KR860001386B1 - Improved molding stamper and method of making same - Google Patents

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KR860001386B1 KR1019840003396A KR840003396A KR860001386B1 KR 860001386 B1 KR860001386 B1 KR 860001386B1 KR 1019840003396 A KR1019840003396 A KR 1019840003396A KR 840003396 A KR840003396 A KR 840003396A KR 860001386 B1 KR860001386 B1 KR 860001386B1
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    • C25D1/10Moulds; Masks; Masterforms

Abstract

The surface for holding master imformation is formed on a supporting body which can then hold information in a discontinuous state on its surface. The entire surface of the supporting body is electrolessly coated with a Ni layer in a Ni plating bath contg. sodium hypophosphite. Hereon, the thermal conductivity of the coating layer is controlled to 0.006-0.008 cal/cm/sec/deg.F by adjusting the content of sodium hypophosphite in the Ni plating bath. Packing material is applied onto the coating layer to form a synthetic stamper having an information holding surface reversed to the information holding surface of the supporting body. The synthetic stamper is detached from the supporting body.

Description

주조 스탬퍼 및 그의 제조 방법Casting stamper and its manufacturing method

제 1 도는 광학적으로 독취가능한 정보함유 디스크를 형성시키기 위한 스탬퍼의 정보함유면을 다소 과장하여 나타낸 부분 확대도.1 is a partially enlarged view showing a somewhat exaggerated information bearing surface of a stamper for forming an optically readable information containing disk.

제 2 도는 광저항성의 물질로 피복된 기질에서 이 광저항성 층을 현상하기 전의 상태를 나타내는 부분 단면도.2 is a partial cross-sectional view showing a state before developing this photoresist layer on a substrate coated with a photoresist material.

제 3 도는 광저항성의 물질로 피복된 제 2 도의 기질에서 이 광저항성 층을 현상한 후의 상태를 나타내는 부분 단면도.3 is a partial cross-sectional view showing a state after developing this photoresist layer on the substrate of FIG. 2 coated with a photoresist material.

제 4 도는 제 3 도에 도시된 바와 같이 현상된 기질의 광저항성 표면상에 니켈/인화니켈 합금의 최초 층을 무전극법으로 용착시킨 상태를 나타내는 부분 단면도.4 is a partial cross-sectional view showing a state in which the first layer of nickel / nickel phosphide alloy is deposited by the electrodeless method on the photoresist surface of the developed substrate as shown in FIG.

제 5 도는 제 4 도에 도시된 최초 층의 상부에 지지물질의 또다른 층을 용착시킨 상태를 나타내는 부분단면도.FIG. 5 is a partial sectional view showing a state in which another layer of support material is deposited on top of the first layer shown in FIG.

제 6 도는 무전극법으로 용착된 최초 층과 저지물질의 또다른 층으로 이루어진 복합체로 된 스탬퍼를 기질로부터 분리시킨 상태를 나타내는 부분 단면도이다.6 is a partial cross-sectional view showing a state in which a stamper, which is composed of a first layer deposited by an electrodeless method and another layer of a blocking material, is separated from a substrate.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

2 : 디스크 4 : 디스크의 기면2: disc 4: drow

6 : 돌출부 8 : 유리기질6 protrusion 8 glass substrate

9 : 디스크의 상부표면 10 : 광저항성층9: top surface of disk 10: photoresist layer

12 : 돌출부 14 : 평면부12: protrusion 14: flat portion

16 : 정보 함유층 18 : 기부층16: information containing layer 18: base layer

본 발명은 광학적으로 독취가능한 정보 함유부재의 복제에 사용되는 금속 스탬퍼(stamper)에 관한 것이다. 더욱 상세히 말하면, 본 발명은 부호화표면을 경계짓는 경화물질로 이루어진 스탬퍼를 이용한 사출성형법에 의하여 광학적으로 독취가능한 정보 함유부재를 복제함에 관한 것이다.The present invention relates to a metal stamper for use in copying an optically readable information containing member. More specifically, the present invention relates to replicating an optically readable information-containing member by an injection molding method using a stamper made of a cured material bounding an encoding surface.

본 발명에 따른 개량된 스탬퍼 및 이와 같이 개량된 스탬퍼를 제조하는 방법은 미세한 크기를 갖는 불연속부가 표면에 형성되어 있는 임의 현상의 플래스틱 정보 함유면의 제조에 사용될 수 있는 것이지만, 이해를 돕기 위하여 명세서에서는 디스크 형태의 정보함유부재를 예로들면서 공지 기술 및 본 발명을 설명할 것이다. 종래의 방법에 비교한 본 발명의 개량점에는 스탬퍼와 플랙스틱 사이의 계면특성이 포함되기때문에 본 발명의 개념은 실제로 임의의 기하학적 형태를 갖는 정보함유 플래스틱물품의 사출성형에 광범위하게 적용되는 것임을 이해하기 바란다.The improved stamper and the method of manufacturing the improved stamper according to the present invention can be used for the production of a plastic information-containing surface of any phenomenon in which discontinuous portions having a fine size are formed on the surface. The known technology and the present invention will be described taking the disk-shaped information containing member as an example. As the improvement of the present invention compared to the conventional method includes the interfacial property between the stamper and the plastic, it is understood that the concept of the present invention is widely applied to the injection molding of information-containing plastic article having an arbitrary geometric shape. Please.

플라스틱의 사출성형법에 의하여 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 복제하는 것은 당업계에 널리 알려져 있다. 이와 같은 사출성형법에는, 액체 플라스틱을 디스크 형태의 주형 내에 사출시킨 다음에, 부호화 된 스탬퍼표면(니켈로 된 것이 전형적이며, 이 표면에는 음성정보, 비디오정보, 디지탈정보가 함유되어 있다)과 강성의 지지표면 사이에서 압축시키는 방법이 있다. 상기의 액체 플라스틱은 경화시키고 냉각시킨 후에 니켈 스탬퍼의 부호와 표면으로부터 분리시키면 된다.Duplicating optically readable information bearing members by injection molding of plastics is well known in the art. In such an injection molding method, a liquid plastic is injected into a mold in the form of a disc, and then a coded stamper surface (typically made of nickel, which contains voice information, video information, and digital information) and rigidity is used. There is a method of compression between the supporting surfaces. The liquid plastic may be separated from the sign and surface of the nickel stamper after curing and cooling.

종래에는 스탬퍼 물질로서 니켈을 사용하는 거이 전형적이었는데, 왜냐하면 니켈에는 다음과 같은 고유한 구조적 특성이 있기 때문이다. 즉, 니켈에는 사출성형법의 분리상(release phase) 및 주형의 약화를 견뎌내기에 충분한 강도가 있으며, 니켈금속을 대량으로 전해적으로 용착시키기가 상당히 용이하고, 스탬퍼물질로서는 비교적 값이 싸며, 공정의 제어 및 변수에 대하여 그 공차범위가 넓어질 수 있고, 부식성 환경에 대해 면역성이 있기 때문이다.In the past, it was typical to use nickel as a stamper material, because nickel has the following unique structural properties. That is, nickel has sufficient strength to withstand the release phase of the injection molding method and the weakening of the mold, it is very easy to electrolytically weld nickel metal in large quantities, and relatively inexpensive as a stamper material. This is because the tolerances for the controls and variables can be widened and are immune to corrosive environments.

비디오 디스크용의 스탬퍼를 제조하는 한가지 방법은, 본 출원인에게 양도된 후냐(Csaba K. Hunyar)의 미합중국 특허 제 4,211,615호(1980년 7월 8일 특허)에 기재되어 있다. 이 특허에서는 구리와 니켈로 구성된 다층(多層)의 스탬퍼가 제안되어 있다. 금속층은 증기충격법, 증착법(vapor deposition), 혹은 무전극 도금액으로부터의 용착법에 의하여 가하여진다. 정보의 원본이 기록되어 있는 광저항성의 부호화된 "기재(matrix)" 표면은, 거울의 표면을 제조하는 데 사용되는 것과 유사한 무전극법에 의하여 우선 은으로 도금된다. 이와 같은 은의 피막은 차후의 전기도금 단계가 수행될 수 있도록 전기전도성을 유지하기에 충분한 두께(전형적으로는 약 0.25 내지 약 50 미크론 범위의 하단 부근의 두께)로만 용착된다. 그후, 니켈 및 구리로 된 대응 층이 전기도금법에 의해 전체 두께가 약 0.075 내지 0.75mm로 되도록 용착되며, 이때 플래스틱의 성형이 행하여질 마지막 층은 니켈층으로 한다.One method of making a stamper for a video disc is described in US Pat. No. 4,211,615 (July 8, 1980) to Csaba K. Hunyar, assigned to the applicant. In this patent, a multilayer stamper composed of copper and nickel has been proposed. The metal layer is applied by vapor shock, vapor deposition, or deposition from an electrodeless plating solution. The photoresist encoded "matrix" surface on which the original of the information is recorded is first plated with silver by an electrodeless method similar to that used to make the surface of a mirror. This silver coating is deposited only to a thickness sufficient to maintain electrical conductivity (typically near the bottom in the range of about 0.25 to about 50 microns) so that subsequent electroplating steps can be performed. Then, the corresponding layers of nickel and copper are welded by electroplating so that the total thickness is about 0.075 to 0.75 mm, wherein the last layer on which plastic molding is to be made is a nickel layer.

