KR900003545B1 - Fabrication method of contact compound metal of vacuum valve - Google Patents

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Abstract

A contact forming alloy for a vacuum valve or circuit breaker is prepd. by (a) forming a structure from chromium powder under an external pressure of no more than 8 tons per square centimeter or a pressure due to its own wt. This chromium powder has an average particle size of from 5 to 250 micron and the content of each of aluminium sillicon, vanadium and calclum present in the chromium powders as impurities is not more than 100 ppm; (b) sintering the formed structure contained in a vessel for sintering, in a nonoxidising atmos. together with the vessel for sintering in order to obtain a chromium skeleton; (c) inflltrating the voids in the resulting chromium skeleton with copper and or silver; and (d) cooling the infiltrated alloy material to adjust its conductivity.

Description

진공밸브용 접점합금의 제조방법Manufacturing Method of Contact Alloy for Vacuum Valve

제 1 도는 본 발명의 접점재료가 적용되는 진공차단기의 단면도.1 is a cross-sectional view of a vacuum circuit breaker to which the contact material of the present invention is applied.

제 2 도는 접점부의 확대단면도.2 is an enlarged cross-sectional view of a contact portion.

본 발명은 가스 및 기공(pore)이 적은 Cu 또는/및 Ag-Cr 합금의 제조방법에 관한 것이며, 특히 재점호 발생 빈도를 경감화시킬 수 있는 진공 밸브용 접점합금의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing Cu and / or Ag-Cr alloys with less gas and pores, and more particularly, to a method of manufacturing a contact alloy for vacuum valves that can reduce the frequency of re-ignition.

진공밸브용 접점에 요구되는 특성은 내용착, 내전압, 고차단성이다.Characteristics required for the contact for the vacuum valve are welding, withstand voltage and high breaking resistance.

그러나 이들의 3요건에 대해서는 상반되는 물리적 성질이 요구되므로 이상적으로 양립시키는 것은 어렵고, 적용시키는 회로의 우선요건을 제1로 하고, 다른 요건은 약간 희생시켜 대응하고 있는 것이 현상이다.However, since these three requirements are required to have opposite physical properties, it is difficult to make them ideally compatible, and the present condition is that the priority requirements of the circuit to be applied are the first and other requirements are slightly sacrificed.

예를들면 종래에 고내압, 대용량 진공차단기에 있어서는 용착방지성분(Bi,Te,Pb 등)을 5중량% 이하 함유하는 Cu 합금을 전극접점으로서 구비한 것이 공지되어 있다.(일본특허공보 특공소 41-12131호).For example, it is known that a Cu alloy containing 5% by weight or less of a welding prevention component (Bi, Te, Pb, etc.) is provided as an electrode contact point in a high breakdown voltage and a large capacity vacuum circuit breaker. 41-12131).

그런데 근년의 고전압화 요구에 대해서는 내전압의 면에서는 충분치는 않다. 즉, 진공차단기는 소형 경량, 용이한 정비, 환경조화등 다른 차단기에 비해서 우수한 특징을 갖으므로 매년 그 적용범위도 확대되고, 종래에 일반적으로 사용되고 있었든 36KV 이하의 회로부터 더욱 고전압의 회로에 적용됨과 더불어 특수회로 예를들면 콘덴서회로를 개폐하는 수요도 급증되고 있으므로 한층 더 내고전압화가 필요하다.However, in recent years, the demand for higher voltage is not sufficient in terms of withstand voltage. That is, the vacuum circuit breaker has superior characteristics compared to other circuit breakers such as small size, light weight, easy maintenance, and environmental conditioning, so the scope of application is expanded every year, and it is applied to the circuit of higher voltage from the circuit of 36KV or less, which has been generally used in the past. In addition, the demand for opening and closing special circuits, such as capacitor circuits, is also increasing rapidly.

그 달성을 저해하는 중요한 요인의 하나로서 재점호현상, 재발호현상을 들 수 있다.One of the important factors that hinders its achievement is re-calling and re-calling.

재점호 현상은 제품의 신뢰성 향상의 관점에서 중요시되고 있음에도 불구하고 아직까지 방지기술은 물론이고 직접적인 발생원인에 관해서도 명백하지 않다.Although the re-ignition phenomenon is considered to be important in terms of improving the reliability of the product, it is still not clear about the prevention technology as well as the cause of the direct occurrence.

상기 고내압화에 수반되어 접점재료에 대해서도 더욱 고내압이고, 또 재점호형상의 발생변도가 낮은 특성을 갖는 것이 요구되고 있다.In connection with the high withstand voltage, the contact materials are required to have a higher withstand voltage and a lower generation variability in the re-ignition shape.

접접재료의 고내압화, 무재점호화를 도모하기 위해서는 내압적인 결함이 되는 부서지기 쉬운 용착방지 성분의 양 자체를 극히 적게하든지 과도히 집중하는 것을 피할 것, 가스불순물이나 핀홀등을 극히 적게 할것, 접점합금자체의 강도를 크게할 것 등등이 요망된다.In order to achieve high pressure resistance and non-intercalation of the contact materials, avoid the extremely low or excessive concentration of fragile welding prevention components that are pressure-resistant defects, and extremely low gas impurities or pinholes. It is desired to increase the strength of the alloy itself.

이런 관점에서 말한다면, 상술한 Cu-Bi 합금은 만족스러운 것은 아니다.In this respect, the above-described Cu-Bi alloy is not satisfactory.

또 종래에 사용되고 있는 다른 접점재료인 Cu-W 접점 또는 Cu-Wc 접점은 내전압적으로는 상당히 우수하지만, 이 소결계 접점합금은 제조방법적으로는 기포가 남아있기 쉽고, 또 열전자방출도 많으므로 재점호현상이 발생되기 쉽다는 결점이 있다.In addition, Cu-W contacts or Cu-Wc contacts, which are conventionally used as contact materials, are quite excellent in terms of withstand voltage. However, the sintered contact alloy is easy to retain bubbles in the manufacturing method, and also has many hot electron emission. There is a drawback that re-ignition is likely to occur.

한편, 고내압이며, 대전류차단을 요구하는 분야에서는 Cu-Cr합금의 적용이 행해지고 있다. Cu-Cr 합금은 다른 접점재료 정도는 구성원소간의 증기압차가 적으므로 균일한 성능발휘를 기대할 수 있는 이점이 있고, 사용 방법에 따라서는 그 특징은 충분히 이용할 수 있는 접점합금인 것이다.On the other hand, application of Cu-Cr alloy is performed in the field | area which is high breakdown voltage and requires a large current interruption. The Cu-Cr alloy has the advantage of expecting uniform performance due to the small vapor pressure difference between the members of different contact materials, and its characteristic is that it is a fully available contact alloy.

이 Cu-Cr계 점점합금은 대략 다음과 같이 제조한다. 예를들면 일본특허공보 특공소 59-30761호에 의하면, Cr분말과 소량의 Cu분말을 혼합하고, 이 혼합물을 금형에 충전하여 적은 압력을 가하여 플레스 성형시키고, 이 성형체를 금형에서 꺼낸후에 이것을 진공소결시켜 Cr 스켈톤을 형성시키고 최후로 Cu를 용침시키는 방법이다.This Cu-Cr based gradual alloy is manufactured as follows substantially. For example, according to Japanese Patent Publication No. 59-30761, Cr powder and a small amount of Cu powder are mixed, and the mixture is filled into a mold and subjected to pressure molding with little pressure, and the molded body is taken out of the mold. Vacuum sintering forms Cr skeleton and finally Cu infiltrates.

또 최근에는 금형안에 분발을 주입시키고 그 위에 펠레트(pellet)를, 올려놓고 전체를 탈가스한 후에 감압하에서 용침처리를 행하는 방법도 개시되어 있다(일본특허공보 특개소 59-25903호 참조).Also recently, a method of injecting powder into a mold, placing a pellet thereon, degassing the whole, and then performing infiltration treatment under reduced pressure is also disclosed (see Japanese Patent Laid-Open No. 59-25903).

또 처음부터 최종목표값의 Cu와 Cr를 혼합하고, 이것으로부터 얻은 성형체를 Cu의 용융점 또는 그 이하에서 고상소결시킴으로써 Cu-Cr합금을 얻는 방법도 행해지고 있다.Moreover, the method of obtaining Cu-Cr alloy is also performed by mixing Cu and Cr of a final target value from the beginning, and solidifying and sintering the molded object obtained by this at the melting point of Cu or less.

그러나 이들 합금은 상기와 같이 일반적으로 분말야금 수법에 의해서 제작되고 재점호 발생에 관여되는 원료분말관리, 소결기술 및 용침기술이 충분히 확립되어 있지 않으므로 재점호 발생빈도란 점에서 아직 충분히 만족할 수 있는 것은 아니다.However, as these alloys are generally manufactured by powder metallurgy as described above, raw powder control, sintering, and infiltration techniques that are involved in re-ignition have not been sufficiently established. no.

본 발명은 재점호의 발생빈도의 현저한 저감화가 도모된 진공밸브용 접점합금의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a contact alloy for a vacuum valve, in which the occurrence frequency of re-ignition is significantly reduced.

본 발명자등은 진공밸브용 접점합금의 재점호발생빈도의 경감화 및 도전율 특성의 안정화를 위하여 이 제조방법의 원료 Cr의 선틱, 소결조건, 용침조건 및 냉각조건을 검토하고 연구한 결과, 본 발명을 완성하기에 이르렀다. 즉, 제1의 태양에 의한 본 발명의 진공밸브용 접점합금의 제조방법은 다음 공정 (a)-(d)를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present inventors have studied and studied the suntic, sintering conditions, infiltration conditions and cooling conditions of the raw material Cr of this manufacturing method to reduce the re-ignition frequency and stabilize the conductivity characteristics of the contact alloy for vacuum valves. Came to complete. That is, the manufacturing method of the contact alloy for vacuum valves of this invention by a 1st aspect is characterized by including following process (a)-(d).

(a) 평균입자 직경이 5-250μm의 범위에 있고, 또 불순물로서 존재하는 Al, Si,V 및 Ca의 함유량이 각각 100ppm 이하인 Cr 분말을 8ton/cm2이하의 외부압력 또는 이 Cr 분말의 자중의 압력으로 성형체로 만드는 공정.(a) Cr powders having an average particle diameter in the range of 5-250 μm and containing Al, Si, V, and Ca as impurities in an amount of 100 ppm or less, respectively, having an external pressure of 8 ton / cm 2 or less, or the weight of the Cr powder To make a molded body under pressure.

(b) 소결용 용기에 수용된 상기 성형체를 Cr 스켈론을 얻기 위하여 소결용 용기와 함께 비산화성 분위기내에서 소결시키는 공정.(b) sintering the molded body contained in the sintering container in a non-oxidizing atmosphere together with the sintering container in order to obtain a Cr skeleton.

(c) 얻어진 Cr 스켈톤내의 공극에 Cu 또는/및 Ag를 용침시키는 공정.(c) A step of infiltrating Cu or / and Ag in the voids in the obtained Cr skeleton.

(d) 용침된 합금소재를 도전율이 조정되게 냉각시키는 공정.(d) cooling the infiltrated alloy material to adjust the conductivity.

또 제2의 태양에 의한 본 발명의 진공밸브용 접점합금의 제조방법은 다음의 공정 (a)-(f)를 포함함을 특징으로 한다.The manufacturing method of the vacuum alloy contact alloy according to the second aspect of the present invention includes the following steps (a) to (f).

(a) 원료 Cr를 비산화성 분위기내에서 1300℃-융점 근방의 온도범위에서 적어도 1회 가열처리하는 공정.(a) Process of heat-processing raw material Cr at least 1 time in the non-oxidizing atmosphere in the temperature range of 1300 degreeC near melting | fusing point.

(b) 가열처리를 한 원료 Cr를 분쇄하여 평균입자직경 5-250μm, 산소와 질소의 함유량이 각각 200ppm이하인 Cr 분말을 얻는 공정.(b) A step of grinding the raw material Cr subjected to the heat treatment to obtain Cr powder having an average particle diameter of 5-250 µm and contents of oxygen and nitrogen of 200 ppm or less, respectively.

(c) 이와같이 하여 얻어진 Cr분말을 8ton/cm2이하의 외부압력 또는 이 Cr분말의 자중의 압력으로 성형시키는 공정.(c) A step of molding the Cr powder thus obtained at an external pressure of 8 ton / cm 2 or less or a pressure of the weight of the Cr powder.

(d) 소결용 용기에 수용된 상기 Cr분말 성형체를 Cu 스켈론을 얻기 위하여 소결용 용기와 함께 비산화성 분위기내에서 소결시키는 공정.(d) A step of sintering the Cr powder compacts contained in the sintering vessel together with the sintering vessel in a non-oxidizing atmosphere to obtain Cu skeleton.

(e) 얻어진 Cr 스켈론 내의 공극에 Cu 또는/및 Ag를 용침시키는 공정.(e) A step of infiltrating Cu or / and Ag in the voids in the obtained Cr skeleton.

(f) 용침된 합금소재를 도전율이 조정되게 냉각시키는 공정.(f) cooling the infiltrated alloy material so that the conductivity is adjusted.

이하에 본 발명을 상기 각 공정에 따라서 상세히 설명하겠다.Hereinafter, the present invention will be described in detail according to the above steps.

