KR860003159Y1 - 마그네트론의 기밀 봉착용판 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

마그네트론의 기밀 봉착용판

제 1 도는 본 고안의 기밀 봉착용 판의 참고 사시도.

제 2(a) 도는 본 고안의 제 1 도에서의 기밀 봉착용판의 제 1 실시예의 측면구조도.

제 2(b) 도는 본 고안의 기밀 봉착용 판의 제 2 실시예 측면 구조도.

제 2(c) 도는 본 고안의 기밀 봉착용 판의 제 3 실시예 측면 구조도.

제 3 도는 본 고안의 작용을 나타내는 요부 구조도.

제 4 도는 종래의 일반적인 마그네트론의 구조도.

제 5 도는 종래의 마그네트론에 있어서 영구자석과 기밀 봉착용 판의 위치 관계와 구조를 표시하는 참고사시도.

제 6 도는 제 5 도의 평면 구조도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 링홈

1a : 링홈의 단면 구조를형으로 한형홈

1b :형홈 1c :형홈

2 : 돌기 A : 본 고안의 기밀 봉착용판

본 고안은 마그네트론에 있어서 축방향으로 자기장(Magnetic field)을 가해주는 페라이트(Ferrite) 영구자석이 마그네트론 동작시 애노드 블럭의 온도 상승으로 인해 자력이 감소되는 단점을 개선한 마그네트론의 기밀봉착용판에 관한 것이다.

마그네트론용 영구 자석은 전자석과는 달리 에너지의 계속적인 공급없이 작용하고, 자체적으로 열을 발생시킴이 없이 주위 공간에 일정한 장(Field)을 형성 시킨다는 점에서 그 장점이 있는 것이지만 주위의 온도상승에 의한 자력 감소의 결점이 있다.

특히, 마그네트론용 영구자석으로는 SrO, 6Fe₂O₃이 페라이트가 널리 사용되고 있는데, 이는 큐리(Curie)온도가 450-460℃정도이고, 상온에 비해 온도가 1℃ 증가함에 따라 잔류 자속밀도(Residual magnetic flux density)는 약 0.2%씩 감소하며, 보자력은 0.2-0.5%씩 증가하는 특성을 가지고 있어서 마그네트론 동작시 애노드 블럭이 150-180℃정도의 높은 온도로 되면 애노드 블럭의 양단에 위치한 페라이트 영구 자석은 실온 상태에 비해 그 잔류자속 밀도와 보자력이 모두 변하게 됨으로 결국 파워곱(Power Product)이 감소하는 문제가 있다.

한편, 참고로 제 4 도는 종래의 마그네트론 구조도로써 A₁,A₂는 상측 기밀 봉착용판, 12는 방열판, 3,4는 영구자석, 2,6은 기밀 봉착용판(A₁,A₂)상에 돌출시킨 돌기, 7은 자기적 폐회로와 냉각풍의 송풍관 역할을 하는 요크(Yoke), 8은 필터상자, 9는 전원단, 10은 애노드 블럭, 11은 출력부의 구성을 가지고 있다.

여기서, 애노드 블럭(10)의 기밀 봉착용판(A₁,A₂)과 상단에 위치한 영구자석(3)의 위치 관계 및 구조를 나타내는 제 5 도에 있어서는 기밀봉착용판(A₁)상에 6개의 돌기(2)를 돌설시켜 영구자석(3)의 아래면과 일정 간격을 유지 시키도록 되어 있다.

그리고, 제 6 도에서는 상기 제 5 도의 정면 구조를 나타내는 것으로써 6개의 돌기(2)를 이온 가상적인 원지름(W₁)과 기밀 봉착용판(A₁)의 지름(W₂), 페라이트 영구자석(3)의 지름(W₃)과의 상호 관계를 나타내고 있다.

그리고, 이러한 종래의 마그네트론에서는 영구자석(3,4)의 파워곱의 최대치를(BH)max라 하였을때, 20℃에서는 일예로, (BH)max4.0 메가가우스 에르스테드(Megagauss. Oersted)이고 작용 공간내의 자속밀도 Bg는 Bg＞1600 가우스로 되는 초기 조건을 가지고 있으나 마그네트론 동작시 애노드 블록(10)이 150∼180℃정도의 고온으로 상승하면 영구자석(3,4)의 파워곱이 감소하여 결과적으로 마그네트론의 출력이 저하되는 문제점이 있었다.

