KR20240118680A - Robot system and method for controlling industrial robot - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 5
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 29
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 28
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 25
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 101000869912 Cerastes vipera Disintegrin CV-11-alpha Proteins 0.000 description 2
- 206010028980 Neoplasm Diseases 0.000 description 2
- 201000011510 cancer Diseases 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
- B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/0014—Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
공통 암부의 회동 중심과 제1 선단측 암부의 회동 중심의 수평 방향의 거리보다도, 제1 선단측 암부의 회동 중심과 제1 핸드의 회동 중심의 수평 방향의 거리가 짧게 되어 있어도, 제1 핸드로 반송 대상물을 반송할 때의, 로봇 시스템의 각 장치 등과 제1 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 간섭을 방지하는 것이 가능한 로봇 시스템을 제공한다.
로봇 시스템(1)에서는, 수용부(3)에 대한 반송 대상물(2)의 전달을 행할 때의 제1 핸드(6)의 위치인 제1 전달 위치와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 제1 핸드(6)가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 제1 핸드 중심 C1의 궤적이 시스템 기준선 CL3에 대하여 Y 방향의 양측으로 흔들리도록, 제1 핸드(6)가 제1 기준 위치(6B)에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선 CL3에 대하여 제1 핸드 기준선 CL1을 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구 및 제1 선단측 암부 구동 기구를 구동하고 있다.Even if the horizontal distance between the rotation center of the first distal arm and the rotation center of the first hand is shorter than the horizontal distance between the rotation center of the common arm and the rotation center of the first distal arm, the first hand A robot system capable of preventing interference between each device of the robot system and the object mounted on a first hand when transporting the object is provided.
In the robot system 1, the first delivery position, which is the position of the first hand 6 when delivering the conveyed object 2 to the receiving unit 3, and the first reference position 6B When the hand 6 moves, the first hand 6 is arranged at the first reference position 6B so that the trajectory of the first hand center C1 swings to both sides in the Y direction with respect to the system reference line CL3 when viewed from the up and down directions. When the first hand reference line CL1 is tilted with respect to the system reference line CL3, the common arm driving mechanism and the first distal arm driving mechanism are driven.
Description
본 발명은, 반송 대상물이 수용되는 수용부와, 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇을 구비하는 로봇 시스템에 관한 것이다. 또한, 본 발명은, 반송 대상물이 수용되는 수용부에 대한 반송 대상물의 반송을 행하는 산업용 로봇의 제어 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a robot system including a receiving portion in which an object to be transported is accommodated, and an industrial robot to transport the object to be transported. Additionally, the present invention relates to a control method of an industrial robot that transfers the object to be transported to a receiving unit in which the object to be transported is accommodated.
종래, 액정 디스플레이용의 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 유리 기판이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드 및 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부와, 본체부에 대하여 암을 수평 방향으로 신축시키는 암 구동 기구를 구비하고 있다. 암은, 제1 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 선단측 암부와, 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제2 선단측 암부와, 제1 선단측 암부의 기단측 및 제2 선단측 암부의 기단측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 본체부에 회동 가능하게 연결되는 공통 암부로 구성되어 있다.Conventionally, industrial robots that transport glass substrates for liquid crystal displays are known (for example, see Patent Document 1). The industrial robot described in
특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 공통 암부는, 대략 V 형상으로 형성되어 있다. 대략 V 형상으로 형성되는 공통 암부의 중심 부분은, 본체부에 회동 가능하게 연결되어 있다. 대략 V 형상으로 형성되는 공통 암부의 한쪽의 선단측에는, 제1 선단측 암부의 기단측이 회동 가능하게 연결되고, 공통 암부의 다른 쪽의 선단측에는, 제2 선단측 암부의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 암 구동 기구는, 본체부에 대하여 공통 암부를 회동시키는 공통 암부 구동 기구와, 공통 암부에 대하여 제1 선단측 암부를 회동시킴과 함께 제1 선단측 암부에 대하여 제1 핸드를 회동시키는 제1 선단측 암부 구동 기구와, 공통 암부에 대하여 제2 선단측 암부를 회동시킴과 함께 제2 선단측 암부에 대하여 제2 핸드를 회동시키는 제2 선단측 암부 구동 기구를 구비하고 있다.In the industrial robot described in
특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 중심을 제1 회동 중심이라 하고, 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 중심을 제2 회동 중심이라 하고, 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 중심을 제3 회동 중심이라 하고, 제1 선단측 암부에 대한 제1 핸드의 회동 중심을 제4 회동 중심이라 하고, 제2 선단측 암부에 대한 제2 핸드의 회동 중심을 제5 회동 중심이라 하고, 제1 회동 중심과 제2 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제1 중심 간 거리라 하고, 제1 회동 중심과 제3 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제2 중심 간 거리라 하고, 제2 회동 중심과 제4 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제3 중심 간 거리라 하고, 제3 회동 중심과 제5 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제4 중심 간 거리라 하면, 제1 중심 간 거리와 제2 중심 간 거리와 제3 중심 간 거리와 제4 중심 간 거리가 동등하게 되어 있다.In the industrial robot described in
특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 암을 신축시켜서, 유리 기판의 제조 장치 등의, 유리 기판이 수용되는 수용부에 대한 유리 기판의 반송을 행한다. 이 산업용 로봇에서는, 유리 기판의 수용부에 대하여 제1 핸드에 의해 유리 기판을 반송할 때에는, 제2 선단측 암부 구동 기구가 정지하고 있는 상태에서, 공통 암부 구동 기구 및 제1 선단측 암부 구동 기구가 구동한다. 이때에는, 제1 핸드가 일정 방향을 향한 상태에서(즉, 제1 핸드가 일정한 자세를 유지한 상태에서) 직선적으로 이동하도록, 공통 암부 구동 기구 및 제1 선단측 암부 구동 기구가 제어된다.The industrial robot described in
또한, 수용부의 정규의 위치에 수용된 유리 기판의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 수용부측 기판 중심이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 제1 회동 중심과 수용부측 기판 중심을 연결하는 가상선을 시스템 기준선이라 하면, 이때에는, 상하 방향으로부터 보면, 제1 핸드에 탑재된 유리 기판의 중심 궤적이 시스템 기준선과 겹치도록, 공통 암부 구동 기구 및 제1 선단측 암부 구동 기구가 제어된다. 구체적으로는, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 각도와 제1 선단측 암부에 대한 제1 핸드의 회동 각도가 동등하게 됨과 함께, 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 각도가 본체부에 대한 공통 암부의 회동 각도의 2배가 되도록, 공통 암부 구동 기구 및 제1 선단측 암부 구동 기구가 제어된다.In addition, the center of the glass substrate accommodated in the normal position of the accommodating part when viewed from the vertical direction is called the center of the accommodating part side substrate, and an imaginary line connecting the first rotation center when viewed from the up and down direction and the center of the accommodating part side substrate is the system reference line. In this case, the common arm drive mechanism and the first distal arm drive mechanism are controlled so that the center trajectory of the glass substrate mounted on the first hand overlaps the system reference line when viewed from the vertical direction. Specifically, the rotation angle of the common arm with respect to the main body portion and the rotation angle of the first hand with respect to the first distal arm portion become equal, and the rotation angle of the first distal arm portion with respect to the common arm portion is equal to the rotation angle of the first distal arm portion with respect to the main body portion. The common arm driving mechanism and the first distal arm driving mechanism are controlled so that the rotation angle of the common arm is doubled.
마찬가지로, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 유리 기판의 수용부에 대하여 제2 핸드에 의해 유리 기판을 반송할 때에는, 제1 선단측 암부 구동 기구가 정지하고 있는 상태에서, 공통 암부 구동 기구 및 제2 선단측 암부 구동 기구가 구동한다. 이때에는, 제2 핸드가 일정 방향을 향한 상태에서 직선적으로 이동하도록, 공통 암부 구동 기구 및 제2 선단측 암부 구동 기구가 제어된다.Similarly, in the industrial robot described in
또한, 이때에는, 상하 방향으로부터 보면, 제2 핸드에 탑재된 유리 기판의 중심 궤적이 시스템 기준선과 겹치도록, 공통 암부 구동 기구 및 제2 선단측 암부 구동 기구가 제어된다. 구체적으로는, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 각도와 제2 선단측 암부에 대한 제2 핸드의 회동 각도가 동등하게 됨과 함께, 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 각도가 본체부에 대한 공통 암부의 회동 각도의 2배가 되도록, 공통 암부 구동 기구 및 제2 선단측 암부 구동 기구가 제어된다.Also, at this time, the common arm driving mechanism and the second distal arm driving mechanism are controlled so that the center trajectory of the glass substrate mounted on the second hand overlaps the system reference line when viewed from the vertical direction. Specifically, the rotation angle of the common arm with respect to the main body portion and the rotation angle of the second hand with respect to the second distal arm portion become equal, and the rotation angle of the second distal arm portion with respect to the common arm portion is equal to the rotation angle of the second distal arm portion with respect to the main body portion. The common arm driving mechanism and the second distal arm driving mechanism are controlled so that the rotation angle of the common arm is doubled.
특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 상술한 바와 같이, 제1 중심 간 거리와 제2 중심 간 거리와 제3 중심 간 거리와 제4 중심 간 거리가 동등하게 되어 있다. 이 산업용 로봇에서는, 제1 선단측 암부와 제2 선단측 암부의 간섭을 방지하기 위해서, 제1 선단측 암부가 제2 선단측 암부보다도 상측에 배치되어 있다. 따라서, 이 산업용 로봇의 경우, 산업용 로봇이 상하 방향으로 대형화될 우려가 있다. 또한, 이 산업용 로봇의 경우, 제1 선단측 암부를 제2 선단측 암부보다도 상측에 배치하기 때문에, 제1 선단측 암부와 공통 암부의 연결 부분에 원통상의 회동축이 배치되어 있어, 제1 선단측 암부와 공통 암부의 연결 부분의 강성이 저하될 우려가 있다.In the industrial robot described in
그래서, 본원 발명자는, 제1 중심 간 거리 및 제2 중심 간 거리보다도 제3 중심 간 거리 및 제4 중심 간 거리를 짧게 하여, 제1 선단측 암부와 제2 선단측 암부를 상하 방향에 있어서 동일 위치에 배치하는 것을 검토하고 있다. 한편으로, 제3 중심 간 거리가 제1 중심 간 거리보다도 짧게 되어 있으면, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 핸드에 탑재된 유리 기판의 중심 궤적이 시스템 기준선과 겹치도록 암을 신축시켜서 제1 핸드에 의해 유리 기판을 반송하는 것은 곤란해진다. 마찬가지로, 제4 중심 간 거리가 제2 중심 간 거리보다도 짧게 되어 있으면, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제2 핸드에 탑재된 유리 기판의 중심 궤적이 시스템 기준선과 겹치도록 암을 신축시켜서 제2 핸드에 의해 유리 기판을 반송하는 것은 곤란해진다.Therefore, the present inventor made the third center-to-center distance and the fourth center-to-center distance shorter than the first center-to-center distance and the second center-to-center distance, so that the first distal end arm portion and the second distal end arm portion were the same in the vertical direction. We are considering placing it in that location. On the other hand, if the distance between the third centers is shorter than the distance between the first centers, the arm is stretched so that the center trace of the glass substrate mounted on the first hand overlaps the system reference line when viewed from the vertical direction, This makes it difficult to transport the glass substrate. Likewise, if the fourth center-to-center distance is shorter than the second center-to-center distance, the arm is stretched and retracted so that the center trace of the glass substrate mounted on the second hand overlaps the system baseline when viewed from the vertical direction, and the second hand It becomes difficult to transport the glass substrate.
또한, 본원 발명자는, 유리 기판의 수용부에 대하여 제1 핸드에 의해 유리 기판을 반송할 때에, 종래과 같이, 일정 방향을 향한 상태에서 제1 핸드가 이동하도록, 공통 암부 구동 기구 및 제1 선단측 암부 구동 기구를 제어하는 것을 검토하였다. 그러나, 시스템 기준선의 방향을 전후 방향이라 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 방향을 좌우 방향이라 하면, 제1 핸드가 일정 방향을 향한 상태에서 이동하는 경우에는, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 핸드에 탑재된 유리 기판의 중심 궤적, 시스템 기준선에 대한 좌우 방향의 어긋남양이 커지는 것이 본원 발명자의 검토에 의해 밝혀졌다.In addition, the inventor of the present application provides a common arm drive mechanism and a first tip side so that when transporting a glass substrate by the first hand to the receiving portion of the glass substrate, the first hand moves in a state facing a certain direction as in the prior art. Controlling the arm driving mechanism was examined. However, assuming that the direction of the system baseline is the front-to-back direction, and the direction perpendicular to the up-down direction and the front-back direction is the left-right direction, when the first hand moves while facing a certain direction, when viewed from the up-down direction, the first hand Through examination by the present inventor, it was revealed that the center trajectory of the glass substrate mounted on the hand and the amount of deviation in the left and right directions with respect to the system reference line increase.
또한, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 핸드에 탑재된 유리 기판의 중심 궤적, 시스템 기준선에 대한 좌우 방향의 어긋남양이 커지면, 유리 기판의 제조 시스템을 구성하는 각 장치 등과 제1 핸드에 탑재된 유리 기판이 간섭할 우려가 높아진다. 마찬가지로, 제2 핸드가 일정 방향을 향한 상태에서 이동하는 경우에는, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제2 핸드에 탑재된 유리 기판의 중심 궤적, 시스템 기준선에 대한 좌우 방향의 어긋남양이 커지고, 유리 기판의 제조 시스템을 구성하는 각 장치 등과 제2 핸드에 탑재된 유리 기판이 간섭할 우려가 높아지는 것이 본원 발명자의 검토에 의해 밝혀졌다.Additionally, when viewed from the vertical direction, if the center trajectory of the glass substrate mounted on the first hand and the amount of deviation in the left and right directions with respect to the system baseline become large, each device constituting the glass substrate manufacturing system, etc. The risk of substrate interference increases. Similarly, when the second hand moves in a certain direction, when viewed from the up and down directions, the center trajectory of the glass substrate mounted on the second hand and the amount of deviation in the left and right directions with respect to the system baseline increase, and the amount of deviation of the glass substrate increases. It has been revealed through examination by the present inventor that there is an increased risk of interference between each device constituting the manufacturing system and the glass substrate mounted on the second hand.