Cr분발의 불순물 관리Impurity management of Cr powder

본 발명자등은 접점재료를 가열하는 과정에서 방출되는 가스의 총량 및 방출의 형태에 관해서 상세히 관찰한 결과 이들의 요인과 재점호 현상의 발생에는 중요한 상관관계가 있고, 특히 접점재료를 구성하는 원재료의 하나하나마다 가스를 방출하고 그 중에서도 융점근방에서 돌발적으로 발생하는 가스의 방출을 제어함으로써 재점호현상을 효과적으로 억제할 수 있음을 발견하였다. 즉, 접점재료를 가열해가면 흡착가스의 대부분은 용융점 이하에서 달가스되고, 용융점 근방에서 고용된 가스가 방출되지만 용융점 이상으로 더 가열방치하면 극히 단시간(예를들면 수 m sec 정도)이지만 펄스적인 돌발성 가스의 방출(수회내지 수백회 돌발한다)이 관찰된다.The present inventors have observed in detail the total amount of gas emitted during the heating of the contact material and the form of the emission, and as a result, these factors and the occurrence of re-ignition phenomena have an important correlation, and in particular, the raw material constituting the contact material It has been found that re-emergence can be effectively suppressed by controlling the release of gas which occurs suddenly near the melting point, and releases gas one by one. In other words, when the contact material is heated, most of the adsorbed gas is reached at the melting point or lower, and the gas dissolved in the vicinity of the melting point is released, but when further heated above the melting point, it is extremely short time (for example, several m sec) but pulsed. Release of the abrupt gas (several to hundreds of times) is observed.

이들 돌발성 가스에는 C2H2,CH4등이 약간 포함되지만 주체는 CO,CO2,O2등의 산소계이므로 해서 이들 돌발성 가스는 접점재료에 포함되는 산화물의 분해에 의해서 방출되는 것으로 생각된다.These abrupt gases include a little C 2 H 2 , CH 4, etc., but the main body is oxygen, such as CO, CO 2 , O 2 , and thus these abrupt gases are thought to be released by decomposition of the oxide contained in the contact material.

본 발명자등의 연구에 의하면, 재점호현상이 많이 발생하는 접점재료에는 돌발성 가스의 방출도 많다.According to the research of the present inventors, the contact material which generate | occur | produces much re-ignition phenomenon also releases abrupt gas.

따라서 상술한 지식에서 돌발가스를 미리 방출시키므로써, 재점호현상의 발생이 경감될 것임을 생각할 수 있다.Therefore, it is conceivable from the above-mentioned knowledge that the occurrence of re-ignition will be reduced by releasing the gas in advance.

그러나 진공차단기용 접점재료는 Cu를 상당량 함유하고 이들의 산화물을 분해시켜 제거하기 위해서는 예를들어 10-3-10-4Torr 진공도에서 약 1200℃ 이상의 온도가 필요하게 되므로 증기압이 높은 Cu 등의 고도전성 재료나 Bi,Te 등의 용착방지재료를 포함하는 접점재료에 대해서 상기와 같은 열처리를 하는 것은 성분의 변동을 초래하여 접점특성의 관리면에서 불편하다.However, the contact materials for vacuum circuit breakers contain a considerable amount of Cu, and in order to decompose and remove these oxides, for example, a temperature of about 1200 ° C. or higher at 10 -3 -10 -4 Torr vacuum degree is required, so that the high altitude of Cu, etc. is high. The heat treatment as described above with respect to the contact material containing the malleable material or the adhesion preventing material such as Bi, Te, etc. causes variation of the components and is inconvenient in terms of management of the contact characteristics.

예를들면 용착방지재로서 Bi를 가열해가면 400-550℃ 근방에서 극히 급격히 복수종류의 가스를 방출한다.For example, when Bi is heated as an anti-deposition material, a plurality of kinds of gases are released very rapidly in the vicinity of 400-550 ° C.

이와같은 방출가스의 일부는 온도상승 과정에 있는 Cu 등과 결합되여 비교적 인정된 화합물을 만들고 용해작업중에 일부는 분해되지만 다른 일부는 남아서 돌발성 가스의 원인의 하나가 된다.Some of these emissions are combined with Cu, which is in the process of temperature rise, to make relatively well-recognized compounds, some of which decompose during dissolution but others remain to be one of the causes of abrupt gases.

이와같은 돌발성 가스의 방출은 예를들면 순도 99.9999%의 Bi를 원료로 사용하더라도 산화 또는 가스흡착이 진행하는 상태로 방치해 놓을 경우에는 아직도 볼 수 있다.Such emission of abrupt gas can still be seen, for example, even if Bi is used as a raw material with a purity of 99.9999% when left to undergo oxidation or gas adsorption.

상술한 바와같은 관찰은 용착방지재를 포함하는 접점재료에 있어서 Cu등의 고도전성 재료와 용착방지 성분재에 대하여 개별적인 열처리에 의해서 돌발성 가스의 원인이 되는 볼순물을 미리 제거해 놓을 필요성을 가르킴과 더불어 접점합금의 제조 또는 열처리 과정에 있어서 일부 또는 전체가 액체 상태에 있는 접점합금의 액상이 직접 접하는 도가니, 보드, 판등으로부터의 방출가스에 의해서 접점합금이 받는 오염도 관리할 필요성을 시사하고 있다.The observation as described above indicates the necessity of removing in advance the ball impurities causing the abrupt gas by the separate heat treatment of the highly conductive material such as Cu and the anti-deposition component material in the contact material including the anti-deposition material. In the manufacture or heat treatment process of contact alloys, it is suggested that the contamination of contact alloys by the emission gas from crucibles, boards and plates directly contacting the liquid phase of contact alloys, which are partially or entirely in liquid state, is also suggested.

전자의 지식에 대하여 본 발명자등은 돌발성 가스의 경감에 대하여 구성원소를 개별적으로 열처리하는 것은 어느 정도 유효하고 그것에 수반되여 재점호 발생확률도 감소되는 경향이 있음을 알 수 있다.With respect to the former knowledge, the inventors have found that the individual heat treatment of member elements for the reduction of the abrupt gas is effective to some extent, and the probability of the occurrence of re-ignition also decreases with this.

후자의 지식에 대하여 본 발명자등은 액상에 접하는 도가니등의 재질 및 그 표면의 물리적 화학적 상태가 돌발성 가스의 방출형태에 영향을 주고 또 재점호확률에도 관련됨을 인정함과 더불어 특히 전자의 접점의 구성원소 레벨에서의 관리에 의한 돌발성 가스방출의 경감효과를 후자에 의해서 확실하고 효율적으로 향상시키는데 필수적임을 알았다.Regarding the latter knowledge, the present inventors acknowledge that the material of the crucible and the like in contact with the liquid phase and the physical and chemical state of the surface affect the emission form of the abrupt gas and are also related to the redemption probability. It was found that the latter effect is essential to reliably and efficiently improve the effect of abrupt gas emission by management at the level.

상기한 재점호에 대한 2,3의 지식은 그 경감화에 대하여 유효하나 더 한층의 재점호의 경강화와 대차단용량화의 요구에 대해서는 더 개선할 필요성을 인정함과 더불어 상기 지식의 기술효과를 효율적으로 발휘시키기 위한 다른 대책의 개발이 소망되고 있다.2,3 knowledge of the above-mentioned re-calling is valid for the reduction, but it recognizes the necessity of further improvement for the demand of further re-calling hardening and blocking capacity. It is desired to develop other measures to achieve this.

예를들면 상기 2,3의 지식을 중첩시켜서 Cu-Cr 합금을 제작하면, 단독일때보다도 효과가 크게 상승되고, 따라서 일련의 공정을 총합적으로 관리하는 필요성을 시사하고 있다. 특히 원료기술 및 냉각기술은 충분히 파악할 필요가 있다. 즉 앞에 나타낸 돌발성 가스의 원인의 하나로서 원료 Cr,Cu 등의 내용(불순물),상태(표면산화, 혼제물의 유무)가 중요하다고 생각된다.For example, when the Cu-Cr alloy is produced by superimposing the knowledge of 2 and 3, the effect is greatly increased than when alone, thus suggesting the necessity of totally managing a series of processes. In particular, raw material technology and cooling technology need to be sufficiently grasped. That is, as one of the causes of the abrupt gas described above, it is considered that the contents (impurity) and the state (surface oxidation, presence of a mixture) of the raw materials Cr and Cu are important.

처음부터 산화물의 형태를 갖고 원료분말중에 단지 혼입되어 있는 산화물등의 이물에 관해서는 원료분말과의 비중차를 이용한 침강법에 의하여 제거하거나 또는 입자직경의 차이를 이용하고 주로 체로 쳐서 미리 제거하든지 스켈톤중에 고도전성 재료를 용침할때의 용침공정을 일방향에서 행하여 상기 산화물등의 이물을 한곳으로 모이게 할 수 있다. 이들의 작업을 함으로써 같은 재점호현상의 발생의 경감화에 대해서 좋은 결과를 나타냈다.Foreign substances such as oxides which have an oxide form from the beginning and are only mixed in the raw material powder are removed by sedimentation method using specific gravity difference with the raw material powder or sieved by using a difference in particle diameter and sieved in advance. The infiltration process at the time of infiltrating highly conductive material in a tone can be performed in one direction, and the foreign material, such as an oxide, can be gathered in one place. These works have shown good results in reducing the occurrence of the same redemption phenomenon.

그러나 문제는 원료중에 고용 또는 석출되어 존재하는 불순물이다. 이들은 체로쳐서 가르거나, 비중차로나 용침공정으로는 제거할 수 없고, 잠재적인 재점호의 하나의 요인을 점하고 있음을 생각할 수 있었다. 그러나 그래도 그 해결의 한가지 수단으로서 원료분말(Cr분말)을 충분히 검토하여 불순물이 보다 적은 원료분을 선택하는 것이고, 재점호 현상의 발생은 더 한층 경감화되는 경향에 있는 것을 알 수 있었다.However, the problem is impurities present in the raw material that are dissolved or precipitated. They could not be sifted, removed by specific gravity or infiltration, and could be thought of as having one factor of potential re-ignition. However, it was found that the raw material powder (Cr powder) is sufficiently examined as one means of solving the problem, and the raw material powder having less impurities is selected, and the occurrence of the re-ignition phenomenon tends to be further reduced.

이와같이 불순물(여기에서는 주로 산화물)이 적은 원료분말의 선택은 재점호현상의 경감에 대하여 효과는 인정되지만 엄밀한 실험을 진행하면 아직도 개선의 여기가 있음을 본 발명자등은 알았다. 즉 Cr분말중의 불순물이 실질적으로 없는 로트를 선택하고, 이것을 Cr원료로 하고, Cu에 대해서도 같은 로트를 원료로 하여 Cu-Cr 합금을 제조하였음에도 불구하고 합금중에 석출물의 존재가 있는 것과 석출물의 존재가 없는 것을 얻을 수 있어 이들의 재점호 발생변도를 비교한 결과, 전자의 석출물이 존재하는 합금을 사용한 전공밸브에 보가 많이 발생하고 있음을 알았다.As described above, the inventors have found that the selection of raw material powders containing few impurities (mainly oxides) is effective in reducing the re-interaction phenomenon. That is, although a lot containing substantially no impurities in the Cr powder was selected, and this was used as a Cr raw material, and the same lot was used as the raw material for Cu, the presence of precipitates and presence of precipitates in the alloy was observed. As a result of comparing the recursion incidences, it was found that a large number of beams were generated in the solenoid valve using the alloy in which the electron precipitates were present.

이와같은 석출물은 Cr 분말중에 고용되어 있던 어떤 종류의 원소와 소결 또는/및 용침중의 분위기와의 반응에 의해서 생성된 불순물이라고 추측된다. 따라서 재점호특성을 더 한층 개선키 위하여는 원료에 단지 혼합되어 있는 산화물등의 불순물이외에 원료중에 특히 고용되어 있는 어떤 원소(고용상태에 있기 위하여 현미경적으로는 일반적으로 검출 확인되지 않음)에 주목할 필요성이 있음을 보이고 있다. 즉, 특히 Cu-Cr합금의 제조에 있어서는 일련의 공정을 통하여 관리할 필요성을 보이고 있다. 일련의 공정이라함은 소결 또는/및 용침에 의해서 Cu-Cr 합금을 제작하는 공정에 있어서 소정조건을 구비한 원료의 선택이고, 또 Cr또는/및 Cu 스켈톤의 제작, 소결 또는/및 용침조건의 제어의 기술을 의미한다.Such a precipitate is presumed to be an impurity produced by the reaction of an element of some kind dissolved in Cr powder with an atmosphere during sintering and / or infiltration. Therefore, in order to further improve the re-interlocking characteristics, it is necessary to pay attention to any element (particularly not microscopically detected and confirmed to be in an employment state) in the raw material other than impurities such as oxides mixed only in the raw material. It is showing that there is. In other words, especially in the production of Cu-Cr alloy, there is a need to manage through a series of processes. A series of processes are the selection of raw materials with certain conditions in the process of producing Cu-Cr alloys by sintering and / or infiltration, and the preparation, sintering and / or infiltration conditions of Cr or / and Cu skeletons. Means the technology of control.

본 발명방법의 실시에 있어서 Cr 분말중의 불순물의 종류 및 그 양은 다른 공정에도 영향을 주므로 극히중요하다. 이미 기술한 바와같이 돌발성 가스의 원인이 되는 산화물(A12O3,SiO2,CaO,V2O5) 또는 Cr분말중에 고용되어 있는 금속(Al,Si,Ca,V)과 소결 또는/및 용침중의 분위기와의 반응에 의해서 새롭게 생성된 산화물이 특히 문제인 것이다. 재점호현상의 발생빈도가 높은 Cu-Cr 합금은 앞에서도 기술한 바와같이 Cr중의 이들의 양이 많고 상관성을 얻을 수 있었다.In carrying out the method of the present invention, the type and amount of impurities in the Cr powder are extremely important because they affect other processes. As previously described, sintering with oxides (A1 2 O 3 , SiO 2 , CaO, V 2 O 5 ) or metals dissolved in Cr powder (Al, Si, Ca, V), which causes sudden gas, and / or Oxides newly produced by reaction with the atmosphere during infiltration are particularly problematic. As described above, Cu-Cr alloys with high incidence of re-ignition have a large amount and their correlation in Cr.

