KR900013574A - 오븐큐어링 장치 - Google Patents

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KR900013574A
KR900013574A KR1019890002242A KR890002242A KR900013574A KR 900013574 A KR900013574 A KR 900013574A KR 1019890002242 A KR1019890002242 A KR 1019890002242A KR 890002242 A KR890002242 A KR 890002242A KR 900013574 A KR900013574 A KR 900013574A
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이성우
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정몽헌
현대전자산업 주식회사
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof

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Abstract

내용 없음

Description

오븐큐어링 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 오븐큐어링 장치의 절개사시도,
제2도는 본 발명에 의한 오븐큐어링 장치의 내부정면도,
제3도는 본 발명에 의한 오븐큐어링 장치의 챔버우측판의 정면도.

Claims (4)

  1. 하부에 송풍기 및 히터가 장착되고, 그 상부에는 챔버가 상, 중, 하단에 각각 행방향으로 소정수 형성되어, 좌우측편 챔버의 측판에는 열흐름 구멍을 행 및 열방향으로 소정수 형성하되, 행장향의 열흐름 구멍의 행수는 상, 중, 하단 챔버마다 각각 서로 다른 행수로 형성시켜, 상기 히터에 의해 더워진 공기가 송풍기에 의해 각 챔버에 순환되도록 구성한 오븐큐어링 장치에 있어서, 상기 챔버 좌측판은 상, 중, 하단 챔버측판에 형성된 행 및 열방향의 열흐름 구멍을 완전개방하고, 상기 챔버 우측판은 상단챔버 측판 열흐름 구멍의 한열을 개방하고, 나머지 열의 열흐름 구멍은 차폐판으로 차단하되, 중, 하단측 챔버 측판의 열흐름 구멍은 완전개방한 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 오븐큐어링 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 챔버 좌측판은 상단 챔버 측판의 열흐름 구멍의 한열 이상을 개방하고, 나머지 열의 열흐름 구멍은 차폐판으로 차단하며, 중, 하단 챔버 측판 열흐름 구멍은 개방한 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 오븐큐어링 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 챔버우측판은 상단 챔버측판의 열흐름 구멍의 두열이상을 개방하고, 나머지 열의 열흐름구멍은 차폐판으로 차단하되, 중, 하단측 챔버측판의 열흐름 구멍은 완전개방한 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 오븐큐어링 장치.
  4. 제1,2 또는 3항에 있어서, 상기 챔버 좌우 측판은 상기 선택적으로 차단되는 열흐름 구멍을 차폐시켜 제조하는 것을 특징으로 하는 오븐큐어링 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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