KR20240072549A - 배기라인용 히팅 파이프 - Google Patents

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KR20240072549A
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박도성
양상우
박성규
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주식회사 불카누스
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Abstract

본 발명은, 내부에 유체가 흐르도록 구비되는 관체; 상기 관체의 외주면 상에 배치되어 상기 관체에 열을 가하도록 구비되는 발열체; 상기 관체 및 상기 발열체의 외측에 배치되어, 상기 관체 및 상기 발열체를 감싸도록 구비되는 단열재; 및 상기 단열재의 외측에 배치되어, 상기 단열재를 감싸도록 구비되는 외측커버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 배기라인용 히팅 파이프를 제공하는 것을 목적으로 한다.

Description

배기라인용 히팅 파이프{HEATING PIPE FOR EXCHAUST LINE}
본 발명은 내부에 유체가 흐르도록 구비되는 관체와, 관체에 감겨 관체에 열을 가하도록 구비되는 발열체를 포함하는 히팅 파이프에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정은 프로세스 챔버에서 반응가스나 공정가스를 사용하는 형태로 진행되고, 소정의 공정이 완료된 후 잔류하는 가스나 반응 부산물, 예를 들면 파우더 등은 배기라인을 통해서 배출된다.
보통 화학 기상증착 설비의 경우, 화학기상증착 공정 수행 후 프로세스 챔버로부터 배기되는 배기가스는 배기라인을 통해 스크러버(scrubber) 등과 같은 가스 세정기로 배출된다.
배기가스가 배기라인을 지나는 과정에서 배기라인 내부에서는 미세한 분진 형태의 파우더가 생성되는데, 이러한 파우더의 발생원인은 각 배기라인의 온도, 압력, 배기가스의 성분 등의 차이에 의해 좌우된다.
이와 같은 파우더가 배기라인의 내벽에 응축되면 배기압 저하에 따른 설비 에러가 발생되고, 배기라인이 막히게 되면 배기가스의 역류하여 공정 불량을 일으키게 될 뿐만 아니라 진공펌프의 성능이 저하된다는 심각한 문제가 발생된다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위해서 한국등록특허 공개특허 제10-1359895호 등서는 배기라인에 히팅자켓을 구비한 기술을 제시하고 있다.
그러나 위와 같은 히팅자켓은 배관에 밀착성이 떨어져서 공기층이 형성되는 등 열전달이 잘 되지 않는 문제점이 있고, 또한 히팅자켓 자체의 부피가 크기 때문에 다수개의 파이프가 밀집되어 이는 배기라인에 이와 같은 히팅자켓의 설치가 용이하지 않은 문제점이 있다.
한국등록특허 제10-1359895호(2014.02.03. 등록)
이에 본 발명은 전술한 배경에서 안출된 것으로, 가열 효율이 높으며, 고온에서 사용할 수 있고, 자체 부피가 작은 배관라인용 히팅 파이프를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일실시예는, 내부에 유체가 흐르도록 구비되는 관체; 상기 관체의 외주면 상에 배치되어 상기 관체에 열을 가하도록 구비되는 발열체; 상기 관체 및 상기 발열체의 외측에 배치되어, 상기 관체 및 상기 발열체를 감싸도록 구비되는 단열재; 및 상기 단열재의 외측에 배치되어, 상기 단열재를 감싸도록 구비되는 외측커버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 배기라인용 히팅 파이프를 제공한다.
또한, 상기 관체는, 비금속 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 배기라인용 히팅 파이프를 제공한다.
또한, 상기 발열체는, 상기 관체의 길이 방향을 따라, 상기 관체의 외주면 상에 나선형 형태로 감겨지는 것을 특징으로 하는 배기라인용 히팅 파이프를 제공한다.
또한, 상기 발열체는, 일정한 길이, 너비 및 두께를 갖는 밴드(band) 형태인 것을 특징으로 하는 배기라인용 히팅 파이프를 제공한다.
또한, 상기 발열체의 외측면으로부터 상기 발열체의 외측 방향으로 일정 길이만큼 연장되는 형태로 형성되는 고정체;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배기라인용 히팅 파이프를 제공한다.
또한, 상기 고정체는, 일정한 길이를 갖는 핀(pin) 형태인 것을 특징으로 하는 배기라인용 히팅 파이프를 제공한다.
