KR890014786A - 국소면 전기도금 장치와 방법 - Google Patents

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Abstract

내용 없음.

Description

국소면 전기도금 장치와 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 특별한 가공물을 사용하는 본 발명의 바람직한 실시예에서 부분적 파단된 단면을 도시하는 측면도.
제 2도는 제 1도에서 도시된 본 발명의 한 예로 사용되는 어떤 차원과 매개요소를 가지는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하는 확대 단면도.
제 3도는 제 2도의 선 3-3을 따른 단면도.

Claims (46)

  1. 가공물의 국소표면에 금속을 빠르게 도금하기 위한 전자도금장치에 있어서, 상기 장치는 상기 가공물의 국소면에 조합되는 국소형태의 면을 가짐으로 적어도 0.05인치의 종방향 갭을 형성하는 양극과, 종방향 갭에서 고정된 위치에 상기 양극을 고정하는 수단과, 갭내를 통해 1분당 적어도 200번 정도의율로 금속이온을 가진 전기 도금 용매를 초고속의 속도로 밀폐된 경로 에서 교환시킬 수 있도록 하는 용매 순환 수단과, 가공물의 국소 표면과 양극의 표면 사이에서 전류 흐름이 갭을 통해 2.0암페어/인티2를 초과하는 전류 밀도로 적용되는 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 국소면전기 도금장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 국소표면은 내부가 실린더형인 표면이고 상기갭이 종방향의 제1, 제 2단부의 단면상에서 일반적으로 환형인 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치 .
  3. 제 2항에 있어서, 상기 갭의 제 1단부에 걸쳐 있는 제 1단부 캡과 그리고 상기 갭의 제 2단부에 걸쳐 있는 제 7단부 캡을 포함하고, 상기 단부 캡은 양극 지지수단과 그리고 상기 용매 순환 수단용 밀폐된 경로부를 구비하는 통로 들로 구비되는 것을 특징으로 하는 국소면 전기 도금장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 밀폐된 경로는 상기 갭내에서 위로 수직 방향인 것을 특징으로 하는 국소면 전기 도금 장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 밀폐된 경로는 상기 갭내에서 위로 수직 방향인 것을 특징으로 하는 국소면 전기 도금 장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 밀폐된 경로는 상기 갭내에서 위로 수직 방향인 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  7. 제 3항에 있어서, 상기 제 1단부 캡은 상기 갭의 입구단부에 있고 그리고 이 단부 캡은 도금용매 입구와 용매 입구와 상호 작용하는 플리넘 체임버(plenum chamber)를 구비하는 통로와 그리고 상기 플리넘 체임버로 부터 갭으로 상기 용매를 확장되는 여러개의 축방향 유선으로 유동하게 하는 노즐 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 노즐수단은 상기 갭을 통해 축방향에서 상기 여러개의 축방향 유선을 나사선 형태로 유동되게 하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 노즐 수단은 상기 갭주위의 공간에서 상기 여러개의 유선이 순환하게 유동되게 하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  10. 제 7항에 있어서, 상기 노즐 수단은 상기 갭 주위의 공간에서 여러개의 유선이 순환하게 유동되게 하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  11. 제 4항에 있어서, 상기 제 1단부 캡은 상기 갭의 입구단부에 있고 그리고 이 단부캡은 도금용매 입구와 상기 용매 입구와 상호 작용하는 플리넘 체임버를 구비하는 통로와 그리고 상기 플리넘 체임버로 부터 갭으로 상기 용매를 확장되는 여러개의 축방향 유선으로 유동하게 하는 노즐 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 노즐 수단은 상기 갭을 통해 축방향에서 상기 여러개의 축방향 유선을 나사선 형태로 유동되게 하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  13. 제11항에 있어서, 상기노즐 수단은 상기 갭주위의 공간에서 상기 여러개의 유선이 순환하게 유동되게 하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제 2단부 캡은 상기 갭의 배출단부상에 있고 그리고 이 단부 캡은 도금용매 출구와 가스 집적 플리넘 체임버와 그리고 상기 갭과 상호작용하는 입구 오프닝을 구비하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제2단부 캡의 용매 출구는 적어도 제1단부 캡의 용매 입구의 체적용량과 같거나, 상기 제1단부캡의 용매입구의 약 2배의 체적용량보다 작은 체적용량을 가지는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  16. 