그리고, 이러한 마그네트론에 있어서는 기밀 봉착용판(A₁, A₂)상에 돌기(2)를 형성시켜 영구자석(3,4)과의 이격거리 h₂,h₃(일예로 0.1㎜∼0.2㎜)를 형성시켜 주고 있는데 여기서 이러한 간격을 크게 하는 경우에는 자속 누설이 많아져 출력이 저하되므로 적정 거리를 유지시키고 있는데, 이러함에도 불구하고 온도상승에 의한 출력감소가 생기는 것이었다.

이것은 냉각팬(fan)에 의해 강제적으로 송풍관 요크(7)속으로 불어넣어 주는 냉각풍이 영구자석(3,4)외주면과는 효과적인 냉각작용을 할수 있지만, 이들 돌기(2)와 영구자석(3)의 틈새에서는 그 틈새가 극히 좁아 냉풍을 원활히 이루기 어렵다는 점에서 마그네트론의 출력에 직접적으로 기인하는 파워곱이 감소되는 것이었다.

본 고안은 종래의 이러한 단점을 개선하고자 안출한 것으로써, 이는 기밀 봉착용판(A₁, A₂)상에 다수의 링홈을 천설 시켜서 냉각풍의 원활한 교린 작용을 유도함으로써 마그네트론의 자력 감소를 없애도록 하려는데 그 목적이 있는 것이다. 이하에서 이를 상세히 설명하면 다음과 같은 것이다. 즉, 제 1 도와 같이 상, 하 기밀 봉착용판(A)상의 돌기(2)형성면에 좁은 간격의 링홈(1)을 임의개 천설하고, 이 링홈(1)의 깊이 h₅는 각 기밀 봉착용판(A)의 두께 h₄에 대하여이하로 하며, 링홈(1)의 횡단면 구조를형홈(1a)또는형홈(1b)또는형홈(1c)으로 형성시킨 것이다.

이러한 구조의 본 고안은 제 2 도와 같이 영구자석(3,4)면과 기밀 봉착용 판(A)사이에 냉각풍이 유입될때는 링홈(1)부위 이격거리 S₂가 링홈(1)이 없는 부위 이격거리 S₁보다 크므로 이들 사이에 바람의 속도차와 기압차가 생기게 되는 것이며, 기밀 봉착용판(A)과 영구자석(3,4)사이에 유효 면적을 증대 시킴으로써 많은 열을 방열 시키게 된다. 즉, 단위 시간당 방열량은 면적에 비례하기 때문이다. 그리고, 상기와 같은 기압차의 효과로는 냉각풍의 공기 입자들을 교란시켜 결과적으로 이들 공간부의 주변을 효과적으로 마찰하게 되고, 이러므로써 단위 시간당 방열 효과를 증대시켜 이 부위의 온도 상승을 감소 시키는 것이다.

이러한 본 고안은 마그네트론에 있어서 기밀 봉착용판과 영구자석이 마주보는 주변에 링홈을 이용한 방열 면적을 증대시키고 또한 냉각풍의 교란을 유도시켜 영구자석의 열에 의한 자력감소를 억제할 수 있고, 이 링홈은 원환상으로 중심에 대해 완전 대칭으로써 홈 형성 공정이 극히 간단하므로 대량 생산에 적합하다는 이점도 있는 것이다.

Claims (2)

1. 마그네트론에 있어서 기밀 봉착용판(A)의 돌기(2)형성 부위에 가능한 정도의 임의개의 링홈(1)을 천설하고, 이 링홈(1)은 그 깊이 h₅가 고정판(A)두께인 h₄의이하로 형성시켜서 됨을 특징으로 하는 마그네트론의 기밀 봉착용 판.
2. 제 1 항에 있어서 링홈(1)의 단면 구조를형홈(1a) 또는형홈(1b) 또는형홈(1c)으로 하여서 된 마그네트론의 기밀 봉착용판.