다른 공정과도 관련시켜 재점호 발생빈도를 검토하면, Al,Si,Ca의 함유량은 각각 100ppm이하, V는 10ppm 이하여야 하고 또 접점이 개방분리되고 소호된후 극히 단 시간에 발호하는 현상의 억제까지도 고려할 때는 더욱 엄격하게 Al,Si,Ca,V를 관리할 필요가 있고, 각각 10ppm,20ppm,10ppm,10ppm 이하여야 한다. 또 Cr중의 산소, 질소의 함유량도 적어도 각각 1000ppm 이하가 바람직하다. Al,Si,Ca,V 등이 이들의 수치를 상회할 경우에는 후공정에 있어서의 소결 또는/및 용침공정에서의 분위기 가스와의 반응에 의한 생성물의 생성량도 많고 재점호 및 발호에 대해서는 바람직하지 않다.Regarding the frequency of re-ignition in relation to other processes, the content of Al, Si, and Ca should be 100ppm or less, V should be 10ppm or less, and the suppression of phenomena occurring in a very short time after the contact is opened and extinguished. In consideration of the above, it is necessary to manage Al, Si, Ca, and V more strictly, and it should be less than 10ppm, 20ppm, 10ppm and 10ppm, respectively. The content of oxygen and nitrogen in Cr is also preferably at least 1000 ppm or less, respectively. When Al, Si, Ca, V and the like exceed these values, the amount of product generated by the reaction with the atmospheric gas in the sintering and / or infiltration process in the subsequent process is also large, and it is not preferable for reignition and callout. not.

[원료 Cr의 조정][Adjustment of Raw Material Cr]

현재 공업적으로 공급되고 있는 금속 Cr의 정련법은 FeCr2O4,MgCr2O4등의 Cr광석을 Al 혹은 Si 등 다른 금속으로 환원시켜 금속 Cr를 얻는 방법(환원법) 및 상기 Cr 광석을 용해하고 미용해된 비금속불순물의 분리를 행하고, 이것을 전해액으론 하여 전기분해하여 금속 Cr를 얻는 방법(전해법)의 두가지 방법이 주체이다.Currently, industrially supplied metal Cr refining method is to reduce Cr ores such as FeCr 2 O 4 , MgCr 2 O 4 to other metals such as Al or Si to obtain metal Cr (reduction method) and dissolve the Cr ore There are two main methods of separating the undissolved nonmetallic impurities and electrolyzing them as electrolytes to obtain metal Cr (electrolytic method).

그러나 전자의 환원법에 의해서 얻어진 Cr는 가스량(산소, 질소)이 1,000ppm정도, Al,Si,Fe 등 불순물을 수 1,000ppm-10,000ppm 정도 함유하고 있다. 한편 후자의 전해법에 의한 Cr는 역으로 가스량(산소,질소)이 1,000ppm-10,000ppm으로 많고, Al 등의 불순물이 비교적 적고 예를들면 수 100ppm 정도이하로 함유하는 것이 일반적이다.However, Cr obtained by the electron reduction method contains about 1,000 ppm of gas amount (oxygen, nitrogen), and about 1,000 ppm-10,000 ppm of impurities such as Al, Si and Fe. On the other hand, Cr by the latter electrolytic method, on the other hand, has a large amount of gas (oxygen, nitrogen) of 1,000 ppm to 10,000 ppm, relatively small impurities such as Al, and for example, contains about 100 ppm or less.

이와같은 사정에 비추어 본 발명의 방법에 있어서는 원료 Cr를 분말로 하기전에 이 원료 Cr에 특정처리를 하는 것이 바람직하다.In view of such circumstances, in the method of the present invention, it is preferable to perform a specific treatment on the raw material Cr before turning the raw material Cr into a powder.

본 발명자등의 연구에 의하면, Cr중의 불순물의 제거를 분말 공정후에 행함은 바람직하지 않다. 왜냐하면 Cr 분말에 대해서 더 가열처리를 한 경우(탈 가스에 충분한 온도까지 가열했다 하여도) Cr 입자가 응집되어 거질게 커져 재차 분쇄공정이 필요하게 되기 때문이고, 또 Cr의 비표면적이 크므로 표면피막량이 증대되어 가스효율이 저하하기 때문이다. 또 소결시(스켈톤 형성시)에 불순물 제거를 위하여 부가적인 열처리를 행하는 것은 조성의 변동을 가져오므로 역시 바람직하지 않다.According to the research of the present inventors, it is unpreferable to remove the impurity in Cr after a powder process. This is because if the Cr powder is further heated (even if it is heated to a sufficient temperature for degassing), the Cr particles aggregate and become larger and require a crushing process again, and the specific surface area of Cr is large. This is because the amount of coating is increased and the gas efficiency is lowered. Further, additional heat treatment for removing impurities during sintering (skeleton formation) is also undesirable because it causes variation in composition.

본 발명에 있어서는 상기 환원법 또는 전해법으로 얻은 금속 Cr를 금속 Cr 집합체로 가공하는 전단계, 이 가공중의 단계 및 이 가공후(분말화 공정전)의 각 단계의 적어도 하나의 공정에 대하여 예를들면 진공, 수소등 비산화성 분위기에서 특히 1300℃ 이상 또 원로 Cr의 융점근방 이하의 온도로 적어도 1회 가열처리를 행한다. 이것에 의해서 상기 분말상태의 Cr가 되고나서 가열처리를 행할 경우의 결점, 불이익을 회피하고 재점호의 경감화에 유효한 금속 Cr를 얻을 수 있다.In the present invention, for example, at least one step of each step of processing the metal Cr obtained by the reduction method or the electrolytic method into a metal Cr aggregate, a step during the processing, and a step after the processing (before the powdering step) is given. In a non-oxidizing atmosphere such as vacuum or hydrogen, heat treatment is carried out at least once at a temperature not lower than 1300 占 폚 and near the melting point of the reactor Cr. This makes it possible to avoid the drawbacks and disadvantages of performing the heat treatment after the Cr in powder form, and to obtain a metal Cr effective for reducing the re-ignition.

1300℃ 미만의 온도에서는 금속 Cr 집합체의 탈가스 효울이 떨어져서 재점호의 경감화에 대해서 효과가 작다. 1500℃ 또는 그 이상에서는 그 효과가 크고 특히 유효하지만 증발도 심해지므로 처리중의 분위기는 진공중 보다도 분위기 가스의 선택이 유리하게 된다. 이와같이 가열처리를 분말화 공정전에 행함으로써 Cr분말로 되고나서 행하는 것보다도 유리하게 재점호의 경감화를 얻을 수 있다. 진공밸브의 더 한층의 고성능화를 위해서는 상기 금속 Cr집합체로 가공하는 전단계에서 행할 뿐만 아니라 그 후의 단계에서도 또 전술한 가열처리를 중첩시키는 것은 유효한 것이다.At a temperature below 1300 ° C., the degassing effect of the metal Cr aggregate is dropped, and the effect is small for the reduction of re-ignition. At 1500 DEG C or higher, the effect is large and particularly effective, but the evaporation also becomes severe. Therefore, the atmosphere during the treatment is advantageous to select the atmospheric gas rather than the vacuum. By performing the heat treatment before the powdering step in this manner, it is possible to advantageously reduce the re-ignition rather than to form Cr powder. In order to further improve the performance of the vacuum valve, it is effective not only to perform the previous step of processing the metal Cr aggregate but also to superimpose the above-described heat treatment in the subsequent step.

[Cr분말의 조정][Cr powder adjustment]

상기 가열처리한 금속 Cr집합체를 오염시키지 않고 소정의 입자직경을 갖는 Cr분말로 만든다. Cr분말의 입자직경은 진공밸브로서의 접점특성 및 소결등 접점 제조기술상으로 제한을 받는다. Cr분말의 평균입자 직경은 5-250μm가 바람직하다. Cr분말의 평균입자직경이 5μm 미만에서는 소결 또는/및 용침후의 스켈톤 또는/및 접점소재중에 바람직하지 않은 기공을 발생하기 쉽게 되고, 또 이에 따라서 가스도 많이 잔존하는경향이 있어 진공밸브로서의 접점특성(예를들면 재점호 특성)에 대하여 바람직하지 않은 상태가 된다.The heat treated metal Cr aggregate is made of Cr powder having a predetermined particle size without contaminating the metal Cr aggregate. The particle diameter of the Cr powder is limited by the contact characteristics as a vacuum valve and the contact manufacturing technique such as sintering. As for the average particle diameter of Cr powder, 5-250 micrometers is preferable. When the average particle diameter of the Cr powder is less than 5 μm, undesirable pores are easily generated in the skeleton or / and the contact material after sintering and / or immersion, and accordingly, there is a tendency that a large amount of gas also remains. It is in an unfavorable state with respect to a characteristic (for example, re-ignition characteristic).

또 250μm를 초과하는 Cr 입자직경에서는 내용착성, 내전압특성, 차단특성의 어느 것에 대해서도 심한 편차를 볼 수 있다. 접점소재에도 편석을 볼 수 있게 되어 진공밸브의 신뢰성의 관점에서 바람직하지 않다.Further, in the Cr particle diameter exceeding 250 μm, severe variations can be seen in any of the welding resistance, the breakdown voltage characteristic and the breaking characteristic. Segregation can be seen in the contact material, which is undesirable from the viewpoint of the reliability of the vacuum valve.

한편 Cr분말 중의 산소, 질소가스는 각각 200ppm 이하로 억제한 상태가 바람직하다. 이들의 가스는 Cr중에 함유되어 가스와 흡착되어 있는 가스의 총량으로 구성된다. 전자의 함유되어 있는 가스는 상기 원료Cr의 가열처리 공정에서 극소화된 상태가 되어 있으므로 본 공정에서는 특히 후자의 흡착가스를 적게 함이 긴요하다. 즉, 오염시키지 않고 분쇄하는 것이 중요한 요점이며, 분쇄중의 조건은 분쇄 에너지에 의해서 Cr분말이 과도히 발열하여 산화가 진행되지 않을 것이 중요하다. 따라서 큰 마찰열이 발생하는 것과 같은 과격한 분쇄는 피해야 한다. 또 비산화성 분위기중의 분쇄도 유효하다. Cr 입자직경이 100μm 또는 그 이하가 되는 경우는 이와같은 점에 충분히 배려할 필요가 있다.On the other hand, it is preferable that oxygen and nitrogen gas in Cr powder are suppressed to 200 ppm or less, respectively. These gases are composed of the total amount of gas contained in Cr and adsorbed on the gas. Since the former gas is minimized in the heat treatment step of the raw material Cr, it is particularly important to reduce the latter adsorption gas. That is, it is important to grind without contaminating, and it is important that Cr grinding | pulverization generate | occur | produces excessively the grinding | pulverization energy by the grinding energy, and oxidation does not progress. Therefore, crushing such as large frictional heat generated should be avoided. In addition, grinding in a non-oxidizing atmosphere is also effective. When Cr particle diameter becomes 100 micrometers or less, it is necessary to fully consider such a point.

상기 가스량이 200ppm 이상의 경우 이들의 원료 Cr분말을 사용하여 Cu-Cr 합금으로 하여도 이 합금중의 가스량을 바람직한 저수준(예를들면 200ppm 이하 바람직하기로는 100ppm 이하)로 유지하는 것은 어렵다. 즉, 진공밸브용 접점음 소결 또는/및 용침시킬 때에 선정하는 열처리 온도에서는 원료 Cr의 정제를 진행시키기에는 약간 부족하다. Cu-Cr 합금중의 가스량(이 경우, 산소)이 200ppm 이상일 때에는 재점호현상의 발생이 많이 생기는 경우가 있다.When the amount of gas is 200 ppm or more, it is difficult to maintain the amount of gas in the alloy at a preferable low level (for example, 200 ppm or less, preferably 100 ppm or less) even when using Cu-Cr alloy using these raw material Cr powders. That is, at the heat treatment temperature selected at the time of sintering and / or infiltration of the contact sound for the vacuum valve, the purification of the raw material Cr is slightly insufficient. When the amount of gas (in this case, oxygen) in the Cu—Cr alloy is 200 ppm or more, a plurality of recursive phenomena may occur.

상기와 같은 원료 Cr의 가열처리 공정을 채용함으로써 분말화후에 탈가스 가열처리하는 경우에 볼 수 있는 Cr분말의 비산을 없앨 수가 있고 설비오염을 방지할 수 있다.By adopting the heat treatment step of the raw material Cr as described above, it is possible to eliminate the scattering of Cr powder which can be seen in the case of degassing heat treatment after powdering, and to prevent equipment contamination.

[부가적 성분]Additional Ingredients

Cr 중의 다른 원소 즉, Fe,Co,Mo,W,v,Nb,Ta,Ti,Zr은 본 발명의 공정을 거쳐서 만들어지는 Cu-Cr합금의 내전압 특성의 향상에 유익하다. Cr에 대하여 이들의 금속이 50%미만의 양이면, Cu-Cr 합금에 있어서의 Cr의 기능을 손상시키는 일이 없다. Cr는 Cu와 동등의 증발성을 가지므로 전류차단 후의 접점표면의 평할화의 기능을 갖고 내전성에 바림직한 영향을 주는 것이고, Cr중의 다른 원소와 Cr와의 비는 50%이상 존재함이 바람직하다.Other elements in Cr, that is, Fe, Co, Mo, W, v, Nb, Ta, Ti, Zr, are beneficial for improving the breakdown voltage characteristics of the Cu-Cr alloy made through the process of the present invention. If these metals are less than 50% with respect to Cr, the function of Cr in a Cu-Cr alloy will not be impaired. Since Cr has evaporation property equivalent to that of Cu, it has a function of leveling the contact surface after current interruption and has a favorable effect on the electric resistance, and the ratio between Cr and other elements in Cr is preferably present at 50% or more. .

