KR20240057092A

KR20240057092A - Entended-type mask frame assembly and producing method thereof

Info

Publication number: KR20240057092A
Application number: KR1020220137391A
Authority: KR
Inventors: 이병일
Original assignee: 주식회사 오럼머티리얼
Filing date: 2022-10-24
Publication date: 2024-05-02

Abstract

본 발명은 확장형 마스크와 프레임의 연결체 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 확장형 마스크와 프레임의 연결체는, 복수의 마스크와 마스크를 지지하는 확장 프레임부가 연결된 확장형 마스크와 프레임의 연결체로서, 상기 확장 프레임부는, 테두리 프레임부; 및 상기 테두리 프레임부에 부착되며 복수의 단위 그리드 바를 포함하는 마스크 셀 시트부;를 포함하고, 상기 단위 그리드 바의 양단은 상기 테두리 프레임부에 연결되며, 상기 단위 그리드 바는 적어도 상기 마스크 셀 시트부의 제1 그리드 시트부 및 제1 그리드 시트부에 수직한 방향으로 형성되는 제2 그리드 시트부를 구성하되, 상기 제1 그리드 시트부를 구성하는 X축 단위 그리드 바의 상부면 및 상기 제2 그리드 시트부를 구성하는 Y축 단위 그리드 바의 상부면은 동일한 수평면을 공유하고, 복수의 마스크가 상기 마스크 셀 시트부의 복수의 마스크 셀 영역 상에 연결되며, 상기 마스크는 하나의 개구부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a connection between an expandable mask and a frame and a method of manufacturing the same. A connection body of an expandable mask and a frame according to an embodiment of the present invention is a connection body of an expandable mask and a frame in which a plurality of masks and an expansion frame portion supporting the masks are connected, wherein the expansion frame portion includes a border frame portion; and a mask cell sheet portion attached to the border frame portion and including a plurality of unit grid bars, wherein both ends of the unit grid bar are connected to the border frame portion, and the unit grid bars are at least part of the mask cell sheet portion. Consists of a first grid sheet portion and a second grid sheet portion formed in a direction perpendicular to the first grid sheet portion, and constitutes the upper surface of the X-axis unit grid bar constituting the first grid sheet portion and the second grid sheet portion. The upper surface of the Y-axis unit grid bar shares the same horizontal plane, a plurality of masks are connected to the plurality of mask cell areas of the mask cell sheet portion, and the mask includes one opening.

Description

Connector of expandable mask and frame and method of manufacturing the same {ENTENDED-TYPE MASK FRAME ASSEMBLY AND PRODUCING METHOD THEREOF}

본 발명은 확장형 마스크와 프레임의 연결체 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 각 마스크 간의 얼라인(align)을 명확하게 할 수 있고, OLED의 베젤 테두리 부분의 화소 형성을 명확하게 할 수 있는 확장형 마스크와 프레임의 연결체 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a connection between an expandable mask and a frame and a method of manufacturing the same. More specifically, it relates to a connection body of an expandable mask and a frame that can clearly align between each mask and clearly form pixels on the edge of the bezel of an OLED, and a method of manufacturing the same.

OLED 제조 공정에서 화소를 형성하는 기술로, 박막의 금속 마스크(Shadow Mask)를 기판에 밀착시켜서 원하는 위치에 유기물을 증착하는 FMM(Fine Metal Mask) 법이 주로 사용된다.As a technology to form pixels in the OLED manufacturing process, the FMM (Fine Metal Mask) method is mainly used, which deposits organic materials at a desired location by attaching a thin metal mask (shadow mask) to the substrate.

기존의 OLED 제조 공정에서는 마스크를 스틱 형태, 플레이트 형태 등으로 제조한 후, 마스크를 OLED 화소 증착 프레임에 용접 고정시켜 사용한다. 마스크 하나에는 디스플레이 하나에 대응하는 셀이 여러개 구비될 수 있다. 또한, 대면적 OLED 제조를 위해서 여러 개의 마스크를 OLED 화소 증착 프레임에 고정시킬 수 있는데, 프레임에 고정하는 과정에서 각 마스크가 평평하게 되도록 인장을 하게 된다. 마스크의 전체 부분이 평평하게 되도록 인장력을 조절하는 것은 매우 어려운 작업이다. 특히, 각 셀들을 모두 평평하게 하면서, 크기가 수 내지 수십 ㎛에 불과한 마스크 패턴을 정렬하기 위해서는, 마스크의 각 측에 가하는 인장력을 미세하게 조절하면서, 정렬 상태를 실시간으로 확인하는 고도의 작업이 요구된다.In the existing OLED manufacturing process, the mask is manufactured in the form of a stick or plate and then used by welding and fixing the mask to the OLED pixel deposition frame. One mask may have multiple cells corresponding to one display. Additionally, for large-area OLED manufacturing, multiple masks can be fixed to the OLED pixel deposition frame, and during the process of fixing to the frame, each mask is stretched to be flat. Controlling the tension so that all parts of the mask are flat is a very difficult task. In particular, in order to align mask patterns that are only a few to tens of ㎛ in size while flattening each cell, an advanced task is required to finely control the tension applied to each side of the mask and check the alignment status in real time. do.

그럼에도 불구하고, 여러 개의 마스크를 하나의 프레임에 고정시키는 과정에서 마스크 상호간에, 그리고 마스크 셀들의 상호간에 정렬이 잘 되지 않는 문제점이 있었다. 또한, 마스크를 프레임에 용접 고정하는 과정에서 마스크 막의 두께가 너무 얇고 대면적이기 때문에 하중에 의해 마스크가 쳐지거나 뒤틀어지는 문제점, 용접 과정에서 용접 부분에 발생하는 주름, 번짐(burr) 등에 의해 마스크 셀의 정렬이 엇갈리게 되는 문제점 등이 있었다.Nevertheless, in the process of fixing multiple masks to one frame, there was a problem in that the masks and the mask cells were not aligned well with each other. In addition, in the process of welding and fixing the mask to the frame, the mask film is too thin and has a large area, so the mask may be sagging or distorted due to load, and the mask cell may be damaged due to wrinkles or burrs that occur at the weld area during the welding process. There were problems such as misalignment.

초고화질의 OLED의 경우, 현재 QHD 화질은 500~600 PPI(pixel per inch)로 화소의 크기가 약 30~50㎛에 이르며, 4K UHD, 8K UHD 고화질은 이보다 높은 ~860 PPI, ~1600 PPI 등의 해상도를 가지게 된다. 이렇듯 초고화질의 OLED의 화소 크기를 고려하여 각 셀들간의 정렬 오차를 수 ㎛ 정도로 감축시켜야 하며, 이를 벗어나는 오차는 제품의 실패로 이어지게 되므로 수율이 매우 낮아지게 될 수 있다. 그러므로, 마스크가 쳐지거나 뒤틀리는 등의 변형을 방지하고, 정렬을 명확하게 할 수 있는 기술, 마스크를 프레임에 고정하는 기술 등의 개발이 필요한 실정이다. 또한, 대면적화 되어가는 기판에 대응하도록 마스크 또는 프레임 일체형 마스크 간의 정렬을 쉽게 제어할 수 있는 기술의 개발이 필요한 실정이다.In the case of ultra-high definition OLED, the current QHD image quality is 500 to 600 PPI (pixel per inch), with a pixel size of about 30 to 50㎛, and 4K UHD and 8K UHD high definition are higher than this, such as ~860 PPI and ~1600 PPI. It has a resolution of Considering the pixel size of ultra-high-definition OLEDs, the alignment error between each cell must be reduced to several ㎛, and any error beyond this can lead to product failure, resulting in very low yield. Therefore, there is a need to develop technologies to prevent deformation such as sagging or twisting of the mask, to ensure clear alignment, and to secure the mask to the frame. In addition, there is a need to develop technology that can easily control the alignment between masks or frame-integrated masks to cope with increasingly large-area substrates.

한편, OLED의 베젤을 최소화하는 추세에서, 전자/전하수송층 등의 공동층 부분에 대해 테두리 부분을 명확히 형성해야 하는 니즈가 증가하고 있다. OLED의 수명이나 빛 샘 이슈를 해결하기 위해, 전자/전하수송층 등의 공동층 테두리 부분을 명확히 형성할 수 있는 마스크나 프레임 일체형 마스크의 구성, 또는 공동층 테두리 부분의 정렬을 명확히 할 수 있는 기술 개발이 필요한 실정이다.Meanwhile, with the trend of minimizing the bezel of OLED, the need to clearly form an edge around the cavity portion of the electron/charge transport layer is increasing. In order to solve the lifespan or light leakage issues of OLED, develop a mask or frame-integrated mask that can clearly form the edge of the cavity layer such as the electron/charge transport layer, or develop technology that can clearly align the edge of the cavity layer. This is necessary.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 마스크를 변형없이 안정적으로 지지 및 이동이 가능하고, 마스크가 쳐지거나 뒤틀리는 등의 변형을 방지하고 정렬을 명확하게 할 수 있는 확장형 마스크와 프레임의 연결체 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.Therefore, the present invention was devised to solve all the problems of the prior art as described above, and enables the mask to be stably supported and moved without deformation, prevents deformation such as sagging or twisting of the mask, and makes alignment clear. The purpose is to provide a connection between an expandable mask and a frame and a manufacturing method thereof.

또한, 본 발명은 베젤 폭을 최소화 할 수 있고, 전자/전하수송층 등의 공동층 부분에 대해 테두리 부분을 보다 명확히 형성할 수 있는 확장형 마스크와 프레임의 연결체 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.In addition, the purpose of the present invention is to provide a connection between an expandable mask and a frame that can minimize the bezel width and more clearly form an edge portion of the common layer portion such as an electron/charge transport layer, and a method of manufacturing the same. Do this.

또한, 본 발명은 제조시간을 현저하게 감축시키고, 수율을 현저하게 상승시킨 확장형 마스크와 프레임의 연결체 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.Additionally, the purpose of the present invention is to provide a connection between an expandable mask and a frame that significantly reduces manufacturing time and significantly increases yield, and a method for manufacturing the same.

그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.However, these tasks are illustrative and do not limit the scope of the present invention.

본 발명의 상기의 목적은, 복수의 마스크와 마스크를 지지하는 확장 프레임부가 연결된 확장형 마스크와 프레임의 연결체로서, 상기 확장 프레임부는, 테두리 프레임부; 및 상기 테두리 프레임부에 부착되며 복수의 단위 그리드 바를 포함하는 마스크 셀 시트부;를 포함하고, 상기 단위 그리드 바의 양단은 상기 테두리 프레임부에 연결되며, 상기 단위 그리드 바는 적어도 상기 마스크 셀 시트부의 제1 그리드 시트부 및 제1 그리드 시트부에 수직한 방향으로 형성되는 제2 그리드 시트부를 구성하되, 상기 제1 그리드 시트부를 구성하는 X축 단위 그리드 바의 상부면 및 상기 제2 그리드 시트부를 구성하는 Y축 단위 그리드 바의 상부면은 동일한 수평면을 공유하고, 복수의 마스크가 상기 마스크 셀 시트부의 복수의 마스크 셀 영역 상에 연결되며, 상기 마스크는 하나의 개구부를 포함하는 확장형 마스크와 프레임의 연결체에 의해 달성된다.The above object of the present invention is to provide a connection body of an expandable mask and a frame in which a plurality of masks and an expansion frame portion supporting the masks are connected, wherein the expansion frame portion includes a border frame portion; and a mask cell sheet portion attached to the border frame portion and including a plurality of unit grid bars, wherein both ends of the unit grid bar are connected to the border frame portion, and the unit grid bars are at least part of the mask cell sheet portion. Consists of a first grid sheet portion and a second grid sheet portion formed in a direction perpendicular to the first grid sheet portion, and constitutes the upper surface of the X-axis unit grid bar constituting the first grid sheet portion and the second grid sheet portion. The upper surface of the Y-axis unit grid bar shares the same horizontal plane, a plurality of masks are connected on a plurality of mask cell areas of the mask cell sheet portion, and the mask is a connection between an expanded mask including one opening and a frame. This is achieved through a sieve.

상기 제1 그리드 시트부를 구성하는 X축 단위 그리드 바 및 상기 제2 그리드 시트부를 구성하는 Y축 단위 그리드 바가 교차되는 부분에 홈이 형성될 수 있다.A groove may be formed at a portion where the X-axis unit grid bar constituting the first grid sheet portion and the Y-axis unit grid bar constituting the second grid sheet portion intersect.

상기 단위 그리드 바가 교차되는 부분에 형성된 홈은 상기 X축 단위 그리드 바, 상기 Y축 단위 그리드 바 중 적어도 어느 하나에 형성될 수 있다.A groove formed at a portion where the unit grid bars intersect may be formed in at least one of the X-axis unit grid bar and the Y-axis unit grid bar.

상기 마스크는 사각형 형상이고, 상기 마스크 셀 영역은 상기 마스크의 테두리보다 작게 형성되는 사각형 형상이며, 상기 개구부는 상기 마스크 셀 영역보다 작게 형성되는 사각형 형상일 수 있다.The mask may have a rectangular shape, the mask cell area may have a rectangular shape smaller than the border of the mask, and the opening may have a rectangular shape smaller than the mask cell area.

상기 마스크의 상호 대향하는 두 측이 상기 마스크 셀 시트부 상에 용접 부착될 수 있다.Two opposing sides of the mask may be welded and attached to the mask cell sheet portion.

