KR850006991A - 고주파 임피던스 정합제어 시스템 - Google Patents

고주파 임피던스 정합제어 시스템 Download PDF

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KR850006991A
KR850006991A KR1019850001406A KR850001406A KR850006991A KR 850006991 A KR850006991 A KR 850006991A KR 1019850001406 A KR1019850001406 A KR 1019850001406A KR 850001406 A KR850001406 A KR 850001406A KR 850006991 A KR850006991 A KR 850006991A
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Abstract

내용 없음

Description

고주파 임피던스 정합제어 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 임피던스 정합제어 시스템의 블록선도, 제2도는 본 발명의 정합 및 타이밍 제어를 도시한 상세도, 제3도는 본 발명을 실시하는데 도움이 되는 타이밍선도.
도면의 주요부분에 대한 부호설명
9:리액턴스, 11:고주파발생기, 12:플라즈마실(室), 12a:양극, 13:단권변압기, 14:이중스위치장치, 15,16:솔레노이드, 17:양방향결합기, 18,19:단자, 20,21:진폭검출기, 22:분할기, 23:비교기, 24:플립플롭, 25:탐색계수기, 26:멀티플렉서, 27,28:릴레이 드라이버, 29:워상검파기, 32:정합변경논리, 33:시간논리, 36:멀티바이브레이터, 37:플립-플롭(flip-flop), 38:프리세트(preset)계수기, 39:시험계수기, 41,42:증폭기.

Claims (12)

  1. 고주파동력을 부하에 공급하는 자동임피던스 정합시스템으로서, 고주파 동력원, 고주파 동력원을 입사력과 반사력에 비례한 전압을 제공하는 부하에 연결시키는 양방향 결합기, 부하와 양방향 결합수단 사이에 연결된 단권변압기, 입사력으로 나눈 반사력에 비례한 출력전압을 제공하는 양방향 결합기에 연결된 디바이더, 한계전압원,상기 디바이더 및 비정합이 존재할때 출력전압을 제공하는 한계전압원에 연결된 비교기, 비교기와 단권변압기 사이에 연결되고, 고주파발생기와 부하사이에서 임피던스 정합이 이루어질 때까지 상기 단권변압기의 권수비를 변경시키는 임피던스 변경수단으로 구성된 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 단규변압기가 양방향 결합기에 연결되어 있고, 단권변압기의 권수비를 변경시키는 제1스위치와 상기 스위치에 결합되어 있고, 이 스위치를 작동시켜서 단권변압기의 권수비를 변경시키는 솔레노이드로 구성되어 있는 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 임피던스 변경수단이 상기 비교기에 연결되어 있고, 비정합 상태에 응답하여 출력펄스를 제공하는 제1플립플롭수단, 2진출력이 있는 탐색계수기, 제1플립플롭수단을 탐색계수기에 연결하는 제1위치가 있고, 제1플립플롭 수단으로부터 펄스가 생길때마다 탐색계수기의 카운트를 하나씩 변경시키는 제2스위치, 상기 탐색계수기와 솔레노이드 사이에 연결되어 있고, 제1수단으로부터 펄스가 생길때마다 단권변압기의 권수비를 변경시키는 회로수단으로 구성되어 있는 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 출력이 상기 탐색계수기에 연결되어 있는 프리세트 계수기와 제1플립플롭 수단을 프리세트계수기에 연결시키는 제2위치가 있는 제2스위치 수단이 더 포함되어 있고, 상기 프리세트 계수기가 출력펄스를 탐색계수기에 제공하여 제1플립플롭수단으로부터 예정된 수의 펄스가 생기는 때에만 탐색계수기의 카운트를 변경시킴으로써 제1플립플롭 수단으로부터 예정된 수의 펄스가 생길때마다 상기 단권변압기의 권수비를 변경시키는 시스템.
  5. 제3항에 있어서, 제1주기의 연속재현 타이밍펄스를 제공하는 타이밍펄스 발생기, 타이밍펄스 발생기에 연결되어 있고, 타이밍펄스에 응답하여 제1주기보다 더 짧은 제2주기의 클로킹펄스를 제공하는 원쇼트 멀티바이브레이터, 데이터 입력이 비교기에 연결되어 있고, 클록입력이 원쇼트 멀티바이비레이터에 연결되어 있으며, 리세트입력이 타이밍 펄스발생기에 연결되어 있기 때문에, 상기 데이터 입력에 출력전압이 존재하는 때에는 클로킹 펄스의 정에지에 의하여 세트되고, 타이밍 펄스의 부에지에 의하여 리세트되는 제1플립플롭이 더 포함되어 있고, 상기 탐색계수기의 카운트가 제1플립플롭에서 공급되는 타이밍 펄스의 부에지에 의하여 변경되는 시스템.
  6. 제4항에 있어서, 제1주기의 연속재현 타이밍 펄스를 제공하는 타이밍 펄스발생기, 타이밍 펄스발생기에 연결되어 있고, 상기 타이밍 펄스에 응답하여 제1주기보다 더 짧은 제2주기의 클로킹 펄스를 제공하는 원쇼트 멀티바이브레이터, 데이터 입력이 비교기에 연결되어 있고, 클록입력이 원쇼트 멀티바이브레이터에 연결되어 있으며, 리세트입력이 타이밍펄스 발생기에 연결되어 있기 때문에, 상기 데이터 입력에 출력전압이 존재하는 때에는 클로킹펄스의 정에지에 의하여 세트되고, 타이밍 펄스의 부에지에 의하여 리세트되는 제1플립플롭이 더 포함되어 있고, 상기 탐색계수기의 카운트가 제1플립플롭으로부터 공급되는 펄스의 부에지에 의하여 변경되는 시스템.
  7. 제5항에 있어서, 데이터입력, 클록입력, 세트입력 및 출력이 있는 제2플립플롭이 더 포함되어 있고, 상기 데이터 입력이 비교기에 연결되어 있고, 클록입력이 원쇼트 멀티바이브 레이터에 연결되어 있으며, 세트입력이 타이밍펄스 발생기에 연결되어 있고, 출력이 프리세트 계수기에 연결되어 있기 때문에, 비교기에 출력전압이 없을때 제2플립플롭이 클로킹펄스의 정에지에 의하여 티세트되고, 타이밍 펄스의 부에지에 의하여 세트되며, 프리세트 계수기가 제2플립플롭이 세트되었을 때 리세트되는 시스템.
  8. 제5항에 있어서, 상기 양방향 결합기에 연결되어 있고, 반사전압과 입사전압이 위상관계를 측정하는 위상검출기, 위상검출기를 탐색계수기에 연결시킴으로써 탐색계수기로 하여금 순방향 전압과 반사전압의 이상상태 또는 동위상 상태에 응답하여 상향 또는 하향으로 카운트를 변경시키게 하는 제3스위치가 더 포함되어 있는 시스템.
  9. 제6항에 있어서, 상기 양방향 결합기에 연결되어 있고, 반사전압과 입사전압의 위상관계를 측정하는 위상검출기, 위상 검출기는 탐색계수기에 연결함으로써 탐색계수기로 하여금 순방향 전압과 반사전압의 이상상태 또는 동위상 상태에 응답하여 상향 또는 하향으로 카운트를 변경시키게 하는 제3스위치가 더 포함되어 있는 시스템.
  10. 제7항에 있어서, 상기 양방향 결합기에 연결되어 있고, 반사전압과 입사전압의 위상관계를 측정하는 위상검출기, 위상검출기를 탐색계수기에 연결시킴으로써 탐색계수기로 하여금 순방향전압 및 반사전압의 이상상태 또는 동위상 상태에 응답하여 상향 또는 한향으로 카운트를 변경시키게 하는 제3스위치가 더 포함되어 있는 시스템.
  11. 제5항에 있어서, 상기 제1플립플롭과 탐색계수기 사이에 연결되어 있고, 예정회수의 정합시험후 탐색계수기를 정지시키는 수단이 더 포함되어 있는 시스템.
  12. 제6항에 있어서, 상기 제1플립플롭과 탐색계수기 사이에 연결되어 있고, 예정회수의 정합시험후 탐색계수기의 동작을 정지시키는 수단이 더 포함되어 있는 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019850001406A 1984-03-19 1985-03-06 고주파 임피던스 정합 제어 시스템 KR940006368B1 (ko)