본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프는, 발열체가 관체에 직접 감기는 형태로 구성되기 때문에, 관체를 단시간에 고온으로 가열시킬 수 있는 효과가 있으며, 또한 종래 히팅자켓과 비교하여 더 작은 부피를 갖게 되어 다수개의 히팅 파이프를 밀집하여 설치할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프의 전체 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프의 전체 구성을 나타내는 분해사시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프에 포함되는 관체의 모습을 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프에 포함되는 발열체 및 고정체의 모습을 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프에 포함되는 관체, 발열체 및 고정체의 모습을 나타내는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프에 포함되는 단열재를 나타내는 정면도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프에 포함되는 외부커버의 모습을 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프에 포함되는 외부커버의 모습을 나타내는 정면도이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프의 내부 모습을 나타내는 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프의 내부 모습을 나타내는 측면도이다.
도 11은 본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프(L자형)의 내부 모습을 나타내는 사시도이다.
이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프는, 반도체 제조공정에서 사용되는 프로세스 챔버 및 스크러버 등의 가스세정기 사이를 연결하는 배기라인에 사용될 수 있으며, 각 도면에 도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프는 관체(100), 발열체(200), 고정체(300), 단열재(400) 및 외측커버(500)를 포함할 수 있다.
이하, 도 1 내지 도 11을 참조하여, 본 발명의 각 구성에 대하여 상세히 설명한다.
먼저, 관체(100)는 내부에 배기가스 등의 유체가 흐를 수 있도록 구비되며, 일실시예로 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 관체(100)는 중공형 파이프(pipe) 형태의 부재로 구비될 수 있다.
이때, 관체(100)는 비금속 소재로 이루어진 부재로 구비될 수 있으며, 일예로 관체(100)는 유리(glass) 소재 또는 세라믹(ceramics) 소재로 이루어진 부재로 구비될 수 있다.
좀 더 상세하게 관체(100)는 석영(quartz) 소재 또는 알루미나(alumina) 소재로 이루어진 부재로 구비될 수 있다.
종래의 배기라인용 파이프의 경우 스테인리스강(stainless steel) 소재 등 금속 소재의 파이프를 사용하여 배기라인용 파이프에 발열선을 직접 감을 수 없는 등의 문제점이 있었다.
이에, 본 발명의 일실시예에서는 관체(100)를 유리 내지 세라믹 소재로 구성하여, 관체(100)의 외주면에 후술하는 발열체(200)가 직접 감을 수 있으면서, 300℃ 이상의 고온에서도 사용이 가능하도록 구비된다.
한편, 관체(100)는 중공형 파이프(pipe) 형태의 부재로 구비되면서, 도 1에 도시된 바와 같은 I자 형상 또는 도 11에 도시된 바와 같은 L자 형상 등으로 형성될 수 있으며, 이때 도 5에 도시된 바와 같이 관체(100)의 양 단부에는 각각 일측플랜지(110) 및 타측플랜지(130)가 구비될 수 있다.
여기서, 일측플랜지(110)에는 볼트 등의 체결부재가 삽입될 수 있도록 구비되는 체결공(미도시)이 구비될 수 있으며, 체결공은 일실시예로 일측플랜지(110)를 두께 방향으로 관통하여 형성될 수 있다.
또한, 타측플랜지(130)에도 마찬가지로 볼트 등의 체결부재가 삽입될 수 있도록 구비되는 체결공(미도시)이 구비될 수 있으며, 체결공은 일실시예로 타측플랜지(130)를 두께 방향으로 관통하여 형성될 수 있다.
이와 같이 관체(100)의 양 단부에 각각 일측플랜지(110) 및 타측플랜지(130)가 구비됨으로써, 서로 다른 둘 이상의 관체(100)들을 연결하는 것이 용이해진다.
한편, 관체(100)에는 반드시 일측플랜지(110) 및 타측플랜지(130)가 모두 구비되는 것은 아니며, 일측플랜지(110) 및 타측플랜지(130) 중 적어도 하나가 구비될 수 있다.
다음으로, 발열체(200)는 전술한 관체(100)의 외주면 상에 배치되어 관체(100)에 열을 가하도록 구비되며, 발열체(200)는 전기에너지를 열에너지로 변환시키는 전기 저항체로 구비될 수 있다.
여기서, 도 4에 도시된 바와 같이 발열체(200)는 일정한 길이, 너비 및 두께를 갖는 밴드(band) 형태로 구비될 수 있으며, 이와 같이, 발열체(200)가 와이어(wire) 형태가 아닌 밴드 형태로 구비됨으로써 관체(100)에 열을 가하는 면적이 늘어나게 되어 관체(100)를 빠른 시간 내에 고온으로 가열시킬 수 있게 된다.
여기서, 발열체(200)는 금속 재질 또는 비금속 재질의 전기 저항체로 구비될 수 있다.