상기 마스크의 네 측이 상기 마스크 셀 시트부 상에 용접 부착될 수 있다.Four sides of the mask may be welded and attached to the mask cell sheet portion.

평면 방향 기준으로 볼 때, 상기 개구부를 제외한 상기 마스크의 부분이 상기 마스크 셀 영역을 커버할 수 있다.When viewed in a planar direction, a portion of the mask excluding the opening may cover the mask cell area.

상기 X축 단위 그리드 바, 상기 Y축 단위 그리드 바를 순차적으로 인장하며 상기 테두리 프레임부에 연결하여 상기 마스크 셀 시트부를 구성할 수 있다.The X-axis unit grid bar and the Y-axis unit grid bar may be sequentially stretched and connected to the border frame unit to form the mask cell sheet unit.

상기 마스크 셀 시트부는, 상기 단위 그리드 바가 상기 테두리 프레임부의 테두리에 대응하게 연결되어 테두리 시트부를 더 구성하고, 상기 테두리 시트부에 상기 제1 그리드 시트부 및 상기 제2 그리드 시트부의 양단 부분이 연결될 수 있다.The mask cell sheet portion further constitutes a border sheet portion in which the unit grid bar is connected to an edge of the border frame portion, and both ends of the first grid sheet portion and the second grid sheet portion may be connected to the border sheet portion. there is.

상기 확장 프레임부의 크기는 가로 X 세로가 적어도 1,500mm X 1,800mm보다 클 수 있다.The size of the expansion frame may be greater than at least 1,500 mm x 1,800 mm in width x height.

그리고, 본 발명의 상기의 목적은, 복수의 마스크와 마스크를 지지하는 확장 프레임부가 연결된 확장형 마스크와 프레임의 연결체의 제조 방법으로서, (a) 테두리 프레임부를 제공하는 단계; (b) X축 방향 및 Y축 방향을 따라 복수의 단위 그리드 바를 연결하여 복수의 마스크 셀 영역을 포함하는 마스크 셀 시트부를 형성하는 단계; (c) 상기 마스크 셀 시트부를 상기 테두리 프레임부에 부착하여 확장 프레임부를 제조하는 단계; (d) 상기 마스크 셀 시트부의 복수의 마스크 셀 영역 상에 복수의 마스크를 각각 부착하는 단계;를 포함하고, 상기 마스크는 상기 마스크는 하나의 개구부를 포함하며, 상기 (b) 단계에서, 상기 단위 그리드 바의 양단은 상기 테두리 프레임부에 연결되며, X 축 단위 그리드 바는 제1 그리드 시트부를 구성하고, Y축 단위 그리드 바는 제2 그리드 시트부를 구성하되, 상기 제1 그리드 시트부를 구성하는 X축 단위 그리드 바의 상부면 및 상기 제2 그리드 시트부를 구성하는 Y축 단위 그리드 바의 상부면은 동일한 수평면을 공유하는, 확장형 마스크와 프레임의 연결체의 제조 방법에 의해 달성된다.In addition, the above object of the present invention is a method of manufacturing a connection body of an expandable mask and a frame in which a plurality of masks and an expanded frame portion supporting the masks are connected, including the steps of (a) providing an edge frame portion; (b) forming a mask cell sheet portion including a plurality of mask cell regions by connecting a plurality of unit grid bars along the X-axis direction and the Y-axis direction; (c) manufacturing an expanded frame part by attaching the mask cell sheet part to the border frame part; (d) attaching a plurality of masks to each of the plurality of mask cell regions of the mask cell sheet portion, wherein the mask includes one opening, and in step (b), the unit Both ends of the grid bar are connected to the border frame portion, the X-axis unit grid bar constitutes the first grid sheet portion, the Y-axis unit grid bar constitutes the second grid sheet portion, and the The upper surface of the axis unit grid bar and the upper surface of the Y-axis unit grid bar constituting the second grid sheet portion share the same horizontal plane, which is achieved by a method of manufacturing a connection body of an expandable mask and a frame.

상기 마스크는 사각형 형상이고, 상기 마스크 셀 영역은 상기 마스크의 테두리보다 작게 형성되는 사각형 형상이며, 상기 개구부는 상기 마스크 셀 영역보다 작게 형성되는 사각형 형상이고, 평면 방향 기준으로 볼 때, 상기 개구부를 제외한 상기 마스크의 부분이 상기 마스크 셀 영역을 커버할 수 있다.The mask has a rectangular shape, the mask cell area has a rectangular shape smaller than the border of the mask, and the opening has a rectangular shape smaller than the mask cell area, and when viewed in a planar direction, excluding the opening. A portion of the mask may cover the mask cell area.

제1 방향 또는 제2 방향으로 형성된 상기 단위 그리드 바 중 적어도 어느 하나의 길이는 1,040mm보다 길 수 있다.The length of at least one of the unit grid bars formed in the first direction or the second direction may be longer than 1,040 mm.

길이는 1,040mm보다 긴 상기 단위 그리드 바는 금속 코일의 감겨진 길이 방향을 따라 커팅하여 준비한 것일 수 있다.The unit grid bar having a length longer than 1,040 mm may be prepared by cutting along the wound length direction of the metal coil.

상기 (d) 단계는, (d1) 템플릿을 준비하는 단계; (d2) 상기 템플릿 상에 마스크 금속막을 접착하는 단계; (d3) 상기 마스크 금속막에 하나의 개구부를 형성하여 마스크를 제조하는 단계; (d4) 상기 마스크가 접착된 상기 템플릿을 이동하여 상기 마스크 셀 영역 상에 상기 마스크를 대응하는 단계; (d5) 상기 마스크의 두 측을 상부에 위치한 상기 제1 그리드 시트부 또는 상기 제2 그리드 시트부 상에 용접 부착하는 단계;를 포함할 수 있다.The step (d) includes (d1) preparing a template; (d2) adhering a mask metal film on the template; (d3) manufacturing a mask by forming an opening in the mask metal film; (d4) moving the template to which the mask is attached to correspond to the mask on the mask cell area; (d5) welding and attaching two sides of the mask to the first grid sheet portion or the second grid sheet portion located at the top.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 마스크를 변형없이 안정적으로 지지 및 이동이 가능하고, 마스크가 쳐지거나 뒤틀리는 등의 변형을 방지하고 정렬을 명확하게 할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention configured as described above, the mask can be stably supported and moved without deformation, and there is an effect of preventing deformation such as sagging or twisting of the mask and making alignment clear.

또한, 본 발명에 따르면, 베젤 폭을 최소화 할 수 있고, 전자/전하수송층 등의 공동층 부분에 대해 테두리 부분을 보다 명확히 형성할 수 있는 효과가 있다.Additionally, according to the present invention, the bezel width can be minimized and the edge portion of the cavity layer, such as the electron/charge transport layer, can be formed more clearly.

또한, 본 발명에 따르면, 제조시간을 현저하게 감축시키고, 수율을 현저하게 상승시키는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, the manufacturing time is significantly reduced and the yield is significantly increased.

물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.Of course, the scope of the present invention is not limited by this effect.

도 1은 종래의 마스크와 프레임의 연결체를 나타내는 정면도 및 측단면도이다.
도 2는 종래의 프레임을 나타내는 정면도 및 측단면도이다.
도 3 및 도 4는 종래의 프레임의 제조 과정을 나타내는 개략도이다.
도 5는 종래의 마스크를 나타내는 개략도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 확장형 마스크와 프레임의 연결체를 나타내는 개략도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 확장형 마스크와 프레임의 연결체를 나타내는 개략도이다.
도 8은 마스크 셀 시트부의 원재료 코일 및 코일로부터 준비한 단위 그리드 바를 나타내는 개략도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부를 제조하기 위한 단위 그리드 바를 나타내는 개략도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부를 나타내는 개략 사시도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부 상에 마스크가 연결된 상태를 나타내는 개략 평면도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부 상에 마스크가 연결된 상태를 나타내는 개략 사시도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 그리드 시트부 및 제2 그리드 시트부와 마스크의 연결 형태 및 OLED 화소 증착 형태를 나타내는 개략 측단면도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크가 접착 지지된 템플릿을 제조하는 과정을 나타내는 개략도이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부 상에 마스크를 연결하는 과정을 나타내는 개략도이다.Figure 1 is a front view and a side cross-sectional view showing a connection between a conventional mask and a frame.
Figure 2 is a front view and a side cross-sectional view showing a conventional frame.
Figures 3 and 4 are schematic diagrams showing the manufacturing process of a conventional frame.
Figure 5 is a schematic diagram showing a conventional mask.
Figure 6 is a schematic diagram showing a connection between an expandable mask and a frame according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is a schematic diagram showing a connection between an expandable mask and a frame according to another embodiment of the present invention.
Figure 8 is a schematic diagram showing the raw material coil of the mask cell sheet portion and a unit grid bar prepared from the coil.
Figure 9 is a schematic diagram showing a unit grid bar for manufacturing a mask cell sheet portion according to an embodiment of the present invention.
Figure 10 is a schematic perspective view showing a mask cell sheet portion according to an embodiment of the present invention.
Figure 11 is a schematic plan view showing a state in which a mask is connected to a mask cell sheet portion according to an embodiment of the present invention.
Figure 12 is a schematic perspective view showing a state in which a mask is connected to a mask cell sheet portion according to an embodiment of the present invention.
Figure 13 is a schematic side cross-sectional view showing the connection form of the first and second grid sheet parts and the mask and the OLED pixel deposition form according to an embodiment of the present invention.
Figure 14 is a schematic diagram showing a process for manufacturing a template on which a mask is adhesively supported according to an embodiment of the present invention.
Figure 15 is a schematic diagram showing the process of connecting a mask to a mask cell sheet portion according to an embodiment of the present invention.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.The detailed description of the present invention described below refers to the accompanying drawings, which show by way of example specific embodiments in which the present invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different from one another but are not necessarily mutually exclusive. For example, specific shapes, structures and characteristics described herein with respect to one embodiment may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention. Additionally, it should be understood that the location or arrangement of individual components within each disclosed embodiment may be changed without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the detailed description that follows is not intended to be taken in a limiting sense, and the scope of the invention is limited only by the appended claims, together with all equivalents to what those claims assert, if properly described. Similar reference numbers in the drawings refer to identical or similar functions across various aspects, and the length, area, thickness, etc. may be exaggerated for convenience.

이하에서는, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings in order to enable those skilled in the art to easily practice the present invention.

도 1은 종래의 마스크(100)와 프레임(200)의 연결체를 나타내는 정면도[도 1의 (a)] 및 측단면도[도 1의 (b)]이다. 도 2는 종래의 프레임(200)을 나타내는 정면도[도 2의 (a)] 및 측단면도[도 2의 (b)]이다.FIG. 1 is a front view ((a) of FIG. 1) and a side cross-sectional view ((b) of FIG. 1) showing a connection body of a conventional mask 100 and a frame 200. Figure 2 is a front view (Figure 2(a)) and a side cross-sectional view (Figure 2(b)) showing a conventional frame 200.

본 명세서에서는 아래에서 마스크와 프레임의 연결체(또는, 프레임 일체형 마스크)의 구성을 간단히 설명하나, 마스크와 프레임의 연결체의 구조, 제조 과정은 한국특허출원 제2018-0016186호의 내용이 전체로서 산입된 것으로 이해될 수 있다.In this specification, the configuration of the connection body of the mask and the frame (or frame-integrated mask) is briefly described below, but the structure and manufacturing process of the connection body of the mask and the frame are included in the entire contents of Korean Patent Application No. 2018-0016186. It can be understood that it has been done.

도 1 및 도 2를 참조하면, 마스크와 프레임의 연결체(또는, 프레임 일체형 마스크)는, 복수의 마스크(100) 및 하나의 프레임(200)을 포함할 수 있다. 다시 말해, 복수의 마스크(100)들을 각각 하나씩 프레임(200)에 부착한 형태이다. 이하에서는, 설명의 편의상 사각 형태의 마스크(100)를 예로 들어 설명하나, 마스크(100)들은 프레임(200)에 부착되기 전에는 양측에 클램핑되는 돌출부를 구비한 스틱 마스크 형태일 수 있으며, 프레임(200)에 부착된 후에 돌출부가 제거될 수 있다.Referring to Figures 1 and 2, a connection body of a mask and a frame (or a frame-integrated mask) may include a plurality of masks 100 and one frame 200. In other words, a plurality of masks 100 are attached one by one to the frame 200. Hereinafter, for convenience of explanation, the square-shaped mask 100 will be used as an example. However, the masks 100 may be in the form of a stick mask with protrusions clamped on both sides before being attached to the frame 200. ), the protrusions can be removed.

각각의 마스크(100)에는 복수의 마스크 패턴(P)이 형성되며, 하나의 마스크(100)에는 하나의 셀(C)이 형성될 수 있다. 하나의 마스크 셀(C)은 스마트폰 등의 디스플레이 하나에 대응할 수 있다.A plurality of mask patterns P may be formed on each mask 100, and one cell C may be formed on one mask 100. One mask cell (C) can correspond to one display, such as a smartphone.

마스크(100)는 인바(invar), 슈퍼 인바(super invar), 니켈(Ni), 니켈-코발트(Ni-Co) 등의 재질일 수도 있다. 마스크(100)는 압연(rolling) 공정 또는 전주 도금(electroforming)으로 생성한 금 시트(sheet)를 사용할 수 있다.The mask 100 may be made of a material such as invar, super invar, nickel (Ni), or nickel-cobalt (Ni-Co). The mask 100 may use a gold sheet produced through a rolling process or electroforming.