제9항에 있어서, 상기 제2단부캡은 상기 갭의 배출 단부상에 있고 그리고 단부캡은 도금 용매 출구와 가스집적플리넘 체임버와 그리고 상기 갭과 상호 작용하는 입구 오프닝을 구비하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제 2단부캡의 용매출구는 적어도 제 1단부 캡의 용매 입구의 체적 용량과 같거나, 상기 제 1단부캡의 용매 입구의 약 2배의 체적용량보다 작은 체적용량을 가지는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  18. 제 7항에 있어서, 상기 제 2단부캡은 상기 캡의 배출단부상에 있고 그리고 이 단부 갭은 도금 용매 출구와 가스 집적 플리넘 체임버와 그리고 상기 캡과 상호작용 하는 입구 오프닝을 구비하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 제 2단부캡의 용매 출구는 적어도 제 1단부캡의 용매입구의 체적 용량과 같거나 상기 제 1단부캡의 용매입구의 약 2배의 체적용량보다 작은 체적용량을 가지는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금장치.
  20. 제 3항에 있어서, 상기 제 2단부 캡은 상기 캡의 배출단부상에 있고 그리고 이 단부캡은 도금 용매 출구와 가스집적 플리넘 체임버와 그리고 상기 캡과 상호작용하는 입구 오프닝을 구비하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  21. 제20항에 있어서, 상기 제 2단부캡의 용매출구는 적어도 제 2단부캡의 용매 입구의 체적용량과 같거나 상기 제 1단부캡의 용매 입구의 약 2배의 체적용랑보다 작은 체적용량을 가지는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  22. 가공물의 국소표면에 금속을 빠르게 도금하기 위한 전자 도금 방법에 있어서 상기방법은 (a) 상기 가공물의 국소면에 조합되는 국소형태의 면을 가짐을 적어도 0.05인치의 종방향 갭을 형성하는 양극을 제공하는 단계와, (b) 종방향 갭에서 고정된 위치 상기 양극을 지지하는 단계와, (c) 갭내를 통해서 1분당 적어도 25번 정도의 유로 감속이온을 가진 전기도금 용매를 어떤 속도로 밀폐된 경로에서 교환 시킬수 있도록 하는 용매 순환단계와, (d) 가공물의 국소표면과 양극의 표면 사이에서 전류흐름이 갭을 통해 2.0암페어/인치2를 초과하는 전류 밀도로 적용되는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 방법.
  23. 제 1항에 있어서, 상기 용매가 니켈 도금 용매인 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 방법.
  24. 제22항에 있어서, 상기 용매가 니켈 설파인염 용매인 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 방법.
  25. 제22항에 있어서, 상기 용매를 일반적으로 갭내에서 110-130℉범위의 온도로 유지하기 위한 부가적 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 방법.
  26. 제22항에 있어서, 상기 전류밀도가 2-10암페어/인치2 범위인 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 방법.
  27. 제22항에 있어서, 갭내의 상기 용매의 유동율은 1분당 200-1000번의 범위인 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 방법.
  28. 제22항에 있어서, 갭내의 상기 용매의 유동율은 1분당 25-2500번의 범위인 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 방법.
  29. 제27항에 있어서, 상기 가공물 표면은 실린더형이고 상기 갭은 환형인 것을 특징으로 하는 국소면 전기 도금 방법.
  30. 제29항에 있어서, 상기 갭은 0.05-2.5인치의 범위인 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 방법.
  31. 가공물의 국소표면에 금속을 빠르게 도금하기 위한 전자 도금 장치에 있어서 상기 장치는 상기 가공물의 국소면에 조합되는 국소형태의 면을 가짐으로 종방향 갭을 형성하는 비소모성 양극과, 형성된 종방향 갭에서 상기양극을 고정된 위치로 지지하는 수단과 갭내를 통해서 1분당 적어도 25번 정도의 율로 금속 이온을 가진 전기도금 용매를 어떤 소도로 밀폐된 경로에서 교환시킬 수 있는 용매 순화 수단과, 가공물의 국소표면과 양극의 표면 사이에서 전류흐름이 갭을 통해 2.0암페어/인치2를 초과하는 전류 밀도로 적용되는 수단으로 구비되며 상기 양극은 비양극 베이스 금속과 바깥쪽은 양극 코팅되어 구성되고 상기 국소 형상은 국소형상내에서 양극 베이스 금속이 제외되도록 바깥쪽 코팅부를 제거함에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 국소 전자도금 장치.