시각적인 검사에 의하면, 니켈스탬퍼로부터 제조된 복제디스크는 전도된 빛으로 관찰하였을 때에 표면이 얼룩진 외관을 갖는 마치 오렌지와 같은 얼룩을 나타낼 수도 있는데, 이것은 사출성형법을 수행하는 도중에 발생된 소위 "쟁기효과"라고 하는 표면 왜곡 현상에 의한 것이 일반적이다. 이때의 "쟁기효과"라는 용어는, 복제디스크 표면의 불연속부의 현미경 사진을 관찰한 후에, 정보트랙을 경계지워주는 융기부가 마치 쟁기질에 의한 것처럼 혹은 이 융기부가 날카로운 물체에 부딪힌 것처럼 떨어져 나갔음을 발견하고 붙여진 새로운 용어이다. 니켈스탬퍼로부터 제조된 디스크를 각종의 독특한 시험에 도입시키면, 시각적으로 관찰가능한 상기의 쟁기효과와 디스크의 정보생재의 질(質)과의 직접적인 상호관계를 알 수 있다. 이 점에 있어서, 발명자는 슬레이튼(Gary Slaten)이고 출원인은 본 발명의 출원인과 같으며 발명의 명칭이 "정보함유부재를 사출성형하기 위한 스탬퍼 및 방법"인 미합중국 특허출원 제 505,565원(출원일 1983.6.17)(이하, "슬레이튼의 발명"이라고 약칭함)에는, 니켈스탬퍼의 정보함유면의 상부에 용착될 대응 층으로서 크롬을 사용함으로써 스탬퍼 플래스틱 계면을 향상시켜 디스크의 품질을 실질적으로 향상시키게 됨이 기재되어 있다.Visual inspection has shown that a replica disc made from a nickel stamper may exhibit orange-like stains with a stained appearance when observed with conducted light, a so-called "plow effect" that occurs during injection molding. It is common by the surface distortion phenomenon called ". The term "plow effect" here, after observing the micrograph of the discontinuity of the surface of the replica disc, found that the ridges that bound the information track fell off as if by plowing or hitting a sharp object. It is a new term attached. The introduction of discs made from nickel stampers into a variety of unique tests reveals a direct correlation between the visually observable plow effect and the quality of information reproduction of the discs. In this regard, the inventor is Gary Slaten and the applicant is the same as the applicant of the present invention and the name of the invention is a "stamper and method for injection molding an information-containing member" US Patent Application No. 505,565 (filed 1983.6. 17) (hereinafter abbreviated as "the invention of Slaton"), the use of chromium as the corresponding layer to be deposited on the upper surface of the nickel stamper to improve the stamper plastic interface to substantially improve the quality of the disc. It is described.

니켈스탬퍼로부터 형성된 복제디스크를 시각적 및 전자공학적으로 검사해 보면, 가장 심하게 얼룩진 지역의 일부에 "오렌지 껍질" 효과가 존재하는 것도 역시 알 수 있다. 상기의 "오렌지 껍질"이라는 용어는, 정보저장 디스크에 있어서 독취용 광비임이 정보 함유면에 도달하기 전에 반드시 통과하여야만 하는 상기 정보저장 디스크의 외면의 형태를 나타내는 것이다. 즉, 거칠게 보이면서도 균일하게 분포된 표면결함이 시각적으로 오렌지의 겉껍질과 같이 보임을 의미하는 것이다. 이와 같은 "오렌지 껍질" 효과에 의하면 디스크 표면상의 점과 점 사이의 굴절계수가 변화되므로, 추적(tracking)의 제어능력이 감소하게 된다. 쟁기효과와 오렌지 껍질 효과와의 상호작용에 의하여 정상 이하의 재생능력이 나타날 수 있다는 가능성이 제기되었다.Visually and electronically inspecting the replica discs formed from nickel stampers also reveals an "orange peel" effect in some of the most heavily stained areas. The term " orange shell " refers to the form of the outer surface of the information storage disk which must be passed before the reading light beam reaches the information containing surface in the information storage disk. In other words, the roughness and uniformly distributed surface defects visually look like an orange crust. This "orange peel" effect results in a change in the index of refraction between the points on the disk surface, thus reducing the controllability of tracking. The possibility of sub-normal regenerative capacity is shown by the interaction between the plow effect and the orange peel effect.

사출성형된 디스크에서 발견되는 결함중의 일부는 스탬퍼의 "워플링(waffling)"에 의한 것이다. 이러한 워플효과(waffle effect)는, 스탬퍼의 항복강도를 초과하는 주조력에 기인한 영구적인 표면 불규칙부분인 것으로 관찰되었다. 실제로 종래의 니켈스탬퍼에 있어서는 다소 균일하게 분포된 국부지역내에 물리적으로 뻗어나가거나 혹은 왜곡되기에 충분한 강도가 결여되어 있으므로, 약 1000Å 정도의 분리부분을 갖는 홈과 같은 인상을 주는 워플과 유사한 외형을 갖게 된다. 이와 같은 워플효과는 0.38mm 니켈스탬퍼에서 단지 10회 정도의 주조를 행한 후에 발견되었다. 본 발명에 의한 개선된 니켈스탬퍼에서는 두께와 관련된 경도가 증가되므로 상기의 워플효과가 실제로 나타나지 않게 된다.Some of the defects found in injection molded discs are due to "waffling" of the stamper. This waffle effect was observed to be a permanent surface irregularity due to the casting force exceeding the yield strength of the stamper. In fact, the conventional nickel stamper lacks sufficient strength to be physically stretched or distorted in a somewhat uniformly distributed local area, and thus has an appearance similar to that of a waffle having a groove-like impression having a separation portion of about 1000 mm 3. do. This waffle effect was found after only 10 castings on a 0.38 mm nickel stamper. In the improved nickel stamper according to the present invention, the hardness associated with the thickness is increased so that the waffle effect does not actually appear.

비디오 디스크의 사출성형과 관련된 또 하나의 문제점은, 플래스틱물질이 그 도입지점으로부터 주형공극부를 따라서 주형의 끝부분으로 나아가는 동안에 미리 경화되는 점이다. 플래스틱물질은 주형공극부로 강제로 도입되기 때문에 주형의 차가운 벽에 의하여 이 플래스틱물질이 약간 조속경화되는 일이 나타나게 되며 따라서 얇은 껍질 형태의 층이 생성되는 데, 이 층은 주조공정이 완료될 때까지 동일한 상태로 존속하거나 혹은 플래스틱 물질이 유동하여 주형공극부를 채우게됨에 따라 그 위치가 변화하거나 혹은 플래스틱물질로 부터 벗겨져나와서 용융 플래스틱과 함께 흘러가게 되며, 결국에는 주조된 최종 생성물의 표면이 거칠게 될 뿐만 아니라 무작위적으로 분포된 불규칙한 응력지점들이 제품의 표면을 따라 생성되게 된다. 따라서, 주조된 제품에 있어서의 정보특성을 보존하기에 충분한 강도를 지니며 또한 주형내에서 사출된 플래스틱의 조속경화에 의한 얇은 층 및 상기의 워플 효과를 제거 혹은 최소화시킬 수 있는 특성을 지닌 부호화표면을 가진 스탬퍼를 개발한 필요성이 당업계에 존재하고 있다. 본 발명은 이와 같은 필요성을 충족시키는 것이다. 또한, 광학적으로 독취가능한 정보함유부재에 음성 및 화면의 질을 개량시킬 필요성도 존재하고 있으며, 본 발명은 스탬퍼와 스탬핑된 물품과의 계면에서 깔끔한 분리가 행하여지도록 함으로써 쟁기효과 및 오렌지 껍질 효과를 감소 혹은 제거시킴에 의해 이러한 필요성도 역시 충족시키는 것이다.Another problem associated with injection molding of video discs is that the plastic material is pre-cured while moving from its introduction point along the mold cavity to the end of the mold. Since the plastic material is forced into the mold cavity, the cold wall of the mold tends to cause the plastic material to be slightly hardened, and thus a thin shell layer is formed, which is formed until the casting process is completed. As they remain in the same state or as the plastic material flows to fill the mold voids, their position changes or peels off from the plastic material and flows with the molten plastic, resulting in a roughened surface of the cast final product. Randomly distributed irregular stress points are created along the surface of the product. Therefore, the coding surface has sufficient strength to preserve the information characteristics of the cast product, and has the characteristics of removing or minimizing the waffle effect and the thin layer due to the rapid curing of the plastic injected in the mold. There is a need in the art to develop a stamper with a. The present invention satisfies this need. In addition, there is a need to improve the voice and screen quality of the optically readable information-bearing member, and the present invention reduces the plowing effect and the orange peel effect by allowing a clean separation at the interface between the stamper and the stamped article. Or by eliminating this need, too.

본 발명은 개량된 스탬퍼를 제공함으로써 사출성형에 의한 복제방법으로부터의 유해한 표면결함을 제거하고, 이에 의해 광학적으로 독취가능한 정보함유부재에 복제 생산율을 증가시킴과 동시에 신호의 질을 증가시켜서, 상술한 바와 같은 종래 기술에 있어서의 모든 결함을 실질적으로 극복한 것이다.The present invention eliminates harmful surface defects from the replication method by injection molding by providing an improved stamper, thereby increasing the signal quality and increasing the signal quality at the optically readable information-containing member, thereby improving the signal quality. All the deficiencies in the prior art as described above are substantially overcome.

