KR900014107A - 진공연속처리장치 및 방법 - Google Patents

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시노브 에자끼
유끼시게 가미노
마사이에 도오가이
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미다 가쓰시게
가부시기가이샤 히다찌세이사꾸쇼
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    • B29C51/10Forming by pressure difference, e.g. vacuum
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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Abstract

내용 없음

Description

진공연속처리장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 관한 진공연속처리장치의 실시예의 개략 종단면도.
제2도는 제1도의 개략평면도.
제3도는 시일장치의 종단면도.
제4도는 제3도의 A-A단면도.

Claims (12)

  1. 진공처리실의 옆쪽에 예비진공실을 배치하고 있는 진공 연속처리장치에 있어서, 상기 예비진공실은 피처리물을 반송함과 동시에 진공처리실을 처리실 밖으로부터 시일하는 슬릿상의 시일장치를 가지고 그 시일장치에 피처리물을 안내하는 안내부재를 설치하고 상기 진공처리실 및 예비진공실에 각각 독립하여 장력을 부여할 수 있는 장력부여장치를 설치한 것을 특징으로 하는 진공 연속처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 진공처리실내에 피처리물의 장력을 차단하는 장치를 설치한 것을 특징으로 하는 진공 연속처리장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 예비실의 전방측 또는 후방측에 장력을 차단하는 장치를 설치한 것을 특징으로 하는 진공 연속처리장치.
  4. 제1항에 있어서, 장력을 부여하는 장치가 이동구조의 롤러인 것을 특징으로 하는 진공 연속처리장치.
  5. 제4항에 있어서, 장력을 부여하는 장치의 위치를 검출하여 장력을 차단하는 장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 진공 연속처리장치.
  6. 제5항에 있어서, 진공처리실 및 예비진공실의 전방 또는 후방에 배치되어 있는 장력을 차단하는 장치가 각각 피처리물을 사이에 끼워물린 회전롤러인 것을 특징으로 하는 진공연속 처리장치.
  7. 진공처리실의 옆쪽에 예비진공실을 배치하고 있는 진공연속처리장치에 있어서, 상기 예비진공실은 피처리물을 반송함과 동시에 진공처리실을 처리실 밖으로부터 시일하는 슬릿상의 시일장치를 가지고 해당 시일장치에 피처리물을 안내하는 안내부재를 설치하고, 상기 진공처리실 및 예비진공실에 각각 독립하여 장력을 차단할 수가 있는 장력 차단장치를 설치한 것을 특징으로 하는 진공 연속처리장치.
  8. 진공처리실의 옆쪽에 예비진공실을 배치하고 있는 진공 연속처리장치에 있어서, 상기 예비진공실은 피처리물을 반송함과 동시에 진공처리실을 처리실 밖으로부터 시일하는 슬릿상의 시일장치를 가지고 그 시일장치의 전후 또는 한쪽에 피처리물을 안내하는 안내 부재를 설치하고, 상기 예비진공실에 장력부여장치를 설치한 것을 특징으로 하는 진공 연속처리장치.
  9. 진공처리실의 옆쪽에 예비진공실을 배치하고 있는 진공 연속처리장치에 있어서, 상기 예비진공실은 피처리물을 반송함과 동시에 진공처리실을 처리실 밖으로부터 시일하는 슬릿상의 시일장치를 가지고 그 시일장치의 전후 또는 한쪽에 피처리물을 안내하는 안내 부재를 설치하고, 상기 진공처리실에 장력부여장치를 설치한 것을 특징으로 하는 진공 연속처리장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 예비진공실의 전방측 또는 후방측에 장력을 차단하는 차단장치를 설치한 것을 특징으로 하는 진공 연속처리장치.
  11. 진공처리실에서 피처리물에 열 및 장력을 부가하여 처리를 행하고, 이 진공처리실의 옆쪽에 접속되여 진공처리실의 진공압력을 대기로부터 상기 진공처리실의 진공압력까지 단계적으로 감압하고 상기 피처리물에 장력을 부가하면서 대기중으로부터 예비진공실, 진공처리실, 예비진공실을 경유하여 다시 대기중으로 반송하여 피처리물을 연속적으로 처리하는 방법에 있어서, 상기 진공처리와 예비진공처리에 각각 독립하여 장력을 부여하면서 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 진공연속 처리방법.
  12. 제11항에 있어서, 피처리물에 부여하는 장력을 진공처리실에 있어서 예비진공실에 있어서보다 크게 하는 것을 특징으로 하는 진공연속 처리방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900003713A 1989-03-20 1990-03-20 진공연속처리장치 및 방법 KR900014107A (ko)

