KR850000306A - Casting stamper and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

내용 없음.No content.

Description

주조 스탬퍼 및 그의 제조방법Casting stamper and manufacturing method thereof

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음Since this is an open matter, no full text was included.

제1도는 광학적으로 독취가능한 정보함유 디스크를 형성시키기 위한 스탬퍼의 정보함유면을 다소 과장하여 나타낸 부분 확대도.1 is a partially enlarged view showing a somewhat exaggerated information bearing surface of a stamper for forming an optically readable information containing disk.

제2도는 광저항성의 물질로 피복된 기질에서 이 광저항성 층을 현상하기 전의 상태를 나타내느 부분 단면도.2 is a partial cross-sectional view showing a state before developing this photoresist layer on a substrate coated with a photoresist material.

제3도는 광저항성의 물질로 피복된 제2도의 기질에서 이 광저항성 층을 현상한 후의 상태를 나타내는 부분 단면도.FIG. 3 is a partial sectional view showing a state after developing the photoresist layer on the substrate of FIG. 2 coated with a photoresist material. FIG.

제4도는 제3도에 도시된 바와 같이 현상된 기질의 광저항성 표면상에 니켈/인화니켈 합급의 최초 층을 무전극법으로 침착시킨 상태를 나타내는 부분 단면도.4 is a partial cross-sectional view showing a state in which the first layer of nickel / nickel phosphide alloy was deposited by the electrodeless method on the photoresist surface of the developed substrate as shown in FIG.

제5도는 제4도에 도시된 최초 층의 상부에 지지물질의 또다른 층을 침착시킨 상태를 나타내는 부분단면도.FIG. 5 is a partial sectional view showing a state in which another layer of support material is deposited on top of the first layer shown in FIG.

제6도는 무전극법으로 침착된 최초 층과 지지물질의 또다른 층으로 이루어진복합체로 된 스탬퍼를 기질로부터 분리시킨 상태를 나타내는 부분 단면도이다.FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing a state in which a stamper made of a composite composed of the first layer deposited by the electrodeless method and another layer of the support material is separated from the substrate.

Claims (23)

