KR890012351A - 습윤 표본을 투시하는 전자 주사 장치 - Google Patents

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시이 넬슨 앨런
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Abstract

내용 없음.

Description

습윤 표본을 투시하는 전자 주사 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 특정 형태로 본 발명을 실시하는 장치의 개략적 횡단면도이다.

Claims (11)

  1. (a) 전사 비임을 발산할 수 있는 전자 소오스 ; (b) 상기 전자 비임의 촛점을 맞추는 수단이 있는 전자 광학 진공 기동 ; (c) 상기 촛점이 맞추어진 전자 비임을 표본의 표면을 가로질러 주사하는 수단 ; (d) 상기 전자 광학 진공 기둥에 부착되어 있는 차동 펌프식 구멍 기둥으로서, 상기 펌프식 구멍 기둥은 그 축부들과 수직한 적어도 2개의 벽들을 갖고 있어 일련의 적당한 압력 구배부들을 형성하며, 상기 각 벽에 있는 구멍은 상기 전자 비임이 상기 차동 펌프식 구멍 기둥을 통과하도록 일렬로 되어 있는 상기 차동 펌프식 구멍 기둥. (e) 상기 전자 광학 진공 기둥 및 상기 차동 펌프식 구멍 기둥의 압력과 다른 압력에서 유지되는 표본실로서, 상기 촛점이 맞추어진 전자 비임이 상기 표본실 안으로 들어가도록 상기 차동 펌프식 구멍 기둥에 부착되어 있는 표본실 ; (f) 상기 표본실내에 위치고정되어 있고, 상기 촛점이 맞추어진 전자 비임이 표본과 상호작용하게끔 그 표본을 지지하도록 배치되어 있는 표본 장착부 ; (g) 음전하가 표본의 표면상에 형성되는 것을 방지하는 상기 표본실내의 수단 ; (h) 표본이 상기 촛점이 맞우어진 전자 비임에 노출될때, 표본과 상기 표본실 주변을 통하여 전송될 수 있는 신호를 검출하여 이러한 검출을 나타내는 전기 신호를 출력을 발생시키는 데 적당한 검출기 ; 및 (i) 상기 검출기의 출력에 의해 제공된 정보를 표시하고 기록하는 수단 ; 으로 구성되는, 표본들의 미시적 데이터 또는 상들을 얻는 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 표본 장착부는 표본을 이동시킬 수 있는 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 음전하가 표본의 표면상에 형성되는 것을 방지하는 상기 수단은, 표본 장착부와 인접하여 배치되어 있고 하전된 공기 분자들이 표본의 표면을 가로질러 유동되게 하는 적당한 흡인 장치로 구성되는 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 음전하가 표본의 표면상에 형성되는 것을 방지하는 상기 수단은, 표본 장착부와 인접하여 배치되어 있고 하전된 공기 분자들이 표본의 표면을 가로질러 유동되게 하는 적당한 전압 흡인 장치와, 상기 표본 장착부와 인접하여 상기 흡인 장치의 반대편상에 장착되어 있고 하전된 공기 분자들의 전하와 반대의 전하를 가지는 캐패시터 판으로 구성되는 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상가 검출기는 상기 표본 장착부 위쪽에 배치되어 있는 신틸레이터(scintillator)인 장치.
  6. 제 3 항에 있어서, 상기 검출기는 상기 표본 장착부 위쪽에 배치되어 있는 신틸레이터인 장치.
  7. 제 3 항에 있어서, 상기 검출기는 상기 표본 장착부 위쪽에 배치되어 있는 반도체인 장치.
  8. 제 4 항에 있어서, 상기 검출기는 상기 표본 장착부 위쪽에 배치되어 있는 반도체인 장치.
  9. 제 4 항에 있어서, 상기 차동 펌프식 구멍 기둥에는 3개의 구멍들이 있는 장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 검출기는 상기 표본 장착부 위쪽에 배치되어 있는 신틸레이터인 장치.
  11. 제 9 항에 있어서, 상기 검출기는 상기 표본 장착부 위쪽에 배치되어 있는 반도체인 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880000324A 1988-01-18 1988-01-18 습윤 표본을 관찰 가능한 주사형 전자 현미경 KR960011065B1 (ko)

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