또 본 발명에 있어서는 Cr분말과 Cu 또는/및 Ag분말과의 혼합분말을 성형체의 원료분말로 사용하여도 좋다. 이 경우에 혼합분말중의 Cu 또는/및 Ag분말의 양은 30중량% 이하가 바람직하다.In the present invention, a mixed powder of Cr powder and Cu or / and Ag powder may be used as the raw material powder of the molded product. In this case, the amount of Cu or Ag powder in the mixed powder is preferably 30% by weight or less.

[성형][Molding]

상기 Cr분말로 8ton/cm2이하의 외부압력 또는 이 Cr분말의 자중의 압력으로 성형체를 형성시킨다.The Cr powder is formed with an external pressure of 8 ton / cm 2 or less, or a pressure of its own weight.

성형체를 얻을 때의 성형압력은 Cu-Cr 합금중의 Cr량을 결정하는 요인이고, 본 발명방법에 있어서 특징점의 하나이다.The molding pressure at the time of obtaining a molded object is a factor which determines the amount of Cr in a Cu-Cr alloy, and is one of the characteristic points in the method of this invention.

Cu(또는/및 Ag)-Cr 합금중의 Cr량은 20-30중량%의 범위내에서 선택될 수 있다. 이러기 위한 성형압력은 8ton/cm2이하이고, 7.5ton/cm2이하면 바람직하고, 7ton/cm2이하이면 더 좋다. 이것은 8ton/cm2를 초과하는 압력에서는 용침후의 Cr량이 80%를 초과하므로 본 발명에 있어서의 주지를 이탈하므로 제외된 80% 근방의 높은 Cr량을 확보하려면 스켈톤으로서 순 Cr 이외에 Cu를 배합한 Cr로도 대처가능하지만 20% 근방의 낮은 Cr량의 합금을 확보하려면 스켈톤으로서의 순 Cr의 선택은 불가능하고, Cr에 대해서 Cu를 적량배합한 Cr+Cu 혼합분말을 채용함으로써 달성된다. 이때의 성형압력은 혼합하는 Cu 분말의 양에 따라서 8ton/cm2이하의 압력이 자유롭게 선택될 수 있다.The amount of Cr in the Cu (or / and Ag) -Cr alloy may be selected in the range of 20-30% by weight. Molding pressure for yireogi is better if 8ton / cm 2 or less, 7.5ton / cm 2 or less if desired, and 7ton / cm 2 or less. This is because the amount of Cr after infiltration exceeds 80% at a pressure exceeding 8ton / cm 2 , thus leaving the well known in the present invention. Although it is possible to cope with one Cr, in order to secure a low Cr alloy around 20%, it is impossible to select pure Cr as a skeleton, and it is achieved by employing a Cr + Cu mixed powder in which Cu is appropriately blended with Cr. At this time, the molding pressure may be freely selected to a pressure of 8ton / cm 2 or less in accordance with the amount of the Cu powder to be mixed.

또 성형압력이 8ton/cm2를 초과하면 가열시에 성형체중에 균열이 생기는 경우가 있으므로 바람직하지 않다.When the molding pressure exceeds 8 ton / cm 2 , cracks may occur in the molded body during heating, which is not preferable.

[소결][Sintering]

이와같이 하여 얻어진 성형체를 소결용 용기와 함께 가열로내에 설치하여 소결한다. 소결분위기는 비산화성 분위기여야 함이 필요하고 예를들면 진공 또는 수소중이다.The molded article thus obtained is installed in a heating furnace together with the sintering container and sintered. The sintering atmosphere needs to be in a non-oxidizing atmosphere, for example in vacuum or hydrogen.

이들의 분위기중 충전시킨 Cr분말, 플레스한 성형체나 용기 등에 흡장되어 있는 산소, 질소를 제거한다는 점에서는 진공(1×10-5Torr 이상) 분위기가 적당하다.A vacuum (1 × 10 -5 Torr or more) atmosphere is suitable for removing the oxygen and nitrogen stored in the Cr powder, the molded molded body or the container, and the like filled in these atmospheres.

적용시키는 소결온도, 소결시간은 소결체인 스켈톤의 밀도, 역으로 말하면 스켈톤의 공극률에 영향을 준다.The sintering temperature and the sintering time to be applied affect the density of the sintered skeleton, and conversely, the porosity of the skeleton.

예를들면, Cr 스켈톤과 그 공국내에 용침되는 Cu량과의 관계를 중량비로 50 : 50으로 근접시키기 위해서는 공극률은 40-50%로 함이 좋고, 그러기 위해서는 소결온도를 800℃-1050℃로 하고 바람직하기로는 900℃-950℃, 소결기간을 0.25-2시간, 0.5-1시간의 범위가 바람직하다. 상기의 조건은 Cr와 Cu와의 비에 따라서 적의 선택된다.For example, the porosity should be 40-50% in order to approximate the relationship between the Cr skeleton and the amount of Cu infiltrated into the principal metal in a weight ratio of 50:50, in order to achieve a sintering temperature of 800 ° C-1050 ° C. Preferably it is 900 degreeC-950 degreeC, the sintering period is 0.25-2 hours, and the range of 0.5-1 hour is preferable. The above conditions are suitably selected according to the ratio of Cr and Cu.

[용침][Invasion]

얻어진 스켈톤의 상면 또는/및 하면에 용침제인 Cu 또는/및 Ag를 올려놓고 전체를 예를들면 진공중(1×10-4-1×10-6Torr)에서 가열하여 Cu 또는/및 Ag를 스켈톤 공금중에 용침시킨다.Cu or / and Ag, which is an infiltration agent, is placed on the upper or / and lower surface of the obtained skeleton and the whole is heated, for example, in vacuum (1 × 10 −4 −1 × 10 −6 Torr) to form Cu or / and Ag. Is infiltrated during the Skelton donation

용침시의 온도는 Cu 또는/및 Ag의 용융점이상의 온도이다. Cu의 경우 1100℃-1300℃이고, Ag의 경우1000℃-1100℃의 범위가 적당하다. 또 용침시간은 스켈톤중의 공극에 이들 용액이 완전히 함침되는데 충분한 시간을 설정한다.The temperature at the time of infiltration is the temperature above the melting point of Cu or / and Ag. In the case of Cu, the range is 1100 ° C-1300 ° C, and in the case of Ag, the range of 1000 ° C-1100 ° C is appropriate. The soaking time also sets a time sufficient for the impregnation of these solutions to the voids in the skeleton.

또 상기 용침공정에 있어서는 스켈톤의 표면의 적어도 일부에 용침금속의 층을 동시에 형성함으로써 얻어지는 접점합금의 온납접합성(도전봉에 경납땜 할 때의)이 우수한 것으로 될 수 있다.In the above immersion step, it is possible to obtain excellent contact bonding properties (when brazing the conductive rod) of the contact alloy obtained by simultaneously forming a layer of immersion metal on at least part of the surface of the skeleton.

[냉각][Cooling]

상기 공정에서 용침된 합금소제는 도전율이 조정되게 냉각한다.The alloying material infiltrated in the process is cooled to adjust the conductivity.

소결 및 용침후의 냉각조건은 Cu-Cr 합금의 재료의 기본특성, 특히 도전율을 결정하는 요인이고, 이 발명의 방법에 있어서의 특징중의 하나이다.Cooling conditions after sintering and infiltration are factors that determine the basic properties of the material of the Cu—Cr alloy, in particular, the conductivity, and are one of the features of the method of the present invention.

Cr는 극히 산화되기 쉬운 금속이므로 원료분말 또는 성형체의 관리가 중요함은 말할 것도 없고, 소결, 용침시의 분위기의 조건도 재료특성을 좌우한다.Since Cr is a metal which is extremely easy to oxidize, it goes without saying that the management of the raw material powder or the molded body is important, and the conditions of the atmosphere during sintering and infiltration also influence the material properties.

그러나, 소결, 용침시의 온도나 시간을 충분히 관리하여 얻어진 Cu-Cr 합금일지라도 비저항, 접촉저항 또는 온도 상승 특성에 편차나 불안정성이 있는 실정이고, 이들의 편차를 없애고 안정성이 있는 것이 소망되고 있다.However, even in the Cu-Cr alloy obtained by sufficiently managing the temperature and time during sintering and infiltration, there are variations and instabilities in specific resistance, contact resistance or temperature rise characteristics, and it is desired to eliminate these variations and to have stability.

연구에 의하면, Cu-Cr계 접점재료의 상기 불안정성은 (1) Cu-Cr 합금중의 조성의 변동, (2) Cr 입자의 입자직경, 입도분포, 편석의 정도, (3) 합금중에 존재하는 빈 구멍의 정도, 나아가서는 (4) 원료 Cr의 품질에 의존됨이 판명되었다. 그리고 이들의 해결은 원료 Cr의 선택과 소결기술의 관리가 유효함이 인정되었지만 보다 더 한층 안정성을 향상시키려면 상기 (1),(2)(3),(4)에 더하여 정교한 소결기술의 관리가 필요함을 알았다. 즉, 상기 특성의 불안정성은 Cu 중에 근소량으로 포함되는 Cr량의 차이와 상관성이 있음을발견하였다. 결국 Cu-Cr 합금중의 Cu 부분에 포함되는 Cr의 양을 X선 미소분석법에 의한 반정량법에 의해서 추정하면 상기 특성이 불안정한 값을 나타낸 Cu-Cr 합금에서는 일반적으로 0.2-0.5Wt%의 범위로 변동되고 있는 반면 후술하는 본 발명 기술에 의해서 안정된 특성을 나타낸 Cu-Cr 합금의 변동은 0.2%이하의 대표치로서 0.1% 이하를 나타내고 있었다. 이 차이는 Cu-Cr 합금의 소결 또는 용침후의 열이력에 의존됨을 인정함과 더불어 이 조건을 섬세하게 관리함으로써 Cu-Cr 합금의 도전율의 개량과 그 편차폭의 축소화에 효과가 큼을 명백히 하였다. 또 여기에서 말하는 소결 또는 용침후의 열이력이라 함은 실질적으로 접점자체가 받는 냉각속도 특성으로 대표하여 나타낼 수 있다. 즉 접점의 크기, 로의 특성에 의해서 변동되고 있는 냉각속도를 소정조건으로 관리하는 것을 가르키는 것이다.Studies have shown that the instability of Cu-Cr-based contact materials is present in (1) variation in composition in Cu-Cr alloys, (2) particle diameters of Cr particles, particle size distribution, degree of segregation, and (3) It turns out that it depends on the degree of the hollow hole, and further (4) the quality of the raw material Cr. Although these solutions have been found to be effective in the selection of raw material Cr and management of the sintering technique, in order to further improve the stability, the management of sophisticated sintering techniques in addition to the above (1), (2) (3) and (4) I knew it was necessary. That is, it was found that the instability of the above characteristics was correlated with the difference in the amount of Cr contained in a small amount in Cu. After all, when the amount of Cr contained in the Cu portion of the Cu-Cr alloy is estimated by the semi-quantitative method by X-ray microanalysis, it is generally in the range of 0.2-0.5Wt% in the Cu-Cr alloy, which exhibits unstable values. On the other hand, the variation of the Cu-Cr alloy exhibiting stable characteristics by the present invention described below was 0.1% or less as a representative value of 0.2% or less. Recognizing that this difference is dependent on the thermal history after sintering or infiltration of the Cu-Cr alloy, it is clarified that this effect is very effective in improving the conductivity and reducing the deviation width of the Cu-Cr alloy. In addition, the thermal history after sintering or immersion can be represented by the cooling rate characteristic which a contact body receives substantially. In other words, it refers to managing the cooling rate that is varied by the size of the contact point and the characteristics of the furnace under predetermined conditions.

Cu-Cr 합금의 도전율을 개선하는 냉각의 태양은 다음과 같다.The aspect of cooling which improves the electrical conductivity of Cu-Cr alloy is as follows.

상기 용침 공정에서 얻어진 소재의 냉각을 바람직하기로는 300℃-400℃의 온도구간 중 적어도 100℃의 온도차간을 0.6-6℃/min의 냉각속도로 행한다. 여기에서 0.6℃/min 미만의 냉각속도에서는 도전율 특성에 대한 결점은 없지만 제조시간이 장시간화하여 경제적으로 불리해진다. 또 6℃/min를 초과하는 냉각속도에서는 Cu-Cr 합금중의 Cu상에 고용되는 Cr량이 증가하고, 도전율의 감소를 초래하여 바람직하지 않다. 예를들면 Cu-50% Cr 합금중의 Cu상 중의 Cr량이 약 0.5%를 초과하면 도전울은 0.1%의 경우의 1/2로 저하한다(0.1%의 경우의 도전율은 40% IACS인데 반하여 0.5%에서는 20% IACS나 그 이하로 저하된다).Cooling of the raw material obtained in the infiltration step is preferably performed at a temperature difference of at least 100 ° C. at a cooling rate of 0.6-6 ° C./min among the temperature sections of 300 ° C.-400 ° C. Here, at a cooling rate of less than 0.6 ° C / min, there are no drawbacks for the conductivity characteristics, but the manufacturing time becomes longer and becomes economically disadvantageous. At cooling rates exceeding 6 ° C./min, the amount of Cr dissolved in the Cu phase in the Cu—Cr alloy increases, leading to a decrease in electrical conductivity, which is undesirable. For example, if the amount of Cr in the Cu phase of the Cu-50% Cr alloy exceeds about 0.5%, the conductive wool drops to 1/2 of 0.1%. (In 0.1%, the conductivity is 40% IACS. In% it drops to 20% IACS or less).

