KR20240096864A - 여과용 건식-공정 멤브레인 - Google Patents

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에릭 알. 화이트
시나 본야디
비나이 칼야니
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셀가드 엘엘씨
엔테그리스, 아이엔씨.
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Abstract

멤브레인 중 적어도 하나의 층은 0.035 마이크론 미만, 바람직하게는 약 0.010 마이크론 내지 약 0.020 마이크론 사이의 평균 기공 크기, 및 14 마이크론 미만의 두께를 갖는 여과용 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인이 기술된다. 멤브레인은 한외-여과 또는 나노-여과 공정에 사용될 수 있다. 멤브레인은 높은 치수 안정성을 나타낸다.

Description

여과용 건식-공정 멤브레인{DRY-PROCESS MEMBRANE FOR FILTRATION}
본 출원은 여과 공정에 사용되기에 적합한 건식-공정 멤브레인(membrane)에 관한 것이다. 이러한 공정은 한외여과 또는 나노-여과를 포함할 수 있다.
여과 멤브레인의 주요 용도는 유용한 유체의 흐름으로부터 원치 않는 재료를 제거하는 것이다. 산업에서 많은 기체 및 액체 유체는 필터를 이용하여 처리되는데, 유체는 환경 공기, 식수, 연료, 액체 산업 용매 및 처리 유체, 제조 또는 가공에 사용되는 산업 기체, 및 의료 또는 제약 용도를 갖는 액체를 포함한다. 유체로부터 제거되는 원치 않는 재료는 입자, 미생물, 및 용존 화학종과 같은 불순물 및 오염물을 포함한다. 필터 멤브레인의 불순물 제거 용도의 구체적인 예는 제약 산업에서 치료 용액으로부터 입자 또는 박테리아를 제거하는 용도, 마이크로전자공학 가공에 사용되는 초순수 수성 및 유기 용매 용액을 처리하는 용도, 그리고 공기 및 물 정제 공정용 용도를 포함한다. 나노-여과 및/또는 한외-여과는 이들 공정에서 흔히 사용된다. 나노-여과 및 한외-여과용 멤브레인은 다음의 특성들 중 하나 이상을 나타내는 것이 바람직하다: 기계적 안정성, 치수 안정성, 상업적 용도에 적합한 유속, 적은 오염물 등. 이들 영역 중 임의 또는 모든 것에서의 개선이 바람직하다.
여과에 사용되는 건식-공정 마이크로다공성(microporous) 멤브레인이 여기서 기술된다. 일부 실시형태에서, 멤브레인 중 적어도 하나의 층은 0.035 마이크론 미만의 평균 기공 크기 및 14 마이크론 미만의 두께를 갖는다. 일부 실시형태에서, 단일 층의 평균 기공 크기는 0.03 마이크론 미만, 0.025 마이크론 미만, 또는 0.020 마이크론 미만일 수 있다. 일부 바람직한 실시형태에서, 평균 기공 크기는 약 0.010 내지 약 0.020 마이크론일 수 있다. 일부 바람직한 실시형태에서, 평균 기공 크기는 약 0.010 내지 약 0.020 마이크론일 수 있다. 일부 실시형태에서, 적어도 하나의 층의 평균 기공 크기는 0.035 마이크론 미만일 수 있고, 층의 두께는 12 마이크론 미만일 수 있다. 일부 실시형태에서, 단일 층의 평균 기공 크기는 0.03 마이크론 미만, 0.025 마이크론 미만, 또는 0.020 마이크론 미만일 수 있다. 일부 바람직한 실시형태에서, 평균 기공 크기는 약 0.010 내지 약 0.020 마이크론일 수 있다. 일부 실시형태에서, 적어도 하나의 층의 평균 기공 크기는 0.035 마이크론 미만일 수 있고, 층의 두께는 10 마이크론 미만일 수 있다. 일부 실시형태에서, 단일 층의 평균 기공 크기는 0.03 마이크론 미만, 0.025 마이크론 미만, 또는 0.020 마이크론 미만일 수 있다. 일부 바람직한 실시형태에서, 평균 기공 크기는 약 0.010 내지 약 0.020 마이크론일 수 있다.
