KR850008360A - 진공 스퍼터링 장치 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

진공 스퍼터링 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 양호한 실시예에 따른 스퍼터링 장치의 개요도.
제2도는 본 발명의 양호한 실시예에 따른 자기회로와 냉각구조를 갖는 제3도의 2-2라인을 절취한 타깃 조합체의 단면도.
제5도는 본 발명의 일실시예에 대한 개요도.
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명.
11:마그네트론 스퍼터링 장치 12:진공실 13:침전실 14:작업편 15:캐소드조립체 16:하우징 18:DC전원 19:불활성기체원 20:진공펌프 22,23:타깃소자 24:원자방출면 26,32:베이스 37,38:DC전원 29,30:코일 39:제어기 33:중심스터드 34,35:링 36:플랜지.

Claims (14)

  1. 타깃수단으로부터의 재료를 작업편상으로 스퍼터되도록 하는 진공 스퍼터링 장치에 있어서, 타깃수단이 각각의 제1, 제2타깃을 포함하며, 상기 장치가 타깃과 작업편간에 존재하는 진공되도록 채택될 공간으로 이온화 가능한 가스를 공급하기 위한 수단과, 제1, 제2타깃의 방출면상에 직접 이온화된 가스내에 각각의 제1, 제2방전을 설정시키기 위한 수단과 방출된 재료가 평면형 방출면으로부터 배치된 각도로 제1타깃의 외측에 제2타깃의 방출면으로부터 스퍼터되도록 타깃을 장착시키기 위한 수단을 포함하며, 상기 방전설정수단이 제1, 제2타깃상의 가스용 제1, 제2이온화 전장을 설정하기 위한 수단과, 제1, 제2타깃의 방출면의 근방에 전장에 의해 이온화된 가스용 한정자장을 설정하기 위한 수단을 포함하며, 상기 자장한정수단이 제1, 제2타깃을 통한 제1, 제2자기회로를 포함하며, 상기 제1자기회로가 제1자장으로부터의 자력설을 제1타깃으로 결합시키기 위한 제1, 제2폴편을 포함하며, 상기 제2자기회로가 제2자장으로부터의 자력선을 제2타깃으로 결합시키기 위한 제2, 제3폴편을 포함하며, 자기회로 및 자장원이 제1, 제2자장원으로부터의 자력선이 제2폴편을 통해 반대방향으로 흐르도록 배열되는 것을 특징으로 하는 진공 스퍼터링 장치.
  2. 제1항에 있어서, 제1, 제2자장의 대응크기를 조정하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공스퍼터링 장치.
  3. 제1항에 있어서, 제1, 제2타깃의 방출면이 각각 평면 및 요면형이며, 요면형면이 원추의 절두체의 측벽으로서 구성되며, 폴편이 평면 및 요면형면에 가까이 존재하는 자력선이 평면 및 요면형면에 평행하게 존재하도록 배열될 것을 특징으로 하는 진공스퍼터링 장치.
  4. 제3항에 있어서, 펑면형 방출면이 내경 R1, 외경 R2인 환상형 구조를 하며, 요면형 방출면은 환상형 평면방출면의 가로축을 중심으로 대칭이며, 내경 R3, 외경 R4(여기에서, R1<R2<R3<R4)를 가지며, 폴편은 반경 R1근방의 제1타깃의 경계를 가로지르는 자력설이 반경 R2근방의 제1타깃의 경계를 가로지르도록 하여, 반경 R3근방의 제2타깃의 경계를 가로지르는 자력설이 반경 R4근방의 제2타깃의 경계를 가로지르도록 배열되는 것을 특징으로 하는 진공스퍼터링 장치.