그래서, 본 발명의 과제는, 반송 대상물이 수용되는 수용부와, 수용부에 대한 반송 대상물의 반송을 행하는 산업용 로봇을 구비하는 로봇 시스템에 있어서, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 중심과 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 중심의 수평 방향의 거리보다도, 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 중심과 제1 선단측 암부에 대한 제1 핸드의 회동 중심의 수평 방향의 거리가 짧게 되어 있고, 또한, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 중심과 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 중심의 수평 방향의 거리보다도, 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 중심과 제2 선단측 암부에 대한 제2 핸드의 회동 중심의 수평 방향의 거리가 짧게 되어 있어도, 제1 핸드, 제2 핸드로 반송 대상물을 반송할 때의, 로봇 시스템의 각 장치 등과 제1 핸드, 제2 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 간섭을 방지하는 것이 가능한 로봇 시스템을 제공하는 데 있다.Therefore, the object of the present invention is to provide a robot system that includes a receiving portion in which the conveying object is accommodated and an industrial robot that transfers the conveying object to the accommodating portion, and the rotation center of the common arm with respect to the main body portion and the common arm The horizontal distance between the rotational center of the first distal arm with respect to the common arm and the rotational center of the first hand with respect to the first distal arm is shorter than the horizontal distance between the rotational center of the first distal arm with respect to the common arm. Also, the distance in the horizontal direction between the rotation center of the common arm with respect to the main body portion and the rotation center of the second distal end arm with respect to the common arm is greater than the rotation center of the second distal arm with respect to the common arm and the second distal end with respect to the common arm. Even if the horizontal distance of the rotation center of the second hand with respect to the arm is short, each device of the robot system, etc. is mounted on the first hand and the second hand when transporting the object with the first hand and the second hand. The goal is to provide a robot system that can prevent interference with objects being transported.
또한, 본 발명의 과제는, 반송 대상물이 수용되는 수용부에 대한 반송 대상물의 반송을 행함과 함께 로봇 시스템에서 사용되는 산업용 로봇의 제어 방법에 있어서, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 중심과 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 중심의 수평 방향의 거리보다도, 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 중심과 제1 선단측 암부에 대한 제1 핸드의 회동 중심의 수평 방향의 거리가 짧게 되어 있고, 또한, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 중심과 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 중심의 수평 방향의 거리보다도, 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 중심과 제2 선단측 암부에 대한 제2 핸드의 회동 중심의 수평 방향의 거리가 짧게 되어 있어도, 제1 핸드, 제2 핸드로 반송 대상물을 반송할 때의, 로봇 시스템의 각 장치 등과 제1 핸드, 제2 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 간섭을 방지하는 것이 가능하게 되는 산업용 로봇의 제어 방법을 제공하는 데 있다.In addition, the object of the present invention is to provide a control method for an industrial robot used in a robot system while transporting the object to be transported to a receiving portion in which the object to be transported is accommodated. The rotation center of the common arm with respect to the main body and the common arm are The horizontal distance between the rotational center of the first distal arm with respect to the common arm and the rotational center of the first hand with respect to the first distal arm is shorter than the horizontal distance between the rotational center of the first distal arm with respect to the In addition, the horizontal distance between the rotation center of the common arm portion with respect to the main body portion and the rotation center of the second distal end arm portion with respect to the common arm portion is greater than the rotation center of the second distal arm portion with respect to the common arm portion and the second distal end portion. Even if the horizontal distance of the rotation center of the second hand with respect to the side arm is short, each device of the robot system, etc. when transporting the object to be transported by the first hand and the second hand The object is to provide a control method for an industrial robot that makes it possible to prevent interference with a mounted transport object.
상기의 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 일 양태의 로봇 시스템은, 반송 대상물이 수용되는 수용부와, 수용부로부터의 반송 대상물의 반출 및 수용부로의 반송 대상물의 반입 중 적어도 어느 한쪽을 행하는 수평 다관절형의 산업용 로봇을 구비하고, 산업용 로봇은, 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드 및 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부와, 본체부에 대하여 암을 수평 방향으로 신축시키는 암 구동 기구와, 산업용 로봇을 제어하는 제어부를 구비하고, 암은, 제1 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 선단측 암부와, 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제2 선단측 암부와, 제1 선단측 암부의 기단측 및 제2 선단측 암부의 기단측이 서로 다른 위치에서 회동 가능하게 연결됨과 함께 본체부에 회동 가능하게 연결되는 공통 암부를 구비하고, 암 구동 기구는, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 본체부에 대하여 공통 암부를 회동시키는 공통 암부 구동 기구와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 공통 암부에 대하여 제1 선단측 암부를 회동시킴과 함께 제1 선단측 암부에 대하여 제1 핸드를 회동시키는 제1 선단측 암부 구동 기구와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 공통 암부에 대하여 제2 선단측 암부를 회동시킴과 함께 제2 선단측 암부에 대하여 제2 핸드를 회동시키는 제2 선단측 암부 구동 기구를 구비하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 제1 핸드 및 제2 핸드의 형상은, 소정 방향을 긴 방향으로 하는 긴 변 형상으로 되어 있고, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 중심을 제1 회동 중심이라 하고, 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 중심을 제2 회동 중심이라 하고, 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 중심을 제3 회동 중심이라 하고, 제1 선단측 암부에 대한 제1 핸드의 회동 중심을 제4 회동 중심이라 하고, 제2 선단측 암부에 대한 제2 핸드의 회동 중심을 제5 회동 중심이라 하고, 제1 회동 중심과 제2 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제1 중심 간 거리라 하고, 제1 회동 중심과 제3 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제2 중심 간 거리라 하고, 제2 회동 중심과 제4 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제3 중심 간 거리라 하고, 제3 회동 중심과 제5 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제4 중심 간 거리라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때에 제1 핸드의 긴 방향에 직교하는 제1 핸드의 짧은 방향을 제1 짧은 방향이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때에 제2 핸드의 긴 방향에 직교하는 제2 핸드의 짧은 방향을 제2 짧은 방향이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 제1 핸드의 제1 짧은 방향의 중심선을 제1 핸드 기준선이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 제2 핸드의 제2 짧은 방향의 중심선을 제2 핸드 기준선이라 하고, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 속도를 공통 암부 회동 속도라 하고, 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 속도를 제1 선단측 암부 회동 속도라 하고, 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 속도를 제2 선단측 암부 회동 속도라 하고, 제1 핸드의 정규의 위치에 탑재되는 반송 대상물의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 제1 핸드 중심이라 하고, 제2 핸드의 정규의 위치에 탑재되는 반송 대상물의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 제2 핸드 중심이라 하고, 수용부의 정규의 위치에 수용되는 반송 대상물의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 수용부 중심이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 제1 회동 중심과 수용부 중심을 연결하는 가상선을 시스템 기준선이라 하고, 시스템 기준선의 방향을 전후 방향이라 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 방향을 좌우 방향이라 하고, 제1 선단측 암부측이 펼쳐진 상태에서 수용부에 대한 반송 대상물의 전달을 행할 때의 제1 핸드의 위치를 제1 전달 위치라 하고, 제2 선단측 암부측이 펼쳐진 상태에서 수용부에 대한 반송 대상물의 전달을 행할 때의 제2 핸드의 위치를 제2 전달 위치라 하고, 본체부에 제1 핸드 및 제2 핸드가 접근하도록 소정의 상태까지 암이 오그라든 때의 제1 핸드의 위치를 제1 기준 위치라 하고, 제1 핸드가 제1 기준 위치에 배치되어 있을 때의 제2 핸드의 위치를 제2 기준 위치라 하면, 제1 중심 간 거리와 제2 중심 간 거리는, 동등하게 되어 있고, 제3 중심 간 거리는, 제1 중심 간 거리보다도 짧게 되어 있고, 제4 중심 간 거리는, 제2 중심 간 거리보다도 짧게 되어 있고, 제1 전달 위치와 제1 기준 위치 사이에서 제1 핸드가 이동할 때에, 공통 암부 회동 속도와 제1 선단측 암부 회동 속도의 비율은, 일정하게 되어 있고, 제2 전달 위치와 제2 기준 위치 사이에서 제2 핸드가 이동할 때에, 공통 암부 회동 속도와 제2 선단측 암부 회동 속도의 비율은, 일정하게 되어 있고, 제1 핸드가 제1 전달 위치에 배치되어 있을 때에, 상하 방향으로부터 보면, 시스템 기준선과 제1 핸드 기준선이 겹치고, 제2 핸드가 제2 전달 위치에 배치되어 있을 때에, 상하 방향으로부터 보면, 시스템 기준선과 제2 핸드 기준선이 겹치고, 제어부는 제1 전달 위치와 제1 기준 위치 사이에서 제1 핸드가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 제1 핸드 중심의 궤적이 시스템 기준선에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 제1 핸드가 제1 기준 위치에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선에 대하여 제1 핸드 기준선을 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구 및 제1 선단측 암부 구동 기구를 구동하고, 게다가, 제2 전달 위치와 제2 기준 위치 사이에서 제2 핸드가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 제2 핸드 중심의 궤적이 시스템 기준선에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 제2 핸드가 제2 기준 위치에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선에 대하여 제2 핸드 기준선을 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구 및 제2 선단측 암부 구동 기구를 구동하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problem, the robot system of one aspect of the present invention is a horizontal robot system that performs at least one of carrying out the conveying object from the accommodating portion and loading the conveying object into the accommodating portion, and a receiving portion in which the conveying object is accommodated. Equipped with an articulated industrial robot, the industrial robot includes a first hand and a second hand on which the object to be transported is mounted, an arm on which the first hand and the second hand are rotatably connected to the distal end, and a base end of the arm. It is provided with a main body part whose sides are rotatably connected, an arm drive mechanism that expands and contracts the arm in a horizontal direction with respect to the main body part, and a control part that controls the industrial robot, and the arm has a first hand that can be rotated toward the distal end side. The first distal end arm is connected, the second distal arm is rotatably connected to the distal end, and the proximal end of the first distal arm and the proximal end of the second distal arm are at different positions. It is provided with a common arm portion that is rotatably connected and rotatably connected to the main body portion, the arm drive mechanism comprising: a common arm portion drive mechanism that rotates the common arm portion relative to the main body portion with the vertical direction as the axis of rotation; A first distal arm drive mechanism that rotates the first distal arm with respect to the common arm in the direction of the axis of rotation and rotates the first hand with respect to the first distal arm, and an axis of rotation in the vertical direction. and a second distal arm drive mechanism that rotates the second distal arm with respect to the common arm and rotates the second hand with respect to the second distal arm in the same direction, and provides a first hand when viewed from the vertical direction. and the shape of the second hand is a long side shape with a predetermined direction as the longitudinal direction, the rotation center of the common arm with respect to the main body is referred to as the first rotation center, and the rotation of the first distal arm with respect to the common arm is The center is called the second rotation center, the rotation center of the second tip arm with respect to the common arm is called the third rotation center, and the rotation center of the first hand with respect to the first tip arm is called the fourth rotation center, The rotation center of the second hand with respect to the second distal arm is referred to as the fifth rotation center, the distance in the horizontal direction between the first rotation center and the second rotation center is referred to as the distance between the first centers, and the first rotation center and the second rotation center are referred to as the distance between the first centers. The horizontal distance between the third rotation centers is called the distance between the second centers, the horizontal distance between the second and fourth rotation centers is called the third center-to-center distance, and the distance between the third and fifth rotation centers is called the distance between the third centers. The distance in the horizontal direction is called the fourth center-to-center distance, the short direction of the first hand perpendicular to the long direction of the first hand when viewed from the up and down directions is called the first short direction, and the short direction of the second hand when viewed from the up and down directions is called the first short direction. The short direction of the second hand perpendicular to the long direction is called the second short direction, the center line of the first short direction of the first hand when viewed from the up and down direction is called the first hand reference line, and the center line of the first short direction when viewed from the up and down direction is called the first hand reference line. The center line of the second short direction of the two hands is called the second hand reference line, the rotational speed of the common arm with respect to the main body is called the common arm rotational speed, and the rotational speed of the first tip side arm with respect to the common arm is called the first tip. Let it be called the side arm rotational speed, and the rotational speed of the second distal arm with respect to the common arm is called the second distal arm rotational speed, and be the center of the conveyed object mounted at the normal position of the first hand when viewed from the vertical direction. is called the first hand center, the center of the conveyed object placed at the normal position of the second hand when viewed from the vertical direction is called the second hand center, and the center of the transported object placed at the normal position of the receiving part is called the vertical direction. The center when viewed is called the center of the receiver, the imaginary line connecting the first rotation center and the center of the receiver when viewed from the up and down directions is called the system baseline, and the direction of the system baseline is called the front-to-back direction. The direction perpendicular to the direction is referred to as the left and right direction, the position of the first hand when delivering the object to be conveyed to the receiving section with the first arm side spread is referred to as the first delivery position, and the second distal end side is referred to as the left and right direction. The position of the second hand when delivering the object to be transported to the receiving unit with the arm side unfolded is called the second delivery position, and the arm is moved to a predetermined state so that the first hand and the second hand approach the main body. If the position of the first hand when it is shriveled is called the first reference position, and the position of the second hand when the first hand is placed at the first reference position is called the second reference position, then the distance between the first centers is The distance between the second centers is equal, the distance between the third centers is shorter than the distance between the first centers, the distance between the fourth centers is shorter than the distance between the second centers, and the first delivery position and the first When the first hand moves between the reference positions, the ratio of the common arm rotation speed and the first distal arm rotation speed is constant, and when the second hand moves between the second transmission position and the second reference position, The ratio of the common arm rotation speed and the second distal arm rotation speed is constant, and when the first hand is placed at the first delivery position, the system reference line and the first hand reference line overlap when viewed from the vertical direction, When the second hand is placed at the second delivery position, when viewed from the up and down direction, the system reference line and the second hand reference line overlap, and the control unit moves up and down when the first hand moves between the first delivery position and the first reference position. Viewed from the direction, the first hand reference line is tilted with respect to the system reference line when the first hand is placed at the first reference position so that the trajectory of the center of the first hand swings in both left and right directions with respect to the system reference line, and a common When the arm drive mechanism and the first distal arm drive mechanism are driven, and the second hand moves between the second delivery position and the second reference position, when viewed from the vertical direction, the trajectory of the center of the second hand is aligned with the system reference line. When the second hand is disposed at the second reference position, the second hand reference line is tilted with respect to the system reference line so as to swing in both left and right directions, and the common arm drive mechanism and the second distal arm drive mechanism are driven. It is characterized by
본 형태의 로봇 시스템에서는, 제어부는, 제1 전달 위치와 제1 기준 위치 사이에서 제1 핸드가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 제1 핸드 중심의 궤적이 시스템 기준선에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 제1 핸드가 제1 기준 위치에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선에 대하여 제1 핸드 기준선을 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구 및 제1 선단측 암부 구동 기구를 구동하고 있다. 그 때문에, 본원 발명자의 검토에 의하면, 본 형태에서는, 제3 중심 간 거리가 제1 중심 간 거리보다 짧게 되어 있어도, 상하 방향으로부터 보면, 제1 전달 위치와 제1 기준 위치 사이에서 제1 핸드가 이동할 때의, 제1 핸드 중심의 궤적, 시스템 기준선에 대한 좌우 방향의 어긋남양을 저감하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 제3 중심 간 거리가 제1 중심 간 거리보다 짧게 되어 있어도, 제1 핸드로 반송 대상물을 반송할 때의, 로봇 시스템의 각 장치 등과 제1 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 간섭을 방지하는 것이 가능해진다.In the robot system of this form, when the first hand moves between the first delivery position and the first reference position, the control unit causes the trajectory of the center of the first hand to swing in both left and right directions with respect to the system baseline when viewed from the up and down directions. Thus, when the first hand is disposed at the first reference position, the first hand reference line is tilted with respect to the system reference line, and the common arm driving mechanism and the first distal arm driving mechanism are driven. Therefore, according to the present inventor's examination, in this form, even if the distance between the third centers is shorter than the distance between the first centers, when viewed from the vertical direction, the first hand is between the first delivery position and the first reference position. It is possible to reduce the amount of deviation in the left and right directions with respect to the trajectory of the center of the first hand and the system baseline when moving. Therefore, in this form, even if the distance between the third centers is shorter than the distance between the first centers, there is interference between each device of the robot system and the object to be transported on the first hand when the object to be transported is transported by the first hand. It becomes possible to prevent.