여기서 상술한 일부 실시형태에서, 적어도 하나의 층은 폴리프로필렌-함유 층일 수 있다.
상술한 일부 실시형태에서, 멤브레인은 단층 멤브레인, 이층 멤브레인, 삼-층 멤브레인, 또는 다-층 멤브레인일 수 있다. 이-층, 삼-층, 또는 다-층 멤브레인은 2개 이상의 층을 적층함으로써, 2개 이상의 층을 공-압출함으로써, 또는 적층 및 압출 단계의 조합에 의해 형성될 수 있다.
상술한 실시형태의 일부에서, 멤브레인은 폴리프로필렌-함유 층, 폴리에틸렌-함유 층, 및 폴리프로필렌-함유 층을 이 순서로 포함하는 삼-층 멤브레인일 수 있다. 상술한 일부 실시형태에서, 멤브레인은 폴리에틸렌-함유 층, 폴리프로필렌-함유 층, 및 폴리에틸렌-함유 층을 포함하는 삼-층 멤브레인일 수 있다.
여기서 상술한 일부 실시형태에서, 멤브레인의 두께는 14 마이크론 미만, 12 마이크론 미만, 또는 10 마이크론 미만이다.
일부 실시형태에서, 멤브레인은 반투명 또는 투명하다. 일부 실시형태에서, 멤브레인은 푸른 색조를 갖고 반투명 또는 투명할 수 있다.
여기서 상술한 일부 실시형태에서, 1시간 동안 90℃에서의 멤브레인의 수축률은 25% 미만, 20% 미만, 15% 미만, 10% 미만, 또는 5% 미만이다.
여기서 상술한 일부 실시형태에서, 멤브레인은 400 내지 40,000초의 흐름 시간을 갖는다. 흐름 시간은 이소프로필 알코올(IPA)을 이용하여 측정될 수 있는데, 여기서 흐름 시간은 21℃의 온도 및 0.1 MPa의 압력에서 12.5 ㎠의 면적을 갖는 멤브레인의 47 mm 디스크를 통해 500 ml의 이소프로필 알코올을 흐르게 하는 시간이다.
일부 실시형태에서, 멤브레인은 그의 적어도 일 측면 상에 친수성 처리물 또는 코팅을 가질 수 있다. 이것은 물 또는 알코올이 용매로서 사용되는 여과를 도울 수 있다.
또 다른 측면에서, 한외-여과 또는 나노-여과 공정이 기술된다. 공정의 하나의 단계는 여기서 상술한 멤브레인을 통해 용매를 여과하는 것이다.
또 다른 요소에서, 여기서 상술한 멤브레인 및 하우징(housing)을 포함하는 여과 요소가 기술된다.
도 1은 여기서 기술되는 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인의 SEM이다.
본 개시의 측면의 주제는 여기서 구체적으로 기술되어 법정 요건을 충족한다. 그러나, 설명 자체는 본 특허의 범위를 제한하는 것으로 의도되지 않는다. 오히려, 본 발명자들은 청구된 주제가 다른 현재 또는 미래 기술과 함께, 본 문서에 기술되는 것과 유사한 단계의 상이한 단계 또는 조합을 포함하도록, 다른 방식으로 또한 구현될 수 있음을 고려하였다. 더욱이, 용어 "단계" 및/또는 "블록"은 이용되는 방법의 상이한 요소를 내포하도록 여기서 사용될 수 있지만, 이러한 용어는 개별 단계의 순서가 명시적으로 기재되지 않는 한, 그리고 기재되는 경우를 제외하고, 여기서 개시되는 다양한 단계 중에 또는 그 사이에 임의의 특정 순서를 내포하는 것으로 해석되지 않아야 한다.
따라서, 여기서 기술되는 실시형태는 다음의 상세한 설명, 실시예, 및 도면을 참고하여 더욱 쉽게 이해될 수 있다. 그러나, 여기서 기술되는 구성요소, 장치, 및 방법은 상세한 설명, 실시예, 및 도면에 제시되는 특정 실시형태에 제한되지 않는다. 여기서의 예시적인 실시형태는 단지 본 발명의 원리를 예시한 것으로 인식되어야 한다. 수많은 변경 및 적응은 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않고 이 분야의 기술자에게 쉽게 명백할 것이다.