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Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4726071A (en) * 1984-12-31 1988-02-16 Orion Industries, Inc. Microprocessor controlled self-tuning resonant cavity and method
EP0259693B1 (en) * 1986-09-05 1991-10-30 Tektronix Inc. Drive circuits for the cathodes of cathode ray tubes
US4871421A (en) † 1988-09-15 1989-10-03 Lam Research Corporation Split-phase driver for plasma etch system
DE3900818C1 (ko) * 1989-01-13 1990-05-10 Heidelberger Druckmaschinen Ag, 6900 Heidelberg, De
US4974085A (en) * 1989-05-02 1990-11-27 Bases Burke Institute, Inc. Television signal substitution
US5392018A (en) * 1991-06-27 1995-02-21 Applied Materials, Inc. Electronically tuned matching networks using adjustable inductance elements and resonant tank circuits
US5187454A (en) * 1992-01-23 1993-02-16 Applied Materials, Inc. Electronically tuned matching network using predictor-corrector control system
DE4480029D2 (de) * 1993-12-21 1996-06-27 Siemens Ag Vorrichtung zur automatischen Impedanzanpassung einer HF-Sende- oder Empfangseinrichtung in einer Anlage zur Kernspintomographie und Verfahren zum Betrieb der Vorrichtung
US5483680A (en) * 1994-01-07 1996-01-09 Harris Corporation Tuning method for automatic antenna couplers
US5424691A (en) * 1994-02-03 1995-06-13 Sadinsky; Samuel Apparatus and method for electronically controlled admittance matching network
US5585766A (en) * 1994-10-27 1996-12-17 Applied Materials, Inc. Electrically tuned matching networks using adjustable inductance elements
US5473291A (en) * 1994-11-16 1995-12-05 Brounley Associates, Inc. Solid state plasma chamber tuner
US5629653A (en) * 1995-07-07 1997-05-13 Applied Materials, Inc. RF match detector circuit with dual directional coupler
US6252354B1 (en) * 1996-11-04 2001-06-26 Applied Materials, Inc. RF tuning method for an RF plasma reactor using frequency servoing and power, voltage, current or DI/DT control
GB9708268D0 (en) 1997-04-24 1997-06-18 Gyrus Medical Ltd An electrosurgical instrument
KR100257155B1 (ko) 1997-06-27 2000-05-15 김영환 반도체 공정장치의 매칭 네트워크의 최적화방법
US5842154A (en) * 1997-09-15 1998-11-24 Eni Technologies, Inc. Fuzzy logic tuning of RF matching network
ATE352123T1 (de) * 1997-09-17 2007-02-15 Tokyo Electron Ltd System und verfahren zur anpassung von elektrischen impedanzen
US6313584B1 (en) 1998-09-17 2001-11-06 Tokyo Electron Limited Electrical impedance matching system and method
US6657394B2 (en) * 2001-04-06 2003-12-02 Eni Technology, Inc. Reflection coefficient phase detector
US8155236B1 (en) * 2002-06-21 2012-04-10 Netlogic Microsystems, Inc. Methods and apparatus for clock and data recovery using transmission lines
US7532697B1 (en) 2005-01-27 2009-05-12 Net Logic Microsystems, Inc. Methods and apparatus for clock and data recovery using a single source
US7432750B1 (en) 2005-12-07 2008-10-07 Netlogic Microsystems, Inc. Methods and apparatus for frequency synthesis with feedback interpolation
KR100785079B1 (ko) * 2006-04-04 2007-12-12 삼성전자주식회사 부하의 임피던스 정합시스템 및 정합방법과, 이를 적용한네트워크 분석기
US7724484B2 (en) * 2006-12-29 2010-05-25 Cobham Defense Electronic Systems Corporation Ultra broadband 10-W CW integrated limiter
US8344704B2 (en) * 2008-12-31 2013-01-01 Advanced Energy Industries, Inc. Method and apparatus for adjusting the reference impedance of a power generator
US8520744B2 (en) * 2010-03-19 2013-08-27 Netlogic Microsystems, Inc. Multi-value logic signaling in multi-functional circuits
US8638896B2 (en) * 2010-03-19 2014-01-28 Netlogic Microsystems, Inc. Repeate architecture with single clock multiplier unit
US8423814B2 (en) * 2010-03-19 2013-04-16 Netlogic Microsystems, Inc. Programmable drive strength in memory signaling
US8537949B1 (en) 2010-06-30 2013-09-17 Netlogic Microsystems, Inc. Systems, circuits and methods for filtering signals to compensate for channel effects
US8494377B1 (en) 2010-06-30 2013-07-23 Netlogic Microsystems, Inc. Systems, circuits and methods for conditioning signals for transmission on a physical medium
US20130257667A1 (en) * 2012-03-30 2013-10-03 Broadcom Corporation Antenna Tuning
US9031523B2 (en) * 2012-06-26 2015-05-12 Htc Corporation Systems and methods for determining antenna impedance