한편, 발열체(200)는 관체(100)의 외주면 상에 배치되어 관체(100)에 열을 가하도록 구비되는데, 좀 더 구체적으로 도 5에 도시된 바와 같이 발열체(200)는 관체(100)의 길이 방향을 따라 관체(100)의 외주면 상에 나선형 형태로 감겨지는 형태로 관체(100)의 외주면 상에 배치될 수 있다.
여기서, 발열체(200)가 관체(100)의 외주면 상에 배치된다는 의미는, 발열체(200)의 모든 부분에 관체(100)의 외주면 상에 접촉한 상태만을 의미하는 것은 아니고, 발열체(200)의 일부분이 관체(100)의 외주면 상에 접촉한 상태와, 관체(100)와 발열체(200)의 일부분 사이에 다른 부재가 개재되어 있는 상태를 포함하는 것이다.
이와 같이 발열체(200)가 관체(100)의 외주면 상에 직접 감겨지는 형태로 관체(100)의 외주면 상에 배치됨으로써, 관체(100)를 보다 단시간에 고온으로 가열시킬 수 있게 된다.
한편, 발열체(200)는 관체(100)의 길이 방향을 따라 관체(100)의 외주면 상에 나선형 형태로 감겨지는 형태로 관체(100)의 외주면 상에 배치되되, 관체(100)의 각 구간마다 발열체(200)의 감김 간격이 상이하게 형성될 수 있다.
예컨대, 발열체(200)는 관체(100)의 일단에서 타단으로 갈수록 감김 간격이 점진적으로 작아지도록 구비될 수 있으며, 반대로 발열체(200)는 관체(100)의 일단에서 타단으로 갈수록 감김 간격이 점진적으로 커지도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 관체(100)의 각 구간마다 발열체(200)의 감김 간격을 상이하게 형성시킴으로써, 관체(100)의 각 구간마다 가해지는 열량이 상이해지도록 구성할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 일실시예에 따른 배리가인용 히팅 파이프는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 전술한 발열체(200)의 외측면으로부터 발열체(200)의 외측 방향으로 일정 길이만큼 연장되는 형태로 형성되는 고정체(300)를 더 포함할 수 있다.
여기서, 발열체(200)의 외측 방향이란 발열체(200)의 외측면으로부터 후술하는 단열재(400)의 내측면으로 향하는 방향을 의미할 수 있다.
한편, 도 4에 도시된 바와 같이 고정체(300)는 일정한 길이를 갖는 핀(pin) 형태로 구비될 수 있으며, 고정체(300)는 금속 재질의 부재로 구비되되 일실시예로 스테인리스강 등의 재질로 이루어진 부재로 구비될 수 있다.
이때, 고정체(300)는 발열체(200)와 별개의 부재로 구비되어 일단이 발열체(200)의 외측면에 고정 결합되는 형태로 구비될 수 있으며, 일실시예로 고정체(300)는 일단이 발열체(200)의 외측면에 용접에 의해 접합될 수 있다.
또한, 고정체(300)는 발열체(200)와 물리적으로 분리되지 않은 발열체(200)의 일부분인 부재로 구비될 수도 있음을 물론이다.
한편, 고정체(300)는 발열체(200)에 복수개가 구비될 수 있다.
일실시예로 도 5에 도시된 바와 같이 고정체(300)는 발열체(200)에 복수개가 구비되되, 관체(100)의 길이 방향의 동일 선상에 배열되도록 발열체(200)의 각 부분에 구비될 수 있다.
즉, 고정체(300)는 복수개가 관체(100)의 길이 방향을 따라 배열될 수 있으며, 좀 더 상세하게 고정체(300)는 복수개가 관체(100)의 길이 방향을 따라 배열되되, 관체(100)의 길이 방향의 동일 선상에 배열될 수 있다.
여기서, 복수개의 고정체(300)가 관체(100)의 길이 방향을 따라 동일 선상에 배열된다는 의미는, 복수개의 고정체(300)가 일직선상에 배열된다는 의미와, 복수개의 고정체(300)가 관체(100)의 원주 방향을 따라 1~5cm 범위의 어긋남을 가지면서 배열된다는 의미를 포함한다.
한편, 도 5에 도시된 바와 같이 관체(100)의 길이 방향을 따라 배열되는 복수개의 고정체(300)는 하나의 고정체군(300A)을 이룰 수 있으며, 발열체(200)에는 적어도 하나의 고정체군(300A)이 구비되거나, 관체(100)의 원주 방향을 따라 서로 일정 간격 이격되어 배치되는 2 이상의 고정체군들(300A, 300B)이 구비될 수 있다.