프레임(200)은 복수의 마스크(100)를 부착시킬 수 있도록 형성된다. 프레임(200)은 열변형을 고려하여 마스크와 동일한 열팽창계수를 가지는 인바, 슈퍼 인바, 니켈, 니켈-코발트 등의 재질로 구성되는 것이 바람직하다. 프레임(200)은 대략 사각 형상, 사각틀 형상의 테두리 프레임부(210)를 포함할 수 있다. 테두리 프레임부(210)의 내부는 중공 형태일 수 있다.The frame 200 is formed to attach a plurality of masks 100 to it. The frame 200 is preferably made of a material such as Invar, Super Invar, nickel, or nickel-cobalt, which has the same thermal expansion coefficient as the mask in consideration of thermal deformation. The frame 200 may include an edge frame portion 210 that has a substantially square shape or a rectangular frame shape. The interior of the border frame portion 210 may be hollow.

이에 더하여, 프레임(200)은 복수의 마스크 셀 영역(CR)을 구비하며, 테두리 프레임부(210)에 연결되는 마스크 셀 시트부(220)를 포함할 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)는 테두리 시트부(221) 및 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)로 구성될 수 있다. 테두리 시트부(221) 및 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)는 동일한 시트에서 구획된 각 부분을 지칭하며, 이들은 상호간에 일체로 형성된다.In addition, the frame 200 may include a plurality of mask cell regions CR and a mask cell sheet portion 220 connected to the border frame portion 210. The mask cell sheet portion 220 may be composed of a border sheet portion 221 and first and second grid sheet portions 223 and 225. The border sheet portion 221 and the first and second grid sheet portions 223 and 225 refer to portions divided from the same sheet, and they are formed integrally with each other.

테두리 프레임부(210)의 두께는 마스크 셀 시트부(220)의 두께보다 두꺼운 수mm 내지 수cm의 두께로 형성될 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)는 테두리 프레임부(210)의 두께보다는 얇지만, 마스크(100)보다는 두꺼운 약 0.1mm 내지 1mm 정도로 두께일 수 있다. 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)의 폭은 약 1~5mm 정도로 형성될 수 있다.The edge frame portion 210 may have a thickness of several millimeters to several centimeters thicker than the thickness of the mask cell sheet portion 220 . The mask cell sheet portion 220 may be thinner than the thickness of the edge frame portion 210, but may be thicker than the mask 100 by approximately 0.1 mm to 1 mm. The width of the first and second grid sheet portions 223 and 225 may be approximately 1 to 5 mm.

평면의 시트에서 테두리 시트부(221), 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)가 점유하는 영역을 제외하여, 복수의 마스크 셀 영역(CR: CR11~CR56)이 제공될 수 있다. A plurality of mask cell regions (CR: CR11 to CR56) may be provided in the planar sheet, excluding the areas occupied by the border sheet portion 221 and the first and second grid sheet portions 223 and 225.

프레임(200)은 복수의 마스크 셀 영역(CR)을 구비하고, 각각의 마스크(100)는 각각 하나의 마스크 셀(C)이 마스크 셀 영역(CR)에 대응되도록 부착될 수 있다. 마스크 셀(C)은 프레임(200)의 마스크 셀 영역(CR)에 대응하고, 더미의 일부 또는 전부가 프레임(200)[마스크 셀 시트부(220)]에 부착될 수 있다. 이에 따라, 마스크(100)와 프레임(200)이 일체형 구조를 이룰 수 있게 된다.The frame 200 includes a plurality of mask cell regions CR, and each mask 100 may be attached so that one mask cell C corresponds to the mask cell region CR. The mask cell C corresponds to the mask cell region CR of the frame 200, and part or all of the dummy may be attached to the frame 200 (mask cell sheet portion 220). Accordingly, the mask 100 and the frame 200 can form an integrated structure.

마스크(100)와 프레임(200)의 연결체(또는, 프레임 일체형 마스크)를 제조하기 위해 먼저 프레임(200)을 제공할 수 있다. 도 3 및 도 4는 종래의 프레임(200)의 제조 과정을 나타내는 개략도이다.In order to manufacture a connection between the mask 100 and the frame 200 (or a frame-integrated mask), the frame 200 may first be provided. 3 and 4 are schematic diagrams showing the manufacturing process of the conventional frame 200.

도 3의 (a)를 참조하면, 테두리 프레임부(210)를 제공한다. 테두리 프레임부(210)는 중공 영역(R)을 포함한 사각 틀 형상일 수 있다.Referring to (a) of FIG. 3, an edge frame portion 210 is provided. The border frame portion 210 may have a rectangular frame shape including a hollow region (R).

다음으로, 도 3의 (b)를 참조하면, 마스크 셀 시트부(220)를 제조한다. 마스크 셀 시트부(220)는 압연, 전주도금 또는 그 외의 막 형성 공정을 사용하여 평면의 시트를 제조한 후, 레이저 스크라이빙, 에칭 등을 통해 마스크 셀 영역(CR) 부분을 제거함에 따라 제조할 수 있다. 본 명세서에서는 6 X 5의 마스크 셀 영역(CR: CR11~CR56)을 형성한 것을 예로 들어 설명한다. 5개의 제1 그리드 시트부(223) 및 4개의 제2 그리드 시트부(225)가 존재할 수 있다.Next, referring to (b) of FIG. 3, the mask cell sheet portion 220 is manufactured. The mask cell sheet portion 220 is manufactured by manufacturing a flat sheet using rolling, electroplating, or other film forming processes, and then removing the mask cell region (CR) portion through laser scribing, etching, etc. can do. In this specification, the formation of a 6 x 5 mask cell region (CR: CR11 to CR56) will be described as an example. There may be five first grid sheet parts 223 and four second grid sheet parts 225.

다음으로, 마스크 셀 시트부(220)를 테두리 프레임부(210)에 대응할 수 있다. 대응시키는 과정에서, 마스크 셀 시트부(220)의 모든 측을 인장(F1~F4)하여 마스크 셀 시트부(220)를 평평하게 편 상태로 테두리 시트부(221)를 테두리 프레임부(210)에 대응할 수 있다. 한 측에서도 여러 포인트[도 3의 (b)의 예로, 1~3포인트]로 마스크 셀 시트부(220)를 잡고 인장할 수 있다. 한편, 모든 측이 아니라, 일부 측 방향을 따라 마스크 셀 시트부(220)를 인장(F1, F2) 할 수도 있다.Next, the mask cell sheet portion 220 may correspond to the border frame portion 210. In the process of matching, all sides of the mask cell sheet portion 220 are stretched (F1 to F4), and the border sheet portion 221 is attached to the edge frame portion 210 with the mask cell sheet portion 220 flattened. We can respond. Even on one side, the mask cell sheet portion 220 can be held and tensioned at several points (for example, 1 to 3 points in (b) of FIG. 3). Meanwhile, the mask cell sheet portion 220 may be stretched (F1, F2) along some side directions rather than all sides.

다음으로, 마스크 셀 시트부(220)를 테두리 프레임부(210)에 대응하면, 마스크 셀 시트부(220)의 테두리 시트부(221)를 용접(W)하여 부착할 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)가 테두리 프레임부(220)에 견고하게 부착될 수 있도록, 모든 측을 용접(W)하는 것이 바람직하다. 용접(W)은 테두리 프레임부(210)의 모서리쪽에 최대한 가깝게 수행하여야 테두리 프레임부(210)와 마스크 셀 시트부(220) 사이의 들뜬 공간을 최대한 줄이고 밀착성을 높일 수 있게 된다. 용접(W) 부분은 라인(line) 또는 스팟(spot) 형태로 생성될 수 있으며, 마스크 셀 시트부(220)와 동일한 재질을 가지고 테두리 프레임부(210)와 마스크 셀 시트부(220)를 일체로 연결하는 매개체가 될 수 있다.Next, when the mask cell sheet portion 220 corresponds to the edge frame portion 210, the edge sheet portion 221 of the mask cell sheet portion 220 can be attached by welding (W). It is desirable to weld (W) all sides so that the mask cell sheet portion 220 can be firmly attached to the edge frame portion 220. Welding (W) should be performed as close to the edge of the edge frame portion 210 as possible to minimize the floating space between the edge frame portion 210 and the mask cell sheet portion 220 and increase adhesion. The welding (W) portion can be created in the form of a line or a spot, and is made of the same material as the mask cell sheet portion 220 and integrates the border frame portion 210 and the mask cell sheet portion 220. It can be a medium that connects.

도 3의 실시예는 마스크 셀 영역(CR)을 구비한 마스크 셀 시트부(220)를 먼저 제조하고 테두리 프레임부(210)에 부착하였으나, 도 4의 실시예는 평면의 시트를 테두리 프레임부(210)에 부착한 후에, 마스크 셀 영역(CR) 부분을 형성한다.In the embodiment of FIG. 3, the mask cell sheet portion 220 with the mask cell region CR was first manufactured and attached to the border frame portion 210, but in the embodiment of FIG. After attaching to 210), a mask cell region (CR) portion is formed.

먼저, 도 3의 (a)처럼, 중공 영역(R)을 포함한 테두리 프레임부(210)를 제공한다.First, as shown in (a) of FIG. 3, an edge frame portion 210 including a hollow region (R) is provided.

다음으로, 도 4의 (a)를 참조하면, 테두리 프레임부(210)에 평면의 시트[평면의 마스크 셀 시트부(220')]를 대응할 수 있다. 마스크 셀 시트부(220')는 아직 마스크 셀 영역(CR)이 형성되지 않은 평면 상태이다. 대응시키는 과정에서, 마스크 셀 시트부(220')의 모든 측을 인장(F1~F4)하여 마스크 셀 시트부(220')를 평평하게 편 상태로 테두리 프레임부(210)에 대응할 수 있다. 한 측에서도 여러 포인트[도 4의 (a)의 예로, 1~3포인트]로 마스크 셀 시트부(220')를 잡고 인장할 수 있다. 한편, 모든 측이 아니라, 일부 측 방향을 따라 마스크 셀 시트부(220')를 인장(F1, F2) 할 수도 있다.Next, referring to (a) of FIG. 4 , a planar sheet (planar mask cell sheet portion 220') may correspond to the edge frame portion 210. The mask cell sheet portion 220' is in a flat state in which the mask cell region CR has not yet been formed. In the process of matching, all sides of the mask cell sheet portion 220' are stretched (F1 to F4), so that the mask cell sheet portion 220' can be flattened to correspond to the edge frame portion 210. Even on one side, the mask cell sheet portion 220' can be held and tensioned at several points (for example, 1 to 3 points in (a) of FIG. 4). Meanwhile, the mask cell sheet portion 220' may be stretched (F1, F2) along some side directions rather than all sides.

다음으로, 마스크 셀 시트부(220')를 테두리 프레임부(210)에 대응하면, 마스크 셀 시트부(220')의 테두리 부분을 용접(W)하여 부착할 수 있다. 용접 부착은 도 3의 (b)와 동일하다.Next, when the mask cell sheet portion 220' corresponds to the edge frame portion 210, the edge portion of the mask cell sheet portion 220' can be attached by welding (W). Welding attachment is the same as (b) in Figure 3.

다음으로, 도 4의 (b)를 참조하면, 평면의 시트[평면의 마스크 셀 시트부(220')]에 마스크 셀 영역(CR)을 형성한다. 레이저 스크라이빙, 에칭 등을 통해 마스크 셀 영역(CR) 부분의 시트를 제거함에 따라 마스크 셀 영역(CR)을 형성할 수 있다. 본 명세서에서는 6 X 5의 마스크 셀 영역(CR: CR11~CR56)을 형성한 것을 예로 들어 설명한다. 마스크 셀 영역(CR)을 형성하게 되면, 테두리 프레임부(210)와 용접(W)된 부분이 테두리 시트부(221)가 되고, 5개의 제1 그리드 시트부(223) 및 4개의 제2 그리드 시트부(225)를 구비하는 마스크 셀 시트부(220)가 구성될 수 있다.Next, referring to (b) of FIG. 4, a mask cell region CR is formed on a planar sheet (planar mask cell sheet portion 220'). The mask cell region (CR) can be formed by removing the sheet in the CR region through laser scribing, etching, etc. In this specification, the formation of a 6 x 5 mask cell region (CR: CR11 to CR56) will be described as an example. When the mask cell region (CR) is formed, the portion welded (W) to the border frame portion 210 becomes the border sheet portion 221, and the five first grid sheet portions 223 and four second grid portions A mask cell sheet portion 220 including a sheet portion 225 may be configured.

도 5는 종래의 마스크를 나타내는 개략도이다.Figure 5 is a schematic diagram showing a conventional mask.

마스크(100)는 복수의 마스크 패턴(P)이 형성된 마스크 셀(C) 및 마스크 셀(C) 주변의 더미(DM)를 포함할 수 있다. 압연 공정, 전주 도금 등으로 생성한 금속 시트로 마스크(100)를 제조할 수 있고, 마스크(100)에는 하나의 셀(C)이 형성될 수 있다. 더미(DM)는 셀(C)을 제외한 마스크 막(110)[마스크 금속막(110)] 부분에 대응하고, 마스크 막(110)만을 포함하거나, 마스크 패턴(P)과 유사한 형태의 소정의 더미 패턴이 형성된 마스크 막(110)을 포함할 수 있다. 더미(DM)는 마스크(100)의 테두리에 대응하여 더미(DM)의 일부 또는 전부가 프레임(200)[마스크 셀 시트부(220)]에 부착될 수 있다.The mask 100 may include a mask cell C on which a plurality of mask patterns P are formed and a dummy DM around the mask cell C. The mask 100 can be manufactured from a metal sheet produced through a rolling process, electroplating, etc., and one cell C can be formed in the mask 100. The dummy DM corresponds to the portion of the mask film 110 (mask metal film 110) excluding the cell C, and includes only the mask film 110 or is a predetermined dummy having a similar shape to the mask pattern P. It may include a mask film 110 on which a pattern is formed. Part or all of the dummy DM may be attached to the frame 200 (mask cell sheet portion 220) corresponding to the edge of the mask 100.