더욱 상세히 말하면, 본 발명은 표면의 정보 내용을 보존하기에 충분한 경도가 있으며 또한 주형내에서 사출된 플래스틱의 조속경화에 의한 얇은 층을 제거 혹은 감소화시키도록 열전도성이 낮은 조성물을 사용함에 의하여 주형의 표면에 열장벽(thermal barrier)을 생성시키기 위한 방법 및 수단을 제공한다. 열장벽을 생성시키도록 선택된 물질은 순수한 니켈 이상의 윤할특성 및 순수한 니켈보다 5-100배 낮은 열전도성을 가지고 있으므로, 사출된 플래스틱이 실질적으로 경화되기 전에 주형내부를 채울 수 있도록 하여준다. 또한, 이와 같은 신규한 스탬퍼물질은 사출성형법에 있어서의 스탬퍼의 분리특성을 개선시키므로, 스탬퍼와 관련된 결함이 감소함에 의해 스탬퍼의 생산율이 증가될 뿐만 아니라 회수된 신호의 질이 개선된다. 그리고, 이 신규한 스탬퍼물질은 이례적으로 높은 경도를 가지므로, 사출성형시의 응력하에서 순수한 니켈스탬퍼 보다 실질적으로 내구성이 있으며, 순수한 니켈스탬퍼에 비해 2-5배의 생산율을 갖는다.More specifically, the present invention provides a mold by using a composition that has a hardness sufficient to preserve the information content of the surface and also has a low thermal conductivity composition to remove or reduce the thin layer due to rapid curing of the plastic injected into the mold. A method and means for creating a thermal barrier on the surface of a substrate are provided. The material chosen to create the thermal barrier has a lubrication characteristic over pure nickel and a thermal conductivity of 5-100 times lower than pure nickel, thus allowing the injected plastic to fill the mold before it is substantially cured. In addition, this novel stamper material improves the separation characteristics of the stamper in the injection molding method, thereby reducing the defects associated with the stamper, thereby increasing the production rate of the stamper and improving the quality of the recovered signal. In addition, this novel stamper material has an exceptionally high hardness, which is substantially more durable than a pure nickel stamper under stress during injection molding, and has a production rate of 2-5 times that of a pure nickel stamper.

요약하면, 본 발명은 무전극법으로 용착(electroless deposition)된 니켈/인화니켈(nickel phosphide)의 합금(이하. "무전극 니켈"이라고 약칭함)으로 되어서 스탬퍼의 정보함유면을 경계지워주는 층과, 바람직하게는 몰리브덴, 크롬, 철, 텅스텐, 구리, 니켈, 또는 상술한 미합중국 특허 제 4,211,617호에 기재된 바와 같은 니켈/구리 복합물의 층으로 된 지지층으로 구성된 개량된 스탬퍼를 제공한다.In summary, the present invention is a layer of an alloy of nickel / nickel phosphide (hereinafter, abbreviated as “electrode nickel”) that is electrodeless deposited by an electrodeless method so as to boundary the information containing surface of the stamper; An improved stamper is provided, preferably consisting of a support layer of a layer of molybdenum, chromium, iron, tungsten, copper, nickel, or a nickel / copper composite as described in the above-mentioned US Pat. No. 4,211,617.

상술한 바와 같은 슬레이튼의 발명에 있어서는, 두꺼운 니켈층을 광저항성 기재상에 형성시켜 제조된 기존의 니켈스탬퍼의 부호화된 정보함유면에 크롬을 용착시킴에 의하여 매끄럽고 단단한 정보함유면을 제조하고 있다. 본 발명은 스탬퍼와 주형의 계면에 사용할 물질의 선택에 있어서 뿐만 아니라 본 발명에 따른 무전극 니켈의 층을 광저항성 기재상에 직접 용착시키고 그 후에 경도가 높은 물질로 된 지지층을 가하여준다는 점에서 상기 슬레이튼의 발명과는 다르다. 이와 같은 복합물로 된 발명의 스탬퍼를 기재로부터 분리시켰을 경우, 이 스탬퍼의 노출면, 즉 정보함유면은 무전극 니켈물질로 이루어진 층이다.In the invention of Slaton as described above, a smooth and hard information bearing surface is produced by depositing chromium on the encoded information bearing surface of a conventional nickel stamper which is formed by forming a thick nickel layer on a photoresist substrate. The present invention not only selects the material to be used for the interface between the stamper and the mold, but also directly deposits a layer of electrodeless nickel according to the present invention on a photoresist substrate, and then adds a support layer made of a material of high hardness. It is different from Slaton's invention. When the stamper of the invention made of such a composite is separated from the substrate, the exposed surface, that is, the information containing surface, of the stamper is a layer made of an electrodeless nickel material.

이 점에 있어서, 기존의 니켈스탬퍼의 정보함유면의 상부에 크롬층을 용착시킴으로써 상술한 슬레이튼의 발명에서 표면불연속부의 명확성을 손실시킨 것은, 표면 불연속부의 날카로운 모서리들을 동그스름 하게 깎아내린 것이 주조제품에서의 쟁기효과를 감소시키는데 기여하였다는 점에서 상당히 유리한 것으로 판명되었다. 본 발명에 있어서는 최종적인 스탬퍼의 정보 함유면이 기재에 대해 직접 형성되기 때문에 날카로운 모서리들을 둥글게 깎아내리도록 부가적으로 용착되는 층은 없다. 그러나 이와 같은 사실에도 불구하고, 주조제품에 있어서의 정보재생 능력의 향상, 쟁기효과의 감소, 그리고 주조 제품으로 부터의 스탬퍼의 개선된 분리특성 등은 본 발명의 두드러진 특징들이다. 이와같은 주조방법상의 각종 변수들에 있어서의 개선은, 예컨대 높은 윤할성, 낮은 열전도성, 매끄러움, 그리고 통상의 니켈스탬퍼에 비교하여 실질적으로 증가된 경도 등과 같은 무전극 니켈의 특히 독특한 특성에 기여하는 것이다. 무전극 니켈이 탁월하게 매끄럽다는 것과 열전도 특성이 우수하다는 것은 종래에서는 유리 혹은 세라믹으로 된 주형과 피복을 이용하여서만 가능하였던 일이다. 스탬퍼의 정보함유면을 무전극 니켈로 형성함에 의하여 최종적인 주조제품은 종래의 니켈 스탬퍼에서 얻을 수 있었던 것보다 훨씬 더 매끄러운 표면을 일관성 있게 얻을 수 있다. 뿐만 아니라, 광학적으로 독취가능한 디스크의 제조에 있어서는 그 생산율이 오늘날 중요한 관심사이며, 이때 본 발명에 의하여 생산율이 2배 내지 5 배 개선되었음을 고려하면, 무전극 니켈을 사출성형장치의 주형판상의 열장벽으로 사용함으로써 당업계에 상당한 기여를 나타내게 되었음이 명백하다.In this regard, the loss of clarity of the surface discontinuity in the invention of Slaton described above by depositing a chromium layer on top of the information bearing surface of the conventional nickel stamper means that the sharp edges of the surface discontinuity are rounded off in the cast product. It proved to be quite advantageous in that it contributed to reducing the plowing effect. In the present invention, since the information-bearing side of the final stamper is formed directly to the substrate, there is no additional layer deposited to sharpen the sharp edges. Despite these facts, however, the improved information reproducing ability of the cast product, the reduction of the plowing effect, and the improved separation characteristics of the stamper from the cast product are distinguishing features of the present invention. Improvements in various parameters of this casting method contribute to particularly unique properties of electrodeless nickel such as high lubrication, low thermal conductivity, smoothness, and substantially increased hardness compared to conventional nickel stampers. will be. The excellent smoothness of the electrodeless nickel and the excellent thermal conductivity have been possible only with molds and coatings made of glass or ceramic. By forming the stamper's information bearing surface with electrodeless nickel, the final cast product can consistently obtain a much smoother surface than would have been possible with a conventional nickel stamper. In addition, the production rate is an important concern in the manufacture of optically readable discs today, and considering that the production rate is improved by 2 to 5 times according to the present invention, the heat barrier on the mold plate of the electrodeless nickel injection molding apparatus is It is clear that the use of the present invention has made a significant contribution to the art.

본 발명에 의하면, 무전극법으로 도금된 니켈/인화니켈의 층이 광저항성 부호와 기재상에 용착된다. 피복될 표면이 이와 같은 무전극법에서 반드시 전도성일 필요는 없으나, 무전극 니켈의 층을 용착시키는 방법의 첫번째 단계는 팔라듐 혹은 금의 염을 함유하는 용액내에 부호화된 기재를 침지시켜서 그 헥(nuclei)의 층을 저항상에 형성시키는 것이다. 이 층은, 그 후에 무전극 도금액이 자유롭게 접근할 수 있는 모든 표면상에 균일한 두께의 무전극 니켈층이 형성될 수 있게 한다는 점에서, 용착을 촉진시키는 촉매로서의 역할을 한다. 미합중국 특허 제2939804호(특허일 1960. 6. 7)에는 표면을 준비하는 최초의 단계 이후에 화학적 니켈의 피복을 열가소성 물질상에 형성시킴이 기재되어 있다. 이 특허에 의하면, 금속 구리로 된 얇은 불연속피복을 열가소성 물질상에 우선 용착시킨다. 이와같이 구리로 피복된 물품을 그 후에 팔라듐을 함유하는 용액내에 침지시켜서, 소량의 팔라듐에 의해 구리가 치환되도록 한다. 이러한 구리-팔라듐 피복은 차후에 가하여질 니켈 피복액을 활성화시키는 촉매적 역할을 한다.According to the present invention, a layer of nickel / nickel phosphide plated by the electrodeless method is deposited on the photoresist code and the substrate. The surface to be coated is not necessarily conductive in this electrodeless method, but the first step in the method of depositing a layer of electrodeless nickel is to immerse the encoded substrate in a solution containing a salt of palladium or gold to nuclei the nuclei. Is to form a layer of resistive phase. This layer then serves as a catalyst for promoting deposition in that an electrodeless nickel layer of uniform thickness can be formed on all surfaces to which the electrodeless plating liquid can freely access. US Patent No. 2939804 (Patent date June 6, 1960) describes the formation of a coating of chemical nickel on a thermoplastic material after the first step of preparing the surface. According to this patent, a thin discontinuous coating of metallic copper is first deposited on a thermoplastic material. The copper-coated article is then immersed in a solution containing palladium so that copper is replaced by a small amount of palladium. This copper-palladium coating plays a catalytic role in activating the nickel coating liquid to be added later.