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3601717A (en) * 1969-11-20 1971-08-24 Gen Dynamics Corp System for automatically matching a radio frequency power output circuit to a load
US3775707A (en) * 1972-11-06 1973-11-27 Collins Radio Co Method and means for antenna coupling
US3842358A (en) * 1973-06-18 1974-10-15 Collins Radio Co Voltage standing wave ratio detecting and adjusting apparatus
US3870957A (en) * 1973-10-15 1975-03-11 Itt VSWR alarm system
GB1524965A (en) * 1974-10-15 1978-09-13 Cincinnati Electronics Corp Technique for automatic matching of high q-loads
FR2298903A1 (fr) * 1975-01-22 1976-08-20 Thomson Csf Dispositif d'adaptation d'antenne et antenne munie d'un tel dispositif
US4233561A (en) * 1978-12-07 1980-11-11 Haddon Merrill K Automatic impedance matching conduit locator
US4375051A (en) * 1981-02-19 1983-02-22 The Perkin-Elmer Corporation Automatic impedance matching between source and load

Also Published As

Publication number Publication date
IL74258A0 (en) 1985-05-31
EP0155562A3 (en) 1988-01-20
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DE3586761T2 (de) 1993-05-19
JPS60211517A (ja) 1985-10-23
EP0155562B1 (en) 1992-10-21
US4621242A (en) 1986-11-04
KR940006368B1 (ko) 1994-07-18
DE3586761D1 (de) 1992-11-26

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