마스크 패턴(P)의 폭은 40㎛보다 작게 형성될 수 있고, 마스크(100)의 두께는 약 5~20㎛로 형성될 수 있다. 프레임(200)이 복수의 마스크 셀 영역(CR: CR11~CR56)을 구비하므로, 각각의 마스크 셀 영역(CR: CR11~CR56)에 대응하는 마스크 셀(C: C11~C56)을 가지는 마스크(100)도 복수개 구비할 수 있다.The width of the mask pattern P may be formed to be less than 40㎛, and the thickness of the mask 100 may be formed to be approximately 5 to 20㎛. Since the frame 200 has a plurality of mask cell regions (CR: CR11 to CR56), the mask 100 has mask cells (C: C11 to C56) corresponding to each mask cell region (CR: CR11 to CR56). ) can also be provided in plural numbers.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 확장형 마스크와 프레임의 연결체를 나타내는 개략도이다. 도 6에서는 이해의 편의를 위해 용접 비드(WB)의 도시 및 마스크 셀 시트부(1200)의 마스크 셀 영역(CR)에 부착된 마스크(100)들의 도시는 생략한다.Figure 6 is a schematic diagram showing a connection between an expandable mask and a frame according to an embodiment of the present invention. In FIG. 6 , for convenience of understanding, the illustration of the weld bead WB and the masks 100 attached to the mask cell region CR of the mask cell sheet portion 1200 are omitted.

OLED 디스플레이의 대면적화 및 대량 생산이 가능하도록, 도 1에서 상술한 프레임(200)[테두리 프레임부(210)]이 대형화 될 수 있다. 도 6을 참조하면, 확장형 마스크와 프레임의 연결체는 도 1 및 도 2보다 약 2배 이상 커진 확장 프레임부(1100)를 포함할 수 있다. 확장 프레임부(1100)는 테두리 프레임부(1110)와 테두리 프레임부(1110)에 연결되는 마스크 셀 시트부(1200)를 포함할 수 있다. 도 1 및 도 2에서는 마스크 셀 시트부(220)가 6 X 5로 총 30개의 마스크 셀 영역(CR)이 형성되어 있으나, 도 6의 마스크 셀 시트부(1200)는 10 X 6으로 총 60개의 마스크 셀 영역(CR: CR11, CR12, ... CR69, CR610)을 포함할 수 있다. 각각의 마스크 셀 영역(CR)의 크기는 도 1 및 도 2과 동일하거나 클 수 있다.To enable large-area and mass production of OLED displays, the frame 200 (border frame portion 210) described above in FIG. 1 can be enlarged. Referring to FIG. 6 , the connection between the expanded mask and the frame may include an expanded frame portion 1100 that is approximately twice as large as that of FIGS. 1 and 2 . The extended frame part 1100 may include an edge frame part 1110 and a mask cell sheet part 1200 connected to the border frame part 1110. In FIGS. 1 and 2, the mask cell sheet portion 220 is formed with a total of 30 mask cell regions (CR) of 6 It may include mask cell areas (CR: CR11, CR12, ... CR69, CR610). The size of each mask cell region CR may be the same as or larger than that of FIGS. 1 and 2 .

테두리 프레임부(1110)는 도 1 및 도 2에서 상술한 테두리 프레임부(210)와 동일한 재질을 사용할 수 있으나, 보다 커진 크기에 대응하도록 넓은 중공 영역을 가지는 형태를 가질 수 있고, 큰 강성을 가지도록 두께도 더 두꺼워 질 수 있다.The border frame unit 1110 may use the same material as the border frame unit 210 described above in FIGS. 1 and 2, but may have a shape with a large hollow area to correspond to a larger size and have great rigidity. The thickness can also become thicker.

테두리 프레임부(1110) 상에는 마스크 셀 시트부(1200)가 연결될 수 있다. 용접 부착 등을 통해 테두리 프레임부(1110) 상에 마스크 셀 시트부(1200)가 연결될 수 있다. 마스크 셀 시트부(1200)는 테두리 시트부(1210), 제1 그리드 시트부(1220), 제2 그리드 시트부(1230)를 포함할 수 있다.A mask cell sheet portion 1200 may be connected to the border frame portion 1110. The mask cell sheet portion 1200 may be connected to the edge frame portion 1110 through welding or attachment. The mask cell sheet portion 1200 may include a border sheet portion 1210, a first grid sheet portion 1220, and a second grid sheet portion 1230.

테두리 시트부(1210)는 테두리 프레임부(1110)의 테두리에 대응하게 연결될 수 있다. 테두리 시트부(1210)의 가로 길이(OL1) X 세로 길이(OL2)는 6G 풀(약 1,800mm X 1,500mm), 7G, 8G 급 이상에 대응할 수 있다. 테두리 시트부(1210)의 각 변은 단위 그리드 바(UG)가 연결되어 구성될 수 있다. 예를 들어, 4개의 단위 그리드 바(UG)가 사각형 형태로 연결되어 테두리 시트부(1210)가 구성될 수 있다.The border sheet part 1210 may be connected to the edge of the border frame part 1110. The horizontal length (OL1) Each side of the border sheet portion 1210 may be formed by connecting unit grid bars UG. For example, the border sheet portion 1210 may be formed by connecting four unit grid bars UG in a square shape.

제1 그리드 시트부(1220)는 제1 방향(X축 방향)으로 연장 형성될 수 있다. 제1 그리드 시트부(1220)의 양단은 테두리 시트부(1210) 또는 테두리 프레임부(1110)에 연결될 수 있다. 제1 그리드 시트부(1220)의 각 변은 단위 그리드 바(UG)로 구성될 수 있다. 예를 들어, 도 6와 같이 5개의 단위 그리드 바(UG)가 제1 방향에 평행하게 배치되어 제1 그리드 시트부(1220)가 구성될 수 있다. 제1 그리드 시트부(1220)를 구성하는 단위 그리드 바(UG)의 길이는 가로 길이(OL1)에 대응될 수 있다.The first grid sheet portion 1220 may be formed to extend in a first direction (X-axis direction). Both ends of the first grid sheet portion 1220 may be connected to the border sheet portion 1210 or the border frame portion 1110. Each side of the first grid sheet portion 1220 may be composed of unit grid bars UG. For example, as shown in FIG. 6 , the first grid sheet portion 1220 may be formed by arranging five unit grid bars UG in parallel in the first direction. The length of the unit grid bar UG constituting the first grid sheet portion 1220 may correspond to the horizontal length OL1.

제2 그리드 시트부(1230)는 제1 방향에 수직하는 제2 방향(Y축 방향)으로 연장 형성될 수 있다. 제2 그리드 시트부(1230)의 양단은 테두리 시트부(1210) 또는 테두리 프레임부(1110)에 연결될 수 있다. 제2 그리드 시트부(1230)의 각 변은 단위 그리드 바(UG)로 구성될 수 있다. 예를 들어, 도 6와 같이 9개의 단위 그리드 바(UG)가 제2 방향에 평행하게 배치되어 제2 그리드 시트부(1230)가 구성될 수 있다. 제2 그리드 시트부(1230)를 구성하는 단위 그리드 바(UG)의 길이는 세로 길이(OL2)에 대응될 수 있다.The second grid sheet portion 1230 may be formed to extend in a second direction (Y-axis direction) perpendicular to the first direction. Both ends of the second grid sheet portion 1230 may be connected to the border sheet portion 1210 or the border frame portion 1110. Each side of the second grid sheet portion 1230 may be composed of a unit grid bar (UG). For example, as shown in FIG. 6 , nine unit grid bars UG may be arranged in parallel in the second direction to form the second grid sheet portion 1230. The length of the unit grid bar UG constituting the second grid sheet portion 1230 may correspond to the vertical length OL2.

제1 그리드 시트부(1220) 및 제2 그리드 시트부(1230)는 상호 교차할 수 있다. 제1 그리드 시트부(1220) 및 제2 그리드 시트부(1230)가 교차하는 부분 및 테두리 시트부(1210) 또는 테두리 프레임부(1110)에 연결되는 부분을 제외한 빈 부분이 마스크 셀 영역(CR)으로 제공될 수 있다.The first grid sheet portion 1220 and the second grid sheet portion 1230 may intersect each other. The empty portion excluding the portion where the first grid sheet portion 1220 and the second grid sheet portion 1230 intersect and the portion connected to the border sheet portion 1210 or the border frame portion 1110 is a mask cell region (CR). can be provided.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 확장형 마스크와 프레임의 연결체를 나타내는 개략도이다. 도 7에서는 이해의 편의를 위해 용접 비드(WB)의 도시 및 마스크 셀 시트부(1200')의 마스크 셀 영역(CR)에 부착된 마스크(100)들의 도시는 생략한다.Figure 7 is a schematic diagram showing a connection between an expandable mask and a frame according to another embodiment of the present invention. In FIG. 7 , for convenience of understanding, the illustration of the weld bead WB and the masks 100 attached to the mask cell region CR of the mask cell sheet portion 1200' are omitted.

도 7을 참조하면, 확장 프레임부(1100')는 테두리 프레임부(1110)와 테두리 프레임부(1110)에 연결되는 마스크 셀 시트부(1200')를 포함할 수 있다. 마스크 셀 시트부(1200')는 테두리 시트부(1210)[도 6 참조]를 포함하지 않고, 제1 그리드 시트부(1220') 및 제2 그리드 시트부(1230')만 포함할 수 있다. 제1, 2 그리드 시트부(1220', 1230')는 도 6의 제1, 2 그리드 시트부(1220, 1230)와 실질적으로 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다. 다만, 제1, 2 그리드 시트부(1220', 1230')의 양단은 테두리프레임부(1110)에 연결될 수 있다.Referring to FIG. 7 , the extended frame part 1100' may include an edge frame part 1110 and a mask cell sheet part 1200' connected to the border frame part 1110. The mask cell sheet portion 1200' may not include the border sheet portion 1210 (see FIG. 6) and may include only the first grid sheet portion 1220' and the second grid sheet portion 1230'. Since the first and second grid sheet parts 1220' and 1230' are substantially the same as the first and second grid sheet parts 1220 and 1230 of FIG. 6, detailed descriptions are omitted. However, both ends of the first and second grid sheet parts 1220' and 1230' may be connected to the border frame part 1110.

도 8은 마스크 셀 시트부의 원재료 코일(MC) 및 코일로부터 준비한 단위 그리드 바(UG, UG')를 나타내는 개략도이다.Figure 8 is a schematic diagram showing the raw material coil (MC) of the mask cell sheet portion and the unit grid bars (UG, UG') prepared from the coil.

OLED 디스플레이의 대면적화 및 대량 생산이 가능하도록, 프레임이 대형화 될 수 있다. 도 6 및 도 7의 확장 프레임부(1100, 1100')처럼 테두리 프레임부(1110)가 커짐에 따라 마스크 셀 시트부(1200, 1200')도 커져야한다. 기존의 마스크 셀 시트부(220)[도 2 참조]는 인바 금속 시트와 같은 얇은 금속 시트를 기초로 만들어진다. 도 8의 (a)와 같이 금속 시트들의 원재료는 코일(MC) 형태로 권취되어 공급될 수 있다. 금속 시트는 코일(MC) 형태로 감겨져 있기 때문에 가로 길이(CL1)에 있어서는 길이의 제한을 받지 않고 제작이 가능한 반면, 세로 길이(CL2)는 코일(MC) 폭에 대응하기 때문에 그 길이에 제한을 받게 된다. 통상 유통되는 코일(MC)의 폭(CL2)은 약 1,040mm가 최대치이다.The frame can be enlarged to enable large-area and mass production of OLED displays. Like the extended frame portions 1100 and 1100' of FIGS. 6 and 7, as the border frame portion 1110 becomes larger, the mask cell sheet portions 1200 and 1200' must also become larger. The existing mask cell sheet portion 220 (see FIG. 2) is made based on a thin metal sheet such as an Invar metal sheet. As shown in (a) of FIG. 8, the raw materials of metal sheets may be wound and supplied in the form of a coil (MC). Since the metal sheet is wound in the form of a coil (MC), it can be manufactured without limitations in the horizontal length (CL1), while the vertical length (CL2) corresponds to the width of the coil (MC), so there is no limitation on the length. You will receive it. The maximum width (CL2) of commonly distributed coils (MC) is approximately 1,040 mm.