금속면상에 니켈을 무전극 법으로 도금시키는 방법은 버언즈(Burns)와 브래들리(Bradley)의 저서인 "금속의 보호피복(Protective Coatings for Metals)", 제 2 판(1955), 205-206면에 기재되어 있다. 이 책에 기재된 바와 같은 무전극 도금법은 철, 알루미늄, 황동, 청동, 스테인레스강을 비롯한 각종의 가능한 바탕금속을 표면피복함을 포함하고 있다. 이러한 버언즈와 브래들리에 따라 니켈의 무전극 도금을 이용하는 명백한 목적은 비교적 기공(pore)이 없는 보호층을 바탕금속상에 형성시킴으로써 부식성 환경으로부터의 보호작용을 나타냄과 동시에 바탕물질의 표면을 단단하게 하여 주려는 것이다. 본 발명은 무전극법으로 용착된 니켈피복에 있어서의 부가적인 물리적 특성, 특히 윤활성, 매끄러움, 열전도성, 그리고 순수한 니켈에 비해 바람직하게 증가된 경도등의 특성을 인지(認知)한 것이다. 무전극 니켈의 층을 혼입(混入)시키고, 무전극 니켈층의 두께 및 이 층내의 니켈과 인산염과의 비율을 조절하고, 전기적으로 용착된 금속의 지지층을 가하여 줌에 의하여, 예컨대 비디오 디스크의 복제에 관련된 각종의 문제점들이 해결된다. 즉, 표면의 결함 및 신호의 질의 저하가 당업자에 의해 용이하게 관찰되는 한, 이와같은 결함의 정확한 원인은 당업자가 스탬퍼에 대해 이론적으로 이상적인 모델을 제시하기에는 매우 모호하다. 다시 말하면, 어떠한 물리적 특성이 어떠한 결함에 영향을 미치는가, 그리고 각각의 결함을 감소시키기 위하여서는 어떠한 물리적 변수를 어떤 방향으로 조정하여야 하는 가가 명백하지 않으며, 더욱 중요한 것으로는 어떤 한가지 물리적 특성을 변화시켰을 때에 다른 물리적 특성과 상호 연관되어 나타나는 효과에 의해 공정분석의 복잡성이 가중된다는 것이다.The method of electroless plating nickel on a metal surface is described by Burns and Bradley, "Protective Coatings for Metals", 2nd edition (1955), pp. 205-206. It is described in. Electroless plating, as described in this book, includes surface coating of various possible base metals, including iron, aluminum, brass, bronze, and stainless steel. According to Buruns and Bradley, the obvious purpose of using nickel-free electroless plating is to form a relatively pore-free protective layer on the base metal to provide protection from corrosive environments and to harden the surface of the base material. To give. The present invention recognizes additional physical properties, especially lubricity, smoothness, thermal conductivity, and preferably increased hardness compared to pure nickel in nickel coatings deposited by the electrodeless method. By incorporating a layer of electrodeless nickel, adjusting the thickness of the electrodeless nickel layer and the ratio of nickel to phosphate in the layer, and adding a support layer of electrically deposited metal, for example, copying of a video disc Various problems related to are solved. That is, as long as surface defects and signal degradation are easily observed by one skilled in the art, the exact cause of such defects is very ambiguous for those skilled in the art to present a theoretically ideal model for a stamper. In other words, it is not clear which physical properties affect which defects, and which physical variables should be adjusted in which direction to reduce each defect, and more importantly, when one physical property changes The effects of correlating with other physical properties add to the complexity of process analysis.

따라서 본 발명에서는 바탕금속에 대한 보호피복으로서가 아니라, 열가소성 정보함유부재를 주조할 활성표면으로서, 무전극 용착된 니켈/인화니켈을 신규하게 사용하는 것이다. 스탬퍼의 제조방법을 제어함으로써 무전극 니켈층 내의 인산 염의 최적의 함량 및 이 무전극 니켈층과 지지층의 두께의 최적치가 유지되므로, 윤활성이 크고 열전도성이 낮으며 이례적으로 단단하고 매끄러운 표면이 가능하게 되고, 따라서 주형벽으로 유입되고 이로부터 유출되는 플래스틱물질이 조속경화되어 얇은 층을 형성 함을 방지할 수 있다.Therefore, in the present invention, the electrodeless welded nickel / nickel phosphide is newly used as the active surface for casting the thermoplastic information-containing member, not as a protective coating for the base metal. By controlling the manufacturing method of the stamper, the optimum content of the phosphate in the electrodeless nickel layer and the thickness of the electrodeless nickel layer and the support layer is maintained, so that the lubricity is high, the thermal conductivity is low, and an exceptionally hard and smooth surface is possible. Thus, the plastic material flowing into and out of the mold wall can be prevented from being hardened quickly to form a thin layer.

앞에서 간단히 언급한 바와같이 열가소성 물질을 얇은 디스크의 형태로 주조할 때에 나타나는 난점중의 한가지는 주형의 벽이 비교적 차갑기 때문에 비교적 고온인 액체 플래스틱이 조속하게 경화된다는 점이다. 플래스틱물질이 주형공극부로 도입되면 이 플래스틱물질이 주형의 벽에 의해 냉각됨에 따라 주형 공극부의 한쪽 벽을 나타내는 부호화된 스탬퍼의 표면을 복제하는 플래스틱/주형의 개면에 피복이 형성된다. 일단 피복이 형성되면 이 피막 하부의 액체 플래스틱 본체가 연속적으로 이동함에 따라서 피막층이 파괴되어 피막의 일부가 냉각된 플래스틱 편(片)의 형태로 함께 유동하며, 따라서 최종적인 디스크 제품의 표면이 왜곡되어 이 디스크로부터 회수된 신호의 왜곡이 발생된다.As briefly mentioned above, one of the difficulties with casting thermoplastics in the form of thin discs is that the relatively hot liquid plastics cure quickly because the walls of the molds are relatively cold. When the plastic material is introduced into the mold cavity, the plastic material is cooled by the wall of the mold, forming a coating on the open side of the plastic / mold that duplicates the surface of the encoded stamper representing one wall of the mold cavity. Once the coating is formed, as the liquid plastic body underneath this film moves continuously, part of the film breaks and some of the film flows together in the form of a cooled plastic piece, thus distorting the surface of the final disc product. Distortion of the signal recovered from this disk occurs.

물론, 이와같은 문젯점은 플래스틱이 주형과의 접촉으로부터 제거될 수 있도록 궁극적으로는 냉각되어야만 하며 또한 스탬퍼의 정보면은 디스크의 대응면에서 복제된다는 사실에 기인하는 것이다. 이러한 문제점에 대한 해결책중의 한가지로서는 주형의 벽 주위로 냉각유체 및 가열유체를 제어상태로 순환시키는 방법이 있다. 이 방법은 대량제조를 위한 설비에서는 대단히 불리한데, 왜냐하면 사출성형압력을 견뎌내기에 필요한 주형공극부 벽의 두께로 말미암아 짧은 시간내에 냉각 및 가열시키기가 곤란하여 제조율에 한계가 나타나기 때문이다. 뿐만 아니라, 주형공극부면의 한쪽은 약 0.38 내지 1.0mm 정도의 다소 두꺼운 스탬퍼이어야만 하기 때문에 스탬퍼의 지지층에 대한 인접한 주형 벽이 아무리 빨리 냉각 및 가열된다고 하더라도 특히 용융된 플래스틱과의 계면에서와 같은 스탬퍼 자체의 온도가 고정되려면 실질적인 시간이 필요하게 된다.Of course, this problem is due to the fact that the plastic must ultimately be cooled so that it can be removed from contact with the mold and the information side of the stamper is duplicated on the corresponding side of the disc. One solution to this problem is to circulate the cooling and heating fluids in a controlled state around the walls of the mold. This method is very disadvantageous in equipment for mass production because of the thickness of the mold cavity wall required to withstand the injection molding pressure, it is difficult to cool and heat in a short time, resulting in limitations in the production rate. In addition, since one side of the mold cavity surface must be a rather thick stamper of about 0.38 to 1.0 mm, no matter how quickly the adjacent mold wall to the support layer of the stamper cools and heats, the stamper itself, especially at the interface with the molten plastic Actual time is required for the temperature to be fixed.