또한, 본 양태에서는, 제어부는, 제2 전달 위치와 제2 기준 위치 사이에서 제2 핸드가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 제2 핸드 중심의 궤적이 시스템 기준선에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 제2 핸드가 제2 기준 위치에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선에 대하여 제2 핸드 기준선을 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구 및 제2 선단측 암부 구동 기구를 구동하고 있다. 그 때문에, 본원 발명자의 검토에 의하면, 본 형태에서는, 제4 중심 간 거리가 제2 중심 간 거리보다 짧게 되어 있어도, 상하 방향으로부터 보면, 제2 전달 위치와 제2 기준 위치 사이에서 제2 핸드가 이동할 때의, 제2 핸드 중심의 궤적, 시스템 기준선에 대한 좌우 방향의 어긋남양을 저감하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 양태에서는, 제4 중심 간 거리가 제2 중심 간 거리보다 짧게 되어 있어도, 제2 핸드로 반송 대상물을 반송할 때의, 로봇 시스템의 각 장치 등과 제2 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 간섭을 방지하는 것이 가능해진다.Additionally, in this aspect, the control unit causes the trajectory of the center of the second hand to swing to both sides in the left and right directions with respect to the system reference line when viewed from the up and down directions when the second hand moves between the second delivery position and the second reference position. , when the second hand is disposed at the second reference position, the second hand reference line is tilted with respect to the system reference line, and the common arm drive mechanism and the second distal arm drive mechanism are driven. Therefore, according to the present inventor's examination, in this form, even if the fourth center-to-center distance is shorter than the second center-to-center distance, when viewed from the vertical direction, the second hand is between the second delivery position and the second reference position. It is possible to reduce the amount of deviation in the left and right directions with respect to the trajectory of the center of the second hand and the system baseline when moving. Therefore, in this embodiment, even if the fourth center-to-center distance is shorter than the second center-to-center distance, interference between each device of the robot system and the conveyed object mounted on the second hand when the conveyed object is transported by the second hand. It becomes possible to prevent.
본 양태에 있어서, 예를 들어 제1 선단측 암부와 제2 선단측 암부는, 상하 방향에 있어서 동일 위치에 배치되어 있다. 또한, 본 양태에 있어서, 예를 들어 상하 방향으로부터 보았을 때에 공통 암부의 외형은, 이등변 삼각형 형상으로 되어 있다.In this aspect, for example, the first tip side arm portion and the second tip side arm portion are arranged at the same position in the vertical direction. Additionally, in this embodiment, for example, the external shape of the common arm portion when viewed from the vertical direction is in the shape of an isosceles triangle.
또한, 상기의 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 일 양태의 산업용 로봇 제어 방법은, 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드 및 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부와, 본체부에 대하여 암을 수평 방향으로 신축시키는 암 구동 기구를 구비하고, 반송 대상물이 수용되는 수용부로부터의 반송 대상물의 반출 및 수용부로의 반송 대상물의 반입 중 적어도 어느 한쪽을 행하는 수평 다관절형의 산업용 로봇이며, 암은, 제1 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 선단측 암부와, 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제2 선단측 암부와, 제1 선단측 암부의 기단측 및 제2 선단측 암부의 기단측이 서로 다른 위치에서 회동 가능하게 연결됨과 함께 본체부에 회동 가능하게 연결되는 공통 암부를 구비하고, 암 구동 기구는, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 본체부에 대하여 공통 암부를 회동시키는 공통 암부 구동 기구와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 공통 암부에 대하여 제1 선단측 암부를 회동시킴과 함께 제1 선단측 암부에 대하여 제1 핸드를 회동시키는 제1 선단측 암부 구동 기구와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 공통 암부에 대하여 제2 선단측 암부를 회동시킴과 함께 제2 선단측 암부에 대하여 제2 핸드를 회동시키는 제2 선단측 암부 구동 기구를 구비하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 제1 핸드 및 제2 핸드의 형상은, 소정 방향을 긴 방향으로 하는 긴 변 형상으로 되어 있고, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 중심을 제1 회동 중심이라 하고, 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 중심을 제2 회동 중심이라 하고, 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 중심을 제3 회동 중심이라 하고, 제1 선단측 암부에 대한 제1 핸드의 회동 중심을 제4 회동 중심이라 하고, 제2 선단측 암부에 대한 제2 핸드의 회동 중심을 제5 회동 중심이라 하고, 제1 회동 중심과 제2 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제1 중심 간 거리라 하고, 제1 회동 중심과 제3 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제2 중심 간 거리라 하고, 제2 회동 중심과 제4 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제3 중심 간 거리라 하고, 제3 회동 중심과 제5 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제4 중심 간 거리라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때에 제1 핸드의 긴 방향에 직교하는 제1 핸드의 짧은 방향을 제1 짧은 방향이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때에 제2 핸드의 긴 방향에 직교하는 제2 핸드의 짧은 방향을 제2 짧은 방향이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 제1 핸드의 제1 짧은 방향의 중심선을 제1 핸드 기준선이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 제2 핸드의 제2 짧은 방향의 중심선을 제2 핸드 기준선이라 하고, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 속도를 공통 암부 회동 속도라 하고, 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 속도를 제1 선단측 암부 회동 속도라 하고, 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 속도를 제2 선단측 암부 회동 속도라 하고, 제1 핸드의 정규의 위치에 탑재되는 반송 대상물의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 제1 핸드 중심이라 하고, 제2 핸드의 정규의 위치에 탑재되는 반송 대상물의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 제2 핸드 중심이라 하고, 수용부의 정규의 위치에 수용되는 반송 대상물의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 수용부 중심이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 제1 회동 중심과 수용부 중심을 연결하는 가상선을 시스템 기준선이라 하고, 시스템 기준선의 방향을 전후 방향이라 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 방향을 좌우 방향이라 하고, 제1 선단측 암부측이 펼쳐진 상태에서 수용부에 대한 반송 대상물의 전달을 행할 때의 제1 핸드의 위치를 제1 전달 위치라 하고, 제2 선단측 암부측이 펼쳐진 상태에서 수용부에 대한 반송 대상물의 전달을 행할 때의 제2 핸드의 위치를 제2 전달 위치라 하고, 본체부에 제1 핸드 및 제2 핸드가 접근하도록 소정의 상태까지 암이 오그라든 때의 제1 핸드의 위치를 제1 기준 위치라 하고, 제1 핸드가 제1 기준 위치에 배치되어 있을 때의 제2 핸드의 위치를 제2 기준 위치라 하면, 제1 중심 간 거리와 제2 중심 간 거리는, 동등하게 되어 있고, 제3 중심 간 거리는, 제1 중심 간 거리보다도 짧게 되어 있고, 제4 중심 간 거리는, 제2 중심 간 거리보다도 짧게 되어 있고, 제1 전달 위치와 제1 기준 위치 사이에서 제1 핸드가 이동할 때에, 공통 암부 회동 속도와 제1 선단측 암부 회동 속도의 비율은, 일정하게 되어 있고, 제2 전달 위치와 제2 기준 위치 사이에서 제2 핸드가 이동할 때에, 공통 암부 회동 속도와 제2 선단측 암부 회동 속도의 비율은, 일정하게 되어 있고, 제1 핸드가 제1 전달 위치에 배치되어 있을 때에, 상하 방향으로부터 보면, 시스템 기준선과 제1 핸드 기준선이 겹치고, 제2 핸드가 제2 전달 위치에 배치되어 있을 때에, 상하 방향으로부터 보면, 시스템 기준선과 제2 핸드 기준선이 겹쳐 있는 산업용 로봇의 제어 방법이며, 제1 전달 위치와 제1 기준 위치 사이에서 제1 핸드가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 제1 핸드 중심의 궤적이 시스템 기준선에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 제1 핸드가 제1 기준 위치에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선에 대하여 제1 핸드 기준선을 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구 및 제1 선단측 암부 구동 기구를 구동하고, 게다가, 제2 전달 위치와 제2 기준 위치 사이에서 제2 핸드가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 제2 핸드 중심의 궤적이 시스템 기준선에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 제2 핸드가 제2 기준 위치에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선에 대하여 제2 핸드 기준선을 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구 및 제2 선단측 암부 구동 기구를 구동하는 것을 특징으로 한다.In addition, in order to solve the above problem, the industrial robot control method of one aspect of the present invention includes a first hand and a second hand on which the transport object is mounted, and the first hand and the second hand can be rotated toward the front end side. It is provided with a connected arm, a main body portion to which the proximal end of the arm is rotatably connected, and an arm drive mechanism that expands and contracts the arm in a horizontal direction with respect to the main body portion, and carries out the conveyed object from a receiving portion in which the conveyed object is accommodated. A horizontal multi-joint type industrial robot that performs at least one of the following: and loading an object to be transported into a receiving unit, wherein the arm includes a first arm on the distal end of which the first hand is rotatably connected to the distal end, and a second hand on the distal end. The second distal arm portion rotatably connected to the side, the proximal end side of the first distal arm portion, and the proximal end side of the second distal arm portion are rotatably connected to the main body at different positions. It has a common arm, and the arm drive mechanism includes a common arm drive mechanism that rotates the common arm with respect to the main body with the vertical direction as the axis of rotation, and a first arm with respect to the common arm with the vertical direction as the axis of rotation. A first distal arm driving mechanism that rotates the distal arm and rotates the first hand relative to the first distal arm, and rotates the second distal arm with respect to the common arm with the vertical direction as the axis of rotation. and a second arm drive mechanism that rotates the second hand relative to the second arm, and the shapes of the first hand and the second hand when viewed from the top and bottom have a predetermined longitudinal direction. It has a long side shape, and the rotation center of the common arm with respect to the main body portion is referred to as the first rotation center, the rotation center of the first distal arm portion with respect to the common arm portion is referred to as the second rotation center, and the rotation center with respect to the common arm portion is referred to as the second rotation center. 2 The rotation center of the distal arm is referred to as the third rotation center, the rotation center of the first hand relative to the first distal arm is referred to as the fourth rotation center, and the rotation center of the second hand relative to the second distal arm is referred to as the fourth rotation center. It is called the fifth rotation center, the horizontal distance between the first rotation center and the second rotation center is called the first center-to-center distance, and the horizontal distance between the first rotation center and the third rotation center is the second center-to-center distance. Let's say, the horizontal distance between the second rotation center and the fourth rotation center is called the third center-to-center distance, the horizontal distance between the third rotation center and the fifth rotation center is called the fourth center-to-center distance, and the top and bottom The short direction of the first hand, which is perpendicular to the long direction of the first hand when viewed from the direction, is called the first short direction, and the short direction of the second hand, which is perpendicular to the long direction of the second hand when viewed from the top and bottom direction, is called the second short direction. It is called the short direction, and the center line of the first short direction of the first hand when viewed from the up and down direction is called the first hand reference line, and the center line of the second short direction of the second hand when viewed from the up and down direction is called the second hand reference line. Let's say, the rotation speed of the common arm with respect to the main body is called the common arm rotation speed, the rotation speed of the first tip side arm with respect to the common arm is called the first tip side arm rotation speed, and the second tip with respect to the common arm is called the rotation speed. Let the rotational speed of the side arm be the rotational speed of the second distal arm, let the center of the conveyed object mounted at the normal position of the first hand be the center of the first hand when viewed from the vertical direction, and let the normal position of the second hand be the center of the first hand. The center of the conveyed object placed in the position when viewed from the vertical direction is called the second hand center, and the center of the conveyed object accommodated in the normal position of the receiving portion when viewed from the vertical direction is called the receiving portion center, and The virtual line connecting the first center of rotation and the center of the receiver when viewed is called the system baseline, the direction of the system baseline is called the front-to-back direction, the direction perpendicular to the up-down direction and the front-back direction is called the left-right direction, and the first tip is called the left-right direction. The position of the first hand when delivering the conveyed object to the receiving unit with the side arm side unfolded is referred to as the first delivery position, and the conveyed object is delivered to the receiving unit with the second distal arm side unfolded. The position of the second hand when performing is called the second delivery position, and the position of the first hand when the arm is retracted to a predetermined state so that the first hand and the second hand approach the main body is called the first reference position. If the position of the second hand when the first hand is placed at the first reference position is called the second reference position, the distance between the first centers and the distance between the second centers are equal, and the distance between the second centers is equal, and the distance between the first centers is equal to the third center. The distance between centers is shorter than the distance between first centers, and the distance between fourth centers is shorter than the distance between second centers, and when the first hand moves between the first delivery position and the first reference position, the common arm rotates. The ratio of the speed and the first arm rotation speed is constant, and when the second hand moves between the second delivery position and the second reference position, the ratio of the common arm rotation speed and the second tip arm rotation speed is constant. is constant, and when the first hand is placed at the first delivery position, when viewed from the vertical direction, the system baseline and the first hand baseline overlap, and when the second hand is placed at the second delivery position, This is a control method of an industrial robot in which a system reference line and a second hand reference line overlap when viewed from the up and down direction, and when the first hand moves between the first delivery position and the first reference position, when viewed from the up and down direction, the center of the first hand The common arm driving mechanism and the first distal arm portion tilt the first hand reference line with respect to the system reference line when the first hand is disposed at the first reference position so that the trajectory swings in both left and right directions with respect to the system reference line. When driving the drive mechanism and moving the second hand between the second delivery position and the second reference position, when viewed from the up and down directions, the trajectory of the center of the second hand swings to both sides in the left and right directions with respect to the system reference line, When the second hand is disposed at the second reference position, the second hand reference line is tilted with respect to the system reference line and the common arm driving mechanism and the second distal arm driving mechanism are driven.