기존의 마스크 셀 시트부(220)는 코일(MC)의 일부 부분을 커팅하여 사용하기 때문에, 기존의 마스크 셀 시트부(220)의 일변은 코일(MC)의 폭(CL2)에 대응하게 최대치가 약 1,040mm로 제한될 수 밖에 없다. 이 마스크 셀 시트부(220)를 이용하면 가로 X 세로 크기가 약 1,500mm X 900mm의 크기인 6G 하프까지는 제조가 가능하다. 다만, 이보다 큰 크기인 6G 풀(약 1,800mm X 1,500mm), 7G, 8G 급 이상의 크기로는 제조가 불가능하다. 다시 말해, 도 6 및 도 7에서 상술한 확장 프레임부(1100, 1100')를 구성할 수 있는, 6G 풀 이상의 크기를 가지는 마스크 셀 시트부(1200, 1200')는 코일(MC)의 일부 부분을 커팅한 것으로 제조가 불가능하다. 도 6 및 도 7의 가로 길이(OL1), 세로 길이(OL2)는 코일(MC)의 폭(CL2)보다 크므로, 코일(MC)의 일부 부분으로는 마스크 셀 시트부(1200, 1200')에 곧바로 적용이 불가능하다.Since the existing mask cell sheet portion 220 is used by cutting a portion of the coil (MC), one side of the existing mask cell sheet portion 220 has a maximum value corresponding to the width (CL2) of the coil (MC). It has no choice but to be limited to about 1,040mm. Using this mask cell sheet portion 220, it is possible to manufacture up to a 6G half with a width x height of approximately 1,500 mm x 900 mm. However, it is impossible to manufacture in sizes larger than this, such as 6G full (approximately 1,800mm In other words, the mask cell sheet parts 1200 and 1200' having a size of 6G full or more, which can form the expansion frame parts 1100 and 1100' described above in FIGS. 6 and 7, are some parts of the coil MC. It is impossible to manufacture it by cutting it. Since the horizontal length OL1 and the vertical length OL2 in FIGS. 6 and 7 are greater than the width CL2 of the coil MC, some parts of the coil MC include the mask cell sheet portions 1200 and 1200'. It cannot be applied directly to .

따라서, 본 발명은 단위 그리드 바(UG)를 이용하여 대면적의 마스크 셀 시트부(1200, 1200')를 제조하는 것을 특징으로 한다. 도 8의 (b)와 같이 코일(MC)의 폭(CL2) 방향에서 커팅하여 준비한 단위 그리드 바(UG')는 폭(CL2)에 대응하게 최대치가 약 1,040mm로 제한된다. 반면, 도 8의 (c)와 같이 코일(MC)의 가로 길이(CL1) 방향(또는, 코일의 감겨진 방향)에서 커팅하여 준비한 단위 그리드 바(UG)는 길이의 제한을 받지 않게 된다. 그러므로, 도 8의 (c)처럼 코일(MC)의 가로 길이(CL1) 방향에서 커팅한 단위 그리드 바(UG)를 사용하면 대면적의 마스크 셀 시트부(1200, 1200')를 제조함에 있어서 크기의 제한을 받지 않게 된다.Accordingly, the present invention is characterized by manufacturing large-area mask cell sheet portions 1200 and 1200' using unit grid bars UG. As shown in (b) of FIG. 8, the maximum value of the unit grid bar UG' prepared by cutting in the direction of the width CL2 of the coil MC is limited to about 1,040 mm corresponding to the width CL2. On the other hand, as shown in (c) of FIG. 8, the unit grid bar UG prepared by cutting in the direction of the horizontal length CL1 of the coil MC (or the winding direction of the coil) is not limited by the length. Therefore, when using the unit grid bar UG cut in the direction of the horizontal length CL1 of the coil MC as shown in (c) of FIG. 8, the size can be reduced in manufacturing the large-area mask cell sheet portions 1200 and 1200'. is not subject to restrictions.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부(1200, 1200')를 제조하기 위한 단위 그리드 바(UG)를 나타내는 개략도이다.FIG. 9 is a schematic diagram showing a unit grid bar UG for manufacturing mask cell sheet portions 1200 and 1200' according to an embodiment of the present invention.

X축 단위 그리드 바(UG)는 제1 그리드 시트부(1220), Y축 단위 그리드 바(UG)는 제2 그리드 시트부(1230)에 대응할 수 있다. X축 단위 그리드 바(UG)의 길이(XL1)은 상기 가로 길이(OL1)에 대응할 수 있고, Y축 단위 그리드 바(UG)의 길이(YL1)은 상기 세로 길이(OL1)에 대응할 수 있다. 일 예로, 6G 풀 사이즈는 약 1,800mm X 1,500mm이므로, XL1은 약 1,800mm, YL1은 약 1,500mm에 대응할 수 있다. 이 길이 XL1, YL1은 모두 코일(MC)의 폭(CL2)보다 크다. 일 예로, X축/Y축 단위 그리드 바(UG)의 길이는 1,040mm보다 클 수 있다. 따라서, X축, Y축 단위 그리드 바(UG)를 제조하기 위해서는 권취된 코일(MC)을 펼쳐서 코일(MC)의 가로 길이(CL1)[도 8의 (a) 참조] 방향을 기준으로 추출하여야 한다. 가로 길이(CL1)는 권취된 코일(MC)의 길이만큼으로 거의 제한이 없으므로, 단위 그리드 바(UG)를 제조할 수 있는 길이를 제공할 수 있다.The X-axis unit grid bar UG may correspond to the first grid sheet portion 1220, and the Y-axis unit grid bar UG may correspond to the second grid sheet portion 1230. The length XL1 of the X-axis unit grid bar UG may correspond to the horizontal length OL1, and the length YL1 of the Y-axis unit grid bar UG may correspond to the vertical length OL1. For example, the 6G full size is about 1,800mm Both of these lengths XL1 and YL1 are larger than the width CL2 of the coil MC. For example, the length of the X-axis/Y-axis unit grid bar (UG) may be greater than 1,040 mm. Therefore, in order to manufacture the do. Since the horizontal length CL1 is almost unlimited to the length of the wound coil MC, it is possible to provide a length capable of manufacturing the unit grid bar UG.

도 9의 (a)를 참조하면, 권취된 코일(MC)의 가로 길이(CL1)에 평행하도록 절단하여 X축 단위 그리드 바(UG), Y축 단위 그리드 바(UG)를 제조할 수 있다. X축 단위 그리드 바(UG), Y축 단위 그리드 바(UG)가 교차되는 부분에는 홈(GV1, GV2)이 형성될 수 있다. 홈(GV1, GV2)의 깊이(XL4, YL4)는 동일한 것이 바람직하다. 또한, 홈(GV1, GV2)의 가로 길이(XL3, YL3), 세로 길이(XL5, YL5) 역시 동일한 것이 바람직하지만, 깊이(XL4, YL4)가 동일한 범위 내에서 상호 연결이 가능하다면 홈(GV1, GV2)의 가로 길이(XL3, YL3), 세로 길이(XL5, YL5)가 반드시 동일할 필요는 없다.Referring to (a) of FIG. 9, the X-axis unit grid bar UG and the Y-axis unit grid bar UG can be manufactured by cutting the wound coil MC parallel to the horizontal length CL1. Grooves (GV1, GV2) may be formed at the intersection of the X-axis unit grid bar (UG) and the Y-axis unit grid bar (UG). It is preferable that the depths (XL4, YL4) of the grooves (GV1, GV2) are the same. In addition, it is desirable that the horizontal lengths (XL3, YL3) and vertical lengths (XL5, YL5) of the grooves (GV1, GV2) are the same, but if interconnection is possible within the same range of the depths (XL4, YL4), the grooves (GV1, The horizontal length (XL3, YL3) and vertical length (XL5, YL5) of GV2) do not necessarily need to be the same.

일 예로, 200㎛의 두께를 가진 단위 그리드 바(UG)라면, 에칭, 폴리싱 등의 공정으로 X축/Y축 단위 그리드 바(UG)의 교차하는 부분에 약 100㎛ 깊이로 홈(GV1, GV2)을 형성할 수 있다. 그리고, 홈(GV1, GV2) 부분을 상호 끼워맞춰서 X축/Y축 단위 그리드 바(UG)의 평탄도를 맞출 수 있다. 만약, 홈(GV1, GV2)의 깊이가 상이하여 상부면이 평평하지 않은 경우에는, 표면(상부면)에 대해 폴리싱 등의 공정을 더 수행하여 마스크 셀 시트부(1200, 1200')의 상부면을 평평하게 할 수 있다. 다시 말해, X축 단위 그리드 바(UG), Y축 단위 그리드 바(UG)가 동일한 상부면을 공유하도록 할 수 있다.For example, if the unit grid bar (UG) has a thickness of 200㎛, grooves (GV1, GV2) are formed to a depth of about 100㎛ at the intersection of the X-axis/Y-axis unit grid bars (UG) through processes such as etching and polishing. ) can be formed. Also, the flatness of the X-axis/Y-axis unit grid bar (UG) can be adjusted by fitting the grooves (GV1, GV2) together. If the depth of the grooves (GV1, GV2) is different and the upper surface is not flat, a process such as polishing is further performed on the surface (upper surface) to make the upper surface of the mask cell sheet portions 1200 and 1200'. can be flattened. In other words, the X-axis unit grid bar (UG) and the Y-axis unit grid bar (UG) can share the same upper surface.

도 9의 (b)를 참조하면, X축 단위 그리드 바(UG), Y축 단위 그리드 바(UG) 중 어느 하나에만 홈(GV1)을 형성할 수 있다. 이때, Y축 단위 그리드 바(UG)의 두께(YL2)는 홈(GV1)의 깊이(XL4)에 대응할 수 있다. 또한, Y축 단위 그리드 바(UG)의 가로 길이(YL3)와 홈(GV1)의 가로 깊이(XL3) 역시 동일한 것이 바람직하지만, 깊이(XL4)와 두께(YL2)가 동일한 범위 내에서 상호 연결이 가능하다면 Y축 단위 그리드 바(UG)의 가로 길이(YL3)와 홈(GV1)의 가로 깊이(XL3)가 반드시 동일할 필요는 없다.Referring to (b) of FIG. 9, the groove GV1 can be formed in only one of the X-axis unit grid bar UG and the Y-axis unit grid bar UG. At this time, the thickness YL2 of the Y-axis unit grid bar UG may correspond to the depth XL4 of the groove GV1. In addition, it is desirable that the horizontal length (YL3) of the Y-axis unit grid bar (UG) and the horizontal depth (XL3) of the groove (GV1) are the same, but the depth (XL4) and thickness (YL2) are interconnected within the same range. If possible, the horizontal length (YL3) of the Y-axis unit grid bar (UG) and the horizontal depth (XL3) of the groove (GV1) do not necessarily need to be the same.

일 예로, 200㎛의 두께를 가진 X축 단위 그리드 바(UG)라면, 에칭, 폴리싱 등의 공정으로 X축 단위 그리드 바의 교차하는 부분에 약 100㎛ 깊이로 홈(GV1)을 형성할 수 있다. Y축 단위 그리드 바(UG)는 두께를 약 100㎛로 형성할 수 있다. 그리고, 홈(GV1) 부분에 Y축 단위 그리드 바(UG)를 끼워맞춰서 X축/Y축 단위 그리드 바(UG)의 평탄도를 맞출 수 있다. 만약, 홈(GV1)의 깊이와 Y축 단위 그리드 바(UG)의 두께(YL2)가 상이하여 상부면이 평평하지 않은 경우에는, 표면(상부면)에 대해 폴리싱 등의 공정을 더 수행하여 마스크 셀 시트부(1200, 1200')의 상부면을 평평하게 할 수 있다. 다시 말해, X축 단위 그리드 바(UG), Y축 단위 그리드 바(UG)가 동일한 상부면을 공유하도록 할 수 있다.For example, if the X-axis unit grid bar (UG) has a thickness of 200㎛, a groove (GV1) with a depth of about 100㎛ can be formed at the intersection of the . The Y-axis unit grid bar (UG) can be formed to have a thickness of about 100㎛. Also, the flatness of the X-axis/Y-axis unit grid bar (UG) can be adjusted by fitting the Y-axis unit grid bar (UG) into the groove (GV1). If the top surface is not flat because the depth of the groove (GV1) and the thickness (YL2) of the Y-axis unit grid bar (UG) are different, a process such as polishing is further performed on the surface (upper surface) to create a mask. The upper surface of the cell sheet portions 1200 and 1200' can be flat. In other words, the X-axis unit grid bar (UG) and the Y-axis unit grid bar (UG) can share the same upper surface.

위와 같이, X축 단위 그리드 바(UG), Y축 단위 그리드 바(UG)가 동일한 상부면을 공유하므로, 마스크 셀 시트부(1200, 1200')의 상부면에 부착되는 마스크(100)들의 정렬에 영향이 없다.As above, since the X-axis unit grid bar UG and the Y-axis unit grid bar UG share the same upper surface, the masks 100 attached to the upper surface of the mask cell sheet portions 1200 and 1200' are aligned has no effect on

마스크 셀 시트부(1200, 1200')의 단위 그리드 바(UG)는 각각 순차적으로 인장되어 양단이 테두리 프레임부(1110)에 부착될 수 있다. 또는, 마스크 셀 시트부(1200)처럼 테두리 시트부(1210)에 제1, 2 그리드 시트부(1220, 1230)가 연결된 후, 테두리 시트부(1210)의 특정 부분이 인장되어 테두리 시트부(1210)가 테두리 프레임부(1110)에 부착될 수 있다.The unit grid bars UG of the mask cell sheet portions 1200 and 1200' may be sequentially stretched and both ends may be attached to the edge frame portion 1110. Alternatively, like the mask cell sheet portion 1200, after the first and second grid sheet portions 1220 and 1230 are connected to the border sheet portion 1210, a specific portion of the border sheet portion 1210 is stretched to form the border sheet portion 1210. ) may be attached to the edge frame portion 1110.

