KR890004155A - 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기 및 레이저빔의 부정렬을 검출하는 방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 7 도는 제6A-6C도에서 도시된 검출기의 수정된 판의 부분 단면도. 제 8 도는 검출기 및 검출기용 하우징의 분해사시도. 제 9 도는 제 7 도의 검출기의 출력을 감지하기 위한 전기 회로의 개요도.
Claims (22)
- 빔에 대한 바람직한 빔통로(A)에 관해 레이저 빔 (B)의 중심선 조정을 감지하기 위한 검출기(10)에 있어서, 검출기는 중심을 가지며 바람직한 레이저 빔 통로내에 배치되는 이용 표면(14)을 가지며, 상기 검출기는:부채꼴에 충돌하는 레이저 에너지를 흡수하기 위한 및 공지 부분의 상기 흡수된 레이저 에너지를 열로 변환하기 위한 상기 센터에 관해 대칭으로 위치되는 다수의 열로 분리되는 부채꼴(S)과 :각 대웅부채꼴에 부딪히는 흡수된 레이저 에너지의 열을 감지하기 위해 그것과 열 접촉하여 배치되는 각 상기 부채꼴에 연결 및 결합되는 열 감지 장치(12)와, 레이저 에너지에 대한 열 감지 장치의 반응 양으로 상호 차이를 측정하기 위한 회로장치 (110)를 포함하며, 각 상기 열 감지 장치는 그것의 대웅 부채꼴에 해당되는 레이저 에너지의 양을 표시하는 반응을 생산하며, 그것에 의해서 빔 통로내에 검출기 위치에 관한 레이저 빔의 상호 중심선이 조정되지 않음의 표시를 제공하는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 바람직한 빔통로에 관해 일정한 단면적의 레이저 빔을 중심선 조종하기 위해 바람직한 레이저 빔통로 중심에 위치되는 제 1 항의 검출기에 있어서, 검출기는 : 평상 표면(14)과 뒷 표면(17)을 가지며 열 절연층으로 형성되는 디스크와, 기판(16)에 도금되는 열 전도성 금속층을 포함하며, 상기 열 전도층(12)은 거기에 부딪히는 레이저 에너지를 흡수하도록 방향 지워지며, 상기 검출기는 입사 레이저 빔의 부분을 열로 변환하기 위한 장치를 포함하며, 상기 앞면은 디스크의 앞면에 형성되는 동일 면적의 부채꼴(5)으로 최소한 한 슬롯(18)에 의해서 분리되며, 상기 최소한 한 슬롯은 열전도 층에서 형성되는 각 부채꼴이 다른 부채꼴로부터 열분리되도록 열 전도층을 분리하기에 충분한 길이를 가지는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기 .
- 제 2 항에 있어서, 검출기의 앞면을 형성하는 열 전도층은 상기 열 전도층내에 열전도를 향상하기 위하 여 두개층의 금속 박판(12)으로 형성되는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제 2 항에 있어서, 기판의 뒷면에 얹히며 거기에 접착되는 뒤열 전도층(15)과 : 검출기의 주위 온도의 표시를 제공하기 위해 뒤열 전도층과 열 접촉하는 주위 온도 보정열 감지 장치(26)를 포함하는 것을 특징으로 하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제 4 항에 있어서, 열 감지 장치와 주위 온도 보정열 감지 장치의 반응을 측정하기 위한 회로장치(110)는 브리지회로를 포함하며 각 반응을 결합하기 위한 장치를 포함하며 그것에 의해서 주위 온도에서 변화를 보정하는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제 2 항에 있어서, 상기 디스크는 절연 기판을 포함하며 PC물질에 부착되는 앞 및 뒤의 구리 박편 금속층에 도금되는 합성의 박편 프린트 회로 물질로 헝성되는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제 2 항에 있어서, 디스크는 레이저 빔이 방해 받지 않게 거기를 통해 통과하는 것을 허용하기 위하여 중심에 위치되는 개구를 가지는 환상링으로 형성되며, 검출기는 레이저 빔이 개구의 경계로부터 드리프트될때 그리고 검출기의 한개 이상의 부채꼴에 최소한 부분직으로 부딪힐때, 선택적으로 가열되는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제 2 항에 있어서, 검출기의 뒷면(17)은 몇개 전기적 전도 영역으로 분류되며 