  32. 제31항에 있어서, 상기 코팅이 플레티늄인 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  33. 제31항에 있어서, 상기 베이스금속이 티타늄인 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금장치.
  34. 가공물의 국소면과 전극사이에서 용매가 빠른 교환을 하면서 도금하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 상기 가공물의 국소면에 조합되는 국소형태의 면을 가짐으로 적어도 0.05인치의 종방향 갭을 형성하는 전극과, 종방향 갭에서 고정된 위치에 상기 전극을 고정하는 수단과, 갭내를 통해서 1분당 적어도 200번 정도의 율로 금속 이온을 가진 전기도금 용매를 초고속의 속도로 밀폐된 경로를 통해 교환시킬 수 있는 용매 순환 수단과, 가공물의 국소표면과 양극의 표면사이에서 전류흐름이 갭을 통해 2.0알페어/인치2를 초과하는 전류 밀도로 적응되는 수단으로 구비되는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  35. 제34항에 있어서, 상기 국소면은 내부 실린더형 표면이고 상기 갭은 종방향 제1, 제 2단부에서의 단면이 환형인 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금장치.
  36. 제35항에 있어서, 상기 갭의 제 1단부에 걸쳐 있는 제 1단부캡과, 상기 갭의 제 2단부에 걸쳐 있는 제2단부캡을 포함하며, 상기 단부캡은 전극 지지수단을 구비하고 그리고 상기 용매 순환수단용 밀폐 경로부를 구비한 통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  37. 제36항에 있어서, 상기 밀폐 경로는 캡 내에서 일반적으로 수직 위 방향으로 향하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  38. 제34항에 있어서, 상기 밀폐 경로는 갭내에서 일반적으로 수직 위 방향으로 향하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  39. 제35항에 있어서, 상기 밀폐 경로는 갭내에서 일반적으로 수직 위 방향으로 향하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  40. 제36항에 있어서, 상부 제 1단부캡은 상기 캡의 입구 단부에 있고 그리고 이 단부캡은 도금 용매 입구와 그리고 용매 입구와 상호 작용하는 플리넘 체임버를 구비하는 통로와 그리고 상기 플리넘 체임버로 부터 캡으로 상기 용매를 확장하는 여러개의 축방향 유선으로 유동하게 하는 노즐 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  41. 제40항에 있어서, 상기 노즐 수단은 상기 갭을 통해 축방향에서 상기 여러 개의 축방향 유선을 나사선형태로 유동되게 하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  42. 제41항에 있어서, 상기 노즐 수단은 상기 갭 주위의 공간에서 여러 개의 유선이 순환하게 유동되게 하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  43. 제40항에 있어서, 상기 노즐 수단은 상기 갭 주위의 공간에서 여러개의 유선이 순환하게 유동되게 하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
  44. 제37항에 있어서, 상기 제1단부 캡은 상기 갭의 입구 단부에 있고 그리고 이 단부캡은 도금 용매 입구와 상기 용매 입구와 상호 작용하는 플리넘 체임버를 구비하는 통로와 그리고 상기 플리넘 체임버로부터 갭으로 상기 용매를 확장하는 여러개의 축방향 유선으로 유동하게 하는 노즐 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기 도금 장치
  45. 제36항에 있어서, 상기 제 2단부 캡은 상기 갭의 배출 단부상에 있고 그리고 이 단부 갭은 도금 용매 출구와 가스 집적 플리넘 체임버와 그리고 상기 갭과 상호 작용하는 입구 오프닝을 구비하는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금장치.
  46. 제45항에 있어서, 상기 제 2단부갭의 용매 출구에서는 상기 제 1단부캡의 용매 입구의 체적용량보다 많은 2배의 체적용량을 가지는 것을 특징으로 하는 국소면 전기도금 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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