마스크 셀 시트부(1200, 1200')가 테두리 프레임부(1110)에 모두 부착된 후에는 복수의 마스크 셀 영역(CR)이 제공되고, 마스크 셀 영역(CR)의 각각에 마스크(100)들이 부착될 수 있게 된다.After the mask cell sheet portions 1200 and 1200' are all attached to the border frame portion 1110, a plurality of mask cell regions CR are provided, and masks 100 are attached to each of the mask cell regions CR. It becomes possible.

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부(1200)를 나타내는 개략 사시도이다. 도 10의 (a)는 도 9의 (a)에서 상술한 제1, 2 그리드 시트부(1220, 1230)를 사용하여 제조한 마스크 셀 시트부(1200)를 나타내고, 도 10의 (b)의 도 9의 (b)에서 상술한 제1, 2 그리드 시트부(1220, 1230)를 사용하여 제조한 마스크 셀 시트부(1200)를 나타낸다.Figure 10 is a schematic perspective view showing the mask cell sheet portion 1200 according to an embodiment of the present invention. Figure 10(a) shows the mask cell sheet part 1200 manufactured using the first and second grid sheet parts 1220 and 1230 described above in Figure 9(a), and the mask cell sheet part 1200 in Figure 10(b) Figure 9(b) shows the mask cell sheet portion 1200 manufactured using the first and second grid sheet portions 1220 and 1230 described above.

도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부(1200)에서 제1, 2 그리드 시트부(1220, 1230)가 교차 형성될 수 있다. 제1 그리드 시트부(1220)의 X축 단위 그리드 바(UG), 제2 그리드 시트부(1230)의 Y축 단위 그리드 바(UG)의 교차되는 부분에는 적어도 하나의 홈(GV1, GV2)이 형성되므로, 제1, 2 그리드 시트부(1220, 1230)는 상호 끼워맞춰지는 형태로 교차 형성될 수 있다.Referring to FIG. 10 , first and second grid sheet parts 1220 and 1230 may be formed to cross each other in the mask cell sheet part 1200 according to an embodiment of the present invention. At least one groove (GV1, GV2) is formed at the intersection of the X-axis unit grid bar UG of the first grid sheet part 1220 and the Y-axis unit grid bar UG of the second grid sheet part 1230. Therefore, the first and second grid sheet portions 1220 and 1230 may be formed to intersect each other.

제1, 2 그리드 시트부(1220, 1230)는 동일한 수평면(XY면)을 공유할 수 있다. 도 10의 (a)의 형태에서는, 제1 그리드 시트부(1220)의 X축 단위 그리드 바(UG)의 상부면/하부면, 제2 그리드 시트부(1230)의 Y축 단위 그리드 바(UG)의 상부면/하부면이 동일한 수평면을 공유할 수 있다. 도 10의 (b)의 형태에서는, 제1 그리드 시트부(1220)의 X축 단위 그리드 바(UG)의 상부면, 제2 그리드 시트부(1230)의 Y축 단위 그리드 바(UG)의 상부면이 동일한 수평면을 공유할 수 있다. 제1, 2 그리드 시트부(1220, 1230)의 상부면[또는, 마스크 셀 시트부(1200)의 상부면] 상에 마스크(1300)가 연결될 것이므로, 이 상부면이 평평한 수평면인 것이 바람직하다. 도 9에서 상술하였듯이, 만약 홈(GV1, GV2)의 깊이가 상이하여 상부면이 평평하지 않은 경우에는, 표면(상부면)에 대해 폴리싱 등의 공정을 더 수행하여 평탄도를 맞출 수 있다.The first and second grid sheet parts 1220 and 1230 may share the same horizontal plane (XY plane). In the form of FIG. 10 (a), the upper/lower surfaces of the ) can share the same horizontal plane. In the form of FIG. 10 (b), the upper surface of the Faces can share the same horizontal plane. Since the mask 1300 will be connected to the upper surface of the first and second grid sheet parts 1220 and 1230 (or the upper surface of the mask cell sheet part 1200), it is preferable that this upper surface is a flat horizontal surface. As described above in FIG. 9, if the upper surface is not flat because the depths of the grooves GV1 and GV2 are different, a process such as polishing can be further performed on the surface (upper surface) to adjust the flatness.

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부(1200) 상에 마스크(1300)가 연결된 상태를 나타내는 개략 평면도이다. 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부(1200) 상에 마스크(1300)가 연결된 상태를 나타내는 개략 사시도이다.FIG. 11 is a schematic plan view showing a state in which the mask 1300 is connected to the mask cell sheet portion 1200 according to an embodiment of the present invention. Figure 12 is a schematic perspective view showing a state in which the mask 1300 is connected to the mask cell sheet portion 1200 according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 RGB와 같은 화소 증착을 위해 마스크 패턴(P)이 형성된 마스크(100)[도 5 참조] 외에, 전자/전하수송층 등의 공동층을 형성하기 위한 마스크(1300)를 사용할 수 있다. 이 경우, 마스크 패턴(P)의 개수는 1개 또는 소수인 개수로 형성될 수 있고, 마스크 패턴(P)의 폭도 RGB 형성을 위한 폭보다 크게(예를 들어, 수 mm 내지 수백 mm) 형성될 수 있다. 이하에서는, 마스크(1300)가 하나의 개구부(1301)를 가지는 형태를 상정하여 설명한다.In the present invention, in addition to the mask 100 on which the mask pattern P is formed for pixel deposition such as RGB (see FIG. 5), the mask 1300 can be used to form a cavity layer such as an electron/charge transport layer. In this case, the number of mask patterns (P) may be one or a small number, and the width of the mask pattern (P) may be formed to be larger than the width for RGB formation (for example, several mm to hundreds of mm). You can. Hereinafter, the description will be made assuming that the mask 1300 has one opening 1301.

마스크 셀 시트부(1200)의 테두리 시트부(1210), 제1, 2 그리드 시트부(1220, 1230)는 설계치 이하의 편차를 가지도록 일정한 폭으로 제작이 쉽지 않다. 도 11의 확대 부분을 참조하면, 목표하는 설계 요구 사양을 가지는 제2 그리드 시트부(1230')를 점선으로 나타내고, 실제로 제2 그리드 시트부(1230)의 제작되는 형태를 실선으로 나타낸다. 제2 그리드 시트부(1230) 뿐만 아니라 테두리 시트부(1210), 제1 그리드 시트부(1220)를 구성하는 단위 그리드 바(UG)를 제조하는 과정에서 완벽하게 직선으로 커팅, 식각 등이 되지 않을 수 있다. 또는, 단위 그리드 바(UG)를 일정한 폭으로 제작하더라도, 단위 그리드 바(UG)를 연결하여 마스크 셀 시트부(1200)를 구성하고, 테두리 프레임부(1110)에 마스크 셀 시트부(1200)를 인장하고 용접 부착하는 과정에서, 테두리 시트부(1210), 제1, 2 그리드 시트부(1220, 1230)가 완벽하게 수직 수평 방향으로 부착되기가 어려울 수 있다. 예를 들어, 제1, 2 그리드 시트부(1220, 1230)의 폭 위치에 대한 설계 요구 사양은 ±5~20㎛이나, 실제 제작시에는 ±30~100㎛ 정도로 오차가 커지는 문제점이 있다.It is not easy to manufacture the border sheet portion 1210 and the first and second grid sheet portions 1220 and 1230 of the mask cell sheet portion 1200 to a constant width so that the deviation is less than the design value. Referring to the enlarged portion of FIG. 11, the second grid sheet portion 1230' having the target design requirements is indicated by a dotted line, and the actual manufactured form of the second grid sheet portion 1230 is indicated by a solid line. In the process of manufacturing the unit grid bar (UG) that constitutes the second grid sheet portion 1230 as well as the border sheet portion 1210 and the first grid sheet portion 1220, it may not be cut or etched in a perfectly straight line. You can. Alternatively, even if the unit grid bars UG are manufactured to a certain width, the mask cell sheet portion 1200 is formed by connecting the unit grid bars UG, and the mask cell sheet portion 1200 is connected to the border frame portion 1110. In the process of tensioning and welding attachment, it may be difficult to attach the border sheet portion 1210 and the first and second grid sheet portions 1220 and 1230 in a perfectly vertical and horizontal direction. For example, the design requirement for the width position of the first and second grid sheet parts 1220 and 1230 is ±5 to 20㎛, but in actual production, there is a problem that the error increases to about ±30 to 100㎛.

마스크 셀 시트부(1200)의 테두리 시트부(1210), 제1, 2 그리드 시트부(1220, 1230)는 마스크 셀 영역(CR)을 구분하고, 마스크 셀 영역(CR)들의 각각 또는 복수는 디스플레이에 대응할 수 있다. OLED 기술이 진화하면서 베젤을 최소화하는 추세이고, 베젤 폭을 최소화 하기 위해 화소를 형성하는 유기물들이 통과하는 마스크(1300)의 주변부[또는, 마스크 셀 영역(CR)의 테두리]의 폭이 일정해야 한다. 그렇지 않으면 전자/전하수송층 등의 공동층의 테두리 부분에서 화소가 균일하지 않게 형성되어, OLED의 수명이 악화되거나 빛 샘 등의 문제가 발생할 수 있다. 또는, OLED의 봉지(encapsulation) 공정에서 테두리/모서리 부분에서 수분에 대한 내구성이 약화되어 수명이 줄어드는 문제가 발생할 수 있다. 따라서, 화소 형성 과정에서 정밀한 테두리를 가지는 유기물의 통과 경로가 필요해진 실정이다.The border sheet portion 1210 and the first and second grid sheet portions 1220 and 1230 of the mask cell sheet portion 1200 define mask cell regions CR, and each or a plurality of mask cell regions CR is used for display. can respond. As OLED technology evolves, there is a trend to minimize the bezel, and in order to minimize the bezel width, the width of the periphery of the mask 1300 (or the border of the mask cell region (CR)) through which the organic materials forming the pixels pass is required to be constant. . Otherwise, pixels may be formed unevenly at the edges of the common layer, such as the electron/charge transport layer, and the lifespan of the OLED may deteriorate or problems such as light leakage may occur. Alternatively, during the encapsulation process of OLED, durability against moisture may be weakened at the edges/edges, resulting in a shortened lifespan. Therefore, in the process of forming a pixel, a passage path for organic substances with precise edges is needed.

도 11 및 도 12를 참조하면, 마스크(1300)는 하나의 개구부(1301)를 포함한다. 도 11의 평면(XY면) 방향 기준으로 볼때, 개구부(1301)는 마스크 셀 영역(CR)에 대응하도록 위치한다. 마스크 셀 영역(CR) 및 개구부(1301)는 사각형 형상일 수 있다. 마스크 셀 영역(CR)은 마스크(1300)의 테두리보다 작게 형성될 수 있다. 또한, 개구부(1301)는 마스크 셀 영역(CR)보다 작게 형성될 수 있다. 여기서, 개구부(1301)가 마스크 셀 영역(CR)보다 작게 형성된다는 의미는, 마스크 셀 영역(CR)의 테두리를 마스크(1300)가 커버하는 것으로 이해될 수 있다. 즉, 개구부(1301)를 제외한 마스크(1300)의 부분이 마스크 셀 영역(CR)의 테두리를 커버하는 것이다. 마스크(1300)의 개구부(1301)의 각 측변(1311, 1321)은 단위 그리드 바(UG)보다 반듯해야 한다. 상술하였듯이, 단위 그리드 바(UG)는 폭 위치에 대한 실제 제작치가 ±30~100㎛ 정도로 편차를 나타내나, 개구부(1301)의 각 측변(1311, 1321)은 단위 그리드 바(UG)의 폭 위치에 대한 설계 요구 사양인 ±5~20㎛에 대응할 정도로 직선에 가까워야 한다. 보다 반듯한 측변(1311, 1321)을 가지는 마스크(1300)가 마스크 셀 영역(CR)을 커버하기 때문에, 개구부(1301)의 각 측변(1311, 1321)이 실질적으로 전자/전하수송층 등의 공동층의 테두리 부분에서 화소의 명확성을 결정할 수 있다.11 and 12, the mask 1300 includes one opening 1301. When viewed from the plane (XY plane) direction of FIG. 11, the opening 1301 is located to correspond to the mask cell region CR. The mask cell region CR and the opening 1301 may have a rectangular shape. The mask cell region CR may be formed to be smaller than the border of the mask 1300. Additionally, the opening 1301 may be formed smaller than the mask cell region CR. Here, the fact that the opening 1301 is formed smaller than the mask cell region CR can be understood as meaning that the mask 1300 covers the edge of the mask cell region CR. That is, the portion of the mask 1300 excluding the opening 1301 covers the edge of the mask cell region CR. Each of the side sides 1311 and 1321 of the opening 1301 of the mask 1300 must be straighter than the unit grid bar UG. As described above, the actual production value of the unit grid bar (UG) varies by ±30 to 100㎛ with respect to the width position, but each side (1311, 1321) of the opening (1301) has a width position of the unit grid bar (UG). It must be close to a straight line to correspond to the design requirement of ±5~20㎛. Since the mask 1300 having straighter side sides 1311 and 1321 covers the mask cell region CR, each side side 1311 and 1321 of the opening 1301 substantially covers the common layer such as the electron/charge transport layer. The clarity of pixels can be determined in the border area.