본 양태의 산업용 로봇 제어 방법에서는, 제1 전달 위치와 제1 기준 위치 사이에서 제1 핸드가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 제1 핸드 중심의 궤적이 시스템 기준선에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 제1 핸드가 제1 기준 위치에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선에 대하여 제1 핸드 기준선을 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구 및 제1 선단측 암부 구동 기구를 구동하고 있다. 그 때문에, 본원 발명자의 검토에 의하면, 본 양태에서는, 제3 중심 간 거리가 제1 중심 간 거리보다 짧게 되어 있어도, 상하 방향으로부터 보면, 제1 전달 위치와 제1 기준 위치 사이에서 제1 핸드가 이동할 때의, 제1 핸드 중심의 궤적의, 시스템 기준선에 대한 좌우 방향의 어긋남양을 저감하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 양태에서는, 제3 중심 간 거리가 제1 중심 간 거리보다 짧게 되어 있어도, 제1 핸드로 반송 대상물을 반송할 때의, 로봇 시스템의 각 장치 등과 제1 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 간섭을 방지하는 것이 가능해진다.In the industrial robot control method of this aspect, when the first hand moves between the first delivery position and the first reference position, the trajectory of the center of the first hand swings to both sides in the left and right directions with respect to the system baseline when viewed from the up and down directions. , when the first hand is disposed at the first reference position, the first hand reference line is tilted with respect to the system reference line, and the common arm driving mechanism and the first distal arm driving mechanism are driven. Therefore, according to the present inventor's examination, in this embodiment, even if the distance between the third centers is shorter than the distance between the first centers, when viewed from the vertical direction, the first hand is between the first delivery position and the first reference position. It is possible to reduce the amount of deviation in the left and right directions of the trajectory centered on the first hand when moving with respect to the system baseline. Therefore, in this embodiment, even if the third center-to-center distance is shorter than the first center-to-center distance, interference between each device of the robot system and the conveyed object mounted on the first hand when the conveyed object is transported by the first hand. It becomes possible to prevent.
또한, 본 양태에서는, 제2 전달 위치와 제2 기준 위치 사이에서 제2 핸드가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 제2 핸드 중심의 궤적이 시스템 기준선에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 제2 핸드가 제2 기준 위치에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선에 대하여 제2 핸드 기준선을 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구 및 제2 선단측 암부 구동 기구를 구동하고 있다. 그 때문에, 본원 발명자의 검토에 의하면, 본 양태에서는, 제4 중심 간 거리가 제2 중심 간 거리보다 짧게 되어 있어도, 상하 방향으로부터 보면, 제2 전달 위치와 제2 기준 위치 사이에서 제2 핸드가 이동할 때의, 제2 핸드 중심의 궤적, 시스템 기준선에 대한 좌우 방향의 어긋남양을 저감하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 양태에서는, 제4 중심 간 거리가 제2 중심 간 거리보다 짧게 되어 있어도, 제2 핸드로 반송 대상물을 반송할 때의, 로봇 시스템의 각 장치 등과 제2 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 간섭을 방지하는 것이 가능해진다.Additionally, in this embodiment, when the second hand moves between the second delivery position and the second reference position, the trajectory of the center of the second hand swings to both sides in the left and right directions with respect to the system baseline when viewed from the up and down directions. When the hand is placed at the second reference position, the second hand reference line is tilted with respect to the system reference line, and the common arm drive mechanism and the second distal arm drive mechanism are driven. Therefore, according to the present inventor's examination, in this embodiment, even if the distance between the fourth centers is shorter than the distance between the second centers, when viewed from the vertical direction, the second hand is between the second delivery position and the second reference position. It is possible to reduce the amount of deviation in the left and right directions with respect to the trajectory of the center of the second hand and the system baseline when moving. Therefore, in this embodiment, even if the fourth center-to-center distance is shorter than the second center-to-center distance, interference between each device of the robot system and the conveyed object mounted on the second hand when the conveyed object is transported by the second hand. It becomes possible to prevent.
이상과 같이, 본 발명에서는, 반송 대상물이 수용되는 수용부와, 수용부에 대한 반송 대상물의 반송을 행하는 산업용 로봇을 구비하는 로봇 시스템에 있어서, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 중심과 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 중심의 수평 방향의 거리보다도, 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 중심과 제1 선단측 암부에 대한 제1 핸드의 회동 중심의 수평 방향의 거리가 짧게 되어 있고, 또한, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 중심과 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 중심의 수평 방향의 거리보다도, 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 중심과 제2 선단측 암부에 대한 제2 핸드의 회동 중심의 수평 방향의 거리가 짧게 되어 있어도, 제1 핸드, 제2 핸드로 반송 대상물을 반송할 때의, 로봇 시스템의 각 장치 등과 제1 핸드, 제2 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 간섭을 방지하는 것이 가능해진다.As described above, in the present invention, in the robot system including a receiving portion in which the conveying object is accommodated and an industrial robot that transfers the conveying object to the accommodating portion, the rotation center of the common arm with respect to the main body portion and the common arm portion The horizontal distance between the rotational center of the first distal arm with respect to the common arm and the rotational center of the first hand with respect to the first distal arm is shorter than the horizontal distance between the rotational center of the first distal arm with respect to the common arm. Also, the distance in the horizontal direction between the rotation center of the common arm with respect to the main body portion and the rotation center of the second distal end arm with respect to the common arm is greater than the rotation center of the second distal arm with respect to the common arm and the second distal end with respect to the common arm. Even if the horizontal distance of the rotation center of the second hand with respect to the arm is short, each device of the robot system, etc. is mounted on the first hand and the second hand when transporting the object with the first hand and the second hand. It becomes possible to prevent interference with objects being transported.
또한, 본 발명의 제어 방법으로 산업용 로봇을 제어하면, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 중심과 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 중심의 수평 방향의 거리보다도, 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 중심과 제1 선단측 암부에 대한 제1 핸드의 회동 중심의 수평 방향의 거리가 짧게 되어 있고, 또한, 본체부에 대한 공통 암부의 회동 중심과 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 중심의 수평 방향의 거리보다도, 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 중심과 제2 선단측 암부에 대한 제2 핸드의 회동 중심의 수평 방향의 거리가 짧게 되어 있어도, 제1 핸드, 제2 핸드로 반송 대상물을 반송할 때의, 로봇 시스템의 각 장치 등과 제1 핸드, 제2 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 간섭을 방지하는 것이 가능해진다.In addition, when an industrial robot is controlled by the control method of the present invention, the first tip with respect to the common arm is greater than the horizontal distance between the rotation center of the common arm with respect to the main body and the rotation center of the first tip side arm with respect to the common arm. The horizontal distance between the rotational center of the side arm and the rotational center of the first hand with respect to the first distal arm is shortened, and also, the rotational center of the common arm with respect to the main body and the second distal arm with respect to the common arm are shortened. Even if the horizontal distance between the rotation center of the second distal arm with respect to the common arm and the rotation center of the second hand with respect to the second distal arm is shorter than the horizontal distance of the rotation center of the first hand, When transporting an object to be transported by the second hand, it is possible to prevent interference with each device of the robot system, etc., of the object to be transported, which is mounted on the first hand and the second hand.
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 로봇 시스템의 구성을 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는, 도 1에 도시하는 로봇 시스템의 구성을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은, 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 사시도이다.
도 4는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 사시도이다.
도 5는, 도 4에 도시하는 산업용 로봇의 배면도이다.
도 6은, 도 3에 도시하는 산업용 로봇의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 7은, 도 1에 도시하는 제1 핸드가 제1 전달 위치와 제1 기준 위치 사이에서 이동할 때의 제1 핸드 중심의 궤적의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은, 도 1에 도시하는 제1 핸드가 제1 전달 위치와 제1 기준 위치 사이에서 이동할 때의 제1 핸드 중심의 궤적의 비교예를 설명하기 위한 도면이다.1 is a plan view for explaining the configuration of a robot system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view for explaining the configuration of the robot system shown in FIG. 1.
FIG. 3 is a perspective view of the industrial robot shown in FIG. 1.
FIG. 4 is a perspective view of the industrial robot shown in FIG. 1.
FIG. 5 is a rear view of the industrial robot shown in FIG. 4.
FIG. 6 is a block diagram for explaining the configuration of the industrial robot shown in FIG. 3.
FIG. 7 is a diagram for explaining an example of the trajectory of the center of the first hand shown in FIG. 1 when it moves between the first delivery position and the first reference position.
FIG. 8 is a diagram for explaining a comparative example of the trajectory of the center of the first hand shown in FIG. 1 when it moves between the first delivery position and the first reference position.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention will be described with reference to the drawings.