  5. 제4항에 있어서, 제1, 제2자장원이 가로축과 동심인 제1, 제2자장원을 포함하고, 각각 가로축에 인접하고, 가로축과 떨어진 반경을 가지며, 제1폴편이 제1원으로부터의 자력선을 평면형 방출면 근방과 제1타깃으로 결합시키기 위해 가로축을 따라 연장되는 중앙폴편으로 이루어지며, 제2폴편이 제1원으로부터의 자력선이 평면형 방출면의 외경의 근방에 평면형 방출면의 경계를 가로지르도록 제1타깃과 평면형 근방을 통해 축방향으로 제1원으로부터의 자력선을 결합하고, 제2타깃과 근방을 통해 요면형 방출면으로 제2원으로부터의 자력선이 흐르도록 결합하기 위해 가로축방향으로 연장되는 중간폴편으로 이루어지며 제1, 제2원으로부터의 자력선이 중간폴편내에서 반대방향을 하며, 제3폴편이 제2타깃과 그 근방을 통해 축방향으로 제2원으로부터의 자력선을 요면형 방출면으로 결합시키도록 가로축의 방향으로 연장된 외부 폴편으로 이루어지며, 중간폴편의 반경이 중앙폴편의 반경보다는 크고, 외부폴편보다는 작은 것을 특징으로 하는 진공스퍼터링 장치.
  6. 제5항에 있어서, 외부폴편은 자력선이 외향으로 테이퍼된 내측벽과 내향으로 테이퍼된 외측벽을 갖는 제1타깃과 제2타깃의 방사방향으로 흐르도록 하기 위해 제2타깃에 인접한 외부 폴편한 단부에 제2타깃을 향해 내측으로 방사방향으로 연장된 세그먼트를 가지며, 중앙폴편은 내측벽과 마주보는 외측벽을 가지며, 중간폴편은 외측벽과 마주보는 내측벽과, 가로축을 따라 제1타깃의 전길이를 통해 동일한 거리가 되도록 동일 테이퍼를 갖는 외측 및 내측벽과 마주보는 세그먼트와, 제2타깃의 면과 반대이나 평행인 납작한 면을 갖는 것을 특징으로 하는 진공 스퍼터링 장치.
  7. 제3항에 있어서, 제1타깃이 축을 갖는 디스크이며, 요면형면은 디스크축과 동심이며, 디스크축을 중심으로 대칭이며, 디스크축과 동심인 제1, 제2자장은 각각 디스크축에 인접하고, 디스크축과 떨어진 반경을 가지며, 제1폴편이 제1원으로부터의 자력선을 평면형 방출면 근방과 제1타깃으로 결합시키기 위해 가로축을 따라 연장되는 중앙폴편으로 이루어지며, 제2폴편이 제1원으로부터의 자력선이 평면형 방출면의 외경의 근방에 평면형 방출면의 경계를 가로지르도록 제1타깃과 평면형면 근방을 통해 축방향으로 제1원으로부터의 자력선을 결합하고, 제2타깃과 근방을 통해 요면형 방출면으로 제2원으로부터의 자력선이 흐르도록 결합하기 위해 가로축방향으로 연장되는 제2, 제3폴편을 포함하며, 자기회로 및 자장원이 제1, 제2자장원으로부터 자력선이 제2폴편을 통해 반대방향으로 흐르도록 배열되는 것을 특징으로 하는 진공스퍼터링 장치.
  8. 제7항에 있어서, 외부폴편은 자력선이 외향으로 테이퍼된 내측벽과 내향으로 테이퍼된 외측벽을 갖는 제1타깃과 제2타깃의 방사방향으로 흐르도록 하기 위해 제2타깃에 인접한 외부폴편한단부에 제2타깃을 향해 내측으로 방사방향으로 연장된 세그먼트를 가지며, 중앙폴편은 내측벽과 마주보는 외측벽을 가지며, 중각폴편은 외측벽과 마주보는 내측벽과, 가로축을 따라 제1타깃의 전길이를 통해 동일한 거리가 되도록 동일테이퍼를 갖는 외측 및 내측벽과 마주보는 세그먼트와, 제2타깃의 면과 반대이나 평행인 납작한 면을 갖는 것을 특징으로 하는 진공스퍼터링 장치.