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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07245332A (ja) * 1994-03-04 1995-09-19 Hitachi Ltd 半導体製造装置および半導体装置の製造方法ならびに半導体装置
JP3199162B2 (ja) * 1996-03-18 2001-08-13 松下電器産業株式会社 連続真空処理装置
US5814278A (en) * 1996-04-26 1998-09-29 Minnesota Mining And Manufacturing Company Shrouded reaction vessel
DE19814805A1 (de) * 1998-04-02 1999-10-07 Bosch Gmbh Robert Beschichtungsverfahren eines Wischergummis
PT1004369E (pt) 1998-11-26 2004-10-29 Cockerill Rech & Dev Eclusa de estanquecidade para camara de vacuo
US6878207B2 (en) * 2003-02-19 2005-04-12 Energy Conversion Devices, Inc. Gas gate for isolating regions of differing gaseous pressure
SE0401834D0 (sv) * 2004-07-09 2004-07-09 Gambro Lundia Ab A continuous method for production of a regioselective porous hollow fibre membrane
DE102006025751B4 (de) * 2006-05-31 2010-12-23 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Verfahren zur Abdichtung einer Vakuumkammer und Schleuseneinrichtung für eine Vakuumkammer
JP5176684B2 (ja) * 2008-04-01 2013-04-03 セイコーエプソン株式会社 記録装置及び記録方法
US9303316B1 (en) * 2010-01-15 2016-04-05 Apollo Precision Kunming Yuanhong Limited Continuous web apparatus and method using an air to vacuum seal and accumulator
JP5958092B2 (ja) * 2012-05-31 2016-07-27 ソニー株式会社 成膜装置及び成膜方法
JP6791389B2 (ja) * 2018-03-30 2020-11-25 Jfeスチール株式会社 方向性電磁鋼板の製造方法および連続成膜装置

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3057792A (en) * 1957-12-21 1962-10-09 Siemens Ag Method for improving the imprintability of synthetic material
US3897205A (en) * 1973-07-06 1975-07-29 Us Agriculture Fireproofing cellulose textiles with tetrakis (hydroxymethyl) phosphonium chloride and aniline
US3990390A (en) * 1975-01-27 1976-11-09 Anatoly Iosifovich Plyshevsky Apparatus for vacuum coating of a substrate
DE2900724C2 (de) * 1979-01-10 1986-05-28 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten im Vakuum
JPS5730733A (en) * 1980-07-30 1982-02-19 Shin Etsu Chem Co Ltd Device for continuous plasma treatment
JPS57195739A (en) * 1981-05-29 1982-12-01 Shin Etsu Chem Co Ltd Sealing device for continuous vacuum treatment apparatus
DE3466414D1 (en) * 1983-06-17 1987-10-29 Hitachi Ltd Continuous vacuum treating apparatus
GB8408023D0 (en) * 1984-03-28 1984-05-10 Gen Eng Radcliffe Ltd Vacuum coating apparatus
JPS61163272A (ja) * 1985-01-09 1986-07-23 Canon Inc 薄膜の製造方法及び該方法に使用する装置
GB8505199D0 (en) * 1985-02-28 1985-04-03 Bicc Plc Extrusion control
US4743419A (en) * 1985-03-04 1988-05-10 The Dow Chemical Company On-line film fluorination method
EP0387619A3 (en) * 1985-05-31 1991-10-09 Hitachi Maxell Ltd. Method of and apparatus for making magnetic recording medium
JPH0784660B2 (ja) * 1985-06-29 1995-09-13 石川島播磨重工業株式会社 真空処理装置のシ−ル装置
JPS6230879A (ja) * 1985-07-31 1987-02-09 Hitachi Condenser Co Ltd 薄膜形成方法
JPS6237367A (ja) * 1985-08-13 1987-02-18 Kawasaki Steel Corp 方向性けい素鋼板の鉄損低減装置
US4865713A (en) * 1987-05-26 1989-09-12 Siemens Aktiengesellschaft Apparatus for applying thin layers onto a substrate
JPS63304034A (ja) * 1987-06-05 1988-12-12 Hitachi Ltd 真空連続処理装置
JPS63305140A (ja) * 1987-06-05 1988-12-13 Hitachi Ltd 真空連続処理装置
JPS63305141A (ja) * 1987-06-05 1988-12-13 Hitachi Ltd 真空連続処理装置
US4763601A (en) * 1987-09-02 1988-08-16 Nippon Steel Corporation Continuous composite coating apparatus for coating strip
DE3731444A1 (de) * 1987-09-18 1989-03-30 Leybold Ag Vorrichtung zum beschichten von substraten

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JPH02247382A (ja) 1990-10-03
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JP2691007B2 (ja) 1997-12-17

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