또한, 여기서 개시되는 모든 범위는 그 안에 포함되는 임의 및 모든 부분 범위를 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "1.0 내지 10.0"의 기재된 범위는 예를 들어 1.0 내지 5.3, 또는 4.7 내지 10.0, 또는 3.6 내지 7.9와 같이, 1.0 이상의 최소 값으로 시작하여 10.0 이하의 최대 값으로 끝나는 임의 및 모든 부분 범위를 포함하는 것으로 고려되어야 한다.
여기서 개시되는 모든 범위는 또한, 명시적으로 다르게 기재되지 않는 한, 범위의 종점을 포함하는 것으로 고려되어야 한다. 예를 들어, "5 및 10 사이", "5 내지 10", 또는 "5-10"의 범위는 일반적으로 종점 5 및 10을 포함하는 것으로 고려되어야 한다.
또한, 용어 "까지"가 양 또는 수량과 관련하여 사용되는 경우, 그 양은 적어도 검출 가능한 양 또는 수량인 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, 특정 양 "까지"의 양으로 존재하는 재료는 검출 가능한 양부터 그리고 특정 양을 포함하여 그 양까지 존재할 수 있다.
추가적으로, 임의의 개시된 실시형태에서, 용어 "실질적으로", "대략", 및 "약"은 특정된 것"의 [퍼센티지] 이내"로 대체될 수 있는데, 여기서 퍼센티지는 0.1, 1, 5, 10 퍼센트를 포함한다.
여과에 사용되는 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인이 여기서 기술된다. 일부 실시형태에서, 멤브레인 중 적어도 하나의 층은 0.035 마이크론 미만의 평균 기공 크기 및 14 마이크론 미만, 13 마이크론 미만, 12 마이크론 미만, 11 마이크론 미만, 10 마이크론 미만, 9 마이크론 미만, 8 마이크론 미만, 7 마이크론 미만, 6 마이크론 미만, 5 마이크론 미만, 4 마이크론 미만, 3 마이크론 미만, 2 마이크론 미만, 또는 1 마이크론 미만의 두께를 갖는다. 일부 실시형태에서, 멤브레인 중 적어도 하나의 층은 0.030 마이크론 미만의 평균 기공 크기 및 14 마이크론 미만, 13 마이크론 미만, 12 마이크론 미만, 11 마이크론 미만, 10 마이크론 미만, 9 마이크론 미만, 8 마이크론 미만, 7 마이크론 미만, 6 마이크론 미만, 5 마이크론 미만, 4 마이크론 미만, 3 마이크론 미만, 2 마이크론 미만, 또는 1 마이크론 미만의 두께를 갖는다. 일부 실시형태에서, 멤브레인 중 적어도 하나의 층은 0.025 마이크론 미만의 평균 기공 크기 및 14 마이크론 미만, 13 마이크론 미만, 12 마이크론 미만, 11 마이크론 미만, 10 마이크론 미만, 9 마이크론 미만, 8 마이크론 미만, 7 마이크론 미만, 6 마이크론 미만, 5 마이크론 미만, 4 마이크론 미만, 3 마이크론 미만, 2 마이크론 미만, 또는 1 마이크론 미만의 두께를 갖는다. 일부 실시형태에서, 멤브레인 중 적어도 하나의 층은 0.020 마이크론 미만의 평균 기공 크기 및 14 마이크론 미만, 13 마이크론 미만, 12 마이크론 미만, 11 마이크론 미만, 10 마이크론 미만, 9 마이크론 미만, 8 마이크론 미만, 7 마이크론 미만, 6 마이크론 미만, 5 마이크론 미만, 4 마이크론 미만, 3 마이크론 미만, 2 마이크론 미만, 또는 1 마이크론 미만의 두께를 갖는다. 일부 실시형태에서, 멤브레인 중 적어도 하나의 층은 0.015 마이크론 미만의 평균 기공 크기 및 14 마이크론 미만, 13 마이크론 미만, 12 마이크론 미만, 11 마이크론 미만, 10 마이크론 미만, 9 마이크론 미만, 8 마이크론 미만, 7 마이크론 미만, 6 마이크론 미만, 5 마이크론 미만, 4 마이크론 미만, 3 마이크론 미만, 2 마이크론 미만, 또는 1 마이크론 미만의 두께를 갖는다. 