따라서, 본 발명에서의 전제조건은 주형의 벽과 용융 플래스틱과의 사이에 열장벽을 형성시키면 주형 공극부의 벽의 열특성을 향상시키는데 도움이 될 것이며, 또한 훨씬 훌륭한 복제품, 즉 오렌지껍질 효과나 쟁기효가 혹은 워플효과가 없이 스탬퍼의 형태가 더욱 올바르게 복제된 양호한 형태 및 양호한 표면을 갖는 복제디스크를 얻을 수 있을 것이라는 것이다. 그러나 스탬퍼에 비금속을 사용하면 플래스틱물질이 주형공극부를 통과할 때에 이 플래스틱물질의 조속경화(즉, 얇은 층의 형성)를 실제로 방지할 수 있을 정도의 열전도성을 나타내기는 하지만, 이러한 비금속은 대단히 느린 열전달 특성을 갖기 때문에 용융된 플래스틱을 경화시키기 까지에는 실질적으로 긴 시간을 필요로 한다. 더구나, 열가소성 디스크의 사출성형을 위한 스탬퍼를 형성시키는데 사용될 수 있는 공지된 비금속 표면은 대단히 유연하고 취약하므로, 사출성형시의 압력하에서 마모되거나 부서지게 된다.Therefore, the prerequisite in the present invention is that forming a heat barrier between the wall of the mold and the molten plastic will help to improve the thermal properties of the wall of the mold cavity, and also a much better replica, ie orange peel effect or plow. It would be possible to obtain a replica disc having a good shape and a good surface, in which the stamper's shape is more correctly replicated without any effect or waffle effect. The use of nonmetals in stampers, however, exhibits thermal conductivity to the extent that the plastic material actually prevents the rapid hardening of the plastic material (ie, the formation of a thin layer) as it passes through the mold cavity. Due to its heat transfer properties, it takes a substantially long time to cure the molten plastic. Moreover, the known nonmetallic surfaces that can be used to form stampers for injection molding of thermoplastic discs are extremely flexible and brittle, and thus wear or break under pressure during injection molding.

본 발명은 반(半)금속과 같은 열특성을 가지며 금속과 같은 강도를 갖는 무전극 니켈을 사용한다는 점에서 상술한 문젯점에 대한 독특한 해결책을 제시하는 것이다. 무전극 니켈의 미세구조는 결합력이 우수한 다수의 얇은 층이 그 위에 용착된 바탕 금속상에서 이 바탕금속에 평행하게 되어 있으며 각각의 층 내에는 이 바탕금속에 수직한 원주형의 구조가 있음을 특징으로 한다. 이와같은 미세구조는 무전극 니켈의 열전달율이 순수한 니켈 혹은 대부분의 순수한 금속에 비해 1/5 내지 1/100 밖에 안된다는 사실에 기인하는 것이다.The present invention proposes a unique solution to the above-mentioned problem in that it uses electrodeless nickel having thermal properties such as semimetals and strengths like metals. The microstructure of electrodeless nickel is characterized by the fact that a number of thin layers with good bonding force are parallel to the base metal on the base metal deposited thereon, and each layer has a columnar structure perpendicular to the base metal. do. This microstructure is due to the fact that the heat transfer rate of electrodeless nickel is only 1/5 to 1/100 of that of pure nickel or most pure metals.

상술한 바와 같은 슬레이튼의 발명에서는 크롬으로 된 스탬퍼 표면을 사용하여 순수한 니켈로 된 통상의 스탬퍼에 비해 경도를 증가시키는 것이 제안되었으나 용착된 상태의 무전극 니켈은 순수한 니켈보다 경도가 크며, 차후의 가열단계에 의해 경화시키면 크롬의 경도와 거의 같게되고, 또한 열전도 특성이 바람직할 뿐만 아니라 크롬에서는 발견할 수 없는 윤활특성도 가지고 있다. 즉, 무전극 니켈에는 고유한 윤활특성이 있기때문에 무전극 니켈을 사용하면 크롬에서와 같이 왁스 혹은 기타의 이형제를 스탬퍼의 표면에 가하여주는 주조공정이 생략된다.In the invention of Slaton as described above, the use of a chrome stamper surface has been proposed to increase the hardness compared to a normal stamper made of pure nickel, but the electrodeless nickel in the welded state is harder than pure nickel, and subsequently heated. When hardened by the step, the hardness of the chromium is almost equal to that of chromium, and the thermal conductivity is not only desirable, but also has lubrication characteristics not found in chromium. That is, since electrodeless nickel has inherent lubricating properties, the use of electrodeless nickel eliminates the casting process of applying wax or other release agent to the surface of the stamper as in chromium.

종래의 스탬퍼가 생산되는 방법을 설명하면, 우선, 0.635cm크기의 디스크형태를 가진 유리판의 상부에 광저항성이 있는 얇은 층을 가한다. 그 후, 상기 광저항성 물질을 선택적으로 레이저비임에 노출시켜서 이 광저항성 물질의 층예 정보를 부호화시키고, 이것을 현상하면 미세한 요부(凹部)의 형태로 기록된 정보가 상기 층에 존재하게 된다. 수 옹그스트롬 정도의 두께를 갖는 미세한 니켈층을 상기 부호화 표면상에 진공용착시킨다. 이와같이 진공용착된 니켈층의 상부에 또다른 니켈층을 전해적으로 용착시킴으로, 사출성형법을 수행하는데 필요한 압력을 견뎌내기에 충분한 두께(통상적으로는 0.38mm 이상) 가 되도록 한다. 유리판을 니켈로부터 분리시키면, 폭이 약 0.6 미크론 정도이고 길이가 약 0.6 내지 2 미크론 정도로 평평한 기면(基面)으로부터 돌출된 미세한 돌출부가 트랙으로서 존재하는 부호화된 니켈면이 노출된다. 이것은 과정되고 확대된 형태로 제 1 도에 개략적으로 도시되어 있는데, 제 1 도에 있어서 디스크(2)의 평평한 기면(4)으로 부터는 일련의 돌출부(6)가 원형의 트랙을 이루며 돌출되어 있다. 본 발명에 따른 개선점은, 비교적 두꺼운 기부층(18)에 의해 지지되는 무전극 니켈로 된 정보함유층(16)의 형성으로 도시되어 있다. 제 2 도에는, 디스크(2)의 광택성 상부 표면(9)에 결합된 얇은 광저항성층(10)을 가진 유리기질(8)의 부분 단면도가 도시되어 있다.When the conventional stamper is produced, first, a thin layer of photoresist is applied on top of a glass plate having a disk shape of 0.635 cm size. Thereafter, the photoresist is selectively exposed to a laser beam to encode layer example information of the photoresist, and when developed, information recorded in the form of fine recesses is present in the layer. A fine nickel layer having a thickness of a few angstroms is vacuum-welded onto the encoding surface. Thus, another nickel layer is electrolytically deposited on top of the vacuum-welded nickel layer so as to have a thickness (typically 0.38 mm or more) sufficient to withstand the pressure required to perform the injection molding method. Separating the glass plate from the nickel exposes the encoded nickel surface, with the fine projections projecting from the base surface flat about 0.6 microns wide and about 0.6 to 2 microns long, present as tracks. This is schematically illustrated in FIG. 1 in a processed and enlarged form, in which from the flat base surface 4 of the disc 2 a series of protrusions 6 protrude in a circular track. An improvement according to the present invention is shown by the formation of an information-containing layer 16 of electrodeless nickel supported by a relatively thick base layer 18. 2 shows a partial cross-sectional view of a glass substrate 8 with a thin photoresist layer 10 bonded to the glossy top surface 9 of the disc 2.

변조된 광비임에 노출되고 현상된 후, 유리기질(8)에는 일련의 광저항성 돌출부(12)가 평면부(14)로부터 돌출되는데 이하의 설명에서는 제 3 도에 도시된 바와 같은 제품을 보완적 부호화 표면을 갖는 스탬퍼를 제조하기 위한 "기재"라고 부르기로 한다.After exposure and development to the modulated light beam, the glass substrate 8 has a series of photoresistive protrusions 12 protruding from the flat portion 14, which complements the product as shown in FIG. It will be referred to as a "substrate" for producing a stamper having an encoding surface.

기재의 정보함유면을 촉매화하기 위하여, 이 기재에는 구리염을 함유하는 용액내에 침지시켜 그 표면상에 형성된 얇고 볼연속적인 구리층이 있다. 용액내의 구리는 금속상태로 환원되어서, 침지된 기재상에 도금된다. 이 방법의 예비단계에서 대해서는 상기 미합중국 특허 제2,939,804호에 상세히 기재되어 있다. 이와 같은 구리의 피복이 기재상에 만족스럽게 가하여지면, 팔라듐 혹은 금의 염을 함유하는 용액내에 상기 기재를 침지시킨다. 그 결과, 구리피복의 일부는 산화되어 용액내로 용해되며, 팔라듐 혹은 금의 염의 일부를 금속상태로 환원되어서 구리피복과 결합된다. 이러한 목적을 위해 만족스러운 용액은 염화팔라듐을 약 100ppm의 양으로 사용하여 구성시킬 수 있다. 기재가 이와같이 팔라듐으로 처리되어 구리와 팔라듐의 혼합 피복이 형성되면, 니켈을 피복시키기 위한 준비가 완료된 것이다.In order to catalyze the information-bearing side of the substrate, the substrate has a thin, ball-continuous copper layer immersed in a solution containing copper salt and formed on its surface. Copper in the solution is reduced to a metallic state and plated on the immersed substrate. Preliminary steps of this method are described in detail in US Pat. No. 2,939,804. When such a coating of copper is satisfactorily applied on the substrate, the substrate is immersed in a solution containing a salt of palladium or gold. As a result, a portion of the copper coating is oxidized and dissolved into the solution, and a portion of the palladium or gold salt is reduced to the metal state to be combined with the copper coating. Satisfactory solutions for this purpose can be constructed using palladium chloride in an amount of about 100 ppm. When the substrate is thus treated with palladium to form a mixed coating of copper and palladium, the preparation for coating nickel is complete.

