KR870000574A - 에칭 깊이 측정 장치 - Google Patents

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KR870000574A
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미노리 노구찌
미노리 모구지
도루 오쯔보
보도루 오쭈
스스무 아이우찌
스스무 아이우지
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가부시끼가이샤 히다찌세이사꾸쇼
미쓰다 가쓰시게
가부시기 가이샤 히다찌세이사꾸쇼
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    • H01J37/32917—Plasma diagnostics
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01B11/22—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring depth

Abstract

내용 없음.

Description

에칭 깊이 측정 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 1실시예의 중요부의 구성을 도시한 도면.
제4도는 측정대상의 1예를 도시한 사시도.
제5도는 본 발명의 측정장치에 의한 검출신호를 도시한 도면.

Claims (4)

  1. 측정대상(23)에 레이저 광을 조사하는 수단으로서, 레이저 광원(8), 미라(6),(9), 렌즈(10),(11), 하르 미라(12) 및 투명부분을 가진 그라운드 그래스(31)을 회전 이동 가능한 θ스테이지(3)위에 올려 놓은 것과, 측정대상(23)에서 반사하여 회절한 레이저 광의 1부를 검출하는 수단으로서, 투명부분을 가진 그라운드 그래스(31), 하프 미라(12) 및 광 검출기(33)으로 되는 제1의 검출계와, 투명부분을 가진 그라운드 그래스(31) 및 직선 이동이 가능한 암(13)에 부착된 광 검출기(32)로 되는 제2의 검출계와, 해당 직선 이동이 가능한 암을 구동하는 모오터(15) 및 볼 나사(14)를 상기θ스테이지에 올려 높은 것과, 상기 θ스테이지 및 해당 스테이지를 구동하는 모오터(5)와 기어(4)를 올려놓은 제2스테이지(2)와 제2의 스테이지를 직선이동이 가능하게 지지하는 제3의 스테이지(1)로서, 제2의 스테이지를 직선이동이 가능하게 구동하는 모오터(21) 및 볼 나사(29)를 조립한 것과, 제3의 스테이지를 제2의 스테이지의 이동방향과 직각으로 직선 이동이 가능하게 구동하는 모오터(24)와 볼 나사(28)을 조립한 지지틀과, 상기 검출하는 수단으로 부터의 신호를 디지털 신호로 변환하는 A/D변환기(16)과, 상기 모오터를 제어하고저 접속된 모오터 제어회로(17)과, 상기 A/D변환기의 출력에서 측정 대상의 깊이의 변화에 대응하는 상기 레이저 광의 1부의 강도 변화를 산출하는 계산기(18)과 표시장치(20)으로 된 제어 연산부로 되는 에칭 깊이 측정 장치.
  2. 특허청구의 범위 제1항의 에칭 깊이 측정장치에 있어서, 상기 레이저 광원이 He-N레이저인 에칭 깊이 측정 장치.
  3. 특허청구의 범위 제1항의 에칭 깊이 측정장치에 있어서, 상기 레이저 광원이 He-Cd레이저인 에칭 깊이 측정 장치.
  4. 특허청구의 범위 제1항의 에칭 깊이 측정장치에 있어서, 상기 레이저 광원이 N2레이저 또는 Ar레이저인 에칭 깊이 측정 장치.
    ※ 참고사항 ： 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019860004435A 1985-06-19 1986-06-04 에칭 깊이 측정장치 KR900006478B1 (ko)

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JP131761 1985-06-19
JP60-131761 1985-08-29

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JPS61290308A (ja) 1986-12-20
US4840487A (en) 1989-06-20
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