KR900000948A - 새도우 마스크 검사용 영상취득 방법 및 장치 - Google Patents

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KR900000948A
KR900000948A KR1019880007840A KR880007840A KR900000948A KR 900000948 A KR900000948 A KR 900000948A KR 1019880007840 A KR1019880007840 A KR 1019880007840A KR 880007840 A KR880007840 A KR 880007840A KR 900000948 A KR900000948 A KR 900000948A
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/42Measurement or testing during manufacture

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Abstract

내용 없음

Description

새도우 마스크 검사용 영상취득 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따라 구성된 새도우 마스크 검사 장치의 구성도.
제4도는 본 발명의 요부인 평행라인광 발생 장치 발췌도.

Claims (2)

  1. 평행광 조명 장치에서 주사된 평행광의 상측으로 새도우 마스크를 횡단 통과시켜 그 상측방의 스크린(6)에 새도우 마스크 영상이 맺히도록 한 다음, 상기 영상을 라인스캔 카메라(7)로 취득하여 비데오 메모리(8)에 저장시켰다가, 새도우 마스크 완전 통과후 고해상도 모니터(9)에 디스플레이시켜 육안관찰 검사토록 함을 특징으로 하는 새도우 마스크 검사용 영상취득 방법.
  2. 할로겐 램프(2)와 빛 통과용 미소간격을 가지는 슬릿(3)과 슬릿을 통과하여 나온 빛을 평행광으로 주사시키는 블록렌즈(4)로 구성된 평행광 조명장치(1)와; 상기 조명장치의 상측에 위치하는 스크린(6)과, 스크린의 하측방에 인접위치 상태로 새도우 마스크를 평행광과 횡단 상태로 통과시키는 컨베이어(5)와, 스크린상에 맺힌 영상을 취득하는 라인 스캔 카메라(7)와, 취득된 영상을 저장하는 비데오 메모리(8)와, 그리고 저장된 영상을 디스플레이시키는 고해상도 모니터(9)로 구성됨을 특징으로 하는 새도우 마스크 검사용 영상취득 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880007840A 1988-06-28 1988-06-28 새도우 마스크 검사용 영상취득 장치 KR950003643B1 (ko)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100249270B1 (ko) * 1995-06-21 2000-03-15 이시다 아키라 불균일 검사방법 및 장치
KR100293249B1 (ko) * 1997-05-28 2001-07-12 이시다 아키라 주기성패턴의검사방법
KR100570276B1 (ko) * 2005-10-04 2006-04-11 (주)글로벌링크 이방성 도전필름의 압흔 검사방법

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