  9. 제1항에 있어서, 요면형면은 원추의 절두체의 측벽으로서 구성되며 평면형 방충면이 내경 R1, 외경 R2인 환상형 구조를 하며, 요면형 방출면은 환상형 평면방출면의 가로축을 중심으로 대칭이며, 내경 R3, 외경 R4(여기에서, R1<R2<R3<R4)를 가지며, 폴편은 반경 R1근방의 제1타깃의 경계를 가로지르는 자력선이 반경 R2근방의 제1타깃의 경계를 가로지르도록 하며, 반경 R3근방의 제2타깃의 경계를 가로지르는 자력선이 반경 R4근방의 제2타깃의 경계를 가로지르도록 배열되는 것을 특징으로 하는 진공스퍼터링 장치.
  10. 제9항에 있어서, 제1, 제2자장원이 가로축과 동심인 제1, 제2자장원을 포함하고, 각각 가로축에 인접하고, 가로축과 떨어진 반경을 가지며, 제1폴편이 제1원으로부터의 자력선을 평면형 방출면 근방과 제1타깃으로 결합시키기 위해 가로축을 따라 연장되는 중앙폴편으로 이루어지며, 제2폴편이 제1원으로부터의 자력선이 평면형 방출면의 외경의 근방에 평면형 방출면의 경계를 가로지르도록 제1타깃과 평면형 근방을 통해 축방향으로 제1원으로부터 자력선을 결합하고, 제2타깃과 근방을 통해 요면형 방출면으로 제2원으로부터의 자력선이 흐르도록 결합하기 위해 가로축방향으로 연장되는 중간 폴편으로 이루어지며 제1, 제2원으로부터의 자력선이 중간폴편내에서 반대방향을 하며, 제3폴편이 제2타깃과 그 근방을 통해 축방향으로 제2원으로부의 자력선을 요면형 방출면으로 결합시키도록 가로축의 방향으로 연장된 외부폴편으로 이루어지며, 중간폴편의 반경이 중앙폴편의 반경보다는 크고, 외부폴편보다는 작은 것을 특징으로 하는 진공스퍼터링 장치.
  11. 제10항에 있어서, 외부폴편은 자력선이 외향으로 테이퍼된 내측벽과 내향으로 테이퍼된 외측벽을 갖는 제1타깃과 제2타깃의 방사방향으로 흐르도록 하기 위해 제2타깃에 인접한 외부 폴편한 단부에 제2타깃을 향해 내측으로 방사방향으로 연장된 세그먼트를 가지며, 중앙폴편은 내측벽과 마주보는 외측벽을 가지며, 중간폴편은 외측벽과 마주보는 내측벽과, 가로축을 따라 제1타깃의 전길이를 통해 동일한 거리가 되도록 동일 데이퍼를 갖는 외측 및 내측벽과 마주보는 세그먼트와, 제2타깃의 면과 반대이나 평행인 납작한 면을 갖는 것을 특징으로 하는 진공스퍼터링 장치.
  12. 제1항에 있어서, 제1, 제2타깃을 냉각시키기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공스퍼터링 장치.
  13. 제12항에 있어서, 제1, 제2타깃은 재료가 스퍼터되지 않는 면을 가지며, 수냉각단이 재료가 스퍼터되지 않는 면을 갖는 블럭수단과, 열이 냉각액체, 블럭수단, 타깃사이로 전송되도록 냉각액체를 블록수단으로 공급하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공스퍼터링 장치.
  14. 제13항에 있어서, 블록수단과 냉각액체 공급수단이 금속이며, 전류를 금속냉각액체 공급수단과 블럭수단을 거쳐 타깃으로 결합시키기 위해 냉각액체 공급수단상의 전기단자 수단에 접속된 것을 특징으로 하는 진공 스퍼터링 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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