별개의 태양으로서 본 발명 방법의 냉각 공정에 있어서 바람직하기로는 400℃로부터 상온까지의 냉각은 불활성 가스를 불어 대어 급냉시킨다. 이와같이 급냉시킴으로써 일반적으로 상기 범위내에서의 냉각에 소요되는 시간은 시료의 열용량 등에 의해서 결정되고 장시간을 요한다. 따라서, 급냉에 의해서 생산능률은 향상된다.As another aspect, in the cooling process of the method of the present invention, cooling from 400 ° C to room temperature is preferably quenched by blowing inert gas. In general, the time required for cooling within the above range by quenching is determined by the heat capacity of the sample and the like and requires a long time. Therefore, the production efficiency is improved by quenching.

또 본 발명 방법의 냉각공정에 있어서 300-400℃ 온도구간 중 어떤 온도로 적어도 0.25시간, 적어도 l회가열유지를 행한다. 이와같이 가열유지를 행함으로써 소결, 용침종료 후, 특히 도전율이 떨어지는 접점을 발견했을 때에는 재생(도전율의 회복향상)시킴이 용이해진다.Further, in the cooling step of the method of the present invention, heating is performed at least 1 hour for at least 0.25 hours at any temperature in the 300-400 ° C temperature section. By maintaining the heating in this way, it is easy to regenerate (improving the recovery of the conductivity) after sintering and the end of the infiltration, especially when a contact with low conductivity is found.

[반응방지재][Reaction prevention material]

상기 소결공정, 용침공정에 있어서는 성형체와 소결용 용기사이와, 스켈톤과 용칩용 용기와의 사이에 이들 부재간의 반응 및(또는) 젖음을 저감시키기 위하여 반응방지재를 삽입시키는 것이 바람직하다. 상기와 같은 반응, 젖음을 방지함으로써 합금의 특성을 더욱 향상시킬 수 있다.In the sintering step and the infiltration step, it is preferable to insert a reaction preventing material between the molded body and the sintering container and between the skeleton and the sintering container in order to reduce the reaction and / or the wetting between these members. By preventing the reaction and wetting as described above, the properties of the alloy can be further improved.

이와같은 반응 방지재로서는 적어도 400℃로 미리 가열된 Al2O3, SiO2로부터 선택된 입자상 또는 섬유상의 내열성 무기재료 중의 적어도 1종으로 이루어지는 것이 바람직하다. 예를들면 반응방지제를 섬유상 세라믹스로 된 것으로 할 수 있다.Examples of such reaction preventing material is preferably made of at least one kind of heat-resistant inorganic material in particulate or fiber form selected from the pre-heating Al 2 O 3, SiO 2 of at least 400 ℃. For example, the reaction inhibitor may be made of fibrous ceramics.

다른 바람직한 태양으로서 반응방지제를 세라믹 섬유속으로 된 것으로 할 수 있다.As another preferable aspect, an inhibitor can be made into a ceramic fiber bundle.

또다른 태양으로서 반응방지제를 세라믹 섬유의 편직물로 된 것으로 할 수 있다.As another aspect, an inhibitor can be made into the knitted fabric of ceramic fiber.

본 발명에 있어서의 바람직한 태양으로서 상기 섬유상 세라믹을 직경 5-100μm 길이의 장섬유로부터 얻어진 것으로 하여도 좋다.As a preferable aspect in this invention, the said fibrous ceramic may be obtained from the long fiber of 5-100 micrometers in diameter length.

본 발명에 있어서 사용되는 바람직한 반응방지제는 섬유상 세라믹스이고, 이 세라믹스는 바람직하기로는 Al2O3또는/및 SiO2를 주성분으로 한다. 이것은 Al2O3및 SiO2가 내열성 및 작업성이 우수하기 때문이다. Al2O3및 SiO2의 함유량은 바람직하기로는 50%이상, 보다 더 좋기로는 90% 이상이다. Al2O3및 SiO2이외에 허용되는 성분으로서는 TiO2,MgO,CaO,Fe2O3,B2O3,SrO 등이 있다. 이들의 함유량은 각각 최대 20%이다.Preferred reaction inhibitors used in the present invention are fibrous ceramics, which are preferably Al 2 O 3 or / and SiO 2 as the main component. This is because Al 2 O 3 and SiO 2 are excellent in heat resistance and workability. The content of Al 2 O 3 and SiO 2 is preferably 50% or more, more preferably 90% or more. Other acceptable components other than Al 2 O 3 and SiO 2 include TiO 2 , MgO, CaO, Fe 2 O 3 , B 2 O 3 , and SrO. Their content is at most 20%.

본 발명에 있어서 섬유상 세라믹스는 복수본의 섬유를 다발로 만든 세라믹 섬유속, 또는 세라믹 섬유로부터 얻어진 편직물로서 직접 접촉부재로서 사용된다. 이 부재가 열처리시에 사용되는 형태는 여러가지 있지만 예를들면 열처리 용기와 피열처리 재료와의 사이에 세라믹 섬유속 또는/및 세라믹 편직물이 끼워져 있게하는 형태, 또 세라믹 편직물을 용기상으로 성형하여 그것을 열처리 용기로서 사용하는 형태 등이 있고, 어느 것이든 간에 피열처리 재료는 세라믹 섬유와 직접 접촉된다.In the present invention, the fibrous ceramics is used as a direct contact member as a ceramic fiber bundle obtained by bundling a plurality of fibers or a knitted fabric obtained from ceramic fibers. Although the member is used in various heat treatment methods, for example, the ceramic fiber bundle and / or the ceramic knitted fabric are sandwiched between the heat treatment container and the heat-treatment material, and the ceramic knitted fabric is formed into a container and heat treated. In some cases, the heat-treatment material is in direct contact with the ceramic fibers.

이 섬유상 세라믹스는 직경 0.1-300μm 바람직하기는 5-100μm 장 섬유로부터 얻어진 것이다. 이와같은 범위의 섬유를 사용하는 것은 이것보다 굵은 직경에서는 용기로서의 가요성이 나쁘고 작업성을 해치기 때문이다.The fibrous ceramics are obtained from 0.1-300 μm in diameter, preferably 5-100 μm in long fibers. The use of the fibers in such a range is because the flexibility as a container is worse at a thicker diameter than this and the workability is impaired.

[합금의 조성비][The furtherance costs of alloy]

최종적으로 얻어지는 접점합금의 각 성분은 아래 범위가 바람직하다.The following range is preferable for each component of the contact alloy finally obtained.

Cu 또는/및 Ag : 80-20중량%, Cr : 20-80중량%Cu or / and Ag: 80-20% by weight, Cr: 20-80% by weight

합금중의 Cr량이 80%보다도 클 때에는 주울용착이 많이 발생하여 재점호에 관계가 깊은 표면 거칠음에 대해서 바람직하지 않을 뿐만 아니라 전압 7.2KV에 있어서 40KA의 차단이 곤란해진다. 역으로 Cr량이 20% 미만일 때에는 예를들면 40KV를 차단했을 때 내아크성이 유지되지 않고 큰 아크소모를 나타내어 바람직하지 않다.When the amount of Cr in the alloy is larger than 80%, Joule welding occurs a lot, which is not preferable for the surface roughness that is deeply related to re-ignition, and it is difficult to block 40KA at a voltage of 7.2 KV. On the contrary, when the amount of Cr is less than 20%, for example, when blocking 40 KV, arc resistance is not maintained and large arc consumption is not preferable.

또 상기 조성범위에 있어서 높은 도전성 성분인 Cu 또는/및 Ag상 중에 고용되는 Cr량은 0.01-0.35중량%이어야 만 도전성 특성을 안정화시키는 면에서 바람직한 것이다.In addition, the amount of Cr dissolved in the Cu or / and Ag phase which is a high conductive component in the above composition range should be 0.01-0.35% by weight, which is preferable in terms of stabilizing the conductive characteristics.

[처리분위기][Atmosphere]

상기 각 공정에 있어서의 처리는 비산화분위기중에서 행함이 바람직하고 구체적으로는 알곤가스 등의 불활성가스, H2가스 N2가스중 또는 진공중에서 행해진다.The treatment in each of the above steps is preferably carried out in a non-oxidizing atmosphere, and is specifically carried out in an inert gas such as argon gas, H 2 gas N 2 gas or in vacuum.

[진공밸브][Vacuum valve]

이어서 본 발명의 방법에 의해서 얻어진 합금에 적용되는 진공밸브(진공차단기)를 첨부도면에 의해서 설명하겠다.Next, a vacuum valve (vacuum breaker) applied to the alloy obtained by the method of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

제 1 도는 본 발명에 의한 접점재료를 적용하는 진공차단기의 구성예를 나타낸 것으로, 동 도면에 있어서1은 차단실을 나타내고, 이 차단실1은 절연재료에 의해서 대략 원통상으로 형성된 절연용기 2와, 이 양단에 봉지금구 3a, 3b를 거쳐서 설비한 금속성의 덮개 4a, 4b로 진공기밀로 구성되어 있다. 그런데 상기 차단실 1내에는 도전봉 5, 6이 대향하는 단부에 취부된 한쌍의 전극 7, 8이 배치설비되고 상부의 전극 7을 고정전극, 하부의 전극 A을 가동전극으로 하고 있다. 또 이 가동전극 8의 전극봉 6에는 벨로우즈 9가 취부되어 차단실 1내를 진공기밀로 유지하면서 전극 8의 축방향의 이동을 가능하게 하고 있다. 또 이 벨로우즈 9의 상부에는 금속성이 아크쉴드 l0이 설비되어 벨로우즈 9가 아크증기로 덮이는 것을 방지하고 있다. 또 l1은 상기 전극 7, 8을 덮고 차단실 1내에 설비된 금속성의 아크쉴드로 절연용기 2가 아크증기로 덮이는 것을 방지하고 있다. 또 전극 8은 제 2 도에 확대해서 나타냄과 같이 도전봉 6에 경납땜한 부분 12에 의해서 고정되든지 또는 리베르에 의해서 압착접속되어 있다. 접점 13a는 전극 8에 경납땜 14로 고착되어 있다. 또, 제 1 도에 있어서의 13b는 고정측 접점이다.1 shows an example of the construction of a vacuum circuit breaker to which a contact material according to the present invention is applied, in which FIG. 1 shows a shielding chamber, and the shielding chamber 1 is formed of an insulating material having a substantially cylindrical shape with an insulating material. The metal covers 4a and 4b provided at both ends via the sealing holes 3a and 3b are constituted by a vacuum seal. However, the pair of electrodes 7, 8 mounted at the opposite ends of the conductive rods 5, 6 are disposed in the blocking chamber 1, and the upper electrode 7 is fixed and the lower electrode A is movable. In addition, a bellows 9 is attached to the electrode rod 6 of the movable electrode 8 to allow the electrode 8 to move in the axial direction while keeping the inside of the shutoff chamber 1 under vacuum. In addition, the upper portion of the bellows 9 is provided with a metallic arc shield 10 to prevent the bellows 9 from being covered by the arc steam. Further, l1 is a metallic arc shield covering the electrodes 7, 8 and provided in the shielding chamber 1 to prevent the insulation vessel 2 from being covered with arc steam. In addition, the electrode 8 is fixed by the portion 12 brazed to the conductive rod 6, or is crimped and connected by a lever as shown in an enlarged view in FIG. The contact 13a is fixed to the electrode 8 by brazing 14. In addition, 13b in FIG. 1 is a fixed side contact.

본 발명의 접점재로는 상기한 바와같은 접점 13a, 13b의 쌍방 또는 어느 일방을 구성시키는데 적합한 것이다. 아래에 본 발명을 실시예에 의해서 설명하겠다.The contact member of the present invention is suitable for forming both or both of the contacts 13a and 13b as described above. The present invention will be described below by way of examples.

[실시예 A-1]Example A-1

아래의 원료용 Cr 분말을 사용하여 Cu-Cr합금을 조정하였다.Cu-Cr alloy was adjusted using the following Cr powder for raw materials.

평균입경 74μmAverage particle size 74μm

Al 함유량 8ppmAl content 8ppm

Si 함유량 15ppmSi content 15ppm

V 함유량 〈2ppmV content 〈2ppm

Ca 함유량 〈2ppmCa content 〈2ppm

산소 함유량 100ppmOxygen content 100ppm

질소 함유량 30ppmNitrogen content 30ppm

고순도 Cu를 진공중 약 1500℃로 1시간 흑연 도가니중에서 가열하고 지향성 응고를 행하여 용침 Cu괴로 만들었다.High-purity Cu was heated in a graphite crucible at about 1500 ° C. in a vacuum for 1 hour, and subjected to directional solidification to form infiltrated Cu ingots.

진공중 약 2000℃ 이상으로 미리 가열처리한 흑연 용기를 소결 또는/및 용침용 열처리 용기로서 준비함과 동시에 진공 또는 수소중에서 약 400℃ 이상에서 미리 가열처리한 입경 1-300μm의 Al2O3분말을 반응 또는/및 젖음 경감재로서 준비하였다.A graphite container preheated to about 2000 ° C. or higher in vacuum was prepared as a heat treatment container for sintering and / or infiltration, and Al 2 O 3 powder having a particle diameter of 1-300 μm preheated to about 400 ° C. or higher in vacuum or hydrogen was prepared. It was prepared as a reaction or / and wetting agent.

다음에 상기 원료용 Cr 분말로 5ton/cm2의 압력으로 성형체를 형성시키고 상기의 미리 가열처리한 소결용 용기에 넣었다.Next, a molded article was formed from the Cr powder for the raw material at a pressure of 5 ton / cm 2 and placed in the previously heat-treated sintering container.

