KR880701416A - 전자 검사 시스템 및 검사방법 - Google Patents

전자 검사 시스템 및 검사방법

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Abstract

내용 없음.

Description

전자 검사 시스템 및 검사방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 바람직한 실시예의 블럭도이다.
제2도는 본 발명의 바람직한 실시예에서 사용원 셀의 3×3배열, 또는 근방을 도시한 다이어그램이며, 셀 각각은 단일 식셀, 2×2식셀 배열 또는 3×3식셀 배열일 수 있다.

Claims (26)

  1. (a) 각각의 영상의 각 픽셀의 세기의 디지탈 표시인 제1데이타치의 어레이를 제공하기 위하여 검사될 물체의 영상을 디지탈화하고, (b) 각각이 제1데이타치의 각 그룹에 대한 세기경도(경도각)의 방향에 응답하는 제2데이타치의 어레이를 계산하며, (c) 각각이 제2데이타치의 대응하는 그룹내에 제2데이타치의 변화율에 응답하는 제3데이타치의 어레이를 계산하여, 그리고, (d) 제3데이타치를 이용하여 검사되고 있는 물체를 특징지우는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 믈체의 검사방법.
  2. 제1항에 있어서, 더우기 제2데이타치의 각각의 대응하는 그룹에 대해 평균 제2데이타치를 계산하는 단계를 더 포함하며, 단계(c)에 있어시, 각각의 제3데이타치는 평균 제2데이타치의 대응하는 그룹내에 평균 제2데이타치의 변화율에 응답하는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제2항에 있어서, 각각의 평균 제2데이타치는 N×N어레이의 제2데이타치로 이루어지는 제2데이타치의 대응하는 그룹에 대해 계산되는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제3항에 있어서, N은 2 또는 그 이상인 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 단계(c)에 있어서, 각각의 제3데이타치는 제2데이타치의 대응하는 그룹내에 상이한 제2데이타치의 수에 응답하는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 더우기 제2데이타치의 각각의 대응하는 그룹에 대하여 평군제2데이타치를 계산하는 단계를 더 포함하며, 단계(c)에 있어서 각각의 제 3데이타치는 평균 제 2데이타치의 대응하는 그룹내에 상이한 펑균 제2데이타치의 수에 응답하는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제6항에 있어서, 각 평균 제2데이타치는 N×N 어레이의 제2데이타치로 이루어지는 제2데이타치의 대응하는 그룹에 대해 계산되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제7항에 있어시, N은 2또는 그 이상인 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 더우기 (e) 각각이 제l데이타치 어레이에 의해 표시되는 각각의 영상부에 세기(경도모둘)의 크기에 응답하는 제 4 데이타치 어레이를 계산하고, (f)청구범위 제 1항의 단계(d)에 앞서 각각의 제3데이타치와 각각의 제 4 데이타치를 결합하는 단계를 더 포함하며, 이에 의해 검사되고 있는 본체가 제 3 및 제4데이타치의 결합에 의해 특징지워지는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제4데이타치는 단계(f)전에 평활 처리되는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제9항에 있어서, 상기 제4데이타치는 단계(f)전에 변형되는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제9항에 있이서, 제3 및 제4데이타치는 각각의 값을 서로 곱함에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제12항에 있어서, 검사되고 있는 물체는 소정의 범위내에 있는 제3 및 제4데이타치의 적(product)의 수를 계수함에 의해 특징지워지는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제12항에 있어서, 사기 제3 및 제4데이타치중 적어도 하나는 상기 제3및 제4데이타치중 각각 하나를 결합하기 전에 소정방식으로 각각 변형되는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 제4데이타치는 제3데이타치와 결합되기 전에 평활되는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제1항에 있어서, 각각 제 2 데이타치는 대응하는 N×N 2차원 어레이의 제1데이타치로부터 계산되는 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 제l6항에 있어서, N이 적어도 2인 것을 특징으로 하는 방법.
  18. 제16항에 있어서, N이 2인 것을 특징으로 하는 방법.
  19. 제l항에 있어서, 상기 제1데이타치의 어레이는 단계(b)전에 평활되는 것을 특징으로 하는 방법.
  20. 제1항에 있어서, 상기 제1데이타치는 단계(b)전에 변환되는 것을 특징으로 하는 방법.
  21. 제1항에 있어서, 상기 제2데이타치는 단계(c)전에 변환되는 것을 특징으로 하는 방법.
  22. 제1항에 있어서, 상기 제3데이타치의 어레이는 단계(d)전에 평활되는 것을 특징으로 하는 방법.
  23. 제1항에 있어서, 상기 제3데이타치의 어레이는 단계(d)전에 변형되는 것을 특징으로 하는 방법.
  24. 검사되고 있는 물체의 영상이 영상 데이타치의 어레이를 제공하기 위하여 디지탈 처리되며, 각 영상 데이타치는 영상의 각 픽셀의 세기에 응답하는 디지탈 데이타치인 형식의 전자 검사시스템에 있어서, 제1데이터치가 영상 데이터치의 각 그룹에 대한 세기경도의 방향에 응답하는 제1데이타치를 계산하기 위한 제1수단, 및 적어도 부분적으로 상기 제1데이타치에 응답하여 검사되고 있는 물체를 특징지우기 위한 제 2수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 전자 검사시스템.
  25. 제24항에 있어서, 상기 제1수단은 제2데이타치의 어레이를 계산하기 위한 수단이며, 각 제2데이타치는 N×N어레이의 영상 데이타치로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자 검사시스템.
  26. 제25항에 있어서, N은 3인 것을 특징으로 하는 전자 검사 시스템.
    ※참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019870701176A 1986-04-14 1987-04-10 화학적으로 명명되고 재생이 가능한 폴리디옥시리보뉴클레오티드의 제조방법 KR940004062B1 (ko)

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