(로봇 시스템의 구성)(Configuration of the robot system)
도 1, 도 2는, 본 발명의 실시 형태에 관한 로봇 시스템(1)의 구성을 설명하기 위한 평면도이다. 도 3, 도 4는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(4)의 사시도이다. 도 5는, 도 4에 도시하는 산업용 로봇(4)의 배면도이다. 도 6은, 도 3에 도시하는 산업용 로봇(4)의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.1 and 2 are plan views for explaining the configuration of the
본 형태의 로봇 시스템(1)은, 반송 대상물인 반도체 웨이퍼(2)(이하, 「웨이퍼(2)」로 함)가 수용되는 수용부(3)와, 수용부(3)에 대한 웨이퍼(2)의 반송을 행하기 위한 수평 다관절형의 산업용 로봇(4)(이하, 「로봇(4)」으로 함)을 구비하는 반도체 제조 시스템이다. 웨이퍼(2)는, 얇은 원판상으로 형성되어 있다. 본 형태의 수용부(3)는, 예를 들어 복수매의 웨이퍼(2)가 상하 방향(연직 방향)에 있어서 일정한 피치로 수용되는 FOUP이다. 따라서, 이하의 설명에서는, 수용부(3)를 「FOUP(3)」이라 한다. 로봇 시스템(1)은, FOUP(3) 및 로봇(4)에 추가하여, 반도체를 제조하기 위한 각종 처리 장치를 구비하고 있다.The
로봇(4)은, FOUP(3)로부터의 웨이퍼(2)의 반출 및 FOUP(3)에의 웨이퍼(2)의 반입 중 적어도 어느 한쪽을 행한다. 로봇(4)은, 웨이퍼(2)가 탑재되는 핸드(6, 7)와, 핸드(6, 7)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암(8)과, 암(8)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(9)를 구비하고 있다. 본 형태의 로봇(4)은, 상하 방향에 있어서 겹친 상태에서 배치되는 4개의 핸드(6)와, 상하 방향에 있어서 겹친 상태에서 배치되는 4개의 핸드(7)를 구비하고 있다. 본 형태의 핸드(6)는, 제1 핸드이고, 핸드(7)는 제2 핸드이다.The
또한, 로봇(4)은, 로봇(4)을 제어하는 제어부(10)와, 본체부(9)에 대하여 암(8)을 수평 방향으로 신축시키는 암 구동 기구(11)와, 본체부(9)에 대하여 핸드(6, 7) 및 암(8)을 승강시키는 승강 기구(도시 생략)를 구비하고 있다. 암(8)은, 핸드(6)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 선단측 암부(13)와, 핸드(7)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 선단측 암부(14)와, 선단측 암부(13)의 기단측 및 선단측 암부(14)의 기단측이 서로 다른 위치에서 회동 가능하게 연결됨과 함께 본체부(9)에 회동 가능하게 연결되는 공통 암부(15)를 구비하고 있다. 본 형태의 암(8)은, 선단측 암부(13, 14)와 공통 암부(15)에 의해 구성되어 있다. 본 형태의 선단측 암부(13)는, 제1 선단측 암부이고, 선단측 암부(14)는, 제2 선단측 암부이다.In addition, the
상하 방향으로부터 보았을 때의 핸드(6, 7)의 형상은, 소정 방향을 긴 방향으로 하는 긴 변 형상으로 되어 있다. 구체적으로는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 핸드(6, 7)의 형상은, Y 형상으로 되어 있고, 핸드(6, 7)의 선단측 부분은, 두 갈래 형상으로 되어 있다. 핸드(6)와 핸드(7)는 대략 동일한 형상으로 형성되어 있다. 웨이퍼(2)는, 핸드(6, 7)의 선단측 부분에 탑재된다. 핸드(6, 7)는, 핸드(6, 7)에 탑재되는 웨이퍼(2)를 수평 방향으로 위치 결정하기 위한 위치 결정 부재를 구비하고 있다. 4개의 핸드(6)는, 상하 방향에 있어서 일정한 간격을 둔 상태에서 핸드 고정 부재(16)에 고정되어 있다. 핸드 고정 부재(16)에는, 핸드(6)의 기단부가 고정되어 있다. 4개의 핸드(7)는, 상하 방향에 있어서 일정한 간격을 둔 상태에서 핸드 고정 부재(17)에 고정되어 있다. 핸드 고정 부재(17)에는, 핸드(7)의 기단부가 고정되어 있다.The shape of the
핸드 고정 부재(16)는, 선단측 암부(13)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 즉, 4개의 핸드(6)는, 핸드 고정 부재(16)를 통해 선단측 암부(13)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 핸드 고정 부재(17)는, 선단측 암부(14)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 즉, 4개의 핸드(7)는, 핸드 고정 부재(17)를 통해 선단측 암부(14)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 4개의 핸드(6) 각각과 4개의 핸드(7) 각각은, 상하 방향에 있어서 교호로 배치되어 있다.The
이하의 설명에서는, 도 1, 도 2에 도시하는 바와 같이, 핸드(6)의 정규의 위치(설계 상의 위치)에 탑재되는 웨이퍼(2)의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 제1 핸드 중심 C1이라 하고, 핸드(7)의 정규의 위치(설계 상의 위치)에 탑재되는 웨이퍼(2)의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 제2 핸드 중심 C2라 하고, FOUP(3)의 정규의 위치(설계 상의 위치)에 수용되는 웨이퍼(2)의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 FOUP 중심 C3이라 하자. 핸드(6)의 정규의 위치에 탑재되는 웨이퍼(2)는, 핸드(6)의 위치 결정 부재에 의해 수평 방향으로 위치 결정되고, 핸드(7)의 정규의 위치에 탑재되는 웨이퍼(2)는, 핸드(7)의 위치 결정 부재에 의해 수평 방향으로 위치 결정되어 있다. 본 형태의 FOUP 중심 C3은, 수용부 중심이다.In the following description, as shown in FIGS. 1 and 2, the center of the
또한, 이하의 설명에서는, 상하 방향으로부터 보았을 때에 핸드(6)의 긴 방향에 직교하는 핸드(6)의 짧은 방향을 제1 짧은 방향이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 핸드(6)의 제1 짧은 방향의 중심선을 제1 핸드 기준선 CL1이라 하자. 또한, 상하 방향으로부터 보았을 때에 핸드(7)의 긴 방향에 직교하는 핸드(7)의 짧은 방향을 제2 짧은 방향이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 핸드(7)의 제2 짧은 방향의 중심선을 제2 핸드 기준선 CL2라 하자. 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 핸드 중심 C1은, 제1 핸드 기준선 CL1 상에 있고, 제2 핸드 중심 C2는, 제2 핸드 기준선 CL2 상에 있다.In addition, in the following description, the short direction of the
선단측 암부(13, 14)는, 핸드(6, 7)보다도 하측에 배치되어 있다. 선단측 암부(13)와 선단측 암부(14)는, 상하 방향에 있어서 동일 위치에 배치되어 있다. 공통 암부(15)는, 선단측 암부(13, 14)보다도 하측에 배치되어 있다. 또한, 공통 암부(15)는, 본체부(9)보다도 상측에 배치되어 있다. 본체부(9)는, 원통상으로 형성되어 있다. 선단측 암부(13, 14)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 직사각 형상이 됨과 함께 상하 방향의 두께가 얇은 블록상으로 형성되어 있다. 선단측 암부(13, 14)의 상하 방향 두께는 일정하게 되어 있다. 선단측 암부(13, 14)는, 중공형으로 형성되어 있다. 선단측 암부(13)와 선단측 암부(14)는 동일 형상으로 형성되어 있다.The
공통 암부(15)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 외형이 이등변 삼각형 형상이 되는 블록상으로 형성되어 있다. 즉, 상하 방향으로부터 보았을 때의 공통 암부(15)의 외형은 이등변 삼각형 형상으로 되어 있다. 공통 암부(15)의 상하 방향 두께는 일정하게 되어 있다. 공통 암부(15)는, 중공형으로 형성되어 있다. 이 등변 삼각형 형상을 이루는 공통 암부(15)의 저변 길이는, 원통상을 이루는 본체부(9)의 외경보다도 길게 되어 있다. 선단측 암부(13)의 기단측은, 이등변 삼각형 형상을 이루는 공통 암부(15)의, 한쪽의 빗변과 저변이 교차하는 코너부에 회동 가능하게 연결되고, 선단측 암부(14)의 기단측은, 이등변 삼각형 형상을 이루는 공통 암부(15)의, 다른 쪽의 빗변과 저변이 교차하는 코너부에 회동 가능하게 연결되어 있다. 본체부(9)에는, 공통 암부(15)의 중심 부분이 회동 가능하게 연결되어 있다.The common arm portion 15 is formed in the shape of a block whose outer shape is an isosceles triangle when viewed from the top and bottom. That is, the external shape of the common arm portion 15 when viewed from the vertical direction is in the shape of an isosceles triangle. The vertical thickness of the common arm portion 15 is constant. The common arm portion 15 is formed in a hollow shape. The length of the base of the common arm portion 15 forming this equilateral triangle shape is longer than the outer diameter of the
암 구동 기구(11)는, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 본체부(9)에 대하여 공통 암부(15)를 회동시키는 공통 암부 구동 기구(19)와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 공통 암부(15)에 대하여 선단측 암부(13)를 회동시킴과 함께 선단측 암부(13)에 대하여 핸드(6)를 회동시키는 선단측 암부 구동 기구(20)와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 공통 암부(15)에 대하여 선단측 암부(14)를 회동시킴과 함께 선단측 암부(14)에 대하여 핸드(7)를 회동시키는 선단측 암부 구동 기구(21)를 구비하고 있다. 본 형태의 암 구동 기구(11)는, 공통 암부 구동 기구(19)와 선단측 암부 구동 기구(20, 21)에 의해 구성되어 있다. 본 형태의 선단측 암부 구동 기구(20)는, 제1 선단측 암부 구동 기구이고, 선단측 암부 구동 기구(21)는, 제2 선단측 암부 구동 기구이다.The
이하의 설명에서는, 도 1, 도 5에 도시하는 바와 같이, 본체부(9)에 대한 공통 암부(15)의 회동 중심을 제1 회동 중심 C6이라 하고, 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(13)의 회동 중심을 제2 회동 중심 C7이라 하고, 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(14)의 회동 중심을 제3 회동 중심 C8이라 하고, 선단측 암부(13)에 대한 핸드(6)의 회동 중심을 제4 회동 중심 C9라 하고, 선단측 암부(14)에 대한 핸드(7)의 회동 중심을 제5 회동 중심 C10이라 하고, 제1 회동 중심 C6과 제2 회동 중심 C7의 수평 방향의 거리를 제1 중심 간 거리 L1이라 하고, 제1 회동 중심 C6과 제3 회동 중심 C8의 수평 방향의 거리를 제2 중심 간 거리 L2라 하고, 제2 회동 중심 C7과 제4 회동 중심 C9의 수평 방향의 거리를 제3 중심 간 거리 L3이라 하고, 제3 회동 중심 C8과 제5 회동 중심 C10의 수평 방향의 거리를 제4 중심 간 거리 L4라 하자.In the following description, as shown in FIGS. 1 and 5, the rotation center of the common arm 15 with respect to the
또한, 이하의 설명에서는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 제1 회동 중심 C6과 FOUP 중심 C3을 연결하는 가상선을 시스템 기준선 CL3이라 하고, 시스템 기준선 CL3의 방향(도 1, 도 2의 X 방향)을 전후 방향이라 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 방향(도 1, 도 2의 Y 방향)을 좌우 방향이라 하자. FOUP(3)와 본체부(9)는, 전후 방향으로 소정의 간격을 둔 상태에서 배치되어 있다. FOUP(3)에는, 좌우 방향으로 평행한 2개의 측벽이 형성되어 있다. 웨이퍼(2)는, 2개의 측벽 사이에 수용된다.In addition, in the following description, the virtual line connecting the first rotation center C6 and the FOUP center C3 when viewed from the top and bottom is referred to as the system baseline CL3, and the direction of the system baseline CL3 (X direction in Figs. 1 and 2) is referred to as Let's call it the front-back direction, and let's say the direction perpendicular to the up-down direction and the front-back direction (the Y direction in Figs. 1 and 2) is the left-right direction. The
제3 중심 간 거리 L3은, 제1 중심 간 거리 L1보다도 짧게 되어 있다. 제4 중심 간 거리 L4는, 제2 중심 간 거리 L2보다도 짧게 되어 있다. 또한, 제1 중심 간 거리 L1과 제2 중심 간 거리 L2는 동등하게 되어 있고, 제3 중심 간 거리 L3과 제4 중심 간 거리 L4는 동등하게 되어 있다. 제1 짧은 방향에 있어서, 제4 회동 중심 C9는, 제1 핸드 기준선 CL1로부터 어긋나 있다. 제2 짧은 방향에 있어서, 제5 회동 중심 C10은, 제2 핸드 기준선 CL2로부터 어긋나 있다. 제1 짧은 방향에 있어서의 제4 회동 중심 C9와 제1 핸드 기준선 CL1의 거리와, 제2 짧은 방향에 있어서의 제5 회동 중심 C10과 제2 핸드 기준선 CL2의 거리는 동등하게 되어 있다.The third center-to-center distance L3 is shorter than the first center-to-center distance L1. The fourth center-to-center distance L4 is shorter than the second center-to-center distance L2. Additionally, the distance between the first centers L1 and the distance between the second centers L2 are equal, and the distance between the third centers L3 and the distance between the fourth centers L4 are equal. In the first short direction, the fourth rotation center C9 is shifted from the first hand reference line CL1. In the second short direction, the fifth rotation center C10 is shifted from the second hand reference line CL2. The distance between the fourth rotation center C9 and the first hand reference line CL1 in the first minor direction and the distance between the fifth rotation center C10 and the second hand reference line CL2 in the second minor direction are equal.
공통 암부 구동 기구(19)는, 모터(24)와, 모터(24)의 동력을 공통 암부(15)에 전달하는 동력 전달 기구를 구비하고 있다. 동력 전달 기구는 감속기, 풀리 및 벨트 등으로 구성되어 있다. 모터(24) 및 동력 전달 기구는, 본체부(9)의 내부에 배치되어 있다. 선단측 암부 구동 기구(20)는, 모터(25)와, 모터(25)의 동력을 선단측 암부(13) 및 핸드(6)에 전달하는 동력 전달 기구를 구비하고 있다. 동력 전달 기구는 감속기, 풀리 및 벨트 등으로 구성되어 있다. 모터(25) 및 동력 전달 기구는, 선단측 암부(13) 및 공통 암부(15)의 내부에 배치되어 있다. 선단측 암부 구동 기구(21)는, 모터(26)와, 모터(26)의 동력을 선단측 암부(14) 및 핸드(7)에 전달하는 동력 전달 기구를 구비하고 있다. 동력 전달 기구는 감속기, 풀리 및 벨트 등으로 구성되어 있다. 모터(26) 및 동력 전달 기구는, 선단측 암부(14) 및 공통 암부(15)의 내부에 배치되어 있다.The common
모터(24 내지 26)는, 서보 모터이다. 모터(24 내지 26) 각각에는, 모터(24 내지 26)의 각각의 회전 위치를 검지하기 위한 로터리 인코더가 설치되어 있다. 모터(24 내지 26) 및 로터리 인코더는, 제어부(10)에 전기적으로 접속되어 있다. 제어부(10)는, 로터리 인코더의 검지 결과에 기초하여 모터(24 내지 26)를 제어한다. 또한, 제어부(10)는, 암(8)의 신축 동작 시에, 2개의 모터(25, 26) 중 어느 1개의 모터(25, 26)와, 모터(24)를 구동한다. 즉, 제어부(10)는, 암(8)의 신축 동작 시에, 모터(26)를 정지시킨 상태에서 모터(25)와 모터(24)를 구동하거나, 혹은, 모터(25)를 정지시킨 상태에서 모터(26)와 모터(24)를 구동한다.