상기 열 감지 장치는 선택된 전도영역에 하나를 부착하는 비교적 경량전도체 도선을 포함하며 그것에 의해서 열 감지장치에 대한 스트레인 릴리프 접촉부로서 작용하는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제 2 항에 있어서, 앞면을 거기에 형성된 다수의 비교적 좁은 V형상 그루우브(G)를 포함하는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제 9 항에 있어서, 상기 그루우브(G)는 레이저 방사선의 다수반사를 야기 하기 위하여 서로에 관해 약30˚각도에서 배치되는 측벽을 가지는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제10항에 있어서, 그루우브(G)는 나선형상으로 배치되는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제 2 항에 있어서, 디스크는 원형이고 슬롯(18)은 최소한 4개부분의 동등한 영역으로 정면을 분류하기위한 직경인 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제 2 항에 있어서, 하우징내에 검출기를 수용하기 위한 개방 앞면을 가지는 하우징과, 외부 회로에 검출기를 결합하기 위한 연결장치를 포함하는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제 2 항에 있어서, 각 부채꼴의 온도의 피크치를 검출하기 위한 회로를 포함하는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제 2 항에 있어서, 기판을 열 전도층에 가깝게 그것의 뒷면으로부터 뻗은 각 부채꼴에 대하여 기판내에 형성된 최소한 한개구(20)를 가지며 상기 열 감지 장치의 하나는 각 개구에 위치되는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제 2 항에 있어서, 각 부채꼴에 부딪히는 레이저 에너지의 비교양을 시각적으로 나타내기 위한 장치를 포함하는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제16항에 있어서, 각 부채꼴에 부딪히는 레이저 에너지의 양을 시각적으로 나타내기 위한 장치를 각 부채꼴에 대한 열 감지 장치에 반응하는 광막대 표시부를 포함하는 것을 특징으로하는 고성능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제 2 항에 있어서. 레이저 빔이 검출기와 자동으로 중심선 조정하기에 제어출력을 제공하기 위하여 각 부채꼴에 대한 열 감지 장치에 반응하는 마이크로 프로세서 장치를 포함하는 것을 특징으로하는 고능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 제 2 항에 있어서, 레이저 빔은 열 감지 장치의 과잉 가열을 저지하도록 펄스되는 것을 특징으로하는 고능 레이저 빔을 정렬하기 위한 검출기.
- 바람직한 빔 통로에 관해 레이저 빔(B)의 중심선이 조정되지 않음을 검출하는 방법에 있어서 : 실제로 평상 표면을 가지는 검출기 타게트(10)에 레이저 빔을 조종하는 단계와 : 최소한 두개 열분리된 부채꼴(S)으로 타게트의 평상 표면을 분류하는 단계와 : 부채꼴이 온도의 증가와 함께 입사되는 레이저 빔 에너지에 반응하기 위해서 상기 부채꼴에 열 감지 물질의 층(12)을 제공하는 단계와 : 각 부채꼴의 어떤 자동 온도를 검출하는 단계를 포함하며, 각 부채꼴의 온도를 레이저 빔의 상호 중심선이 조종되지 않음의 표시를 제공하는 것을 특징으로하는 레이저 빔의 부정렬을 검출하는 방법.
- 제20항에 있어서, 검출기 타게트에 레이저빔을 조종하는 단계 동안에 레이저 빔의 펄싱 단계를 포함하는 것을 특징으로하는 레이저 빔의 부정렬을 검출하는 방법.
- 제20항에 있어서. 검출기 타게트의 주위 온도의 변화에 반응하여 레이저 빔에 의해 가열되는 부채꼴의 온도를 보정하기 위한 타게트의 주위 온도를 감지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로하는 레이저 빔의 부정렬을 검출하는 방법.※ 참고사항 : 최초출원내용에 의하여 공개하는 것임.
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