일부 실시형태에서, 멤브레인 중 적어도 하나의 층은 0.010 마이크론 미만의 평균 기공 크기 및 14 마이크론 미만, 13 마이크론 미만, 12 마이크론 미만, 11 마이크론 미만, 10 마이크론 미만, 9 마이크론 미만, 8 마이크론 미만, 7 마이크론 미만, 6 마이크론 미만, 5 마이크론 미만, 4 마이크론 미만, 3 마이크론 미만, 2 마이크론 미만, 또는 1 마이크론 미만의 두께를 갖는다. 일부 실시형태에서, 멤브레인 중 적어도 하나의 층은 0.005 마이크론 미만의 평균 기공 크기 및 14 마이크론 미만, 13 마이크론 미만, 12 마이크론 미만, 11 마이크론 미만, 10 마이크론 미만, 9 마이크론 미만, 8 마이크론 미만, 7 마이크론 미만, 6 마이크론 미만, 5 마이크론 미만, 4 마이크론 미만, 3 마이크론 미만, 2 마이크론 미만, 또는 1 마이크론 미만의 두께를 갖는다. 일부 바람직한 실시형태에서, 멤브레인 중 적어도 하나의 층은 약 0.010 내지 약 0.020 마이크론의 평균 기공 크기, 및 14 마이크론 미만, 13 마이크론 미만, 12 마이크론 미만, 11 마이크론 미만, 10 마이크론 미만, 9 마이크론 미만, 8 마이크론 미만, 7 마이크론 미만, 6 마이크론 미만, 5 마이크론 미만, 4 마이크론 미만, 3 마이크론 미만, 2 마이크론 미만, 또는 1 마이크론 미만의 두께를 갖는다.
여기서 상술한 일부 실시형태에서, 적어도 하나의 층은 폴리프로필렌-함유 층일 수 있다. 폴리프로필렌-함유 층은 폴리프로필렌 동종중합체, 공-중합체, 또는 이들의 조합을 포함하거나, 이들로 구성되거나, 또는 이들로 필수적으로 구성되는 층일 수 있다. 폴리프로필렌-함유 층은 50% 이상의 폴리프로필렌 동종중합체, 공-중합체, 또는 이들의 조합을 포함하거나, 이들로 구성되거나, 또는 이들로 필수적으로 구성될 수 있다.
상술한 일부 실시형태에서, 멤브레인은 단층 멤브레인, 이층 멤브레인, 삼-층 멤브레인, 또는 다-층 멤브레인일 수 있다. 다-층 멤브레인은 4개 이상의 층을 가질 수 있다. 이-층, 삼-층, 또는 다-층 멤브레인은 2개 이상의 층을 적층함으로써, 2개 이상의 층을 공-압출함으로써, 또는 적층 및 압출 단계의 조합에 의해 형성될 수 있다.
일부 실시형태에서, 멤브레인은 20 마이크론 미만, 19 마이크론 미만, 18 마이크론 미만, 17 마이크론 미만, 16 마이크론 미만, 15 마이크론 미만, 14 마이크론 미만, 13 마이크론 미만, 12 마이크론 미만, 11 마이크론 미만, 10 마이크론 미만, 9 마이크론 미만, 8 마이크론 미만, 7 마이크론 미만, 6 마이크론 미만, 5 마이크론 미만, 4 마이크론 미만, 3 마이크론 미만, 2 마이크론 미만, 또는 1 마이크론 미만의 전체 두께를 가질 수 있다.
예를 들어, 하나의 실시형태에서, 멤브레인은 단층 멤브레인일 수 있는데, 여기서 멤브레인 중 적어도 하나의 층은 0.035 마이크론 미만(바람직하게는 0.010 및 0.020 마이크론 사이)의 평균 기공 크기를 갖고 7 마이크론의 두께를 가지며, 전체 멤브레인 두께는 7 마이크론이다. 멤브레인은 이층일 수 있는데, 여기서 멤브레인 중 적어도 하나의 층은 0.035 마이크론 미만(바람직하게는 약 0.010 및 0.020 마이크론 사이)의 평균 기공 크기를 갖고 4 마이크론의 두께를 가지며, 전체 멤브레인 두께는 8 마이크론이다.