마스크(1300)는 제1 그리드 시트부(1220), 제2 그리드 시트부(1230)의 상부면 상에 연결될 수 있다. 마스크(1300)는 제1 그리드 시트부(1220) 또는 제2 그리드 시트부(1230) 상에 용접 부착으로 연결될 수 있다. 또는, 마스크(1300)는 제1 그리드 시트부(1220) 및 제2 그리드 시트부(1230) 상에 용접 부착으로 연결될 수 있다. 도 12의 (a)에는 제1, 2 그리드 시트부(1220, 1230) 상에 마스크(1300)의 네 측변(1310, 1320)이 맞닿는 상태로 용접되어 용접 비드(WB1, WB2)가 형성된 상태가 도시된다. 도 12의 (b)에는 제1 그리드 시트부(1220) 상에만 마스크(1300)의 두 측변(1310)이 맞닿는 상태로 용접되어 용접 비드(WB1)가 형성된 상태가 도시된다. 도 11 및 도 12에서는 마스크(1300)의 측변(1310, 1320)이 제1, 2 그리드 시트부(1220, 1230)에만 접촉하는 것을 예시하나, 테두리 시트부(1210)에 마스크(1300)의 측변(1310, 1320)이 접촉하는 경우에도 동일하게 용접이 수행될 수 있다.The mask 1300 may be connected to the upper surfaces of the first grid sheet portion 1220 and the second grid sheet portion 1230. The mask 1300 may be connected to the first grid sheet portion 1220 or the second grid sheet portion 1230 by welding attachment. Alternatively, the mask 1300 may be connected to the first grid sheet portion 1220 and the second grid sheet portion 1230 by welding attachment. In (a) of FIG. 12, the four side sides 1310 and 1320 of the mask 1300 are welded in contact with each other on the first and second grid sheet portions 1220 and 1230, thereby forming weld beads WB1 and WB2. It is shown. In FIG. 12(b) , the two side sides 1310 of the mask 1300 are welded in contact only on the first grid sheet portion 1220 to form a weld bead WB1. 11 and 12 illustrate that the side sides 1310 and 1320 of the mask 1300 only contact the first and second grid sheet portions 1220 and 1230, but the side sides of the mask 1300 do not contact the border sheet portion 1210. Even when (1310 and 1320) are in contact, welding can be performed in the same way.

도 11 및 도 12에서는 하나의 마스크 셀 영역(CR)에만 마스크(1300)가 연결된 상태를 예시하나, 모든 마스크 셀 영역(CR)에 각각 마스크(1300)가 연결됨에 따라 확장형 마스크와 프레임의 연결체(1000)가 제조될 수 있다.11 and 12 illustrate a state in which the mask 1300 is connected to only one mask cell region (CR). However, as the mask 1300 is connected to all mask cell regions (CR), the connection body of the extended mask and the frame (1000) can be manufactured.

도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 그리드 시트부(1220) 및 제2 그리드 시트부(1230)와 마스크(1300)의 연결 형태 및 OLED 화소 증착 형태를 나타내는 개략 측단면도이다. 도 13에는 하나의 마스크(1300)에 대해서만 예를 들어 설명하나, 확장형 마스크와 프레임의 연결체(1000)의 전체 마스크(1300)들에 대해서 적용 가능함은 물론이다.Figure 13 is a schematic side cross-sectional view showing the connection form of the first grid sheet part 1220 and the second grid sheet part 1230 and the mask 1300 and the OLED pixel deposition form according to an embodiment of the present invention. In FIG. 13 , only one mask 1300 is described as an example, but it is of course applicable to all masks 1300 of the connection body 1000 of the extended mask and the frame.

도 13을 참조하면, 확장형 마스크와 프레임의 연결체(1000) 상에 유기물 소스(600)가 증착되는 유리 등의 대상 기판(900)이 제공될 수 있다. 마그넷 플레이트(미도시)에서 자기장이 발생되어 자기장에 의해 대상 기판(900)에 확장형 마스크와 프레임의 연결체(1000)가 밀착될 수 있다.Referring to FIG. 13 , a target substrate 900 such as glass on which an organic source 600 is deposited may be provided on a connection body 1000 of an expandable mask and a frame. A magnetic field is generated from a magnet plate (not shown), and the connection body 1000 of the expandable mask and the frame may be brought into close contact with the target substrate 900 by the magnetic field.

증착 소스 공급부(500)는 좌우 경로를 왕복하며 유기물 소스(600)를 공급할 수 있고, 증착 소스 공급부(500)에서 공급되는 유기물 소스(600)들은 확장형 마스크와 프레임의 연결체(1000)에서 제공되는 마스크(1300)의 개구부(1301)를 통과하여 대상 기판(900)의 일측에 증착될 수 있다. 마스크(1300)의 개구부(1301)를 통과한 증착된 유기물 소스(600)는 전자/전하수송층 등의 공동층을 형성할 수 있다. 개구부(1301)의 각 측변(1311, 1321)은 단위 그리드 바(UG)보다 비뚤어짐 없이 반듯하므로, 전자/전하수송층 등의 공동층 부분에 대해 테두리 부분을 명확하게 형성할 수 있는 효과가 있다. 또한, 디스플레이의 베젤 테두리를 명확하게 형성할 수 있는 효과가 있다. 결국, 유기물 소스(600)에 의해 형성되는 각각의 공동층 셀에 대한 CPA(cell position accuracy)가 증대될 수 있다.The deposition source supply unit 500 can supply the organic source 600 by traveling back and forth in a left and right path, and the organic source 600 supplied from the deposition source supply unit 500 is provided from the connector 1000 of the expandable mask and the frame. It may pass through the opening 1301 of the mask 1300 and be deposited on one side of the target substrate 900. The deposited organic material source 600 that passes through the opening 1301 of the mask 1300 may form a cavity layer, such as an electron/charge transport layer. Since each side edge 1311 and 1321 of the opening 1301 is straighter than the unit grid bar UG, there is an effect of clearly forming an edge portion of the cavity layer such as the electron/charge transport layer. Additionally, it has the effect of clearly forming the bezel border of the display. Ultimately, cell position accuracy (CPA) for each co-layer cell formed by the organic source 600 can be increased.

한편, 도 12의 (b)처럼 마스크(1300)의 가로변(1310)만 용접이 수행되고 세로변(1320)에 용접이 수행되지 않으며, 마스크(1300)의 세로변(1320)과 제2 그리드 시트부(1230)에 미세한 간격이 있더라도 이 사이로 유기물 소스(600)가 진입하여 대상 기판(900)에까지 영향을 주기는 어렵다. 이 미세한 간격의 높이는 수㎛보다 작고, 마스크(1300)와 제2 그리드 시트부(1230)의 수평면 방향 상 중첩되는 폭은 약 1,000㎛에 대응한다. 수평면 방향 상 중첩되는 폭이 간격의 높이보다 매우 큰 값을 가지기 때문에, 유기물 소스(600)가 이격된 부분을 통과하지 못하고 마스크(1300)의 하부면에 막힐 수 있다. 따라서, 마스크(1300)가 제1 그리드 시트부(1220)에만 부착되고, 제2 그리드 시트부(1230)와는 미세한 간격을 이루더라도 유기물 소스(600)가 이격된 부분을 통과하여 증착에 악영향을 줄 가능성은 없어진다.Meanwhile, as shown in (b) of FIG. 12, welding is performed only on the horizontal side 1310 of the mask 1300 and not on the vertical side 1320, and the vertical side 1320 of the mask 1300 and the second grid sheet are Even if there is a fine gap in the portion 1230, it is difficult for the organic material source 600 to enter the gap and affect the target substrate 900. The height of this fine gap is less than several μm, and the overlapping width of the mask 1300 and the second grid sheet portion 1230 in the horizontal direction corresponds to about 1,000 μm. Since the overlap width in the horizontal direction is much larger than the height of the gap, the organic material source 600 may not pass through the spaced portion and may be blocked on the lower surface of the mask 1300. Therefore, even if the mask 1300 is attached only to the first grid sheet portion 1220 and forms a small gap with the second grid sheet portion 1230, the organic material source 600 passes through the spaced portion and does not adversely affect deposition. The possibility disappears.

본 발명의 마스크(1300)는 하나의 개구부(1301)를 가지는 형태이므로 테두리 부분에 약한 인장력을 가하는 것만으로도 측변(1310, 1320)이 비뚤어질 위험이 있다. 이를 고려하여, 마스크(1300)에 외력을 가함이 없이 안정적으로 마스크 셀 시트부(1200) 상에 이동하고 연결할 수 있는 방안이 필요하다.Since the mask 1300 of the present invention has a single opening 1301, there is a risk that the sides 1310 and 1320 may be distorted just by applying a weak tensile force to the edge portion. Considering this, a method is needed to stably move and connect the mask 1300 to the mask cell sheet portion 1200 without applying external force.

도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크(1300)가 접착 지지된 템플릿(50)을 제조하는 과정을 나타내는 개략도이다. 도 14의 좌측 도면은 평면도, 우측 도면은 G-G' 측단면도를 나타낸다.Figure 14 is a schematic diagram showing the process of manufacturing the template 50 on which the mask 1300 is adhesively supported according to an embodiment of the present invention. The left drawing of FIG. 14 is a plan view, and the right drawing is a G-G' side cross-sectional view.

먼저, 도 14의 (a)를 참조하면, 템플릿(50)이 제공된다. 템플릿(50)은 마스크(1300)가 일면 상에 부착되어 지지된 상태로 이동시킬 수 있는 매개체이다. 템플릿(50)의 일면은 평평한 마스크(1300)를 지지하여 이동시킬 수 있도록 평평한 것이 바람직하다. First, referring to (a) of FIG. 14, a template 50 is provided. The template 50 is a medium that allows the mask 1300 to be attached to one surface and moved in a supported state. One surface of the template 50 is preferably flat so that it can support and move the flat mask 1300.

템플릿(50)의 상부에서 조사하는 레이저(L)가 마스크(1300)와 제1 그리드 시트부(1220)의 용접 부분까지 도달할 수 있도록, 템플릿(50)에는 레이저 통과공(51)이 형성될 수 있다. 일 예로, 마스크(1300)의 가로변(1310)/세로변(1320) 부분에 소정 간격을 따라 용접 비드(WB)를 형성할 수 있도록, 레이저 통과공(51)도 템플릿(50)이 각 측에 소정 간격을 따라 복수개 형성될 수 있다. 템플릿(50)이 레이저가 통과되는 재질이라면 레이저 통과공(51)은 구비하지 않을 수도 있다.A laser passing hole 51 will be formed in the template 50 so that the laser L radiating from the upper part of the template 50 can reach the welded portion of the mask 1300 and the first grid sheet portion 1220. You can. As an example, the laser passing hole 51 is also provided with a template 50 on each side to form a weld bead (WB) at a predetermined interval on the horizontal side 1310/vertical side 1320 of the mask 1300. A plurality of them may be formed along a predetermined interval. If the template 50 is made of a material through which a laser passes, the laser passing hole 51 may not be provided.

템플릿(50)의 일면에는 임시접착부(55)가 형성될 수 있다. 임시접착부(55)는 마스크(1300)가 확장 프레임(1100)에 부착되기 전까지 마스크(1300)가 임시로 템플릿(50)의 일면에 접착되어 템플릿(50) 상에 지지되도록 할 수 있다.A temporary adhesive portion 55 may be formed on one surface of the template 50. The temporary adhesive portion 55 may temporarily attach the mask 1300 to one surface of the template 50 and support it on the template 50 until the mask 1300 is attached to the expansion frame 1100.

임시접착부(55)는 열을 가함에 따라 분리가 가능한 접착제, UV 조사에 의해 분리가 가능한 접착제를 사용할 수 있다.The temporary adhesive portion 55 may use an adhesive that can be separated by applying heat or an adhesive that can be separated by UV irradiation.

일 예로, 임시접착부(55)는 액체 왁스(liquid wax)를 사용할 수 있다. 액체 왁스인 임시접착부(55)는 85℃~100℃보다 높은 온도에서는 점성이 낮아지고, 85℃보다 낮은 온도에서 점성이 커지고 고체처럼 일부 굳을 수 있어, 마스크 금속막(1300')과 템플릿(50)을 고정 접착할 수 있다.As an example, the temporary adhesive portion 55 may use liquid wax. The temporary adhesive part 55, which is a liquid wax, has lower viscosity at temperatures higher than 85°C to 100°C, and at temperatures lower than 85°C, the viscosity increases and can partially harden like a solid, so that the mask metal film 1300' and the template (50) ) can be fixed and glued.

임시접착부(55)가 형성된 템플릿(50) 상에 마스크 금속막(1300')을 접착할 수 있다. 또는, 개구부(1301)가 형성된 마스크(1300)를 템플릿(50) 상에 접착할 수도 있다.The mask metal film 1300' can be attached to the template 50 on which the temporary adhesive portion 55 is formed. Alternatively, the mask 1300 with the opening 1301 formed may be attached to the template 50.

템플릿(50)에 마스크 금속막(1300')을 접착한 후에 마스크 금속막(1300')의 일면을 평탄화 할 수도 있다. 압연 공정으로 제조된 마스크 금속막(1300')은 평탄화 공정으로 두께를 감축시킬 수 있다. 그리고, 전주 도금 공정으로 제조된 마스크 금속막(1300')도 표면 특성, 두께의 제어를 위해 평탄화 공정이 수행될 수 있다. 템플릿(50)에 접착 전에, 마스크 금속막(1300')의 평탄화 공정을 수행할 수도 있다.After attaching the mask metal film 1300' to the template 50, one surface of the mask metal film 1300' may be flattened. The thickness of the mask metal film 1300' manufactured through a rolling process can be reduced through a planarization process. Additionally, the mask metal film 1300' manufactured through the electroplating process may also be subjected to a planarization process to control surface properties and thickness. Before adhering to the template 50, a planarization process may be performed on the mask metal film 1300'.