표면불연속부의 형태로 정보가 함유되어 있는 정보함유면을 기질상에 제조하고, 하이포인산 나트륨을 함유하는 니켈도금욕(浴)내에서 무전극 니켈의 피복을 상기 기질의 정보함유면 전체에 걸쳐서 도금하고, 이 피복의 열전도도가 0.0060내지 0.0080Cal/cm/sec/°F 범위의 예정된 값을 갖도록 상기 도금욕내의 하이포인산 나트륨의 함량으 조절하고, 상기 피복상에 지지물질을 침착시킴으로써 기질의 정보함유면에 보완적인 무전극 니켈정보함유면을 갖는 복합체 스탬퍼를 형성시키고, 이와같이 형성된 복합체 스탬퍼를 기질로부터 분리시키는 단계들로 구성되는 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼를 제조하는 방법.An information-containing surface containing information in the form of a surface discontinuity is prepared on a substrate, and a coating of electrodeless nickel is plated over the information-containing surface of the substrate in a nickel plating bath containing sodium hypophosphate. And controlling the content of sodium hypophosphate in the plating bath so as to have a predetermined value in the range of 0.0060 to 0.0080 Cal / cm / sec / ° F, and depositing a support material on the coating to obtain the substrate information. A method of manufacturing a stamper for forming an optically readable information bearing member, comprising: forming a composite stamper having a complementary electrodeless nickel information bearing surface on a containing surface, and separating the composite stamper thus formed from a substrate. 제1항에 있어서, 상기 도금단계에는 무전극 니켈의 피복을 0.5내지 10mil 범위위 두께로 도금하는 것이 포함되고, 상기 침착단계에는 지지금속의 층을 약 5내지 40mil의 두께로 전기침착하는 것이 포함되는 방법.The method of claim 1, wherein the plating step comprises plating a coating of electrodeless nickel to a thickness in the range of 0.5 to 10 mils, and the depositing step includes electrodepositing a layer of support metal to a thickness of about 5 to 40 mils. How to be. 제2항에 있어서, 상기 전기침착된 금속이 크롬, 니켈 몰리브덴, 철, 텅스텐으로 구성되는 군으로부터 선택되는 방법.The method of claim 2, wherein the electrodeposited metal is selected from the group consisting of chromium, nickel molybdenum, iron, tungsten. 제1항에 있어서, 상기 정보함유면에는 광저항성 충이 포함되며, 상기 기질은 유리도 되어있고, 상기표면불연속부는 광저항성 충내의 미세한 요부(凹部)이며, 상기 무전극 도금단계의 앞에는, 팔라듐과 금으로 구성되는 군으로부터 선택된 금속의 핵으로 된 비교적 얇은 층을 상기 광저항성 층의 표면상에 침착시켜 상기 도금단계에 대한 촉매로서의 역할을 하게 함으로써 상기 광저항성 층의 표면을 촉매화시키는 단계가 더욱 포함되는 방법.The surface of claim 1, wherein the information-containing surface includes a photoresist, the substrate is made of glass, and the surface discontinuity is a fine recess in the photoresist, and before the electrodeless plating step, palladium and Catalyzing the surface of the photoresist layer by depositing a relatively thin layer of nuclei of a metal selected from the group consisting of gold on the surface of the photoresist layer to serve as a catalyst for the plating step. How to be. 제1항에 있어서, 상기 침착단계는 무전극 니켈피복의 상부에서 몰리브덴 헥사카르보닐의 화학적 기포분해법을 수행하는 것으로 이루어지는 방법.The method of claim 1, wherein the depositing step comprises performing chemical bubble decomposition of molybdenum hexacarbonyl on top of the electrodeless nickel coating. 제1항에 있어서, 상기 무전극 니켈내의 인(P)의 함량이 인화니켈(nickel phosphide)의 형태로 4중량％내지 8중량％의 범위인 방법.The method of claim 1, wherein the content of phosphorus (P) in the electrodeless nickel is in the range of 4% to 8% by weight in the form of nickel phosphide. 제1항에 있어서, 상기 분리단계의 다음에, 스탬퍼를 약 400℃이하의 온도로 가열함으로써 상기 피복을 40° 로크웰 C내지 70°로크웰 C의 경도로 경화시키는 단계가 더욱 포함되는 방법.The method of claim 1, further comprising, after the separating step, curing the coating to a hardness of 40 ° Rockwell C to 70 ° Rockwell C by heating the stamper to a temperature of about 400 ° C. or less. 제1항에 있어서, 상기 도금단계에는 피복을 1내지 8미크론의 두께로 무전극 도금(electroless plating)하는 것이 포함되며, 상기 침착단계에는 지지금속의 층을 약 5내지 40mil의 두께로 전기침착하는 것이 포함되는 방법.2. The method of claim 1, wherein the plating step comprises electroless plating the coating to a thickness of 1 to 8 microns, wherein the depositing step comprises electrodepositing a layer of support metal to a thickness of about 5 to 40 mils. How it is included. 