용기 상의대응 리이드들과 전기적으로 연결시키는 단계들을 포하하는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 잉크 저장기 형성 벽면들이 상기 얇은 필름 변환기 구조물 상의 패턴 내에서 전기주형되고 다음에 상기 잉크 공급 용기에 접착되는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 얇은 필름 변환기 구조물 내의 오리피스 개구부들이 상기 재사용가능한 기체의 상부상에 선택적으로 전기주형함으로써 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제5항에 있어서, 상기 변환기들이, 상기 얇은 필름 변환기 구조물 내의 다수의 대응 오리피스들을 부분적으로 감싸고 있고 다수의 인입 도체들과 일체로 결합되어 있는 다수의 레지스터들을 침착시킴으로써 성형되는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 벽면들이 상기 레지스터들을 부분적으로 감싸도록 전기주형되어 있고 상기 레지스터들로 잉크의 유동을 제공하는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 일체로된 써어멀 잉크 제트 프린트헤드에 있어서, a. 자체의 내부에 다수의 개구부들을 갖는 오리피스판, b. 상기 오리피스판 상에 배설된 제1장벽층, c. 미리 규정된 형태로 상기 제1장벽층 상에 배열되어 있고 상기 오리피스판 내의 상기 개구부들과 인접되어 위치되어 있는 다수의 히이터 레지스터들, d. 상기 제1장벽층 상에 배설되어 있고 상기 히이터 레지스터들을 덮고 있으며 상기 히이터 레지스터들을 부식 및 캐비테이션 웨어로부터 보호하는 제2장벽층, e. 상기 제2장벽층 상에 배설되어 있고 상기 오리피스판내의 상기 개구부들과 함께 정렬되어 있는 다수의 잉크 저장기들을 자체의 내부에 갖는 잉크 저장기 형성층, 및 f. 상기 저장기 형성층 내의 상기 저장기들로부터 및 상기 오리피스판 내의 개구부들을 통해 잉크 유동 경로를 제공하도록 상기 오리피스판 내의 각각의 개구부에서 그를 통해 연장되는 통로로 구성되되, 상기 제1 및 제2장벽층들은 상기 통로를 가지며, 상기 잉크 저장기 형성층은 잉크 제트 인쇄 작업중에 잉크를 상기 오리피스판 내의 상기 개구부들을 통해 상기 저장기들로 공급하도록 잉크 공급 격실 또는 하우징에 고정될 수 있는 것을 특징으로 하는 일체로된 써어멀 잉크 제트 프린트헤드.
  11. 제10항에 있어서, 잉크를 공동 잉크 공급원으로부터 각각의 상기 저장기들로 공급하도록 상기 잉크 저장기 형성층에 부착된 잉크 공급 격실을 또한 포함하는 것을 특징으로 하는 구조물.
  12. 제10항에 있어서, 상기 히이터 레지스터들이 인입 도체들과 일체로 성형되어 있고, 상기 히이터 레지스터들의 저항은 자체의 설정된 횡간 단면적에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 구조물.
  13. 제11항에 있어서, 상기 히이터 레지스터들이 인입 도체들과 일체로 성형되어 있고, 상기 히이터 레지스터들의 저항은 자체의 설정된 횡간 단면적에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 구조물.
  14. 잉크 제트 펜에 있어서, a. 열 발생 변환기들 내로 인도되는 도체들을 자체의 상부에 가지며 상기 변환기들과 관련된 잉크 방출 오리피스들을 또한 갖는 얇은 필름 변환기 구조물, b. 상기 변환기들과 인접되어 있고 잉크 저장기들을 형성하는 환상 벽면들, c. 상기 환상 벽면들에 접착되어 있는 잉크용기, 및 d. 외부의 전기적인 연결을 상기 얇은 필름 변환기 구조물에 연결시키기 위한 상기 용기 상의 장치의 조합을 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크 제트 펜.
  15. 제14항에 있어서, 상기 벽면들이 전기주형되어 잉크를 상기 변환기들로 공급하도록 자체의 내부에 잉크 유동 포오트들을 갖게 되는 것을 특징으로 하는 펜.
  16. 제14항에 있어서, 상기 변환기들이 상기 얇은 필름 변환기 구조물 내의 상기 오리피스들을 부분적으로 감싸는 히이터 레지스터들인 것을 특징으로 하는 펜.
  17. 제16항에 있어서, 상기 벽면들이 전기주형되어 잉크를 상기 히이터 레지스터들로 공급하도록 잉크 유동포오트들을 갖게 되고 상기 히이터 레지스터들을 부분적으로 감싸는 것을 특징으로 하는 펜.
  18. 제17항에 있어서, 상기 히이터 레지스터들이 도체들 내의 리이드와 일체로 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 펜.
  19. 제14항에 있어서, 상기 변환기들이, 상기 오리피스들을 부분적으로 감싸며 인입 도체들과 일체로 결합되어 있는 히이터 레지스터들인 것을 특징으로 하는 펜.
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