한편, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 고정체(300)는 발열체(200)의 외측면으로부터 발열체(200)의 외측 방향으로 일정 길이만큼 연장되는 형태로 형성되어 후술하는 단열재(400)의 일부분에 단열재(400)의 두께 방향으로 삽입되도록 구비되며, 이와 같이 발열체(200)에 구비되는 고정체(300)가 단열재(400)의 일부분에 단열재(400)의 두께 방향으로 삽입되도록 구비됨으로써 고정체(300)에 의해 발열체(200)의 배치 상태가 고정되도록 구비된다.
전술한 바와 같이, 관체(100)의 외주면 상에 발열체(200)를 직접 감는 경우, 발열체(200)가 작동하는 과정에서 발열체(200)의 부피 변화에 의해 관체(100) 외주면 상에서의 발열체(200)의 배치가 변동되면서 발열체(200) 상에 쇼트(short)가 발생할 위험이 있다.
이와 같은 문제를 해결하기 위하여, 발열체(200)에 고정체(300)를 구비시켜 고정체(300)에 의해 관체(100) 외주면 상에 감진 발열체(200)의 배치가 고정되도록 구성하였다.
다음으로, 단열재(400)는 전술한 관체(100) 및 발열체(200)의 외측에 배치되어, 관체(100) 및 발열체(200)를 감싸도록 구비된다.
단열재(400)는 관체(100) 및 발열체(200)의 외측에 배치되어, 발열체(200)에서 발생하는 열이 외부로 전도되지 못하게 열을 차단하는 기능을 수행한다.
단열재(400)는 고온에서 사용이 가능한 세라믹 소재로 이루어진 단열부재 또는 유리 소재로 이루어진 단열부재로 구비될 수 있으며, 일실시예로 단열재(400)는 실리카(silica), 알루미나(alumina), 글라스울(glass wool), 세라크울(cerakwool) 등으로 구비될 수 있다.
한편, 단열재(400)는 섬유 형태의 부재나, 복수개의 파트로 이루어진 통형(筒形)(반드시 둥근 원형으로 한정되는 의미는 아님)의 부재로 구비될 수 있다.
단열재(400)가 글라스울(glass wool), 세라크울(cerakwool) 등 섬유 형태의 부재로 구비되는 경우에는, 전술한 고정체(300)는 단열재(400)의 각 섬유 가닥 사이사이에 삽입되는 형태로 단열재(400)에 의해 지지 내지 고정될 수 있다.
한편, 단열재(400)가 복수개의 파트로 이루어진 통형 부재로 구비되는 경우에는, 전술한 고정체(300)는 단열재(400)의 각 파트에 형성된 삽입홀(미도시)에 삽입되는 형태로 단열재(400)에 의해지지 내지 고정될 수 있다.
일실시예로, 도 6에는 단열재(400)가 반원통형의 제1단열재(410)와, 반원통형의 제2단열재(430)를 포함하는 형태가 도시되어 있다.
이때, 도 6에 도시된 바와 같이 제1단열재(410)에는, 제1단열재(410)의 내부 방향으로 반원통형 형상으로 함몰된 제1안착홈(411)이 제1단열재(410)의 길이 방향을 따라 형성될 수 있으며, 또한 제1안착홈(411) 상에는 제1단열재(410)의 내부 방향으로 함몰된 제1삽입공(413)이 형성될 수 있다.
제1단열재(410)의 제1안착홈(411)에는 관체(100)가 안착되고, 제1삽입공(413)에는 고정체(300)가 삽입된다.
마찬가지로, 제2단열재(430)에는, 제2단열재(430)의 내부 방향으로 반원통형 형상으로 함몰된 제2안착홈(431)이 제2단열재(430)의 길이 방향을 따라 형성될 수 있으며, 또한 제2안착홈(431) 상에는 제2단열재(430)의 내부 방향으로 함몰된 제2삽입공(433)이 형성될 수 있다.
제2단열재(430)의 제2안착홈(431)에는 관체(100)가 안착되고, 제2삽입공(433)에는 고정체(300)가 삽입된다.
한편, 단열재(400)가 관체(100) 및 발열체(200)의 외측에 배치된다는 의미는, 단열재(400)가 관체(100) 및 발열체(200)에 모두 접촉하고 있는 경우, 단열재(400)가 관체(100) 및 발열체(200) 중 어느 하나에만 접촉하고 있는 경우, 단열재(400)까 관체(100) 및 발열체(200) 모두에 접촉하고 있지 않은 경우를 모두 포함한다.
또한, 단열재(400)가 관체(100) 또는 발열체(200)에 접촉한다는 의미는, 단열재(400)의 모든 부분이 접촉한 상태와, 단열재(400)의 일부분이 접촉한 상태 및 단열재(400)와 관체(100)의 일부분 사이에 다른 부재가 개재되어 있는 상태, 단열재(400)와 발열체(200)의 일부분 사이에 다른 부재가 개재되어 있는 상태를 모두 포함하는 것이다.