상술한 실시형태의 일부에서, 멤브레인은 폴리프로필렌-함유 층, 폴리에틸렌-함유 층, 및 폴리프로필렌-함유 층을 이 순서로 포함하는 삼-층 멤브레인일 수 있다. 상술한 일부 실시형태에서, 멤브레인은 폴리에틸렌-함유 층, 폴리프로필렌-함유 층, 및 폴리에틸렌-함유 층을 포함하는 삼-층 멤브레인일 수 있다. 폴리에틸렌-함유 층은 폴리에틸렌 동종중합체, 공-중합체, 또는 이들의 조합을 포함하거나, 이들로 구성되거나, 또는 이들로 필수적으로 구성되는 층일 수 있다. 폴리에틸렌-함유 층은 50% 이상의 폴리에틸렌 동종중합체, 공-중합체, 또는 이들의 조합을 포함하거나, 이들로 구성되거나, 또는 이들로 필수적으로 구성될 수 있다.
건식-공정 멤브레인은, 이 분야의 통상적인 기술자에 의해 이해되듯이, 기공을 형성하는데 용매 또는 오일의 사용 없이 형성되는 멤브레인이다. 일부 실시형태에서, 입자상 기공 형성제를 이용하여 형성되는 멤브레인은 건식-공정 멤브레인으로부터 또한 제외될 수 있다. 이러한 멤브레인은 베타-핵생성된(beta-nucleated) 이축 연신된 폴리프로필렌(BNBOPP) 멤브레인을 포함할 수 있다. 건식-공정 멤브레인은 이 분야의 기술자에 의해 인식 가능한 구별되는 균일한 기공 구조를 갖는다. 예를 들어, 일축 연신된 건식-공정 멤브레인을 나타내는 도 1을 참고해라. 도 1에서 볼 수 있듯이, 건식-공정 필름은 가늘고 긴(elongated) 또는 슬릿(slit)-형상 기공을 갖는다. 이축-연신된 건식-공정 멤브레인의 기공은 한외여과 또는 나노-여과 용도로 사용되기에 너무 클 수 있다.
여기서 상술한 일부 실시형태에서, 1시간 동안 90℃에서의 멤브레인의 수축률은 25% 미만, 20% 미만, 15% 미만, 10% 미만, 또는 5% 미만, 4% 미만, 3% 미만, 2% 미만, 또는 1% 미만이다. 낮은 수축률은 높은 치수 안정성을 나타내는데, 이것은 중요하다. 여과 용도에서 또는 필터의 조립 중에 멤브레인의 수축은 멤브레인이 찢어지거나, 뜯어지거나, 또는 다른 특성을 변경하도록 함으로써, 성능이 더 이상 충분 및/또는 예측 가능하지 않을 수 있다. 수축률은 멤브레인을 측정하고(L1), 억제되지 않은 채 1시간 동안 90℃ 오븐에 멤브레인을 배치하며, 오븐에 있은 후에 멤브레인을 측정하고(L2), 다음의 식 1을 이용하여 수축률을 계산함으로써 측정된다.
[수학식 1]
(L1-L2/L1)×100
IPA를 이용한 흐름 시간은 400초 이상, 약 400초 내지 약 40,000초, 500초 내지 약 40,000초, 600초 내지 약 40,000초, 700초 내지 약 40,000초, 800초 내지 약 40,000초, 900초 내지 약 40,000초, 1,000초 내지 약 40,000초, 2,000초 내지 약 40,000초, 3,000초 내지 약 40,000초, 4,000초 내지 약 40,000초, 5,000초 내지 약 40,000초, 6,000초 내지 약 40,000초, 7,000초 내지 약 40,000초, 8,000초 내지 약 40,000초, 9,000초 내지 약 40,000초, 10,000초 내지 약 40,000초의 범위, 약 11,000초 내지 약 40,000초, 17,000초 내지 약 40,000초, 20,000초 내지 약 40,000초, 25,000초 내지 약 40,000초, 30,000초 내지 약 40,000초, 또는 35,000초 내지 약 40,000초의 범위일 수 있다. 흐름 시간은 IPA(이소프로필 알코올)를 이용한 흐름 시간일 수 있는데, 여기서 흐름 시간은 21℃의 온도 및 0.1 MPa의 압력에서 12.5 ㎠의 면적을 갖는 멤브레인의 47 mm 디스크를 통해 500 ml의 이소프로필 알코올(IPA)을 흐르게 하는 시간이다.