성형체를 용기와 함께 2×10-6Torr의 진공도, 1100℃의 온도로 1시간 유지시켜 소결하고, 공극률적으로20%의 Cr 스켈톤을 만들었다.The molded body was sintered together with the container at a vacuum degree of 2 × 10 −6 Torr at a temperature of 1100 ° C. for 1 hour to form a Cr skeleton having a porosity of 20%.

Cr 스켈톤을 상기의 미리 가열처리한 흑연성 용침용 용기에 넣는 동시에 이 스켈톤과 용기와의 사이에 앞서 준비한 Al2O3분말을 배치하고 양자가 반응 또는/및 젖지 않도록 하였다. 그 스켈톤상에 앞서 준비한 용침용 Cu괴를 놓고 2×10-6Torr의 진공도,1200℃의 온도에서 1시간 유지하여 스켈톤의 공극을 Cu로 용침시켰다.Cr Skelton was placed in the pre-heated graphitized infiltration container, and the Al 2 O 3 powder prepared above was placed between the skeleton and the container so that both were not reacted or / and wet. The previously prepared infiltration Cu ingot was placed on the skeleton, and the pores of the skeleton were infiltrated with Cu by maintaining the vacuum at 2 × 10 −6 Torr for 1 hour at a temperature of 1200 ° C.

용침종료후 800℃-400℃의 온도구간에서 1.1℃/min의 냉각속도로 냉각하여 높은 도전율을 유지한 80%Cr-Cu 소재를 얻었다.After completion of the infiltration, cooling was performed at a cooling rate of 1.1 ° C./min in the temperature range of 800 ° C.-400 ° C. to obtain 80% Cr-Cu material having high conductivity.

얻은 Cr-Cu 소재로부터의 접점에 관해서 재점호 발생확률, 발호 및 도전율에 대해서 시험을 하였다. 그 결과를 하기 제 1 표에 나타내었다.The contact points from the obtained Cr-Cu materials were tested for the probability of re-ignition, firing and conductivity. The results are shown in the first table below.

[비교에 A-1][A-1 in comparison]

하기의 원료용 Cr 분말을 사용하고, 용침용 Cu 괴로서 통상의 진공용해에 의한 Cu괴를 사용하고, 및 로내에서의 자연냉각속도로 냉각하는 이외는 실시예 A-1과 같이 실시하고 시험하였다. 이 결과를 제 1 표에 나타내었다.The following Cr powder for raw materials was used, Cu ingots by ordinary vacuum dissolution were used as Cu ingots, and cooling was carried out in the same manner as in Example A-1 except for cooling at a natural cooling rate in a furnace. . The results are shown in the first table.

Al 함유량 1410ppmAl content 1410ppm

Si 함유량 620ppmSi content 620ppm

V 함유량 78ppmV content 78ppm

Ca 함유량 45ppmCa content 45ppm

산소 함유량 4670ppmOxygen Content 4670ppm

질소 함유량 269ppmNitrogen Content 269ppm

[실시예 A-2]Example A-2

실시예 A-1과 같이 원료용 Cr 분말 용침용 Cu괴 및 젖음 경감재를 준비하였다. 이어서 상기 원료용 Cr분말을 가압하지 않고 상기의 미리 가열처리한 소결용 용기에 자연충전 시켰다. 그 Cr 분말을 용기와 같이 3×10-6Torr의 진공도, 900℃의 온도로 1시간 유지 소결하여 공극률 약 50%의 Cr 스켈톤을 만들었다.As in Example A-1, Cu ingots for infiltration of Cr powder for raw materials and wetting materials were prepared. Subsequently, the Cr powder for raw materials was naturally charged in the above-mentioned heat-treated sintering container without pressurizing. The Cr powder was sintered at a vacuum of 3 × 10 −6 Torr at a temperature of 900 ° C. for 1 hour as a container to form Cr skeleton having a porosity of about 50%.

수소중 1150℃의 온도, 0.5시간동안 용침한 것이외는 실시예 A-1과 같이 Cr 스켈톤에 Cu를 용침시켰다. 용침종료후의 냉각에 있어서 약 1000℃ 까지 내려갔을때 충분히 건조한 알곤가스를 불어서 급냉시키고, 50% Cr-Cu 소재를 얻었다. 이 소재를 2×10-6Torr의 진공도, 750℃의 온도로 3시간 유지하고 재가열하여 전도율을 조정한 소재를 얻었다.Cu was infiltrated into Cr Skeleton in the same manner as in Example A-1 except that the temperature was infiltrated at 1150 ° C in hydrogen for 0.5 hour. When cooling to the end of the infiltration was cooled to about 1000 ℃ by blowing sufficiently dry argon gas to obtain a 50% Cr-Cu material. The material was maintained at a vacuum degree of 2 × 10 −6 Torr and a temperature of 750 ° C. for 3 hours and reheated to obtain a material having adjusted conductivity.

이 소재를 실시예 A-1과 같이 시험하였다.This material was tested in the same manner as in Example A-1.

이 결과를 제 1 표에 나타내었다.The results are shown in the first table.

[비교예 A-2]Comparative Example A-2

비교예 A-1의 원료용 Cr 분말을 사용한 것, 용침용 Cu 괴로서 통상의 진공용해에 의한 Cu괴를 사용한 것 및 로내에서 자연냉각속도로 냉각한 것 이외는 실시예 A-2와 같이 실시하고 시험하였다.It carried out similarly to Example A-2 except having used the Cr powder for raw materials of the comparative example A-1, using the Cu ingot by normal vacuum dissolution as Cu ingot, and cooling by in a natural cooling rate in a furnace. And tested.

그 결과를 제1표에 나타내었다.The results are shown in the first table.

[실시예 A-3]Example A-3

실시예 A-1와 같이 원료용 Cr 분말, 및 젖음 경감재를 준비하였다. 또 노점이 영하 70℃이하의 수소중에 350℃의 온도로 1시간 유지하여 환원처리한 5-44μm의 입자직경의 배합용 Cu 분말을 조정하였다. 700g의 상기 Cr 분말과 2800g의 상기 배합용 Cu 분말을 혼합하여 4 ton/cm2로 가압하여 성형체를 형성시켰다.As in Example A-1, Cr powder for a raw material and a wetting agent were prepared. Moreover, the Cu powder for mixing of 5-44 micrometers of particle diameters which carried out the reduction | restoration process by maintaining the dew point at 350 degreeC in hydrogen below 70 degrees C or less for 1 hour was adjusted. 700 g of the Cr powder and 2800 g of the Cu powder for mixing were mixed and pressurized at 4 ton / cm 2 to form a molded body.

이 성형체를 상기의 미리 열처리한 소결용 용기에 수용하고, 그 성형체를 용기와 같이 수소중에서 l000℃의 온도로 1시간을 유지하여 소결시켜 스켈톤을 얻었다.The molded body was accommodated in the previously heat-treated sintering container, and the molded body was sintered in hydrogen like a container at a temperature of l000 ° C. for 1 hour to obtain a skeleton.

이 스켈톤을 재차 5ton/cm2로 가압하고 노점이 영하 70℃이하의 수소중에 1시간동안 1000℃의 온도로 가열하고 이어서 재차 7ton/cm2으로 가압하고, l.5×10-6Torr의 진공도,1030℃ 온도로 1시간동안 가열하였다.The skeleton is again pressurized to 5 ton / cm 2 , the dew point is heated to a temperature of 1000 ° C. for 1 hour in hydrogen below minus 70 ° C. and then to 7 ton / cm 2 again, and l.5 × 10 −6 Torr of Vacuum degree, heated to 1030 ℃ temperature for 1 hour.

가열후의 냉각에 있어서 로전원을 끊고 700℃ 까지는 로와 끼워넣어진 피열처리재등의 열용량으로 결정되는 자연 냉각속도로 냉각하고 도전율의 개선을 위하여 700℃로 3시간의 가열유지를 행하였다. 그후에 재차 자연로 냉속도로 냉각하고 20% Cr-Cu 소재를 얻었다.In the cooling after heating, the furnace power was turned off, and the furnace was cooled to a natural cooling rate determined by the heat capacity of the heat-treated material such as the furnace and the heat-treated material, and the heating was maintained at 700 ° C. for 3 hours to improve the conductivity. Afterwards it was cooled again naturally to obtain a 20% Cr-Cu material.

이 소재에 관해서 실시예 A-1과 같이 시험하였다. 그 결과를 제 1 표에 나타내었다.This material was tested in the same manner as in Example A-1. The results are shown in the first table.

[비교예 A-3]Comparative Example A-3

비교예 A-1의 원료용 Cr분말을 사용한 것과 배합용 Cu 분말로서 통상의 Cu 분말을 사용한 것 이외는 실시예 3과 같이 실시하여 시험하였다. 그 시험결과를 제 1 표에 나타내었다.It tested like Example 3 except having used Cr powder for a raw material of Comparative Example A-1, and using normal Cu powder as a mixing Cu powder. The test results are shown in the first table.

[표 1]TABLE 1

Figure kpo00001
Figure kpo00001

각 소재중의 Cr량은 목표치에 대하여 1% 이하의 오차로 제어되어 있는 것을 화학분석에 의해서 확인한 후에 상기의 시험을 행하였다.The above test was conducted after confirming by chemical analysis that the amount of Cr in each material was controlled by an error of 1% or less with respect to the target value.

제 1 표의 실시예와 비교예와의 대비에서 명백한 바와같이 소재의 도전율을 유지할 뿐만 아니라 재점호 발생 및 발호의 저감을 알 수 있었다.As apparent from the comparison between the examples of Table 1 and the comparative examples, not only the electrical conductivity of the material was maintained but also the occurrence of re-ignition and reduction of firing were found.

[실시예 B-1∼B-8, 비교예 B-1∼B-3][Examples B-1 to B-8, Comparative Examples B-1 to B-3]

고탄소 페로크롬을 황산을 용해시켜 이것을 전해, 환원시켜서 얻은 금속 Cr 판을 크기 약 0.5-2mm 입자로 분쇄하였다(시료 1).The high-carbon ferrochrome was dissolved in sulfuric acid, electrolytically reduced, and the metal Cr plate obtained by pulverizing was pulverized into particles of about 0.5-2 mm in size (sample 1).

시료 1을 2×10-5Torr의 진공중에서 온도 1450℃로 2시간 가열처리하였다(시료 2). 동 진공중에서 350℃로 24시간 처리하였다(시료 11).Sample 1 was heated at a temperature of 1450 ° C. for 2 hours in a vacuum of 2 × 10 −5 Torr (Sample 2). The mixture was treated at 350 DEG C for 24 hours in the same vacuum (Sample 11).

시료 1을 모아 상온에서 브리켈 머신으로 성형시키고, 약 20mm×25mm, 두께가 약 8mm의 크기를 갖는 브리켈 상의 금속 Cr 집합체를 만들었다(시료 3).Sample 1 was collected and molded into a Briquel machine at room temperature to produce a Briquel metal Cr aggregate having a size of about 20 mm x 25 mm and a thickness of about 8 mm (Sample 3).

시료 2를 모아 브리켈 머신으로 성형시키고 약 20mm×25mm 두께가 약 8mm의 크기를 갖는 브리켈상의 금속 Cr 집합체를 만들었다(시료 4).Sample 2 was collected and molded into a Briquel machine to make a Briquel-like metal Cr aggregate having a size of about 8 mm by about 20 mm x 25 mm (Sample 4).

시료 3을 2×10-5Torr의 진공중에서 1450℃로 약 2시간 가열 처리하였다(시료 7)Sample 3 was heated at 1450 ° C. for about 2 hours in a vacuum of 2 × 10 −5 Torr (Sample 7)

시료 4를 2×10-5Torr의 진공중에서 1450℃로 약 2시간 가열 처리하였다(시료 8).Sample 4 was heated at 1450 ° C. for about 2 hours in a vacuum of 2 × 10 −5 Torr (Sample 8).

시료 1을 모아 열처리용 내화세라믹 용기에 넣고 2×10-5Torr의 진공중에서 1300℃로 가열하면서 직경약 20mm, 높이 8mm의 크기를 갖는 금속 Cr 집합체를 만들었다(시료 5). 상온으로 냉각한 시료 5에 재차 같은 열처리를 하였다(시료 9).Sample 1 was collected, placed in a heat-resistant refractory ceramic container, and heated to 1300 ° C. in a vacuum of 2 × 10 −5 Torr to form a metal Cr aggregate having a diameter of about 20 mm and a height of 8 mm (sample 5). The same heat treatment was again performed on the sample 5 cooled to normal temperature (sample 9).

시료 2를 모아 열처리용 내화세라믹 용기에 넣고,2×10-5 Torr의 진공중에서 1300℃로 가열하면서 직경 약 20mm, 높이 8mm의 크기를 갖는 금속 Cr 집합체를 만들었다(시료 6). 상온으로 냉각한 시료 6에 재차 같은 가열처리를 하였다(시료 10).Sample 2 was collected, placed in a heat-resistant refractory ceramic container, and heated to 1300 ° C. in a vacuum of 2 × 10 −5 Torr to form a metal Cr aggregate having a diameter of about 20 mm and a height of 8 mm (sample 6). The same heat treatment was again performed on the sample 6 cooled to normal temperature (sample 10).

이어서 얻어진 시료 1-11에 관해서 알곤가스를 충전한 볼밀중에서 약 6시간 분쇄하고 체로처 5-250μm의 범위의 입자를 가려냈다. 이 시점에서 Cr 분말은 시료 1을 제외하고 모두 산소, 질소가 각각 200ppm이하였다. Al, Si은 각각 100ppm 이하, Ca는 10ppm 이하였다.Subsequently, about the obtained sample 1-11, it grind | pulverized about 6 hours in the ball mill packed with argon gas, and the particle | grains of the range of 5-250 micrometers were sifted out. At this point, all of the Cr powder except for sample 1 contained 200 ppm or less of oxygen and nitrogen. Al and Si were each 100 ppm or less, and Ca was 10 ppm or less.