표면불연속부의 형태로 정보가 함유되어 있는 정보함유면을 기질상에 제조하고, 무전극 니켈의 피복을 상기 기질의 정보함유면 전체에 걸쳐서 도금하고, 이 피복상에 지지물질을 침착시킴으로써 상기 기질의 정부함유면에 보완적인 무전극 니켈 정보함유면을 갖는 복합체스탬퍼를 형성시키고, 상기 도금단계와 상기 침착단계의 도중에 상기 피복과 상기 지지물질의 두께를 각각 조절함으로써 이 피복의 정보함유면에서의 스탬퍼의 열전단율이 이 스탬퍼와 동일 두께의 니켈의 열전달율의 1/5내지 1/100인 예정된 값을 갖도록 하고 이와같이 형성된 복합체 스탬퍼를 기질로부터 분리시키는 단계들로 구성되는, 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼를 제조하는 방법.An information-containing surface containing information in the form of a surface discontinuity is prepared on a substrate, a coating of electrodeless nickel is plated over the information-containing surface of the substrate, and a supporting material is deposited on the coating to deposit the support material. Stamper on the information-bearing surface of the coating by forming a composite stamper having a complementary electrodeless nickel information-bearing surface on the government containing surface, and adjusting the thickness of the coating and the support material respectively during the plating and deposition steps. An optically readable information-bearing member, comprising steps of separating the composite stamper thus formed from a substrate so that the thermal conductivity of the film has a predetermined value of 1/5 to 1/100 of the heat transfer rate of nickel of the same thickness as this stamper. A method of making a stamper for forming. 무전극 니켈층의 열전도도가 0.0060내지 0.0080Cal/cm/sec/°F인 범위의 예정된 값을 갖도록 하는 인(P)함량을 갖는 무전극 니켈로 되어 있으며 그 한쪽 표면상에는 정보함유면이 있는 비교적 얇은 무전극 니켈층과, 이 무전극 니켈층의 정보함유면이 없는 표면에 분자적으로 결합되어 있는 비교적 두꺼운 지지층으로 구성되는 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼.It is made of electrodeless nickel with phosphorus (P) content so that the thermal conductivity of the electrodeless nickel layer has a predetermined value in the range of 0.0060 to 0.0080 Cal / cm / sec / ° F. A stamper for forming an optically readable information-containing member comprising a thin electrodeless nickel layer and a relatively thick support layer molecularly bonded to the surface of the electrodeless nickel layer without the information-containing surface thereof. 제10항에 있어서, 상기 무전극 니켈층의 두께는 0.5내기 10mil의 범위이며, 상기 지지층은 두께가 약 5내지 40mil인 금속층인 스탬퍼.The stamper of claim 10, wherein the electrodeless nickel layer has a thickness in the range of 0.5 to 10 mils, and the support layer is a metal layer having a thickness of about 5 to 40 mils. 제11항에 있어서, 상기 금속이 크롬, 니켈, 몰리브덴, 철, 텅스텐으로 구성되는 군으로부터 금속의 핵으로 된 층이 있는 스탬퍼.12. The stamper of claim 11, wherein the metal is a nucleus layer of metal from the group consisting of chromium, nickel, molybdenum, iron, tungsten. 제10항에 있어서, 상기 무전극 니켈층의 정보함유면상에는 팔라듐과 금으로 구성되는 군으로부터 금속의 핵으로 된 층이 있는 스탬퍼.The stamper according to claim 10, wherein on the information-bearing surface of the electrodeless nickel layer, there is a layer of nuclei of metal from the group consisting of palladium and gold. 제10항에 있어서, 상기 무전극 니켈내의 인(P)의 함량이 인화니켈의 형태로 4중량％ 내지 8중량％의 범위인 스탬퍼.The stamper according to claim 10, wherein the content of phosphorus (P) in the electrodeless nickel is in the range of 4% by weight to 8% by weight in the form of nickel phosphide. 제10항에 있어서, 상기 무전극 니켈층의 경도가 40° 로크웰C 내지 70° 로크웰C인 스탬퍼.The stamper of claim 10, wherein the electrodeless nickel layer has a hardness of 40 ° Rockwell C to 70 ° Rockwell C. 제10항에 있어서, 상기 무전극 니켈층의 두께는 1내지 8미크론이며, 상기 지지층은 두께가 약 5내지 40mil인 금속으로 이루어진 스탬퍼.The stamper of claim 10, wherein the electrodeless nickel layer has a thickness of 1 to 8 microns and the support layer is about 5 to 40 mils thick. 한쪽 표면상에 정보할유면을 갖는 비교적 얇은 무전극 니켈층과, 이 무전극 니켈층의 정보함유면이 없는 표면에 분자적으로 결합되어 있는 비교적 두꺼운 지지층으로 구성되며, 무전극 니켈층과 지지층의 두께는 이 무전극 니켈층의 정보함유면에서의 열전단율이 복합체 스탬퍼와 동일두께의 니켈의 열전단율의 1/5 내지 1/100이 되기에 충분하도록 서로 상대적으로 결합된 두께로 되어있는, 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼.It consists of a relatively thin electrodeless nickel layer having an information storage surface on one surface, and a relatively thick support layer molecularly bonded to the surface without the information containing surface of the electrodeless nickel layer. The thickness is optically coupled to each other such that the thermal shear rate at the information containing surface of the electrodeless nickel layer is sufficient to be 1/5 to 1/100 of the thermal shear rate of nickel having the same thickness as the composite stamper. A stamper for forming a readable information containing member. 