다음으로, 외측커버(500)는 전술한 단열재(400)의 외측에 배치되어, 단열재(400)를 감싸도록 구비된다.
외측커버(500)는 단열재(400)의 외측에 배치되어 단열재(400)를 감싸도록 구비됨으로써, 내부에 관체(100), 발열체(200), 고정체(300) 및 단열재(400)를 수용하는 케이싱 기능을 수행한다.
외측커버(500)는 일실시예로 스테인리스강 소재로 이루어지는 통형(筒形)(반드시 둥근 원형으로 한정되는 의미는 아님)의 부재로 구비될 수 있다.또한, 외측커버(500)는 복수개의 파트로 이루어진 부재로 구비될 수 있으며, 일실시예로 도 7에 도시된 바와 같이 외측커버(500)는 제1외측커버(510) 및 제2외측커버(530)를 포함할 수 있다.
여기서, 도 7에는 제1외측커버(510)에 제1체결공(511a)을 포함하는 제1체결플랜지(511)가 제1외측커버(510)의 길이 방향을 따라 구비되고, 제2외측커버(530)에는 제2체결공(531a)을 포함하는 제2체결플랜지(531)가 제2외측커버(530)의 길이 방향을 따라 구비되어, 제1외측커버(510) 및 제2외측커버(530)가 서로 볼트 등의 체결부재에 의해 체결되도록 구비된 모습이 도시되어 있다.
또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1외측커버(510) 및 제2외측커버(530)는 일측이 서로 힌지부재(550)에 의해 연결되어 있는 형태로도 구비될 수 있다.
이상 설명한 본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프는 도 1에 도시된 바와 같이 I자 형상 또는 도 11에 도시된 바와 같은 L자 형상으로 구비될 수 있으며, 본 발명의 일실시예에 따른 배기라인용 히팅 파이프는, 발열체가 관체에 직접 감기는 형태로 구성되기 때문에, 관체를 단시간에 고온으로 가열시킬 수 있는 효과가 있으며, 또한 종래 히팅자켓과 비교하여 더 작은 부피를 갖게 되어 다수개의 히팅 파이프를 밀집하여 설치할 수 있는 효과가 있다.
이상에서, 본 발명의 실시예를 구성하는 모든 구성 요소들이 하나로 결합되거나 결합되어 동작하는 것으로 설명되었다고 해서, 본 발명이 반드시 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 목적 범위 안에서라면, 그 모든 구성 요소들이 하나 이상으로 선택적으로 결합하여 동작할 수도 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 관체
110 : 일측플랜지
130 : 타측플랜지
200 : 발열체
300 : 고정체
300A, 300B : 고정체군
400 : 단열재
410 : 제1단열재
411 : 제1안착홈
413 : 제1삽입공
430 : 제2단열재
431 : 제2안착홈
433 : 제2삽입공
500 : 외측커버
510 : 제1외측커버
511 : 제1체결플랜지
511a : 제1체결공
530 : 제2외측커버
531 : 제2체결플랜지
531a : 제2체결공
550 : 힌지부재

Claims (6)

  1. 내부에 유체가 흐르도록 구비되는 관체;
    상기 관체의 외주면 상에 배치되어 상기 관체에 열을 가하도록 구비되는 발열체;
    상기 관체 및 상기 발열체의 외측에 배치되어, 상기 관체 및 상기 발열체를 감싸도록 구비되는 단열재; 및
    상기 단열재의 외측에 배치되어, 상기 단열재를 감싸도록 구비되는 외측커버;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 배기라인용 히팅 파이프.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 관체는,
    비금속 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 배기라인용 히팅 파이프.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 발열체는,
    상기 관체의 길이 방향을 따라, 상기 관체의 외주면 상에 나선형 형태로 감겨지는 것을 특징으로 하는 배기라인용 히팅 파이프.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 발열체는,
    일정한 길이, 너비 및 두께를 갖는 밴드(band) 형태인 것을 특징으로 하는 배기라인용 히팅 파이프.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 발열체의 외측면으로부터 상기 발열체의 외측 방향으로 일정 길이만큼 연장되는 형태로 형성되는 고정체;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배기라인용 히팅 파이프.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 고정체는,
    일정한 길이를 갖는 핀(pin) 형태인 것을 특징으로 하는 배기라인용 히팅 파이프.
KR1020220154250A 2022-11-17 배기라인용 히팅 파이프 KR20240072549A (ko)

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