시료 1-11의 Cr 분말중 74-105μm의 입자를 선별하고 이것을 흑연용기에 자연충전시킨후에 이 흑연용기와 함께 시료 1-11의 각각을 수소중에서 950℃로 한시간 가열하고 공극용적이 약 55%의 각 Cr 스켈톤을 얻었다.After screening 74-105 μm particles in Cr powder of Sample 1-11 and naturally charging them in the graphite container, each of Sample 1-11 was heated at 950 ° C. in hydrogen for one hour with hydrogen, and the pore volume was about 55%. Each Cr Skelton was obtained.

이 Cr 스켈톤의 공극에 별도로 진공탈가스된 Cu를 1×0-5Torr의 진공중에서 1150℃로 1시간 용침시켜 약 50중량%의 Cu-Cr 합금을 얻었다. 이 용침처리에 있어서는 이 시료 1-8과 용침용 열처리 용기사이에는 양자의 젖음을 방지하기 위하여 85% Al2O3-15% SiO2재의 섬유상의 세라믹 화이버를 쉬트상으로 짠반응방지 쉬트를 끼워 넣었다.Cu vacuum degassed separately in this Cr skeleton was immersed at 1150 ° C. for 1 hour in a vacuum of 1 × 0 −5 Torr to obtain about 50% by weight of a Cu—Cr alloy. In this infiltration process, a reaction prevention sheet woven between 85% Al 2 O 3 -15% SiO 2 ash and fibrous ceramic fibers in the form of a sheet was placed between the sample 1-8 and the infiltration heat treatment container. Put in.

상기 용침처리 종료후 용침작업온도 1150℃로부터 800℃까지는 자연냉각시킨 후 800℃로부터 400℃간의 냉각 속도를 3℃/분으로 제어하는 조건으로 상기 시료 1-8을 냉각시켰다.After completion of the infiltration process, the sample 1-8 was cooled under the condition of controlling the cooling rate from 800 ° C to 400 ° C to 3 ° C / min after naturally cooling the infiltration work temperature from 1150 ° C to 800 ° C.

이들의 접점소재로부터 접점편을 만들고, 조립식 진공밸브에 장착시켰다.Contact pieces were made from these contact materials and mounted in a prefabricated vacuum valve.

이와같이 해서 얻은 접점소재의 가스량을 비교하는 동시에 상기 조립식 진공밸브에 이 시료 1-11의 접점을 장착 후술하는 평가방법, 조건으로 재점호특성을 평가하였다.The amount of gas of the contact material thus obtained was compared, and the firing characteristics were evaluated under the evaluation method and conditions described later, in which the contact of this sample 1-11 was attached to the assembled vacuum valve.

제 2 표에 그 결과를 나타냄과 같이 전해 Cr를 분쇄한 그대로 Cr 분말로 Cu-Cr 합금을 만든 경우(비교예 B-1), 및 같은 Cr 분말을 처리하지 않고 브리켈머신으로 금속 Cr 집합체를 만들고 이것을 분쇄해서 얻은 Cr 분말로 Cu-Cr 합금을 만든 경우(비교예 B-2는 어느 경우도 재점호 발생 빈도가 2% 이상으로 많이 발생하고 있다. 이것에 비해서 금속 Cr 집합체를 만드는 전후단계 또는 성형중(금속 Cr 집합체를 제조중)에 가열처리를 한 경우에는 어느 경우나 큰폭으로 재점호발생빈도가 감소되어 있다(실시예 B-1∼B-8). 더욱이 가열처리 조건이 적당하지 않은 경우에는 효과가 발휘되지 않고 재점호 발생을 볼수 있다(비교예 B-3).As shown in the second table, the Cu-Cr alloy was made of Cr powder as it was after electrolytic Cr was pulverized (Comparative Example B-1), and the metal Cr aggregates were subjected to a Briquel machine without treating the same Cr powder. When Cu-Cr alloy was made from Cr powder obtained by pulverizing it (Comparative Example B-2, the occurrence frequency of re-ignition was more than 2% in all cases. In the case where the heat treatment was performed during molding (during the production of the metal Cr aggregate), the occurrence of re-ignition was greatly reduced in all cases (Examples B-1 to B-8). In this case, the effect is not exerted and re-emergence can be seen (Comparative Example B-3).

[표 2]TABLE 2

Figure kpo00002
Figure kpo00002

[실시예 B-9∼18, 비교예 B-4,5]Examples B-9 to 18 and Comparative Examples B-4 and 5

무수크롬산을 Al 환원시켜 얻은 금속 Cr 괴를 크기 약 0.5-2mm 입자로 고르게 만들었다. 또 이 금속Cr 괴중의 Al, Si등의 불순물은 충분히 제거하였다(시료 21).Metal Cr ingots obtained by Al reduction of chromic anhydride were evenly made into particles of about 0.5-2 mm in size. In addition, impurities such as Al and Si in the metal Cr mass were sufficiently removed (sample 21).

시료 21을 2×10-5Torr의 진공중에서 온도 1450℃로 2시간 가열처리하였다(시료 22). 동 진공중에서 350℃로 24시간 가열처리하였다(시료 31).Sample 21 was heated at a temperature of 1450 ° C. for 2 hours in a vacuum of 2 × 10 −5 Torr (sample 22). It heat-processed at 350 degreeC for 24 hours in the same vacuum (Sample 31).

시료 21을 모아 상온에서 압축 플레스기로 성형시켜 약 20mm×25mm, 두께가 8mm의 크기를 갖는 브리켈상의 금속 Cr 집합체를 만들었다(시료 23).Sample 21 was collected and molded at room temperature with a pressurized fleece to produce a Briquel metal Cr aggregate having a size of about 20 mm x 25 mm and a thickness of 8 mm (sample 23).

시료 22를 모아 압축플레스기로 성형시키고 약 20mm×25mm, 두께가 약 8mm의 크기를 갖는 브리켈상의 금속 Cr 집합체를 만들었다(시료 24).Sample 22 was collected and molded into a compression placen to produce a Briquel-like metal Cr aggregate having a size of about 20 mm x 25 mm and a thickness of about 8 mm (sample 24).

시료 23을 2×10-5Torr의 진공중에서 1450℃로 약 2시간 가열처리하였다(시료 27).Sample 23 was heated to 1450 ° C. for about 2 hours in a vacuum of 2 × 10 −5 Torr (Sample 27).

시료 24를 2×10-5Torr의 진공중에서 1450℃로 약 2시간 가열처리하였다(시료 28).Sample 24 was heated to 1450 ° C. for about 2 hours in a vacuum of 2 × 10 −5 Torr (Sample 28).

시료 21을 모아 열처리용 내화세라믹 용기에 넣고, 2×10-5Torr 진공중에서 1300℃로 가열하면서 직경약 20mm, 높이가 8mm 크기를 갖는 금속 Cr 집합체를 만들었다(시료 25).Sample 21 was collected, placed in a heat-resistant refractory ceramic container, and heated to 1300 ° C. in a 2 × 10 −5 Torr vacuum to produce a metal Cr aggregate having a diameter of about 20 mm and a height of 8 mm (sample 25).

상온으로 냉각시킨 시료 25에 재차 같은 열처리를 하였다(시료 29).The same heat treatment was again performed on the sample 25 cooled to normal temperature (sample 29).

시료 22를 모아 열처리용 내화세라믹 용기에 넣고 2×10-5Torr의 진공중에서 1300℃로 가열하면서 직경이 약 20mm, 높이가 8mm 크기를 갖는 금속 Cr 집합체를 만들었다(시료 26).Sample 22 was collected, placed in a heat-resistant refractory ceramic container, and heated to 1300 ° C. in a vacuum of 2 × 10 −5 Torr to form a metal Cr aggregate having a diameter of about 20 mm and a height of 8 mm (sample 26).

상온으로 냉각시킨 시료 26에 재차 같은 열처리를 하였다(시료 30).The same heat treatment was again performed on the sample 26 cooled to normal temperature (sample 30).

이어서 얻어진 시료 21-31에 대해서 알곤가스를 충전시킨 볼밀중에서 12시간 분쇄하고 체로쳐서 5-250μm 범위의 입자를 가려냈다.Subsequently, the obtained sample 21-31 was ground in a ball mill packed with argon gas for 12 hours and sieved to sift particles in the range of 5-250 μm.

이 시점에서 시료 21을 제외한 각 Cr 분말은 모두 산소, 질소의 각각이 200ppm 이하였다. Al, Si는 각각 100ppm 이하, Ca는 10ppm 이하였다.At this point, each of the Cr powders except Sample 21 had 200 ppm or less of oxygen and nitrogen. Al and Si were each 100 ppm or less, and Ca was 10 ppm or less.

시료 21-31의 Cr 분말로부터 74-105μm의 입자를 선별하였다. 400℃로 수소환원 처리한 대략 같은 입자직경을 갖는 전해동을 준비하였다. 상기 Cr 분말과 전해 Cr 분말을 Cr가 25%가 되게 혼합하고, 4ton/cm2로 성형시킨 다음 800℃까지는 수소기류중에서 가소결을 행하고 그후에 1040℃로 2시간동안 진공중에서 소결시켜 접점소재를 만들었다. 고상소결법이므로 Cr와 Cu의 비율은 임의로 선택할 수 있지만 여기에서는 대표예로서 전술한 25% Cr∼Cu 합금을 나타낸 것이다.74-105 μm particles were selected from the Cr powders of Samples 21-31. Electrolytic copper having approximately the same particle diameter subjected to hydrogen reduction treatment at 400 ° C. was prepared. The Cr powder and the electrolytic Cr powder were mixed to have 25% Cr, molded at 4 ton / cm 2 , and then calcined in a hydrogen stream up to 800 ° C., and then sintered under vacuum at 1040 ° C. for 2 hours to form a contact material. . Since the ratio of Cr and Cu can be arbitrarily selected because of the solid state sintering method, the above-described 25% Cr to Cu alloy is shown as a representative example.

1040℃로 진공소결후의 소결재를 상온근방까지 냉각한 후 진공중에서 550℃로 90분간 재가열처리를 하여 접점소재로 했다. 이들의 접점소재로부터 접점편을 만들고 접점소재의 가스량을 비교함과 동시에 조립식의 진공밸브에 이 시료편 21-31의 접점을 장착하여 후술하는 평가방법, 조건으로 재점호 특성을 평가했다.The sintered material after vacuum sintering at 1040 ° C. was cooled to near room temperature, and then reheated at 550 ° C. for 90 minutes in vacuum to obtain a contact material. The contact pieces were made from these contact materials, the amount of gas of the contact materials was compared, and the contact points of this specimen piece 21-31 were attached to the assembled vacuum valve, and the re-firing characteristics were evaluated by the following evaluation method and conditions.

그 결과 Al 환원한 Cr를 분쇄한 그대로의 Cr 분말로 Cu-Cr 합금을 소결법에 의해서 만든 경우(비교예B-4) 및 같은 Cr 분말을 처리하지 않고 압축성 형기로 금속 Cr 집합체를 만들고, 이것을 분쇄해서 얻은 Cr 분말로 Cu-Cr 합금을 만든 경우(비교예 B-5)는 어느 경우에도 재점호 발생빈도가 5% 이상 많이 발생하고 있었다. 더욱이 양자의 Cr 분의 가스량은 산소가 770-1400ppm, 질소가 300-420ppm이고, 25%Cr-Cu중의 가스량은 산소가 110-200ppm, 질소가 88-180ppm이었다.As a result, when the Cu-Cr alloy is made by sintering method with Cr powder obtained by crushing Al-reduced Cr (Comparative Example B-4), a metal Cr aggregate is formed by a compression molding machine without treating the same Cr powder, and then crushed. In the case where the Cu-Cr alloy was made from the obtained Cr powder (Comparative Example B-5), the occurrence of re-ignition was much higher than 5% in any case. In addition, the amount of gas in Cr content was 770-1400 ppm of oxygen and 300-420 ppm of nitrogen, and the gas amount in 25% Cr-Cu was 110-200 ppm of oxygen and 88-180 ppm of nitrogen.

이것에 대해서 금속 Cr 집합체를 만드는 전후단계 또는 성형중(진공 핫트프레스)에 가열처리를 한 경우에는 어느 경우에도 대폭으로 재점호발생 빈도가 감소되고,0.5% 또는 그 이하로 감소됐다(실시예 B-9∼17 : 시료 22, 시료 24-30). 그러나 가열처리 조건이 바람직하지 않은 경우에는 효과가 발휘되지 않고 2% 이상의 재점호를 볼수 있었다.(실시예 B-18; 시료 3l).On the other hand, when the heat treatment was carried out before and after the step of forming the metal Cr aggregate or during the forming (vacuum hot press), the frequency of re-ignition was greatly reduced and decreased to 0.5% or less (Example B). -9-17: sample 22, samples 24-30). However, when the heat treatment conditions were not preferable, the effect was not exerted and re-ignition of 2% or more was observed. (Example B-18; Sample 3l).

가열처리 온도로서 1450℃의 예를 주체로 기술하였지만, 이 처리온도가 더 높을 경우에는 본 발명이 목적으로 하고 있는 재점호 억제효과는 한층 더 향상되지만 한편에 있어서 제2공정에서의 분쇄작업에 시간이 소요되는 경향이 있다. 또 1300℃보다도 낮은 처리온도에서는 재점호 경감의 효과가 떨어지는 경향이 있다.Although the example of 1450 degreeC as heat processing temperature was mainly described, when this processing temperature is higher, the re-ignition suppression effect aimed at by this invention improves further, On the other hand, it is time to grind in a 2nd process. This tends to take. Moreover, the effect of re-ignition reduction tends to be inferior at the process temperature lower than 1300 degreeC.

