KR890004828A - 평면 연마장치 - Google Patents

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KR890004828A
KR890004828A KR870010775A KR870010775A KR890004828A KR 890004828 A KR890004828 A KR 890004828A KR 870010775 A KR870010775 A KR 870010775A KR 870010775 A KR870010775 A KR 870010775A KR 890004828 A KR890004828 A KR 890004828A
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polishing apparatus
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center
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KR870010775A
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Inventor
야스노리 다이라
Original Assignee
정홍헌
주식회사 한국삼기
하야시다 이사오
가부시기 가이샤 린덴
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B19/00—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

평면 연마장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예를 도시한 단면도.
제2도는 제1도에서 상부 정반을 떼어낸 상태의 평면도.
제3도는 본 발명의 제2실시예를 나타낸 평면도로서, 상부 정반을 떼어낸 상태의 평면도.

Claims (8)

  1. 피가공물을 양측에서 협지하여 그 양면을 연마하는 상하의 정반과, 상하의 정반의 중심 위치에 배설되고, 그 주위에 편심캠을 구비한 구동축과, 상기 정반의 주위에 그것과 동심상으로 배설된 지지량과, 상기 지지링의 내측에 차동치차형으로 지지됨과 동시에 그 중심부에 형성된 구멍안에 상기 편심캠에 당접되어 이 편심캠의 회전에 의해 반경반향으로 요동하면서 지지링을 따라 지속으로 회전하는 피가공물 지지수단들을 구비함을 특징으로 하는 평면 연마장치.
  2. 특허청구의 제1항 기재에 있어, 피가공물지지수단이 편심캠의 외측에 끼워지는 중심치차와, 지지링의 내측에 자동치차형으로 지지된 내치 치차와, 이들 내치 치차와 중심 치차와의 사이에 맞물리는 복수의 캐리어와 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 평면 연마장치.
  3. 특허청구의 제1항 기재에 있어, 피가공물 지지수단을 외주 지지링에의 당접부를 갖음과 동시에 중심부에 편심캠이 끼워지는 안쪽 링을 구비하고, 또한 복수의 피가공물 지지구멍을 구비한 한장의 대경 케리어임을 특징으로 하는 평면 연마장치.
  4. 특허청구범위 제2항 기재에 있어, 중심치차가 구동축에 대해 탁탈하게 되어 있음을 특징으로 하는 평면 연마장치.
  5. 특허청구 범위 제1항 기재에 있어, 지지링이 핀기어에 의해 형성됨을 특징으로 하는 평면 연마장치.
  6. 특허청구범위 제1항 기재에 있어, 피가공물 지지수단을 그 외주에, 탄성부재를 구비한 당접부를 갖는 것으로 형성하고, 이 당접부를 지지링으로 내접시키는 것을 특징으로 하는 평면 연마장치.
  7. 특허청구범위 제5항 기재에 있어, 피가공물 지지수단을 그 외주에 기어부를 갖는 것으로 형성하고 이 기어부를 핀기어에 맞물리게 하는 것을 특징으로 하는 평면 연마장치.
  8. 특허청구범위 제1항 기재에 있어, 편심캠의 피가공물 지지수단과의 당접부를 로울러로 형성하는 것을 특징으로 하는 평면 연마장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100457718B1 (ko) * 1995-07-03 2005-04-06 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 실리콘웨이퍼의제조방법과그장치
KR100657598B1 (ko) * 2005-11-15 2006-12-14 한국공작기계 주식회사 래핑머신

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