실시예
실시예 1은 7 마이크론의 전체 두께를 갖는 건식-공정 단층 폴리프로필렌-함유 멤브레인이다.
실시예 2는 3개의 폴리프로필렌-함유 층을 포함하고 전체 두께가 6 마이크론인 건식-공정 삼-층 멤브레인이다. 가장 작은 기공 크기를 갖는 폴리프로필렌-함유 층은 대략 2 마이크론의 두께 및 22 nm의 기공 크기를 갖는다.
실시예 3은 20 nm의 기공 크기를 갖는 건식-공정 멤브레인이다.
비교예 1은 7 마이크론의 전체 두께를 갖는 건식-공정 단층 폴리프로필렌-함유 멤브레인이다.
비교예 2는 폴리프로필렌-함유 층, 폴리에틸렌-함유 층, 및 폴리프로필렌-함유 층을 이 순서로 포함하는 건식-공정 삼-층 멤브레인이다. 멤브레인의 전체 두께는 20 마이크론이고, PP-함유 층 두께는 합계 14 마이크론이 된다. PP 평균 기공 크기는 35 nm이다.
특성 단위 실시예 1 실시예 2 실시예 3 비교예 1 비교예 2
평량 g/㎡ 3.6 3.1 <5 3.3 3.5
MD 수축률, 90℃ % 3 4 <5 17 1
두께 ㎛ 7 6 10 미만 7 7
제한 층 기공 크기 nm 23 22 10 nm 및 20 nm 사이 23 40
비교예 2는 나노-여과 또는 한외-여과 공정에 대해 너무 큰 기공의 문제를 갖는다. 비교예 1은 높은 수축률을 가져서, 낮은 치수 안정성 때문에 사용되기에 적합하지 못하다. 여과 용도에서 또는 필터의 조립 중에 멤브레인의 수축은 멤브레인이 찢어지거나, 뜯어지거나, 또는 다른 특성을 변경하도록 함으로써, 성능이 더 이상 충분 및/또는 예측 가능하지 않을 수 있다. 실시예 1 및 2는 높은 치수 안정성(예를 들어, 낮은 수축률), 및 나노-여과 또는 한외-여과 공정(기체 또는 액체의 여과를 포함)에 사용되기에 충분히 작은 기공을 갖는다.

Claims (31)

  1. 마이크로전자공학 가공에 사용하기 위한 용매를 여과하도록 구성된 필터 제품이며,
    필터 하우징 내에 수용되는 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인을 포함하고,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인 중 적어도 하나의 층은
    (i) 0.035 마이크론 미만의 평균 기공 크기, 및
    (ii) 14 마이크론 미만의 두께를 갖는, 필터 제품.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 평균 기공 크기는 0.030 마이크론 미만인, 필터 제품.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 평균 기공 크기는 0.025 마이크론 미만인, 필터 제품.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 평균 기공 크기는 0.020 마이크론 미만인, 필터 제품.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 평균 기공 크기는 0.010 마이크론 내지 0.020 마이크론인, 필터 제품.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 층은 12 마이크론 미만의 두께를 갖는, 필터 제품.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 층은 10 마이크론 미만의 두께를 갖는, 필터 제품.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 층은 폴리프로필렌-함유 층인, 필터 제품.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인은 단층 멤브레인, 이층 멤브레인, 삼-층 멤브레인, 또는 다-층 멤브레인, 필터 제품.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인은 폴리프로필렌-함유 층, 폴리에틸렌-함유 층, 및 폴리프로필렌-함유 층을 이 순서로 갖는 삼-층 멤브레인인, 필터 제품.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인은 20 마이크론 미만, 19 마이크론 미만, 18 마이크론 미만, 17 마이크론 미만, 16 마이크론 미만, 15 마이크론 미만, 14 마이크론 미만, 12 마이크론 미만, 또는 10 마이크론 미만의 전체 두께를 갖는, 필터 제품.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인은 폴리에틸렌-함유 층, 폴리프로필렌-함유 층, 및 폴리에틸렌-함유 층을 이 순서로 갖는 삼-층 멤브레인인, 필터 제품.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인은 20 마이크론 미만, 19 마이크론 미만, 18 마이크론 미만, 17 마이크론 미만, 16 마이크론 미만, 15 마이크론 미만, 14 마이크론 미만, 12 마이크론 미만, 또는 10 마이크론 미만의 전체 두께를 갖는, 필터 제품.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인은 400 내지 40,000초의 이소프로필 알코올(IPA)을 이용한 흐름 시간을 갖는, 필터 제품.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인은 그의 적어도 일 측면 상에 친수성 처리물 또는 코팅을 포함하는, 필터 제품.