그후, 이와같이 촉매피복된 기재를 세척한 후에 초여과(ultra-filtering)된 탈이온수로 헹구고, 물, 산, 완충제, 환원제, 니켈염으로 조성된 무전극 욕(浴)에 도입한다. 이 기재를 순환욕내에 침지시키고 회전시켜서 무전극 도금액의 균일성을 향상시키는 것이 바람직하다.The catalyst coated substrate is then washed and then rinsed with ultra-filtered deionized water and introduced into an electrodeless bath composed of water, acid, buffer, reducing agent, nickel salt. It is preferable to immerse and rotate this base material in a circulation bath to improve the uniformity of the electrodeless plating solution.

무전극 욕의 내역은 다음과 같다.The breakdown of the electrodeless bath is as follows.

염화니켈(NiCl2·6H2O) 4oz/gal (30g/1)Nickel Chloride (NiCl 2 · 6H 2 O) 4oz / gal (30g / 1)

하이포인산나트륨(NaH2PO2·H2O) 1.3oz/gal(10g/1)Sodium hypophosphite (NaH 2 PO 2 · H 2 O) 1.3oz / gal (10g / 1)

구연산나트륨(Na3C6H5O7·5 1/2H2O)1.8oz/gal(14g/1)Sodium citrate (Na 3 C 6 H 5 O 7 · 5 1 / 2H 2 O) 1.8oz / gal (14g / 1)

볼화봉산(50%)(HBF4) 0.5oz/gal(4g/1) pH 4.0-5.5Volcanic Acid (50%) (HBF 4 ) 0.5 oz / gal (4 g / 1) pH 4.0-5.5

온도 194°F(90℃)Temperature 19 4 ° F (90 ° C)

용착속도 약 5 미크론(약 0.2mil)/시간Deposition rate about 5 microns (about 0.2 mil) / hour

무전극법으로 용착된 구리/인화구리의 층(16)을 가진 기재(8)는 제 4 도에 도시되어 있다. 구리/팔라듐 혹은 구리/금의 층은 도시된 기타의 성분에 비해 두께를 무시할 정도이기 때문에 도면에는 나타나 있지 않다.A substrate 8 having a layer 16 of copper / copper phosphide deposited by the electrodeless method is shown in FIG. The layer of copper / palladium or copper / gold is not shown in the figures because the thickness is negligible compared to the other components shown.

스탬퍼 표면의 열전도성 및 스탬퍼 본체를 열구배(勾配)는 무전극 니켈을 스탬퍼물질로 사용하에 의한 잇점을 좌우하는 중요한 물리적 특성이기 때문에 니켈(Ni)과 인(P)의 비율, 도금공정에서의 온도와 시간의 작용, 그리고 무전극 니켈의 층이 도금된 두께는 주어진 주형 및 주어진 열가소성물질, 그리고 사출성형법과 관련된 온도 및 압력에 대한 소정의 열특성을 발생시키도록 조절될 수 있는 변수들이다.The thermal conductivity of the surface of the stamper and the thermal gradient of the stamper body are important physical properties that influence the benefits of using electrodeless nickel as the stamper material, so the ratio of nickel (Ni) and phosphorus (P), in the plating process The action of temperature and time, and the thickness of the layer of electrodeless nickel plated, are variables that can be adjusted to produce certain thermal properties for a given mold and a given thermoplastic and the temperature and pressure associated with the injection molding process.

전형적으로, 무전극 니켈의 피복내에는 4-10%의 인(P)이 인화니켈의 형태로 포함되며, 이 피복은 제네랄 아메리칸 트랜스포테이션 코오포테이션(General American Transportation Corporation)의 "캐니켄(Kanigen)법"에 의해 1시간당 5미크론의 비율로 용착될 수 있다. 무전극 니켈도금법에서는 용착속도가 비교적 느리기 때문에, 스탬퍼의 전체 두께부분에 인화니켈을 형성시키는 것은 경제적으로 바람직하지도 않고 실제적으로 필요하지도 않다. 따라서, 무전극 인화니켈이 무전극 도금법에 의해 충분한 두께로 용착된 후, 비교적 얇은 무전극 인화니켈의 용착층을 가진 기재는 통상의 유전기법(galvanic procedure)에 도입되어서 무전극 니켈층에 대한 지지층을 형성함으로써, 더욱 부드럽고 더욱 편리하며 경제적인 전기도금된 금속 지지체를 가지게 된다. 전기도금된 금속은 크롬, 니켈, 몰리브덴, 철, 구리, 텅스텐으로 구성되는 군으로부터 선택될 수 있다. 이와같이 도금된 물품은 제 5 도에 도시되어 있는데, 즉 무전극 니켈층(16)은 비교적 두껍게 전기 도금된 금속 지지층(18)으로 덮여져 있다. 니켈을 전기용착시킴에 관한 상세한 설명은 상술한 바와 같은 버언즈와 브래들리의 저서 191-205면에 기재되어 있다.Typically, 4-10% of phosphorus (P) is contained in the form of nickel phosphide in a coating of electrodeless nickel, which is obtained from General American Transportation Corporation's "Canine". Kanigen) "can be deposited at a rate of 5 microns per hour. In the electrodeless nickel plating method, since the deposition rate is relatively slow, it is neither economically desirable nor practically necessary to form nickel phosphide in the entire thickness portion of the stamper. Therefore, after electrodeless nickel phosphide is deposited to a sufficient thickness by electrodeless plating, a substrate having a relatively thin electrodeless nickel phosphide deposition layer is introduced in a conventional galvanic procedure to support the electrodeless nickel layer. By forming a, it is possible to have a smoother, more convenient and economical electroplated metal support. The electroplated metal may be selected from the group consisting of chromium, nickel, molybdenum, iron, copper, tungsten. This plated article is shown in FIG. 5, that is, the electrodeless nickel layer 16 is covered with a relatively thick electroplated metal support layer 18. A detailed description of electrowelding nickel is described in the pages 191-205 of Buruns and Bradley as described above.

무전극 니켈은 어떠한 두께로도, 심지어는 스탬퍼의 전체 두께에 걸쳐서도 무전극 용착될 수 있기는 하지만 실제로는 단지 약 0.012-0.25mm의 두께로 도금되는 것이 통상적이다. 상술한 바와 같이 용착물의 고유한 특성 때문에 두꺼운 용착이 볼필요하다. 전기도금된 지지층(18)은 복합체 스탬퍼의 두께가 0.38-1.0mm정도로 될때까지 가하여질 수 있다. 특정한 용도에 있어서는, 무전극 니켈의 두께가 0.12mm정도 혹은 그 이상일 경우, 비금속 지지물질의 용착층을 형성시킬 것을 고려할 수도 있다.Electrodeless nickel can be electrodeless deposited to any thickness, even over the entire thickness of the stamper, but in practice it is typically plated to a thickness of only about 0.012-0.25 mm. Due to the inherent properties of the deposit as described above, a thick weld is necessary. The electroplated support layer 18 may be applied until the thickness of the composite stamper is about 0.38-1.0 mm. In certain applications, it may be considered to form a deposition layer of a nonmetallic support material when the thickness of electrodeless nickel is about 0.12 mm or more.

또한, 주조될 제품 및 스탬퍼의 열특성에 따라서, 무전극 니켈의 층은 0.012-0.25mm 범위의 두께로 피복될 수 있으며, 전기용착된 금속 지지층(18)은 0.12-10.0mm의 두께일 수 있다. 극단적으로, 약 1미크론의 두께로 단지 무전극 도금된 스탬퍼의 부호화 층이 비교적 두꺼운 층의 잇점을 최대한으로 제공할 수 있으리라고, 그리고 약 15분 내에 용착될 수 있다고 여겨진다. 그러나 무전극 니켈층에 대해 추전할만한 최소의 두께는 12미크론이다.Further, depending on the thermal properties of the product and the stamper to be cast, the layer of electrodeless nickel may be coated with a thickness in the range of 0.012-0.25 mm, and the electrodeposited metal support layer 18 may be 0.12-10.0 mm thick. . Extremely, it is believed that, with a thickness of about 1 micron, only the coding layer of an electrodeless plated stamper will provide the maximum benefit of a relatively thick layer, and can be deposited within about 15 minutes. However, the minimum thickness recommended for the electrodeless nickel layer is 12 microns.

한가지 예로서, 추전할 만한 최소 두께의 무전극 니켈을 가진 바람직할 스탬퍼는, 12미크론 두께의 무전극 니켈의 상부에 경질의 니켈로 된 지지층이 0.75mm까지의 두께로 도금법에 의해 용착된 것이다. 무전극 니켈층에 대해 필요한 최대 두께의 예로서는, 0.9mm 두께의 몰리브덴층을 가진 0.12mm 두께의 무전극 니켈층이 바람직하다.As one example, a preferred stamper with a minimum thickness of electrodeless nickel that is recommended is that a hard nickel support layer is deposited by plating to a thickness of up to 0.75 mm on top of electrodeless nickel of 12 microns thick. As an example of the maximum thickness required for the electrodeless nickel layer, a 0.12 mm thick electrodeless nickel layer with a 0.9 mm thick molybdenum layer is preferred.