선단측 암부(13)측이 펼쳐진 상태에서 FOUP(3)에 대한 웨이퍼(2)의 전달을 행할 때의 핸드(6)의 위치를 제1 전달 위치(6A)라 하고(도 1 참조), 본체부(9)에 핸드(6, 7)가 접근하도록 소정의 상태까지 암(8)이 오그라든 때의 핸드(6)의 위치를 제1 기준 위치(6B)라 하면(도 2, 도 4 참조), 핸드(6)에 의해 FOUP(3)에 대하여 웨이퍼(2)를 반송할 때에는, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동한다. 제1 전달 위치(6A)에 핸드(6)가 배치되어 있을 때에는, 상하 방향으로부터 보면, 제1 핸드 중심 C1과 FOUP 중심 C3이 일치하고 있다.The position of the
또한, 선단측 암부(14)측이 펼쳐진 상태에서 FOUP(3)에 대한 웨이퍼(2)의 전달을 행할 때의 핸드(7)의 위치를 제2 전달 위치(7A)라 하고(도 3 참조), 핸드(6)가 제1 기준 위치(6B)에 배치되어 있을 때의 핸드(7)의 위치를 제2 기준 위치(7B)라 하면(도 4 참조), 핸드(7)에 의해 FOUP(3)에 대하여 웨이퍼(2)를 반송할 때에는, 제2 전달 위치(7A)와 제2 기준 위치(7B) 사이에서 핸드(7)가 이동한다. 제2 전달 위치(7A)에 핸드(7)가 배치되어 있을 때에는, 상하 방향으로부터 보면, 제2 핸드 중심 C2와 FOUP 중심 C3이 일치하고 있다.In addition, the position of the
본 형태에서는, 핸드(6)가 제1 기준 위치(6B)에 배치되고, 핸드(7)가 제2 기준 위치(7B)에 배치되어 있는 상태에서는, 공통 암부 구동 기구(19)가 구동하여 본체부(9)에 대하여 암(8) 및 핸드(6, 7)가 회동할 때의, 제1 회동 중심 C6을 중심으로 하는 암(8) 및 핸드(6, 7)의 선회 반경이 최소가 되는 위치까지 암(8)이 오그라 든다. 즉, 제1 회동 중심 C6을 중심으로 하는 암(8) 및 핸드(6, 7)의 선회 반경이 최소가 되는 위치까지 암(8)이 오그라든 때의 핸드(6)의 위치가 제1 기준 위치(6B)이고, 핸드(7)의 위치가 제2 기준 위치(7B)이다.In this form, in a state where the
본체부(9)에 대한 공통 암부(15)의 회동 속도를 공통 암부 회동 속도라 하고, 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(13)의 회동 속도를 제1 선단측 암부 회동 속도라 하고, 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(14)의 회동 속도를 제(2)선단측 암부 회동 속도라 하면, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때에, 공통 암부 회동 속도와 제1 선단측 암부 회동 속도의 비율은 일정하게 되어 있다. 또한, 제2 전달 위치(7A)와 제2 기준 위치(7B) 사이에서 핸드(7)가 이동할 때에, 공통 암부 회동 속도와 제2 선단측 암부 회동 속도의 비율은 일정하게 되어 있다. 예를 들어, 제1 선단측 암부 회동 속도 및 제2 선단측 암부 회동 속도는, 공통 암부 회동 속도의 1.5배 내지 2.5배 정도로 되어 있다.The rotational speed of the common arm 15 with respect to the
또한, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때에, 공통 암부 회동 속도 및 제1 선단측 암부 회동 속도는 일정하게 되어 있다. 마찬가지로, 제2 전달 위치(7A)와 제2 기준 위치(7B) 사이에서 핸드(7)가 이동할 때에, 공통 암부 회동 속도 및 제2 선단측 암부 회동 속도는 일정하게 되어 있다. 본 형태에서는, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때의 공통 암부 회동 속도와, 제2 전달 위치(7A)와 제2 기준 위치(7B) 사이에서 핸드(7)가 이동할 때의 공통 암부 회동 속도가 동등하게 되어 있다.Additionally, when the
도 1에 도시하는 바와 같이, 핸드(6)가 제1 전달 위치(6A)에 배치되어 있을 때에는, 상하 방향으로부터 보면, 시스템 기준선 CL3과 제1 핸드 기준선 CL1이 겹쳐 있다. 마찬가지로, 핸드(7)가 제2 전달 위치(7A)에 배치되어 있을 때에는, 상하 방향으로부터 보면, 시스템 기준선 CL3과 제2 핸드 기준선 CL2가 겹쳐 있다. 핸드(6)가 제1 기준 위치(6B)에 배치되고, 핸드(7)가 제2 기준 위치(7B)에 배치되어 있을 때에는, 상하 방향으로부터 보면, 핸드(6)와 핸드(7)가 겹쳐 있다(도 2, 도 4 참조).As shown in Fig. 1, when the
또한, 핸드(6)가 제1 기준 위치(6B)에 배치되고, 핸드(7)가 제2 기준 위치(7B)에 배치되어 있을 때에는, 상하 방향으로부터 보면, 시스템 기준선 CL3에 대하여 제1 핸드 기준선 CL1이 기울어 있다(도 2 참조). 마찬가지로, 핸드(6)가 제1 기준 위치(6B)에 배치되고, 핸드(7)가 제2 기준 위치(7B)에 배치되어 있을 때에는, 상하 방향으로부터 보면, 시스템 기준선 CL3에 대하여 제2 핸드 기준선 CL2가 기울어 있다. 핸드(6)가 제1 기준 위치(6B)에 배치되고, 핸드(7)가 제2 기준 위치(7B)에 배치되어 있을 때에는, 상하 방향으로부터 보면, 제1 핸드 기준선 CL1과 제2 핸드 기준선 CL2가 겹쳐 있다.Additionally, when the
(산업용 로봇의 제어 방법)(Control method of industrial robot)
도 7은, 도 1에 도시하는 핸드(6)가 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 이동할 때의 제1 핸드 중심 C1의 궤적의 일례를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 7 is a diagram for explaining an example of the trajectory of the first hand center C1 when the
제어부(10)는, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 제1 핸드 중심 C1의 궤적이 시스템 기준선 CL3에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 핸드(6)가 제1 기준 위치(6B)에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선 CL3에 대하여 제1 핸드 기준선 CL1을 기울임과 함께(즉, 전후 방향에 대하여 제1 핸드 기준선 CL1을 기울임과 함께, 도 2 참조), 공통 암부 구동 기구(19) 및 선단측 암부 구동 기구(20)를 구동한다. 즉, 제어부(10)는, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 제1 핸드 중심 C1이 시스템 기준선 CL3에 대하여 좌우 방향의 양측으로 이동하도록, 핸드(6)가 제1 기준 위치(6B)에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선 CL3에 대하여 제1 핸드 기준선 CL1을 기울임과 함께, 모터(24, 25)를 구동 제어한다.When the
예를 들어, 제어부(10)는, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때의 제1 핸드 중심 C1의 궤적이 도 7의 곡선 CV1이 되도록, 핸드(6)가 제1 기준 위치(6B)에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선 CL3에 대하여 제1 핸드 기준선 CL1을 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구(19) 및 선단측 암부 구동 기구(20)를 구동한다. 도 7에 있어서, 종축의 「0」의 위치는, 좌우 방향에 있어서의 시스템 기준선 CL3의 위치를 나타내고 있다. 또한, 핸드(6)의 긴 방향에 있어서 제4 회동 중심 C9와 동일 위치에 배치되는 제1 핸드 기준선 CL1 상의 1점을 점 P1이라 하면(도 1, 도 2 참조), 도 7의 곡선 CV2는, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보았을 때의 점 P1의 궤적이다.For example, the
도 7에 도시하는 예에서는, 상하 방향으로부터 보면, 핸드(6)가 제1 기준 위치(6B)에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선 CL3보다도 좌우 방향의 일방측에 배치되는 제1 핸드 중심 C1이, 핸드(6)가 제1 전달 위치(6A)를 향하여 이동하는 것에 따라서 더 좌우 방향의 일방측으로 이동한 후, 시스템 기준선 CL3보다도 좌우 방향의 타방측으로 이동한다. 또한, 핸드(6)가 제1 전달 위치(6A)에 도달하면, 제1 핸드 중심 C1은 시스템 기준선 CL3 상에 배치된다. 이때에는, 점 P1도 시스템 기준선 CL3 상에 배치된다.In the example shown in FIG. 7, when the
또한, 도 7에 도시하는 예에서는, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때의, 시스템 기준선 CL3에 대한 제1 핸드 중심 C1의 좌우 방향의 일방측으로의 흔들림양(어긋남양) A1과, 시스템 기준선 CL3에 대한 제1 핸드 중심 C1의 좌우 방향 타방측으로의 흔들림양 A2가 거의 동등하게 되어 있다. 즉, 도 7에 도시하는 예에서는, 제어부(10)는, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때의 흔들림양 A1과 흔들림양 A2가 거의 동등해지도록, 핸드(6)가 제1 기준 위치(6B)에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선 CL3에 대하여 제1 핸드 기준선 CL1을 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구(19) 및 선단측 암부 구동 기구(20)를 구동한다.Additionally, in the example shown in FIG. 7, when the
마찬가지로, 제어부(10)는, 제2 전달 위치(7A)와 제2 기준 위치(7B) 사이에서 핸드(7)가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 제2 핸드 중심 C2의 궤적이 시스템 기준선 CL3에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 핸드(7)가 제2 기준 위치(7B)에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선 CL3에 대하여 제2 핸드 기준선 CL2를 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구(19) 및 선단측 암부 구동 기구(21)를 구동한다.Likewise, the
예를 들어, 제어부(10)는, 제2 전달 위치(7A)와 제2 기준 위치(7B) 사이에서 핸드(7)가 이동할 때의 제2 핸드 중심 C2의 궤적이 도 7의 곡선 CV1과 동일 곡선이 되도록, 핸드(7)가 제2 기준 위치(7B)에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선 CL3에 대하여 제2 핸드 기준선 CL2를 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구(19) 및 선단측 암부 구동 기구(21)를 구동한다. 또한, 이 경우에는, 핸드(7)의 긴 방향에 있어서 제5 회동 중심 C10과 동일 위치에 배치되는 제2 핸드 기준선 CL2 상의 1점을 점 P2라 하면(도 2 참조), 제2 전달 위치(7A)와 제2 기준 위치(7B) 사이에서 핸드(7)가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보았을 때의 점 P2의 궤적은, 도 7의 곡선 CV2와 동일 곡선이 된다.For example, the
(본 형태의 주된 효과)(main effect of this form)
이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 제어부(10)는, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 제1 핸드 중심 C1의 궤적이 시스템 기준선 CL3에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 핸드(6)가 제1 기준 위치(6B)에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선 CL3에 대하여 제1 핸드 기준선 CL1을 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구(19) 및 선단측 암부 구동 기구(20)를 구동하고 있다.As explained above, in this form, when the
그 때문에, 본원 발명자의 검토에 의하면, 본 형태에서는, 제3 중심 간 거리 L3이 제1 중심 간 거리 L1보다 짧게 되어 있어도, 상하 방향으로부터 보면, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때의, 제1 핸드 중심 C1의 궤적, 시스템 기준선 CL3에 대한 좌우 방향의 흔들림양 A1, A2를 저감하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 제3 중심 간 거리 L3이 제1 중심 간 거리 L1보다 짧게 되어 있어도, 핸드(6)로 웨이퍼(2)를 반송할 때의, FOUP(3) 등의 로봇 시스템(1)의 각 장치 등과 핸드(6)에 탑재되는 웨이퍼(2)의 간섭을 방지하는 것이 가능해진다.Therefore, according to the present inventor's examination, in this form, even if the third center-to-center distance L3 is shorter than the first center-to-center distance L1, when viewed from the vertical direction, the
또한, 본 형태에서는, 제어부(10)는, 제2 전달 위치(7A)와 제2 기준 위치(7B) 사이에서 핸드(7)가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 제2 핸드 중심 C2의 궤적이 시스템 기준선 CL3에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 핸드(7)가 제2 기준 위치(7B)에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선 CL3에 대하여 제2 핸드 기준선 CL2를 기울임과 함께, 공통 암부 구동 기구(19) 및 선단측 암부 구동 기구(21)를 구동하고 있다.Additionally, in this form, the
그 때문에, 본원 발명자의 검토에 의하면, 본 형태에서는, 제4 중심 간 거리 L4가 제2 중심 간 거리 L2보다 짧게 되어 있어도, 상하 방향으로부터 보면, 제2 전달 위치(7A)와 제2 기준 위치(7B) 사이에서 핸드(7)가 이동할 때의, 제2 핸드 중심 C2의 궤적, 시스템 기준선 CL3에 대한 좌우 방향의 흔들림양을 저감하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 제4 중심 간 거리 L4가 제2 중심 간 거리 L2보다 짧게 되어 있어도, 핸드(7)로 웨이퍼(2)를 반송할 때의, FOUP(3) 등의 로봇 시스템(1)의 각 장치 등과 핸드(7)에 탑재되는 웨이퍼(2)의 간섭을 방지하는 것이 가능해진다.Therefore, according to the present inventor's examination, in this form, even if the fourth center-to-center distance L4 is shorter than the second center-to-center distance L2, when viewed from the vertical direction, the
덧붙여서 말하면, 로봇 시스템(1)에 있어서, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때에, 일정 방향을 향한 상태에서 핸드(6)가 이동하도록(구체적으로는, 핸드(6)의 긴 방향과 전후 방향이 일치한 상태에서 핸드(6)가 이동하도록), 핸드(6)가 제1 기준 위치(6B)에 배치되어 있을 때에 시스템 기준선 CL3에 제1 핸드 기준선 CL1을 겹침과 함께, 공통 암부 구동 기구(19) 및 선단측 암부 구동 기구(20)를 구동하면, 예를 들어 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때의 제1 핸드 중심 C1의 궤적은 도 8의 곡선 CV11이 된다.Incidentally, in the
도 8에 도시하는 바와 같이, 상하 방향으로부터 보면, 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때에, 제1 핸드 중심 C1의 궤적은, 시스템 기준선 CL3보다도 좌우 방향의 타방측으로만 흔들리고 있다. 시스템 기준선 CL3에 대한 제1 핸드 중심 C1의 좌우 방향 타방측으로의 흔들림양 A11은, 상술한 흔들림양 A1, A2보다도 크게 되어 있다. 또한, 도 8의 곡선 CV12는, 제1 핸드 중심 C1의 궤적이 곡선 CV11이 되도록 제1 전달 위치(6A)와 제1 기준 위치(6B) 사이에서 핸드(6)가 이동할 때의, 상하 방향으로부터 보았을 때의 점 P1의 궤적이다.As shown in Fig. 8, when viewed from the vertical direction, when the
(다른 실시 형태)(Other Embodiments)
상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 변형 실시가 가능하다.Although the above-described form is an example of a suitable form of the present invention, it is not limited to this and various modifications and implementations are possible without changing the gist of the present invention.
상술한 형태에서는, 시스템 기준선 CL3에 대한 제1 핸드 중심 C1의 좌우 방향의 일방측으로의 흔들림양 A1과, 시스템 기준선 CL3에 대한 제1 핸드 중심 C1의 좌우 방향 타방측으로의 흔들림양 A2가 거의 동등하게 되어 있지만, 흔들림양 A1이 흔들림양 A2보다 크게 되어 있어도 되고, 흔들림양 A1이 흔들림양 A2보다 작게 되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 상하 방향으로부터 보았을 때의 공통 암부(15)의 외형은, V 형상으로 되어 있어도 되고, 직사각 형상으로 되어 있어도 되고, 사다리꼴 형상으로 되어 있어도 된다.In the above-mentioned form, the amount of shaking A1 on one side in the left and right directions of the first hand center C1 with respect to the system reference line CL3 and the amount of play A2 on the other side in the left and right directions of the first hand center C1 with respect to the system reference line CL3 are almost equal. However, the amount of shaking A1 may be larger than the amount of shaking A2, or the amount of shaking A1 may be smaller than the amount of shaking A2. In addition, in the above-described form, the external shape of the common arm portion 15 when viewed from the vertical direction may be V-shaped, rectangular, or trapezoidal.