  16. 용매를 여과하는 방법(예컨대, 마이크로전자공학 가공에 사용되는 용매를 여과하는 방법, 예컨대, 마이크로전자공학 가공에 사용되는 용매를 여과하기 위한 나노여과 방법, 예컨대, 마이크로전자공학 가공에 사용되는 용매를 여과하기 위한 한외여과 방법)이며,
    필터 하우징 내에 수용되는 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인을 갖는 필터 제품을 통해 용매를 유동시키는 단계를 포함하고,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인 중 적어도 하나의 층은
    (i) 0.035 마이크론 미만의 평균 기공 크기, 및
    (ii) 14 마이크론 미만의 두께를 갖는, 용매를 여과하는 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 평균 기공 크기는 0.010 마이크론 내지 0.020 마이크론인, 용매를 여과하는 방법.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 평균 기공 크기는 0.030 마이크론 미만인, 용매를 여과하는 방법.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 평균 기공 크기는 0.025 마이크론 미만인, 용매를 여과하는 방법.
  20. 제16항에 있어서,
    상기 평균 기공 크기는 0.020 마이크론 미만인, 용매를 여과하는 방법.
  21. 제16항에 있어서,
    상기 평균 기공 크기는 0.010 마이크론 내지 0.020 마이크론인, 용매를 여과하는 방법.
  22. 제16항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 층은 12 마이크론 미만의 두께를 갖는, 용매를 여과하는 방법.
  23. 제16항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 층은 10 마이크론 미만의 두께를 갖는, 용매를 여과하는 방법.
  24. 제16항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 층은 폴리프로필렌-함유 층인, 용매를 여과하는 방법.
  25. 제16항에 있어서,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인은 단층 멤브레인, 이층 멤브레인, 삼-층 멤브레인, 또는 다-층 멤브레인, 용매를 여과하는 방법.
  26. 제25항에 있어서,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인은 폴리프로필렌-함유 층, 폴리에틸렌-함유 층, 및 폴리프로필렌-함유 층을 이 순서로 갖는 삼-층 멤브레인인, 용매를 여과하는 방법.
  27. 제26항에 있어서,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인은 20 마이크론 미만, 19 마이크론 미만, 18 마이크론 미만, 17 마이크론 미만, 16 마이크론 미만, 15 마이크론 미만, 14 마이크론 미만, 12 마이크론 미만, 또는 10 마이크론 미만의 전체 두께를 갖는, 용매를 여과하는 방법.
  28. 제25항에 있어서,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인은 폴리에틸렌-함유 층, 폴리프로필렌-함유 층, 및 폴리에틸렌-함유 층을 이 순서로 갖는 삼-층 멤브레인인, 용매를 여과하는 방법.
  29. 제28항에 있어서,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인은 20 마이크론 미만, 19 마이크론 미만, 18 마이크론 미만, 17 마이크론 미만, 16 마이크론 미만, 15 마이크론 미만, 14 마이크론 미만, 12 마이크론 미만, 또는 10 마이크론 미만의 전체 두께를 갖는, 용매를 여과하는 방법.
  30. 제16항에 있어서,
    상기 건식-공정 마이크로다공성 멤브레인은 그의 적어도 일 측면 상에 친수성 처리물 또는 코팅을 포함하는, 용매를 여과하는 방법.
  31. 제16항에 있어서,
    상기 용매는 수성 용매, 알코올, 또는 유기 용매인, 용매를 여과하는 방법.
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