역시 바람직하게는, 경질의 니켈 혹은 몰리브덴 지지층을 화학적 증착법에 의해 용착시킬 수도 있다. 예를들어, 몰리브덴 헥사카르보닐을 화학적 증착에 의해 비교적 경질의 몰리브덴을 용착시킬 수 있으며, 이에 의해 무전극 니켈의 용착속도보다는 상당히 짧은 시간내에 스탬퍼상의 전체 두께를 0.75mm 정도로 하여줄 수 있게 된다.Also preferably, the hard nickel or molybdenum support layer may be welded by chemical vapor deposition. For example, molybdenum hexacarbonyl can be deposited by chemical vapor deposition of relatively hard molybdenum, thereby making the total thickness of the stamper phase about 0.75 mm in a considerably shorter time than the deposition rate of electrodeless nickel.

제 6 도에 도시된 바와 같은 복합체 스탬퍼를 기재로부터 분리시키면, 니켈/인화니켈 층의 부호화 표면이 가열처리에 의해 경화될 수 있다. 이때, 4-10%의 인을 함유하며 나머지는 니켈인 용착물은 무정형의 구조를 가지고 있다. 열처리에 의하면, 인화니켈이 니켈 격자구조내에 형성되도록 하여줌으로써 석출 경화될 수 있도록 한다. 이때의 경도는 그와 같은 결정체의 양에 따라 제어되는데, 최대치는 약 400℃의 온도에서 얻어진다. 370℃-400℃ 범위로 스탬퍼를 열처리하면 무전극 니켈층의 경도가 40로크웰C 내지 70로크웰C로 증가한다. 오랜 시간 동안 고온(400℃ 이상)에 노출시키면 인화니켈 및 니켈결정 모두가 공동석출된다. 이에 의하면 전성(展性)이 있는 용착물을 얻을 수는 있으나, 경도가 침해된다.By separating the composite stamper from the substrate as shown in FIG. 6, the encoding surface of the nickel / nickel phosphide layer can be cured by heat treatment. At this time, it contains 4-10% of phosphorus and the remainder of nickel phosphorus deposit has an amorphous structure. According to the heat treatment, the nickel phosphide is formed in the nickel lattice structure so that it can be precipitated and hardened. The hardness at this time is controlled according to the amount of such crystals, the maximum being obtained at a temperature of about 400 ° C. The heat treatment of the stamper in the range of 370 ° C.-400 ° C. increases the hardness of the electrodeless nickel layer from 40 Rockwell C to 70 Rockwell C. Exposure to high temperatures (above 400 ° C.) for a long time results in co-precipitation of both nickel phosphide and nickel crystals. According to this, although the deposit with malleableness can be obtained, hardness is infringed.

이상에서는 사출성형법에서 사용되기 위한 개량된 스탬퍼에 대해 설명하였다. 스탬퍼에 대한 부호와 된 정보함유면으로서 무전극 니켈을 사용함에 의해 나타나는 개선점으로서는, 첫째, 경도가 증가하며, 둘째, 스탬퍼의 수명이 연장되고(순수한 니켈로 된 스탬퍼에 비하여 2-5배), 셋째, 워플효과가 나타남이 없으며, 넷째, 윤활특성이 우수하므로 주조제품의 분리상태가 개선되어 오렌지껍질효과 및 쟁기효과가 나타나지 않고, 또한 열전도성이 낮으므로 용융 플래스틱이 주형공극부를 채울 때에 이 플래스틱의 조속경화를 방지할 수 있다. 무전극 니켈의 층은 습윤성이 양호하므로 용착물은 윤활제가 잘 먹혀들어가지 않는 크롬과는 달리 자연적인 질의 윤활성을 갖게 된다. 피복은 영구히 지속되는 확실한 불활성을 유지하며 많은 종류의 유기산과 무기산 및 화학약품에 대한 저항성을 갖는다.The foregoing describes an improved stamper for use in the injection molding method. Improvements made by using electrodeless nickel as the sign and information bearing surface for the stamper include, firstly, increased hardness, and secondly, the life of the stamper is extended (2-5 times compared to a pure nickel stamper), Third, there is no waffle effect. Fourth, because of excellent lubrication properties, the separation state of cast products is improved, and the orange peel effect and plow effect are not shown. Also, since the thermal conductivity is low, when the molten plastic fills the mold cavity, Can prevent hardening Since the electrodeless nickel layer has good wettability, the deposit has a natural lubricity unlike chromium in which the lubricant is not well fed. The coating maintains a definite inertness that lasts forever and is resistant to many types of organic and inorganic acids and chemicals.

이상에서는 본 발명을 도시된 바와 같은 특정한 실시예에 대하여서만 설명하였으나 특허청구의 범위에 정의된 바와 같은 본 발명의 개념을 벗어남이 없이도 여러가지 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다.While the invention has been described only with respect to specific embodiments as shown, of course, various modifications and changes can be made without departing from the concept of the invention as defined in the claims.

Claims (22)