상술한 형태에 있어서, 로봇(4)이 갖는 핸드(6)의 수는, 5개 이상이어도 되고, 1개여도 된다. 마찬가지로, 로봇(4)이 갖는 핸드(7)의 수는, 5개 이상이어도 되고, 1개여도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, FOUP(3) 이외의 수용부에 웨이퍼(2)가 수용되어도 된다. 예를 들어, 반도체를 제조하기 위한 각종 처리 장치에 웨이퍼(2)가 수용되어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(4)은, 웨이퍼(2) 이외의 반송 대상물을 반송해도 된다. 예를 들어, 로봇(4)은, 액정 디스플레이용의 유리 기판을 반송해도 된다. 이 경우의 로봇 시스템(1)은, 액정 디스플레이의 제조 시스템이다.In the form described above, the number of
1: 로봇 시스템
2: 웨이퍼(반도체 웨이퍼, 반송 대상물)
3: FOUP(수용부)
4: 로봇(산업용 로봇)
6: 핸드(제1 핸드)
6A: 제1 전달 위치
6B: 제1 기준 위치
7: 핸드(제2 핸드)
7A: 제2 전달 위치
7B: 제2 기준 위치
8: 암
9: 본체부
10: 제어부
11: 암 구동 기구
13: 선단측 암부(제1 선단측 암부)
14: 선단측 암부(제2 선단측 암부)
15: 공통 암부
19: 공통 암부 구동 기구
20: 선단측 암부 구동 기구(제1 선단측 암부 구동 기구)
21: 선단측 암부 구동 기구(제2 선단측 암부 구동 기구)
C1: 제1 핸드 중심
C2: 제2 핸드 중심
C3: FOUP 중심(수용부 중심)
C6: 제1 회동 중심
C7: 제2 회동 중심
C8: 제3 회동 중심
C9: 제4 회동 중심
C10: 제5 회동 중심
CL1: 제1 핸드 기준선
CL2: 제2 핸드 기준선
CL3: 시스템 기준선
L1: 제1 중심 간 거리
L2: 제2 중심 간 거리
L3: 제3 중심 간 거리
L4: 제4 중심 간 거리
X: 전후 방향
Y: 좌우 방향1: Robotic system
2: Wafer (semiconductor wafer, object to be transported)
3: FOUP (receptor)
4: Robot (industrial robot)
6: Hand (1st hand)
6A: first delivery position
6B: First reference position
7: Hand (2nd hand)
7A: Second delivery position
7B: Second reference position
8: cancer
9: main body
10: control unit
11: Arm driving mechanism
13: Distal arm portion (first distal arm portion)
14: Distal arm portion (second distal arm portion)
15: Common dark part
19: Common arm driving mechanism
20: Distal end arm driving mechanism (first distal arm driving mechanism)
21: Distal end arm driving mechanism (second distal arm driving mechanism)
C1: Center of first hand
C2: Center of the second hand
C3: FOUP center (receptor center)
C6: First rotation center
C7: Second Circular Center
C8: Third Circular Center
C9: Fourth Circular Center
C10: Fifth Assembly Center
CL1: 1st hand baseline
CL2: Second hand baseline
CL3: System Baseline
L1: Distance between first centers
L2: Distance between second centers
L3: Distance between third centers
L4: Distance between fourth centers
X: Front-to-back direction
Y: left and right direction
Claims (4)
상기 산업용 로봇은, 상기 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 상기 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부와, 상기 본체부에 대하여 상기 암을 수평 방향으로 신축시키는 암 구동 기구와, 상기 산업용 로봇을 제어하는 제어부를 구비하고,
상기 암은, 상기 제1 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 선단측 암부와, 상기 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제2 선단측 암부와, 상기 제1 선단측 암부의 기단측 및 상기 제2 선단측 암부의 기단측이 서로 다른 위치에서 회동 가능하게 연결됨과 함께 상기 본체부에 회동 가능하게 연결되는 공통 암 부를 구비하고,
상기 암 구동 기구는, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 상기 본체부에 대하여 상기 공통 암부를 회동시키는 공통 암부 구동 기구와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 상기 공통 암부에 대하여 상기 제1 선단측 암부를 회동시킴과 함께 상기 제1 선단측 암부에 대하여 상기 제1 핸드를 회동시키는 제1 선단측 암부 구동 기구와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 상기 공통 암부에 대하여 상기 제2 선단측 암부를 회동시킴과 함께 상기 제2 선단측 암부에 대하여 상기 제2 핸드를 회동시키는 제2 선단측 암부 구동 기구를 구비하고,
상하 방향으로부터 보았을 때의 상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드의 형상은, 소정 방향을 긴 방향으로 하는 긴 변 형상으로 되어 있고,
상기 본체부에 대한 상기 공통 암부의 회동 중심을 제1 회동 중심이라 하고, 상기 공통 암부에 대한 상기 제1 선단측 암부의 회동 중심을 제2 회동 중심이라 하고, 상기 공통 암부에 대한 상기 제2 선단측 암부의 회동 중심을 제3 회동 중심이라 하고, 상기 제1 선단측 암부에 대한 상기 제1 핸드의 회동 중심을 제4 회동 중심이라 하고, 상기 제2 선단측 암부에 대한 상기 제2 핸드의 회동 중심을 제5 회동 중심이라 하고, 상기 제1 회동 중심과 상기 제2 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제1 중심 간 거리라 하고, 상기 제1 회동 중심과 상기 제3 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제2 중심 간 거리라 하고, 상기 제2 회동 중심과 상기 제4 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제3 중심 간 거리라 하고, 상기 제3 회동 중심과 상기 제5 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제4 중심 간 거리라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때에 상기 제1 핸드의 긴 방향에 직교하는 상기 제1 핸드의 짧은 방향을 제1 짧은 방향이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때에 상기 제2 핸드의 긴 방향에 직교하는 상기 제2 핸드의 짧은 방향을 제2 짧은 방향이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 상기 제1 핸드의 상기 제1 짧은 방향의 중심선을 제1 핸드 기준선이라고 하고 상하 방향으로부터 보았을 때의 상기 제2 핸드의 상기 제2 짧은 방향의 중심선을 제2 핸드 기준선이라 하고, 상기 본체부에 대한 상기 공통 암부 회동 속도를 공통 암부 회동 속도라 하고, 상기 공통 암부에 대한 상기 제1 선단측 암부의 회동 속도를 제1 선단측 암부의 회동 속도라 하고, 상기 공통 암부에 대한 상기 제2 선단측 암부의 회동 속도를 제2 선단측 암부 회동 속도라 하고, 상기 제1 핸드의 정규의 위치에 탑재되는 상기 반송 대상물의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 제1 핸드 중심이라 하고, 상기 제2 핸드의 정규의 위치에 탑재되는 상기 반송 대상물의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 제2 핸드 중심이라 하고, 상기 수용부의 정규의 위치에 수용되는 상기 반송 대상물의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 수용부 중심이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 상기 제1 회동 중심과 상기 수용부 중심을 연결하는 가상선을 시스템 기준선이라 하고, 상기 시스템 기준선의 방향을 전후 방향이라 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 방향을 좌우 방향이라 하고, 상기 제1 선단측 암부측이 펼쳐진 상태에서 상기 수용부에 대한 상기 반송 대상물의 전달을 행할 때의 상기 제1 핸드의 위치를 제1 전달 위치라 하고, 상기 제2 선단측 암부측이 펼쳐진 상태에서 상기 수용부에 대한 상기 반송 대상물의 전달을 행할 때의 상기 제2 핸드의 위치를 제2 전달 위치라 하고, 상기 본체부에 상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드가 접근하도록 소정의 상태까지 상기 암이 오그라든 때의 상기 제1 핸드의 위치를 제1 기준 위치라 하고, 상기 제1 핸드가 상기 제1 기준 위치에 배치되어 있을 때의 상기 제2 핸드의 위치를 제2 기준 위치라 하면,
상기 제1 중심 간 거리와 상기 제2 중심 간 거리는, 동등하게 되어 있고,
상기 제3 중심 간 거리는, 상기 제1 중심 간 거리보다도 짧게 되어 있고,
상기 제4 중심 간 거리는, 상기 제2 중심 간 거리보다도 짧게 되어 있고,
상기 제1 전달 위치와 상기 제1 기준 위치 사이에서 상기 제1 핸드가 이동할 때에, 상기 공통 암부 회동 속도와 상기 제1 선단측 암부 회동 속도의 비율은, 일정하게 되어 있고,
상기 제2 전달 위치와 상기 제2 기준 위치 사이에서 상기 제2 핸드가 이동할 때에, 상기 공통 암부 회동 속도와 상기 제2 선단측 암부 회동 속도의 비율은, 일정하게 되어 있고,
상기 제1 핸드가 상기 제1 전달 위치에 배치되어 있을 때에, 상하 방향으로부터 보면, 상기 시스템 기준선과 상기 제1 핸드 기준선이 겹치고,
상기 제2 핸드가 상기 제2 전달 위치에 배치되어 있을 때에, 상하 방향으로부터 보면, 상기 시스템 기준선과 상기 제2 핸드 기준선이 겹치고,
상기 제어부는, 상기 제1 전달 위치와 상기 제1 기준 위치 사이에서 상기 제1 핸드가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 상기 제1 핸드 중심의 궤적이 상기 시스템 기준선에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 상기 제1 핸드가 상기 제1 기준 위치에 배치되어 있을 때에 상기 시스템 기준선에 대하여 상기 제1 핸드 기준선을 기울임과 함께, 상기 공통 암부 구동 기구 및 상기 제1 선단측 암부 구동 기구를 구동하고, 게다가, 상기 제2 전달 위치와 상기 제2 기준 위치 사이에서 상기 제2 핸드가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 상기 제2 핸드 중심의 궤적이 상기 시스템 기준선에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 상기 제2 핸드가 상기 제2 기준 위치에 배치되어 있을 때에 상기 시스템 기준선에 대하여 상기 제2 핸드 기준선을 기울임과 함께, 상기 공통 암부 구동 기구 및 상기 제2 선단측 암부 구동 기구를 구동하는 것을 특징으로 하는 로봇 시스템.It is provided with a horizontal articulated industrial robot that carries out at least one of carrying out the transport object from the accommodation unit and loading the transport object into the accommodation unit, and an accommodating part in which the transport object is stored,
The industrial robot includes a first hand and a second hand on which the transport object is mounted, an arm to which the first hand and the second hand are rotatably connected to a distal end, and a proximal end of the arm to be rotatable. It has a main body part connected to it, an arm driving mechanism that expands and contracts the arm in a horizontal direction with respect to the main body part, and a control part that controls the industrial robot,
The arm includes a first distal arm portion rotatably connected to the distal end of the first hand, a second distal arm portion rotatably connected to the distal end of the second hand, and a first distal arm portion. The proximal end side of and the proximal end side of the second distal arm portion are rotatably connected to each other at different positions, and a common arm portion is rotatably connected to the main body portion,
The arm driving mechanism includes a common arm driving mechanism that rotates the common arm with respect to the main body with the vertical direction as the axis of rotation, and a common arm driving mechanism that rotates the common arm with respect to the common arm with the vertical direction as the axis of rotation. a first distal arm driving mechanism that rotates the side arm and rotates the first hand relative to the first distal arm, and an upward and downward direction is the axis of rotation, and the second distal arm is positioned relative to the common arm. a second distal arm driving mechanism that rotates the arm portion and rotates the second hand relative to the second distal arm portion;
The shapes of the first hand and the second hand when viewed from the top and bottom have a long side shape with a predetermined direction as the longitudinal direction,
The rotation center of the common arm with respect to the main body portion is referred to as a first rotation center, the rotation center of the first tip side arm portion with respect to the common arm portion is referred to as a second rotation center, and the second tip with respect to the common arm portion is referred to as a second rotation center. The rotation center of the side arm is referred to as a third rotation center, the rotation center of the first hand relative to the first distal arm portion is referred to as a fourth rotation center, and the rotation center of the second hand relative to the second distal arm portion is referred to as the fourth rotation center. The center is called the fifth rotation center, the horizontal distance between the first rotation center and the second rotation center is called the first center-to-center distance, and the horizontal distance between the first rotation center and the third rotation center is is called the second center-to-center distance, the horizontal distance between the second rotation center and the fourth rotation center is called the third center-to-center distance, and the horizontal distance between the third rotation center and the fifth rotation center is is called the fourth center-to-center distance, the short direction of the first hand perpendicular to the long direction of the first hand when viewed from the up and down directions is called the first short direction, and the long direction of the second hand when viewed from the up and down directions is called the first short direction. The short direction of the second hand perpendicular to the direction is called the second short direction, and the center line of the first short direction of the first hand when viewed from the up and down direction is called the first hand reference line, and the center line when viewed from the up and down direction is called the first hand reference line. The center line of the second short direction of the second hand is referred to as a second hand reference line, the rotational speed of the common arm with respect to the main body is referred to as a common arm rotational speed, and the rotational speed of the common arm with respect to the common arm is referred to as a second hand reference line. Let the rotational speed be the rotational speed of the first distal arm, let the rotational speed of the second distal arm with respect to the common arm be the second distal arm rotational speed, and let the rotational speed of the second distal arm be mounted at a regular position on the first hand. The center of the conveyed object when viewed from the vertical direction is called the first hand center, and the center of the conveyed object mounted at the normal position of the second hand when viewed from the vertical direction is called the second hand center, The center of the conveyed object accommodated in the normal position of the receiving unit when viewed from the vertical direction is referred to as the center of the receiving section, and an imaginary line connecting the first rotation center and the center of the receiving section when viewed from the vertical direction is the system reference line. The direction of the system reference line is called the front-back direction, the direction perpendicular to the up-down direction and the front-back direction is called the left-right direction, and the conveyed object is transferred to the receiving unit in a state in which the first arm side at the front end is spread. Let the position of the first hand when delivering is referred to as the first delivery position, and the position of the second hand when delivering the object to be conveyed to the receiving unit with the second distal end arm side unfolded is referred to as the first delivery position. It is called a second delivery position, and the position of the first hand when the arm is retracted to a predetermined state so that the first hand and the second hand approach the main body is called a first reference position, and the position of the first hand is called a first reference position. If the position of the second hand when the first hand is placed at the first reference position is referred to as the second reference position,
The distance between the first centers and the distance between the second centers are equal,
The distance between the third centers is shorter than the distance between the first centers,
The distance between the fourth centers is shorter than the distance between the second centers,
When the first hand moves between the first delivery position and the first reference position, the ratio of the common arm rotation speed and the first distal arm rotation speed is constant,
When the second hand moves between the second delivery position and the second reference position, the ratio of the common arm rotation speed and the second distal arm rotation speed is constant,
When the first hand is placed at the first delivery position, when viewed from the top and bottom, the system reference line and the first hand reference line overlap,
When the second hand is disposed at the second delivery position, the system reference line and the second hand reference line overlap when viewed from the upper and lower directions,
The control unit is configured to cause, when the first hand moves between the first delivery position and the first reference position, the trajectory of the center of the first hand to swing to both sides in the left and right directions with respect to the system reference line when viewed from the up and down directions. , when the first hand is disposed at the first reference position, tilting the first hand reference line with respect to the system reference line and driving the common arm driving mechanism and the first distal arm driving mechanism, and further , so that when the second hand moves between the second delivery position and the second reference position, the trajectory of the center of the second hand swings to both sides in the left and right directions with respect to the system reference line, when viewed from the up and down directions. A robot characterized in that, when two hands are disposed at the second reference position, the second hand reference line is tilted with respect to the system reference line and the common arm driving mechanism and the second distal arm driving mechanism are driven. system.