표면불연속부의 형태로 정보가 함유되어 있는 정보함유면을 기질상에 제조하고, 무전극 니켈의 피복을 상기 기질의 정보함유면을 전체에 걸쳐서 도금욕내에서 도금하고, 이와같이 형성된 스탬퍼를 기질로부터 분리하고, 이 스탬퍼를 약 400℃ 이하의 온도로 가열함으로써 이 스탬퍼를 40° 로크웰C 내지 70° 로크웰C의 경도로 경화시키는 단계들로 구성되는 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼를 제조하는 방법.An information-containing surface containing information in the form of a surface discontinuity is prepared on a substrate, and a coating of electrodeless nickel is plated throughout the information-containing surface of the substrate in a plating bath, and the stamper thus formed is separated from the substrate. Heating the stamper to a temperature of about 400 ° C. or less to cure the stamper to a hardness of 40 ° Rockwell C to 70 ° Rockwell C, thereby producing a stamper for forming an optically readable information bearing member. Way. 제18항에 있어서, 상기 도금단계에는 무전극 니켈의 피복을 5내지 40mil 범위의 두께로 무전극 도금하는 것이 포함되는 방법.19. The method of claim 18, wherein the plating step comprises electrodeless plating the electrodeless nickel coating to a thickness ranging from 5 to 40 mils. 제18항에 있어서, 상기 정보함유면에는 광저항성 층이 포함되며, 상기 기질은 유리로 되어있고, 상기 표면불연속부는 광저항성 층내의 미세한 요부이며, 상기 무전극 도금단계의 앞에는, 팔라듐과 금으로 구성되는 군으로부터 선택된 금속의 핵으로 된 비교적 얇은 층을 상기 광저항성 층의 표면상에 침착시켜 상기 도금단계에 대한 촉매로서의 역할을 하게 함으로써 상기 광저항성 층의 표면을 촉매화시키는 단계가 더욱 포함되는 방법.19. The surface of claim 18, wherein the information containing surface includes a photoresist layer, the substrate is made of glass, the surface discontinuity is a fine recess in the photoresist layer, and before the electrodeless plating step, palladium and gold are used. Catalyzing the surface of the photoresist layer by depositing a relatively thin layer of nuclei of a metal selected from the group consisting on the surface of the photoresist layer to serve as a catalyst for the plating step. . 한쪽 표면상에 정보함유면을 갖는 무전극 니켈의 층으로 구성되며 이 무전극 니켈의 두께는 5내지 40mil인, 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼.A stamper for forming an optically readable information bearing member, comprising a layer of electrodeless nickel having an information bearing surface on one surface, wherein the electrodeless nickel has a thickness of 5 to 40 mils. 표면불연속부의 형태로 정보가 함유되어 있는 정보함유면을 기질상에 제조하고, 무전극 니켈이 피복을 상기 기질의 정보함유면 전체에 걸쳐서 도금욕내에서 도금하고, 이 피복상에 지지물질을 침착시킴으로써 기질의 정보함유면에 보완적인 무전극 니켈 정보함유면을 갖는 복합체 스템퍼를 형성시키고, 이와같이 형성된 복합체 스탬퍼를 기질로부터 분리시키고, 이 스탬퍼를 약 400℃ 이하의 온도로 가열함으로써 상기 피복을 40° 로크웰C 내지 70° 로크웰C의 경도로 경화시키는 단계들로 구성되는 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼를 제조하는 방법.An information-containing surface containing information in the form of a surface discontinuity is prepared on a substrate, and electrodeless nickel is plated in a plating bath over the entire information-containing surface of the substrate, and the supporting material is deposited on the coating. The coating is 40 ° by forming a composite stamper having a complementary electrodeless nickel information containing surface on the substrate, separating the composite stamper thus formed from the substrate, and heating the stamper to a temperature of about 400 ° C. or less. A method of making a stamper for forming an optically readable information bearing member, comprising steps of curing to a hardness of Rockwell C to 70 ° Rockwell C. 한쪽 표면상에 정보함유면을 가지고 있으며 40° 로크웰C 내지 70° 로크웰C의 경도로 갖는 비교적 얇은 무전극 니켈층과, 이 무전극 니켈층의 정보함유면이 없는 표면에 분자적으로 결합되어 있는 비교적 두꺼운 지지층으로 구성되는, 광학적으로 독취가능한 정보함유부재를 형성시키기 위한 스탬퍼.A relatively thin electrodeless nickel layer having an information-bearing surface on one surface and having a hardness of 40 ° Rockwell C to 70 ° Rockwell C, and molecularly bonded to the surface without the information-bearing surface of the electrodeless nickel layer. A stamper for forming an optically readable information bearing member, comprising a relatively thick support layer. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.
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