KR900019248A - 스크린 인쇄된 초전도성 장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 집적회로 칩의 하우징 일부, 또는 지지체를 형성하는 기판상에 있는 회로의 단면도, 제5도는 온도 함수로써 상이한 기판 물질의 비교 신당도 △L/L를 도시한 도면.
Claims (10)
- 세라믹 기판상에 형성되었으며 적어도 하나의 스크린 인쇄층으로 구성되어 전도체를 형성하는 회로와 이 전도체와 전기적으로 접촉하는 패드를 형성하는 하나의 스크린 인쇄층을 구비하는 스크린 인쇄된 초전도성 장치에 있어서, 소결된 다결정 마그네슘 산화물(MgO)로 구성된 기판과, 초전도성인 YBa2Cu3O7-x(0＜x＜0.5)로 구성된 전도체를 형성하는 층을 구비하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄된 초전도성 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 접촉 패드는 전도성 스크린 인쇄층으로 형성되었으며, 이 접촉 패드의 활동상은 금, 은-팔라듐, 금-팔라듐, 금-백금 또는 은-백금중에서 선택된 금속으로 구성되며, 또한 접촉 패드는 제2레벨레서 스크린 인쇄층에 의해 초전도성 전도체에 연결된 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄된 초전도성 장치.
- 제1항 또노는 제2항에 있어서, 상기 회로는 하이브리드 형태로 구성된 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄된 초전도성 장치.
- 제3항에 있어서, 세라믹 기판상에는 집적회로 칩이 제공되었으며, 하이브리드 회로의 전도체는 집적회로칩의 입력-추력커넥션을 형성하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄된 초전도성 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 세라믹 기판은 집적 회로 칩을 지지하는 하우징을 형성하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄된 초전도성 장치.
- 상기 항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 세라믹 기판은 냉각 액체를 도입할 수 있는 공동을 갖는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄된 초전도성 장치.
- 제1항 내지 5항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 세라믹 기판은 냉각 액체를 순환시킬 수 있는 공동을 갖는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄된 초전도성 장치.
- 제1항 내지 5항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 세라믹 기판은 냉각 액체에서 첨지되는 연장부를 갖는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄된 초전도성 장치.
- 상기 1항 내지 8항의 스크린 인쇄된 초전도성 장치를 제조하는 방법에 있어서, (a)소결된 다결정 마그네슘 산화물(MgO)기판을 형성하는 단계와, (b)각 몰분율이 40%, 20%, 5%, 35%인 PbO, B2O3, Al2O3, SiO2로부터 형성된 유리 형태와 Au, Au-Pb, Au-Pd, Au-Pt, Ag-Pt 가운데서 선택된 분말 형태의 금속으로 혼합되어, 95체적%의 금속을 함유하여 유동적 매체로 도입되는 스크린 인쇄가능한 전도성 잉크를 생산하는 단계와, (c)의도된 회로를 위하여 전기 접촉 패드(p)를 형성하기에 적당한 형태에 따라 스크린 인쇄에 의해 마그네슘 산화물 기판상에 상기의 전도성 잉크를 석출시켜, 이 전도성층을 900℃에서 어닐링 하는 단계와, (d)0.5몰의 Y2O3, 2몰의 BaCo3, 3몰의 CuO, 또는 0.5몰의 Y2O3, 2몰의 BaO2, 3몰의 CuO등의 조성을 갖는 혼합물로부터 분말을 형성하는 단계와, (e)고체상태에서 확산에 의해 YBa2Cu3O7-x 분말 형태로 되게 하는, 산소의 유동속에서 10 내지 18시간 동안 900℃로 이 분말을 가열하는 단계와, (f)8 내지 12㎛의 직경을 갖는 입자를 얻기 위해 이 분말 입자를 1 내지 3시간동안 분쇄하는 단계와, (g)40 내지 50%의 YBa2Cu3O7-x분말과 60내지 50%의 유동적 매체를 갖는 스크린 인쇄 가능한 잉크를 얻기 위해 이 분말을 유기적 매체로 혼합하는 단계와, (h)특정 전도체 회로를 형성하기에 적당하고, 전도체의 일부가 (c)단계에서 형성된 접촉 패드 근처에 있는 형태에 따라 (g)단계에서 얻어진 잉크를 스크린 인쇄하는 단계와, (i)약 120℃에서 15분동안 이층을 건조시키는 단계와, (j)5 내지 20시간동안 920°±10°의 온도에서 이층을 어닐링하는 단계와, (k)산소에서 주변 온도를 약 1℃/min로 서냉하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄된 초전도성 장치의 제조방법.
- 제9항에 있어서, (a)40 내지 50%의 분말 형태의 Ag와 60 내지 50%의 유동성 액체를 혼합하여 Ag를 사용하여 스크린 인쇄될 수 있는 전도성 잉크를 형성하는 단계와, (b)초전도성층의 적어도 일부와 근처에 위치된 접촉패드의 적어도 일부가 제2전도성층에 의해 덮혀지는 방식으로, 상기 (c)단계에서 형성된 접촉패드와 초전도성 전도체 사이에 커넥션을 형성하기 위해 상기 전도성 잉크층을 스크린 인쇄하는 단계와, (c)10 내지 18시간동안 약 600℃에서 이 조립체를 가열하는 단계와, (d)초전도성층의 조성이 0＜X＜0.5가 되는 방식으로 분당 1℃씩 410℃의 일정한 온도로 서냉하는 단계와 (e)1 내지 20시간동안 410℃의 일정한 온도에서 유지시키는 단계와, (f)분당 1℃씩 주변 온도로 재냉각시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄된 초전도성 장치의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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