상기 암은, 상기 제1 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 선단측 암부와, 상기 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제2 선단측 암부와, 상기 제1 선단측 암부의 기단측 및 상기 제2 선단측 암부의 기단측이 서로 다른 위치에서 회동 가능하게 연결됨과 함께 상기 본체부에 회동 가능하게 연결되는 공통 암 부를 구비하고,
상기 암 구동 기구는, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 상기 본체부에 대하여 상기 공통 암부를 회동시키는 공통 암부 구동 기구와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 상기 공통 암부에 대하여 상기 제1 선단측 암부를 회동시킴과 함께 상기 제1 선단측 암부에 대하여 상기 제1 핸드를 회동시키는 제1 선단측 암부 구동 기구와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 상기 공통 암부에 대하여 상기 제2 선단측 암부를 회동시킴과 함께 상기 제2 선단측 암부에 대하여 상기 제2 핸드를 회동시키는 제2 선단측 암부 구동 기구를 구비하고,
상하 방향으로부터 보았을 때의 상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드의 형상은, 소정 방향을 긴 방향으로 하는 긴 변 형상을 포함하고 있고,
상기 본체부에 대한 상기 공통 암부의 회동 중심을 제1 회동 중심이라 하고, 상기 공통 암부에 대한 상기 제1 선단측 암부의 회동 중심을 제2 회동 중심이라 하고, 상기 공통 암부에 대한 상기 제2 선단측 암부의 회동 중심을 제3 회동 중심이라 하고, 상기 제1 선단측 암부에 대한 상기 제1 핸드의 회동 중심을 제4 회동 중심이라 하고, 상기 제2 선단측 암부에 대한 상기 제2 핸드의 회동 중심을 제5 회동 중심이라 하고, 상기 제1 회동 중심과 상기 제2 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제1 중심 간 거리라 하고, 상기 제1 회동 중심과 상기 제3 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제2 중심 간 거리라 하고, 상기 제2 회동 중심과 상기 제4 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제3 중심 간 거리라 하고, 상기 제3 회동 중심과 상기 제5 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제4 중심 간 거리라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때에 상기 제1 핸드의 긴 방향에 직교하는 상기 제1 핸드의 짧은 방향을 제1 짧은 방향이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때에 상기 제2 핸드의 긴 방향에 직교하는 상기 제2 핸드의 짧은 방향을 제2 짧은 방향이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 상기 제1 핸드의 상기 제1 짧은 방향의 중심선을 제1 핸드 기준선이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 상기 제2 핸드의 상기 제2 짧은 방향의 중심선을 제2 핸드 기준선이라 하고, 상기 본체부에 대한 상기 공통 암부의 회동 속도를 공통 암부 회동 속도라 하고, 상기 공통 암부에 대한 상기 제1 선단측 암부의 회동 속도를 제1 선단측 암부 회동 속도라 하고, 상기 공통 암부에 대한 상기 제2 선단측 암부의 회동 속도를 제2 선단측 암부 회동 속도라 하고, 상기 제1 핸드의 정규의 위치에 탑재되는 상기 반송 대상물의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 제1 핸드 중심이라 하고, 상기 제2 핸드의 정규의 위치에 탑재되는 상기 반송 대상물의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 제2 핸드 중심이라 하고, 상기 수용부의 정규의 위치에 수용되는 상기 반송 대상물의 상하 방향으로부터 보았을 때의 중심을 수용부 중심이라 하고, 상하 방향으로부터 보았을 때의 상기 제1 회동 중심과 상기 수용부 중심을 연결하는 가상선을 시스템 기준선이라 하고, 상기 시스템 기준선의 방향을 전후 방향이라 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 방향을 좌우 방향이라 하고, 상기 제1 선단측 암부측이 펼쳐진 상태에서 상기 수용부에 대한 상기 반송 대상물의 전달을 행할 때의 상기 제1 핸드의 위치를 제1 전달 위치라 하고, 상기 제2 선단측 암부측이 펼쳐진 상태에서 상기 수용부에 대한 상기 반송 대상물의 전달을 행할 때의 상기 제2 핸드의 위치를 제2 전달 위치라 하고, 상기 본체부에 상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드가 접근하도록 소정의 상태까지 상기 암이 오그라든 때의 상기 제1 핸드의 위치를 제1 기준 위치라 하고, 상기 제1 핸드가 상기 제1 기준 위치에 배치되어 있을 때의 상기 제2 핸드의 위치를 제2 기준 위치라 하면,
상기 제1 중심 간 거리와 상기 제2 중심 간 거리는, 동등하게 되어 있고,
상기 제3 중심 간 거리는, 상기 제1 중심 간 거리보다도 짧게 되어 있고,
상기 제4 중심 간 거리는, 상기 제2 중심 간 거리보다도 짧게 되어 있고,
상기 제1 전달 위치와 상기 제1 기준 위치 사이에서 상기 제1 핸드가 이동할 때에, 상기 공통 암부 회동 속도와 상기 제1 선단측 암부 회동 속도의 비율은, 일정하게 되어 있고,
상기 제2 전달 위치와 상기 제2 기준 위치 사이에서 상기 제2 핸드가 이동할 때에, 상기 공통 암부 회동 속도와 상기 제2 선단측 암부 회동 속도의 비율은, 일정하게 되어 있고,
상기 제1 핸드가 상기 제1 전달 위치에 배치되어 있을 때에, 상하 방향으로부터 보면, 상기 시스템 기준선과 상기 제1 핸드 기준선이 겹치고,
상기 제2 핸드가 상기 제2 전달 위치에 배치되어 있을 때에, 상하 방향으로부터 보면, 상기 시스템 기준선과 상기 제2 핸드 기준선이 겹쳐 있는 산업용 로봇의 제어 방법이며,
상기 제1 전달 위치와 상기 제1 기준 위치 사이에서 상기 제1 핸드가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 상기 제1 핸드 중심의 궤적이 상기 시스템 기준선에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 상기 제1 핸드가 상기 제1 기준 위치에 배치되어 있을 때에 상기 시스템 기준선에 대하여 상기 제1 핸드 기준선을 기울임과 함께, 상기 공통 암부 구동 기구 및 상기 제1 선단측 암부 구동 기구를 구동하고, 게다가, 상기 제2 전달 위치와 상기 제2 기준 위치 사이에서 상기 제2 핸드가 이동할 때에, 상하 방향으로부터 보면, 상기 제2 핸드 중심의 궤적이 상기 시스템 기준선에 대하여 좌우 방향의 양측으로 흔들리도록, 상기 제2 핸드가 상기 제2 기준 위치에 배치되어 있을 때에 상기 시스템 기준선에 대하여 상기 제2 핸드 기준선을 기울임과 함께, 상기 공통 암부 구동 기구 및 상기 제2 선단측 암부 구동 기구를 구동하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 제어 방법.A first hand and a second hand on which the conveyed object is mounted, an arm to which the first hand and the second hand are rotatably connected to a distal end, and a main body to which a proximal end of the arm is rotatably connected, An arm driving mechanism is provided for stretching and contracting the arm in a horizontal direction with respect to the main body portion, and at least one of unloading of the conveying object from a receiving portion in which the conveying object is accommodated and loading of the conveying object into the accommodating portion is provided. It is a horizontal multi-joint industrial robot that performs
The arm includes a first distal arm portion rotatably connected to the distal end of the first hand, a second distal arm portion rotatably connected to the distal end of the second hand, and a first distal arm portion. The proximal end side of and the proximal end side of the second distal arm portion are rotatably connected to each other at different positions, and a common arm portion is rotatably connected to the main body portion,
The arm driving mechanism includes a common arm driving mechanism that rotates the common arm with respect to the main body with the vertical direction as the axis of rotation, and a common arm driving mechanism that rotates the common arm with respect to the common arm with the vertical direction as the axis of rotation. a first distal arm driving mechanism that rotates the side arm and rotates the first hand relative to the first distal arm, and an upward and downward direction is the axis of rotation, and the second distal arm is positioned relative to the common arm. a second distal arm driving mechanism that rotates the arm portion and rotates the second hand relative to the second distal arm portion;
The shapes of the first hand and the second hand when viewed from the top and bottom include a long side shape with a predetermined direction as the longitudinal direction,
The rotation center of the common arm with respect to the main body portion is referred to as a first rotation center, the rotation center of the first tip side arm portion with respect to the common arm portion is referred to as a second rotation center, and the second tip with respect to the common arm portion is referred to as a second rotation center. The rotation center of the side arm is referred to as a third rotation center, the rotation center of the first hand relative to the first distal arm portion is referred to as a fourth rotation center, and the rotation center of the second hand relative to the second distal arm portion is referred to as the fourth rotation center. The center is called the fifth rotation center, the horizontal distance between the first rotation center and the second rotation center is called the first center-to-center distance, and the horizontal distance between the first rotation center and the third rotation center is is called the second center-to-center distance, the horizontal distance between the second rotation center and the fourth rotation center is called the third center-to-center distance, and the horizontal distance between the third rotation center and the fifth rotation center is is called the fourth center-to-center distance, the short direction of the first hand perpendicular to the long direction of the first hand when viewed from the up and down directions is called the first short direction, and the long direction of the second hand when viewed from the up and down directions is called the first short direction. The short direction of the second hand perpendicular to the direction is called the second short direction, and the center line of the first short direction of the first hand when viewed from the up and down direction is called the first hand reference line, and when viewed from the up and down direction, the center line of the first short direction of the first hand is called the first hand reference line. Let the center line of the second short direction of the second hand be a second hand reference line, the rotational speed of the common arm with respect to the main body portion be called a common arm rotational speed, and the first tip side with respect to the common arm. Let the rotation speed of the arm part be the first tip side arm rotation speed, and let the rotation speed of the second tip arm part with respect to the common arm part be the second tip side arm rotation speed, and be mounted at a normal position of the first hand. The center of the conveyed object viewed from the vertical direction is called the first hand center, and the center of the conveyed object mounted at the normal position of the second hand is called the second hand center, The center of the conveyed object accommodated in the normal position of the accommodating section when viewed from the vertical direction is called the center of the accommodating section, and an imaginary line connecting the first rotation center and the center of the accommodating section when viewed from the up and down direction is called the system. It is called a reference line, the direction of the system reference line is called the front-back direction, the direction perpendicular to the up-down direction and the front-back direction is called the left-right direction, and the conveying object relative to the receiving unit is called the left-right direction in a state where the first arm side at the front end is spread. The position of the first hand at the time of delivery is referred to as the first delivery position, and the position of the second hand at the time of delivery of the object to be conveyed to the receiving unit with the second arm side at the distal end unfolded. is referred to as a second delivery position, and the position of the first hand when the arm is retracted to a predetermined state so that the first hand and the second hand approach the main body is referred to as a first reference position, and If the position of the second hand when the first hand is placed at the first reference position is referred to as the second reference position,
The distance between the first centers and the distance between the second centers are equal,
The distance between the third centers is shorter than the distance between the first centers,
The distance between the fourth centers is shorter than the distance between the second centers,
When the first hand moves between the first delivery position and the first reference position, the ratio of the common arm rotation speed and the first distal arm rotation speed is constant,
When the second hand moves between the second delivery position and the second reference position, the ratio of the common arm rotation speed and the second distal arm rotation speed is constant,
When the first hand is placed at the first delivery position, when viewed from the top and bottom, the system reference line and the first hand reference line overlap,
A method of controlling an industrial robot in which the system reference line and the second hand reference line overlap when the second hand is disposed at the second delivery position when viewed from an upward and downward direction,
When the first hand moves between the first delivery position and the first reference position, when viewed from the up and down directions, the trajectory of the center of the first hand swings to both sides in the left and right directions with respect to the system baseline. When the hand is disposed at the first reference position, the first hand reference line is tilted with respect to the system reference line, and the common arm driving mechanism and the first distal arm driving mechanism are driven, and the second arm driving mechanism is driven. When the second hand moves between the delivery position and the second reference position, the trajectory of the center of the second hand swings to both sides in the left and right directions with respect to the system reference line when viewed from the up and down directions. A control method for an industrial robot, comprising: tilting the second hand reference line with respect to the system reference line when placed at a second reference position, and driving the common arm driving mechanism and the second distal arm driving mechanism. .
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023011246A JP2024106800A (en) | 2023-01-27 | 2023-01-27 | ROBOT SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING INDUSTRIAL ROBOT |
JPJP-P-2023-011246 | 2023-01-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20240118680A true KR20240118680A (en) | 2024-08-05 |
Family
ID=92003749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020240011370A KR20240118680A (en) | 2023-01-27 | 2024-01-25 | Robot system and method for controlling industrial robot |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2024106800A (en) |
KR (1) | KR20240118680A (en) |
CN (1) | CN118405472A (en) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021013961A (en) | 2019-07-10 | 2021-02-12 | 日本電産サンキョー株式会社 | Industrial robot and control method of industrial robot |
-
2023
- 2023-01-27 JP JP2023011246A patent/JP2024106800A/en active Pending
-
2024
- 2024-01-25 CN CN202410104576.6A patent/CN118405472A/en active Pending
- 2024-01-25 KR KR1020240011370A patent/KR20240118680A/en unknown
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021013961A (en) | 2019-07-10 | 2021-02-12 | 日本電産サンキョー株式会社 | Industrial robot and control method of industrial robot |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN118405472A (en) | 2024-07-30 |
JP2024106800A (en) | 2024-08-08 |
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