또 Cr중에 Al를 420ppm, Si를 170ppm, Ca를 70ppm 함유한 Cr를 모아 금속 Cr 집합체로 하여 이것을 분쇄하여 원료 Cr 분말로 하여 소결/용침법에 의해서 Cu-50% Cr 합금을 만들었다. 이 경우에 1450℃×2시간의 가열처리를 하였지만 재점호 발생율의 저감은 이루지 못하고, 5% 이상의 빈도였었다.In addition, Cr containing 420ppm of Al, 170ppm of Si, and 70ppm of Ca was collected and pulverized into a metal Cr aggregate to obtain a Cr-50% Cr alloy by a sintering / sintering method. In this case, the heat treatment was performed at 1450 ° C. for 2 hours, but the incidence of re-ignition was not reduced, and the frequency was 5% or more.

또 본 발명으로 얻어지는 진공밸브용 합금에서는 재점호발생 빈도의 저감뿐만 아니라 각 진공밸브마다의 발생율의 편차도 축소할 수 있었다.Moreover, in the alloy for vacuum valves obtained by the present invention, not only the frequency of re-ignition was reduced but also the variation in the generation rate for each vacuum valve was reduced.

[평가조건][Evaluation Conditions]

진공밸브용 접점재료의 평가는 아래에 나타낸 평가조건에 의해서 재점호 발생을 평가하였다. 직경 39mm, 두께 5mm의 원판상의 접점편을 디마운터블형 진공밸브에 장착하고, 6KV×500A의 회로를 2000회 차단했을 때의 재점호발생 빈도를 측정하고, 2대의 차단기(밸브로는 6본)의 편차폭(최대 및 최소)으로 나타냈다. 접점을 장착할 때에는 베이킹 가열(450℃, 30분)만을 행하고 경납땜재의 사용이나 이것에 따르는 가열은 하지 않았다.Evaluation of the contact material for a vacuum valve evaluated re-ignition by the evaluation conditions shown below. A disc-mounted contact piece with a diameter of 39 mm and a thickness of 5 mm was mounted on a demountable vacuum valve, and the frequency of re-ignition when the circuit of 6KV × 500A was cut off 2000 times was measured, and two circuit breakers (6 valves) were used. The deviation width (maximum and minimum) of is shown. When attaching a contact, only baking heating (450 degreeC, 30 minutes) was performed, but the use of the brazing material and the heating according to it were not performed.

Claims (22)

(a) 입자의 평균직경이 5-250μm의 범위이고, 또 불순물로서 존재하는 Al,Si 및 V 및 Ca의 함유량이 각각 100ppm 이하인 Cr분말로부터 8ton/cm2이하의 외부압력 또는 이 Cr분말의 자중의 압력으로 성형체를 형성하는 공정, (b) 소결용 용기에 넣은 상기 성형체를 Cr스켈론을 얻기 위하여 소결용 용기와 함께 비산화성 분위기중에서 소결하는 공장, (c) 얻어진 Cr스켈돈중의 공극에 Cu 또는/및 Ag를 용침하는 공정, (d) 용침된 함금소재를 도전율이 조정되게 냉각하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.(a) The external pressure of 8 ton / cm 2 or less from Cr powder whose average diameter of particles is in the range of 5-250 μm and the Al, Si, V and Ca contents as impurities are 100 ppm or less, respectively, or the magnetic weight of this Cr powder. Forming a molded article at a pressure of (b) a factory in which the molded article placed in a sintering container is sintered in a non-oxidizing atmosphere together with a sintering container in order to obtain Cr skeletal, and (c) a void in the obtained Cr skeleton. A method of manufacturing a contact alloy for a vacuum valve, comprising the steps of infiltrating Cu or / and Ag, and (d) cooling the infiltrated alloy material so that its conductivity is adjusted. 제 1 항에 있어서, 상기 (d)공정의 냉각을 800-400℃의 온도구간중 적어도 100℃의 온도차 사이을 0.6-6℃/min의 냉각속도로 행하는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The manufacturing method of the contact alloy for vacuum valve according to claim 1, wherein the cooling of the step (d) is performed at a cooling rate of 0.6-6 ° C / min between a temperature difference of at least 100 ° C in a temperature section of 800-400 ° C. Way. 제 1 항에 있어서, 상기 (d)공정의 냉각에 있어서 불활성 가스를 불여서 급냉을 행하는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The method for manufacturing a contact alloy for vacuum valve according to claim 1, wherein in the cooling of the step (d), inert gas is blown to perform quenching. 제 1 항에 있어서, 상기 (d)공정의 냉각에 있어서 800℃-400℃의 온도 구간중 어떤 온도로 적어도 0.25시간, 적어도 1회 가열유지를 행하는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The method of manufacturing a contact alloy for a vacuum valve according to claim 1, wherein in the cooling of the step (d), heating is maintained at least once for 0.25 hours at any temperature in a temperature range of 800 ° C to 400 ° C. . 제 1 항에 있어서, 상기 (a)공정에서 사용되는 Cr분말이 그 Cr분말중에 불순물로서 Al를 l0ppm 이하, Si을 20ppm 이하, V를 10ppm 이하, Ca를 10ppm 이하, 산소를 1000ppm 이하, 질소를 1000ppm 이하 함유하는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The Cr powder used in the step (a) is characterized in that the Cr powder contains 10 ppm or less of Al, 20 ppm or less of Si, 10 ppm or less of V, 10 ppm or less of Ca, 1000 ppm or less of oxygen, and nitrogen. A method for producing a contact alloy for vacuum valve, characterized in that it contains 1000ppm or less. 제 1 항에 있어서, 상기 (a)공정의 성형체가 Cr분말과 Cu 또는/및 Ag분말과의 혼합물로 된것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The method of manufacturing a contact alloy for vacuum valve according to claim 1, wherein the molded article of step (a) is made of a mixture of Cr powder and Cu or / and Ag powder. 제 1 항에 있어서, 상기 (b)공정의 소결에 있어서 상기의 성형체와 소결용 용기와의 사이에 그 양자의 반응 또는/및 젖음을 저감시키기 위한 반응방지재를 삽입시키는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The vacuum valve according to claim 1, wherein in the sintering of the step (b), a reaction preventing material is inserted between the molded body and the container for sintering to reduce the reaction and / or the wetness of both. Method for producing a contact alloy. 제 1 항에 있어서, 상기 (c)공정의 용침에 있어서 상기의 Cr스켈톤과 용침용 용기 사이에 그 양자의반응 또는/및 젖음을 저감시키기 위한 반응방지재를 삽입시키는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의제조방법.The vacuum valve according to claim 1, wherein in the infiltration of step (c), a reaction preventing material is inserted between the Cr skeleton and the infiltration vessel to reduce the reaction and / or the wetness of both. Method of Manufacturing Contact Alloys 제 7 항 또는 8 항에 있어서, 상기 반응방지재가 적어도 400℃로 가열된 Al2O3, SiO2에서 선택한 입자상 또는 섬유상의 내열성 무기재료의 적어도 1종으로 된 것을 특징으로 하는 진공밸브의 접점합금의 제조방법.The contact alloy of a vacuum valve according to claim 7 or 8, wherein the reaction preventing material is at least one of a particulate or fibrous heat-resistant inorganic material selected from Al 2 O 3 and SiO 2 heated to at least 400 ° C. Manufacturing method. (a) 원료 Cr를 비산 화성 분위기중에서 1300℃-융점 근방의 온도범위로 적어도 1회 가열처리하는 공정, (b) 가열처리된 원료 Cr를 분쇄하여 입자의 평균직경이 5-250μm, 산소 및 질소의 함유량이 각각 200ppm 이하의 Cr분말을 얻는 공정, (c) 이와같이하여 얻어진 Cr분말을 8ton/cm2이하의 외부압력 또는 이 Cr분말의 자중의 압력으로 성형하는 공정, (d) 소결용 용기에 넣은 상기 Cr분말 성형체를 Cr스켈톤을 얻기 위하여 소결용 용기와 함께 비산화성 분위기중에서 소결하는 공정, (e) 얻어진 Cr스켈톤중의 공극에 Cu 또는/및 Ag를 용침하는 공정, (f) 용침된 합금소재를 도전율이 조정되게 냉각하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.(a) heating the raw material Cr at least once in a non-oxidizing atmosphere at a temperature in the vicinity of 1300 ° C.-melting point; (b) grinding the heated raw material Cr to obtain an average particle diameter of 5-250 μm, oxygen and nitrogen. To obtain a Cr powder having a content of 200 ppm or less, (c) molding the Cr powder thus obtained at an external pressure of 8 ton / cm 2 or a pressure of its own weight, and (d) a container for sintering. Sintering the encapsulated Cr powder compact together with a sintering vessel in a non-oxidizing atmosphere to obtain Cr skeleton, (e) infiltrating Cu or / and Ag into voids in the obtained Cr skeleton, (f) A method of manufacturing a contact alloy for a vacuum valve, characterized in that it comprises the step of cooling the infiltrated alloy material to adjust the conductivity. 제 10 항에 있어서, 상기 (d)공정의 소결이 적어도 800℃의 온도에서 행해지는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The method of manufacturing a contact alloy for vacuum valve according to claim 10, wherein the sintering of step (d) is performed at a temperature of at least 800 ° C. 제 10 항에 있어서, 상기 (f)공정의 냉각을 800℃-400℃ 온도구간중 적어도 100℃의 온도차 사이를 0.6-6℃/min의 냉각속도로 행하는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The contact alloy for vacuum valves according to claim 10, wherein the cooling in the step (f) is performed at a cooling rate of 0.6-6 ° C / min between a temperature difference of at least 100 ° C in the 800 ° C-400 ° C temperature range. Manufacturing method. 제 10 항에 있어서, 상기 (f)공정의 냉각에 있어서 불활성가스를 불어서 급냉시키는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The method of manufacturing a contact alloy for vacuum valve according to claim 10, wherein in the cooling of the step (f), an inert gas is blown and quenched. 제 10 항에 있어서, 상기 (f)공정의 냉각에 있어서 800℃-400℃의 온도구간중 어떤 온도로 적어도 1회 가열유지를 행하는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The method of manufacturing a contact alloy for a vacuum valve according to claim 10, wherein in the cooling of the step (f), heating is maintained at least once at a certain temperature in a temperature range of 800 ° C to 400 ° C. 제 10 항에 있어서, 상기 (b)공정에서 얻어진 분말이 그 Cr분말중에 불순물로서Al를 100ppm 이하, Si를 100ppm 이하, Ca를 10ppm 이하, 산소를 200ppm 이하, 질소를 200ppm 이하 함유하는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The powder obtained in the step (b) is characterized by containing 100 ppm or less of Al, 100 ppm or less of Si, 10 ppm or less of Ca, 200 ppm or less of oxygen, and 200 ppm or less of nitrogen as impurities in the Cr powder. Method for manufacturing a contact alloy for vacuum valve. 제 10 항에 있어서, 상기 (c)공정에서 얻어진 성형체가 Cr분말과 Cu 또는/및 Ag분말과의 혼합물로 된것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The method of manufacturing a contact valve for a vacuum valve according to claim 10, wherein the molded article obtained in the step (c) is a mixture of Cr powder and Cu or / and Ag powder. 제 10 항에 있어서, 상기 (d)공정의 소결에 있어서, 상기의 성형체와 소결용 용기와의 사이에 그 양자의 반응 또는/및 젖음을 저감시키기 위한 반응방지재를 삽입하는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.11. The vacuum according to claim 10, wherein in the sintering of the step (d), a reaction preventing material is inserted between the molded body and the container for sintering to reduce the reaction and / or the wetness of both. Method for manufacturing contact alloy for valve. 제 16 또는 17 항에 있어서, 상기 반응방지재가 적어도 400℃로 미리 가열된 Al2O2,SiO2에서 선택한 입자상 또는 섬유상의 내열성 무기재료의 적어도 1종으로 되는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.18. The vacuum alloy contact alloy according to claim 16 or 17, wherein the reaction preventing material is at least one of a particulate or fibrous heat-resistant inorganic material selected from Al 2 O 2 and SiO 2 preheated to at least 400 ° C. Manufacturing method. 제 10 항에 있어서, 상기 (a)공정의 원료 Cr가 Fe,Co,Mo,W,V,Nb,Ta,Ti 및 Zr로 이루어지는 군으로부터 선택한 적어도 1종을 50중량% 미만을 함유하는 Cr기 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The Cr group according to claim 10, wherein the raw material Cr in the step (a) contains less than 50 wt% of at least one selected from the group consisting of Fe, Co, Mo, W, V, Nb, Ta, Ti and Zr. Method for producing a contact alloy for a vacuum valve, characterized in that made of an alloy. 제 10 항에 있어서, 상기 (a)공정의 Cr원료가 전해법 또는 환원법으로 얻어진 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The method for manufacturing a contact alloy for vacuum valve according to claim 10, wherein the Cr raw material of the step (a) is obtained by an electrolytic method or a reduction method. 제 10 항에 있어서, 상기 (a) 및 (b)공정에서 비산화성 분위기가 H2가스, N2가스희유가스(rare gas) 또는 진공인 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The method of claim 10, wherein the non-oxidizing atmosphere in the steps (a) and (b) is H 2 gas, N 2 gas rare gas, or vacuum. 제 10 항에 있어서, 얻어진 접점합금의 Cu 또는/및 Ag상중에 고용된 Cr의 양이 0.01-0.35중량%가 되게 제어하는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 접점합금의 제조방법.The method of manufacturing a contact valve for a vacuum valve according to claim 10, wherein the amount of Cr dissolved in the Cu or / and Ag phase of the obtained contact alloy is controlled to be 0.01-0.35% by weight.
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