팔라듐 및 금으로 구성되는 군으로부터 선택된 금속의 핵으로 된 비교적 얇은 도금촉매(plating catalyst)층을 기록된 정보를 나타내는 미세한 요부를 포함하는 광저항성층으로 피복된 유리기질상에 용착시키고; 하이포인산나트륨을 함유하는 니켈도금욕내에서 상기 도금촉매층을 무전극 니켈도금시킴으로써 0.012 내지 0.25mm 범위의 두께를 가지며 대응 열전도도가 0.011 내지 0.014Cal/cm/sec/℃ 범위인 무전극 니켈 피복을 형성시키고; 지지금속의 층을 상기 무전극 니켈피복상에 용착시키고; 및 상기 광저항성층을 상기 무전극 니켈 피복으로부터 분리시켜서 형성된 복합체 스탬퍼를 상기 기질로부터 제거시키는 단계들로 구성되는, 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼의 제조 방법.Depositing a relatively thin plating catalyst layer of nuclei of a metal selected from the group consisting of palladium and gold on a glass substrate coated with a photoresist layer comprising fine recesses representing the recorded information; Electroless nickel plating of the plating catalyst layer in a nickel plating bath containing sodium hypophosphate provides an electrodeless nickel coating having a thickness in the range of 0.012 to 0.25 mm and a corresponding thermal conductivity in the range of 0.011 to 0.014 Cal / cm / sec / ° C. To form; Depositing a layer of support metal on the electrodeless nickel coating; And removing the composite stamper formed by separating the photoresist layer from the electrodeless nickel coating, from the substrate. 17. A method of manufacturing a stamper for forming an optically readable information bearing member. 제 1 항에 있어서, 상기 용착단계에는 지지금속의 층을 0.1 내지 1.0mm 범위의 두께로 전기용착 하는 것이 포함되는 방법.The method of claim 1, wherein the welding step includes electrowelding a layer of the supporting metal to a thickness in the range of 0.1 to 1.0 mm. 제 2 항에 있어서, 상기 전기용착된 지지금속의 층이 크롬, 니켈, 몰리브덴, 철 및 텅스텐으로 구성되는 군으로부터 선택되는 방법.3. The method of claim 2 wherein the layer of electrowelded support metal is selected from the group consisting of chromium, nickel, molybdenum, iron and tungsten. 제 1 항에 있어서, 상기 용착단계는 상기 무전극 니켈의 상기 피복의 상부에서 몰리브덴 헥사카르보닐의 화학적 증착(vapor deposition)을 수행하는 것으로 이루어지는 방법.The method of claim 1, wherein the depositing step comprises performing chemical vapor deposition of molybdenum hexacarbonyl on top of the coating of electrodeless nickel. 제 1 항에 있어서, 상기 무전극 니켈내의 인(P)의 함량이 인화니켈(nickel phosphide)의 형태로 4중량% 내지 8중량%의 범위인 방법.The method of claim 1, wherein the content of phosphorus (P) in the electrodeless nickel is in the range of 4% to 8% by weight in the form of nickel phosphide. 제 1 항에 있어서, 상기 분리단계에서는 상기 형성된 복합체 스탬퍼를 370℃ 내지 400℃ 범위의 온도로 가열함으로써 상기 무전극 니켈 피복을 40로크웰C 내지 70로크웰C의 경도로 경화시키는 단계가 포함되는 방법.The method of claim 1, wherein the separating step comprises curing the electrodeless nickel coating to a hardness of 40 Rockwell C to 70 Rockwell C by heating the formed composite stamper to a temperature in the range of 370 ° C to 400 ° C. 제 1 항에 있어서, 상기 도금단계에는 피복을 1 내지 8 미크론의 두께로 무전극 도금(electroless plating)하는 것이 포함되며, 상기 용착단계에는 지지금속의 층을 0.12 내지 1.0mm 범위의 두께로 전기용착하는 것이 포함되는 방법.The method of claim 1, wherein the plating step includes electroless plating of the coating to a thickness of 1 to 8 microns, and the welding step is performed by welding the layer of the supporting metal to a thickness in the range of 0.12 to 1.0 mm. How to do. 표면 불연속부의 형태로 정보가 함유되어 있는 정보함유면을 기질상에 제조하고; 무전극 니켈의 피복을 상기 기질의 정보함유면 전체에 걸쳐서 도금하고; 이 피복상에 지지물질을 용착시킴으로써 상기 기질 정보함유면에 보완적인 무전극 니켈 정보함유면을 갖는 복합체 스탬퍼를 형성시키고; 상기 도금단계와 상기 용착단계의 도중에 상기 피복과 상기 지지물질의 두께를 각각 조절함으로써 이 피복의 정보함유면에서의 스탬퍼의 열전달율이 이 스탬퍼와 동일 두께의 니켈의 열전달율의 1/5 내지 1/100인 예정된 값을 갖도록 하고; 이와같이 형성된 복합체 스탬퍼를 기질로부터 분리시키는 단계들로 구성되는 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼의 제조방법.Preparing an information containing surface containing information in the form of a surface discontinuity on a substrate; Coating a coating of electrodeless nickel over the entire information-bearing surface of the substrate; Depositing a support material on the coating to form a composite stamper having a complementary electrodeless nickel information containing surface on the substrate information containing surface; During the plating step and the welding step, the thicknesses of the coating and the supporting material are adjusted, respectively, so that the heat transfer rate of the stamper on the information-bearing surface of the coating is 1/5 to 1/100 of the heat transfer rate of nickel having the same thickness as this stamper. To have a predetermined value; A method of manufacturing a stamper for forming an optically readable information-containing member comprising the steps of separating the thus formed composite stamper from a substrate. 무전극 니켈층의 열전도도가 0.011 내지 0.014Cal/cm/sec/℃ 범위의 예정된 값을 갖도록 하는 인(P)함량을 갖는 무전극 니켈로 되어 있으며 그 한쪽 표면 상에는 정보함유면이 있는 비교적 얇은 무전극 니켈층과, 이 무전극 니켈층의 정보함유면이 없는 표면에 분자적으로 결합되어 있는 비교적 두꺼운 지지층으로 구성되는 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼.It is made of electrodeless nickel with phosphorus (P) content so that the thermal conductivity of the electrodeless nickel layer has a predetermined value in the range of 0.011 to 0.014Cal / cm / sec / ° C. A stamper for forming an optically readable information bearing member composed of an electrode nickel layer and a relatively thick support layer molecularly bonded to the surface of the electrodeless nickel layer without the information bearing surface. 제 9 항에 있어서, 상기 무전극 니켈층의 두께는 0.012 내지 0.25mm의 범위이며, 상기 지지층은 두께가 0.12 내지 1.0mm 범위인 금속층인 스탬퍼.The stamper of claim 9, wherein the electrodeless nickel layer has a thickness in the range of 0.012 to 0.25 mm, and the support layer is a metal layer having a thickness in the range of 0.12 to 1.0 mm. 제 10 항에 있어서, 상기 금속이 크롬, 니켈, 몰리브덴, 철 및 텅스텐으로 구성되는 군으로부터 선택되는 스탬퍼.11. The stamper of claim 10, wherein said metal is selected from the group consisting of chromium, nickel, molybdenum, iron and tungsten. 제 9 항에 있어서, 상기 무전극 니켈층의 정보함유면 상에는 팔라듐과 금으로 구성되는 군으로부터 선택된 금속의 핵으로 된 층이 있는 스탬퍼.10. The stamper according to claim 9, wherein a nucleus layer of a metal selected from the group consisting of palladium and gold is provided on the information containing surface of the electrodeless nickel layer. 제 9 항에 있어서, 상기 무전극 니켈내의 인(P)의 함량이 인화니켈의 형태로 4중량% 내지 8중량%의 범위인 스탬퍼.The stamper according to claim 9, wherein the content of phosphorus (P) in the electrodeless nickel is in the range of 4 wt% to 8 wt% in the form of nickel phosphide. 제 9 항에 있어서, 상기 무전극 니켈층의 경도가 40로크웰C 내지 70로그웰C인 스탬퍼.The stamper according to claim 9, wherein the electrodeless nickel layer has a hardness of 40 Rockwell C to 70 Logwell C. 제 9 항에 있어서, 상기 무전극 니켈층의 두께는 1 내지 8미크론이며, 상기 지지층은 두께가 0.12내지 1.0mm 범위인 금속으로 이루어지는 스탬퍼.10. The stamper of claim 9, wherein the electrodeless nickel layer has a thickness of 1 to 8 microns and the support layer has a thickness in the range of 0.12 to 1.0 mm. 한쪽 표면상에 정보함유면을 갖는 비교적 얇은 무전극 니켈층과, 이 무전극 니켈층의 정보함유면이 없는 표면에 분자적으로 결합되어 있는 비교적 두꺼운 지지층으로 구성되며, 무전극 니켈층과 지지층의 두께는 이 무전극 니켈층의 정보함유면에서의 열전달율이 복합체 스탬퍼와 동일 두께의 니켈의 열전달율의 1/5 내지
Figure kpo00001
이 되기에 충분하도록 서로 상대적으로 결합된 두께로 되어 있는, 광학적으로 독취 가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼.
It consists of a relatively thin electrodeless nickel layer having an information-bearing surface on one surface, and a relatively thick support layer molecularly bonded to the surface of the electrodeless nickel layer without the information-containing surface thereof. The thickness of the electrodeless nickel layer is 1/5 to 1/5 of the heat transfer rate of nickel having the same thickness as that of the composite stamper.
Figure kpo00001
A stamper for forming an optically readable information bearing member, the thicknesses being relatively bonded to each other to be sufficient.
표면 불연속부의 형태로 정보가 함유되어 있는 정보함유면을 기질상에 제조하고, 무전극 니켈의 피복을 상기 기질의 정보함유면 전체에 걸쳐서 도금욕 내에서 도금하고, 이와같이 형성된 스탬퍼를 기질로부터 분리하고, 이 스탬퍼를 370℃ 내지 400℃ 범위의 온도로 가열함으로써 이 스탬퍼를 40로크웰C 내지 70로크웰C의 경도로 경화시키는 단계들로 구성되는 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼의 제조방법.An information-containing surface containing information in the form of surface discontinuities is prepared on a substrate, a coating of electrodeless nickel is plated in a plating bath over the information-containing surface of the substrate, and the stamper thus formed is separated from the substrate. And a method of producing a stamper for forming an optically readable information bearing member comprising the steps of curing the stamper to a hardness of 40 Rockwell C to 70 Rockwell C by heating the stamper to a temperature in the range of 370 ° C. to 400 ° C. . 제 17 항에 있어서, 상기 도금단계에는 무전극 니켈의 피복을 0.12 내지 1.0mm 범위의 두께로 무전극 도금하는 것이 포함되는 방법.18. The method of claim 17, wherein the plating step comprises electrodeless plating the electrodeless nickel coating to a thickness in the range of 0.12 to 1.0 mm. 제 17 항에 있어서, 상기 정보함유면에는 광저항성 층이 포함되며, 상기 기질은 유리로 되어있고, 상기 표면 불연속부는 광저항성층내의 미세한 요부이며, 상기 무전극 도금단계의 앞에는, 팔라듐과 금으로 구성되는 군으로부터 선택된 금속의 핵으로 된 비교적 얇은 층을 상기 광저항성 층의 표면상에 용착시켜 상기 도금 단계에 대한 촉매로서의 역할을 하게 함으로써 상기 광저항성 층의 표면을 촉매화시키는 단계가 더욱 포함되는 방법.18. The surface of claim 17, wherein the information containing surface includes a photoresist layer, the substrate is made of glass, the surface discontinuity is a fine recess in the photoresist layer, and before the electrodeless plating step, palladium and gold. Catalyzing the surface of the photoresist layer by depositing a relatively thin layer of nuclei of a metal selected from the group consisting on the surface of the photoresist layer to serve as a catalyst for the plating step. . 한쪽 표면상에 정보함유면을 갖는 무전극 니켈의 층으로 구성되며 이 무전극 니켈의 두께는 0.12 내지 1.0mm 범위인, 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼.A stamper for forming an optically readable information bearing member, comprising a layer of electrodeless nickel having an information bearing surface on one surface, the thickness of the electrodeless nickel being in the range of 0.12 to 1.0 mm. 표면 불연속부의 형태로 정보가 함유되어 있는 정보함유면을 기질상에 제조하고; 무전극 니켈의 피복을 상기 기질의 정보함유면 전체에 걸쳐서 도금욕내에서 도금하고; 이 피복상에 지지물질을 용착시킴으로써 기질의 정보함유면에 보완적인 무전극 니켈 정보함유면을 갖는 복합체 스탬퍼를 형성시키고; 이와같이 형성된 복합체 스탬퍼를 기질로부터 분리시키고, 이 스탬퍼를 370℃ 내지 400℃ 범위의 온도로 가열함으로써 상기 피복을 40로크웰C 내지 70로크웰C의 경도로 경화시키는 단계들로 구성되는, 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼의 제조방법.Preparing an information containing surface containing information in the form of a surface discontinuity on a substrate; A coating of electrodeless nickel is plated in the plating bath over the entire information bearing surface of the substrate; Depositing a support material on the coating to form a composite stamper having an electrodeless nickel information containing surface complementary to the information containing surface of the substrate; Optically readable information consisting of separating the thus formed composite stamper from a substrate and curing the coating to a hardness of 40 Rockwell C to 70 Rockwell C by heating the stamper to a temperature in the range of 370 ° C. to 400 ° C. Method for producing a stamper for forming the containing member. 한쪽 표면상에 정보함유면을 가지고 있으며 40로크웰C 내지 70로크웰C의 경도를 갖는 비교적 얇은 무전극 니켈층과, 이 무전극 니켈층의 정보함유면이 없는 표면에 분자적으로 결합되어 있는 비교적 두꺼운 지지층으로 구성되는, 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼.A relatively thick electrodeless nickel layer having an information-bearing surface on one surface and having a hardness between 40 Rockwell C and 70 Rockwell C, and a relatively thick molecular bond to the surface of the electrodeless nickel layer having no information bearing surface. A stamper for forming an optically readable information bearing member, comprising a support layer.
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