다음으로, 도 14의 (b)를 참조하면, 마스크 금속막(1300')의 테두리 상에 절연부(25)를 형성할 수 있다. 절연부(25)는 프린팅 법 등을 이용하여 포토레지스트 재질로 형성될 수 있다. 이어서, 절연부(25)가 형성된 부분을 제외한 마스크 금속막(1300')의 노출된 부분에 식각(EC)을 수행할 수 있다. 건식 식각, 습식 식각 등의 방법을 제한없이 사용할 수 있다.Next, referring to (b) of FIG. 14, an insulating portion 25 may be formed on the edge of the mask metal film 1300'. The insulating portion 25 may be formed of a photoresist material using a printing method or the like. Next, etching (EC) may be performed on the exposed portion of the mask metal film 1300' excluding the portion where the insulating portion 25 is formed. Methods such as dry etching and wet etching can be used without limitation.

다음으로, 도 14의 (c)를 참조하면, 식각(EC) 결과 마스크 금속막(1300')의 노출된 부분이 식각되어 개구부(1301)가 형성될 수 있다. 절연부(25)를 제거하고, 세정 등의 후속 공정을 수행하여 개구부(1301)가 형성된 마스크(1300)가 제조될 수 있다. 마스크(1300)는 템플릿(50) 상에 임시접착부(55)를 개재하여 접착됨에 따라 외부 힘을 받지 않고 안정적으로 템플릿(50) 상에 지지될 수 있다.Next, referring to (c) of FIG. 14 , as a result of etching (EC), the exposed portion of the mask metal film 1300' may be etched to form an opening 1301. The mask 1300 with the opening 1301 formed can be manufactured by removing the insulating portion 25 and performing a subsequent process such as cleaning. As the mask 1300 is attached to the template 50 via the temporary adhesive portion 55, it can be stably supported on the template 50 without receiving external force.

도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부(1200) 상에 마스크(1300)를 연결하는 과정을 나타내는 개략도이다. 도 15에서는 하나의 마스크 셀 영역(CR)에만 마스크(1300)를 부착하는 과정을 예시하나, 모든 마스크 셀 영역(CR)에 각각 마스크(1300)를 부착하여 확장형 마스크와 프레임의 연결체(1000)를 제조할 수 있다.Figure 15 is a schematic diagram showing the process of connecting the mask 1300 to the mask cell sheet portion 1200 according to an embodiment of the present invention. FIG. 15 illustrates the process of attaching the mask 1300 to only one mask cell region (CR). However, the mask 1300 is attached to all mask cell regions (CR) to form a connection body 1000 of the expandable mask and the frame. can be manufactured.

도 15의 (a)를 참조하면, 템플릿(50)은 진공 척(90)에 의해 이송될 수 있다. 진공 척(90)으로 마스크(1300)가 접착된 템플릿(50) 면의 반대 면을 흡착하여 이송할 수 있다. 진공 척(90)이 템플릿(50)을 흡착하여 플립한 후, 마스크 셀 시트부(1200) 상으로 템플릿(50)을 이송하는 과정에서도, 마스크(1300)의 접착 상태 및 정렬 상태에는 영향이 없게 된다. Referring to (a) of FIG. 15, the template 50 may be transferred by the vacuum chuck 90. The surface opposite to the surface of the template 50 to which the mask 1300 is attached can be adsorbed and transferred using the vacuum chuck 90. After the vacuum chuck 90 adsorbs and flips the template 50, even in the process of transferring the template 50 onto the mask cell sheet portion 1200, the adhesion and alignment states of the mask 1300 are not affected. do.

다음으로, 마스크(1300)를 마스크 셀 시트부(1200)의 하나의 마스크 셀 영역(CR)에 대응할 수 있다. 템플릿(50)을 마스크 셀 시트부(1200) 상에 로딩하는 것으로 마스크(1300)를 마스크 셀 영역(CR)에 대응시킬 수 있다. 템플릿(50)/진공 척(90)의 위치를 제어하면서, 현미경을 통해 마스크(1300)가 마스크 셀 영역(CR)에 대응하는지 살펴볼 수 있다. 템플릿(50)이 마스크(1300)를 압착하므로, 마스크(1300)와 마스크 셀 시트부(1200)는 긴밀히 맞닿을 수 있다.Next, the mask 1300 may correspond to one mask cell region CR of the mask cell sheet portion 1200. By loading the template 50 onto the mask cell sheet portion 1200, the mask 1300 can be made to correspond to the mask cell region CR. While controlling the position of the template 50/vacuum chuck 90, it is possible to check whether the mask 1300 corresponds to the mask cell region CR through a microscope. Since the template 50 compresses the mask 1300, the mask 1300 and the mask cell sheet portion 1200 may come into close contact.

다음으로, 도 15의 (b)를 참조하면, 마스크(1300)에 레이저(L)를 조사하여 레이저 용접에 의해 마스크(1300)를 마스크 셀 시트부(1200)에 부착할 수 있다. 마스크(1300)의 네측(1310, 1320) 또는 두측(1310)에 대해 레이저 용접으로 마스크 셀 시트부(1200)와 연결이 수행될 수 있다. 레이저 용접된 마스크(1300)의 부분에는 용접 비드(WB)가 생성되고, 용접 비드(WB)는 마스크(1300)/마스크 셀 시트부(1200)와 동일한 재질을 가지고 일체로 연결될 수 있다.Next, referring to (b) of FIG. 15, the mask 1300 can be attached to the mask cell sheet portion 1200 by laser welding by irradiating a laser L to the mask 1300. The four sides 1310 and 1320 or the two sides 1310 of the mask 1300 may be connected to the mask cell sheet portion 1200 by laser welding. A weld bead (WB) is created in the laser welded portion of the mask 1300, and the weld bead (WB) is made of the same material as the mask 1300/mask cell sheet portion 1200 and may be integrally connected.

다음으로, 도 15의 (c)를 참조하면, 마스크(1300)를 마스크 셀 시트부(1200)에 부착한 후, 마스크(1300)와 템플릿(50)을 분리(debonding)할 수 있다. 마스크(1300)와 템플릿(50)의 분리는 임시접착부(55)에 열 인가(ET), 화학적 처리(CM), 초음파 인가(US), UV 인가(UV) 중 적어도 어느 하나를 통해 수행할 수 있다. 마스크(1300)는 마스크 셀 시트부(1200)에 부착된 상태를 유지하므로, 템플릿(50)만을 들어올릴 수 있다. 일 예로, 85℃~100℃보다 높은 온도의 열을 인가(ET)하면 임시접착부(55)의 점성이 낮아지게 되고, 마스크(1300)와 템플릿(50)의 접착력이 약해지게 되어, 마스크(1300)와 템플릿(50)이 분리될 수 있다. 다른 예로, IPA, 아세톤, 에탄올 등의 화학 물질에 임시접착부(55)를 침지(CM)함으로서 임시접착부(55)를 용해, 제거 등의 방식으로 마스크(1300)와 템플릿(50)이 분리될 수 있다. 다른 예로, 초음파를 인가(US)하거나, UV를 인가(UV)하면 마스크(1300)와 템플릿(50)의 접착력이 약해지게 되어, 마스크(1300)와 템플릿(50)이 분리될 수 있다.Next, referring to (c) of FIG. 15, after attaching the mask 1300 to the mask cell sheet portion 1200, the mask 1300 and the template 50 can be separated (debonded). Separation of the mask 1300 and the template 50 can be performed on the temporary adhesive portion 55 by at least one of heat application (ET), chemical treatment (CM), ultrasound application (US), and UV application (UV). there is. Since the mask 1300 remains attached to the mask cell sheet portion 1200, only the template 50 can be lifted. As an example, when heat at a temperature higher than 85°C to 100°C is applied (ET), the viscosity of the temporary adhesive portion 55 is lowered, and the adhesive strength between the mask 1300 and the template 50 is weakened, and the mask 1300 ) and the template 50 can be separated. As another example, the mask 1300 and the template 50 can be separated by dissolving or removing the temporary adhesive portion 55 by immersing (CM) the temporary adhesive portion 55 in chemicals such as IPA, acetone, and ethanol. there is. As another example, when ultrasonic waves (US) or UV are applied (UV), the adhesive strength between the mask 1300 and the template 50 may weaken, and the mask 1300 and the template 50 may be separated.

마스크(1300)는 템플릿(50) 상에서 안정적으로 지지되어 템플릿(50)의 제어에 의해 마스크 셀 시트부(1200) 상으로 이동될 수 있고, 마스크(1300)가 마스크 셀 시트부(1200)에 연결되는 과정에서 어떠한 외력이 작용하지 않는다. 이에 따라, 마스크(1300)의 각 변이 명확한 직선 상태를 가지며 반듯하게 마스크 셀 시트부(1200) 상에 부착될 수 있다.The mask 1300 is stably supported on the template 50 and can be moved onto the mask cell sheet portion 1200 under the control of the template 50, and the mask 1300 is connected to the mask cell sheet portion 1200. No external force acts during the process. Accordingly, each side of the mask 1300 has a clear straight line and can be straightly attached to the mask cell sheet portion 1200.

본 발명은 확장형 마스크와 프레임의 연결체의 제조가 가능하고, 6G 하프의 크기를 넘어서 6G 풀, 7G, 8G 등과 같은 차세대 초대면적에 대한 OLED 화소 형성 공정을 수행할 수 있게 되어, 초대면적 디스플레이 구현하거나 복수의 디스플레이에 대한 생산성을 현저히 증대시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, OLED의 베젤 폭을 최소화 할 수 있고, 전자/전하수송층 등의 공동층 부분에 대해 테두리 부분을 보다 명확히 형성할 수 있는 효과가 있다.The present invention enables the manufacture of an expandable mask and frame connector, and enables the OLED pixel formation process to be performed for next-generation ultra-area areas such as 6G full, 7G, and 8G beyond the size of 6G half, realizing ultra-area displays. Alternatively, there is an effect of significantly increasing productivity for multiple displays. In addition, the bezel width of the OLED can be minimized and the edge of the cavity layer, such as the electron/charge transport layer, can be formed more clearly.

본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.Although the present invention has been shown and described with reference to preferred embodiments as described above, it is not limited to the above embodiments and may be modified in various ways by those skilled in the art without departing from the spirit of the invention. Transformation and change are possible. Such modifications and variations should be considered to fall within the scope of the present invention and the appended claims.

1000: 확장형 마스크와 프레임의 연결체
1100: 확장 프레임부
1110: 테두리 프레임부
1200: 마스크 셀 시트부
1210: 테두리 시트부
1220: 제1 그리드 시트부
1230: 제2 그리드 시트부
1300: 마스크
1301: 개구부
CR: 마스크 셀 영역
OL1, OL2: 마스크 셀 시트부의 가로 길이, 세로 길이
UG: 단위 그리드 바1000: Connector of expandable mask and frame
1100: Expansion frame part
1110: Border frame part
1200: Mask cell sheet part
1210: Border sheet part
1220: First grid sheet portion
1230: Second grid sheet part
1300: mask
1301: opening
CR: mask cell area
OL1, OL2: Horizontal and vertical length of the mask cell sheet section
UG: unit grid bar

Claims

A connection body of an expandable mask and a frame in which a plurality of masks and an expansion frame supporting the masks are connected,
The extended frame part,
Border frame part; and
a mask cell sheet portion attached to the border frame portion and including a plurality of unit grid bars;
Including,
Both ends of the unit grid bar are connected to the border frame part, and the unit grid bar constitutes at least a first grid sheet part of the mask cell sheet part and a second grid sheet part formed in a direction perpendicular to the first grid sheet part. However,
The upper surface of the X-axis unit grid bar constituting the first grid sheet portion and the upper surface of the Y-axis unit grid bar constituting the second grid sheet portion share the same horizontal plane,
A plurality of masks are connected on the plurality of mask cell areas of the mask cell sheet portion,
A connection between an expandable mask and a frame, wherein the mask includes an opening.

According to paragraph 1,
An expandable frame-integrated mask in which a groove is formed at the intersection of the X-axis unit grid bar constituting the first grid sheet portion and the Y-axis unit grid bar constituting the second grid sheet portion.

According to paragraph 2,
An expandable frame-integrated mask, wherein a groove formed at a portion where the unit grid bars intersect is formed in at least one of the X-axis unit grid bar and the Y-axis unit grid bar.

According to paragraph 1,
The mask is a rectangular shape, the mask cell area is a rectangular shape smaller than the border of the mask, and the opening is a rectangular shape smaller than the mask cell area.

According to paragraph 4,
A connection body of an expandable mask and a frame, wherein two opposing sides of the mask are welded and attached to the mask cell sheet portion.

According to paragraph 4,
A connection body of an expandable mask and a frame, wherein four sides of the mask are welded and attached to the mask cell sheet portion.

According to paragraph 4,
A connection body of an expandable mask and a frame, wherein a portion of the mask excluding the opening covers the mask cell area when viewed in a planar direction.

According to paragraph 1,
A connection body of an expandable mask and a frame, wherein the X-axis unit grid bar and the Y-axis unit grid bar are sequentially stretched and connected to the border frame part to form the mask cell sheet part.

According to paragraph 1,
The mask cell sheet portion further constitutes a border sheet portion in which the unit grid bar is connected correspondingly to an edge of the border frame portion,
A connection body of an expandable mask and a frame, wherein both ends of the first grid sheet portion and the second grid sheet portion are connected to the border sheet portion.

According to paragraph 1,
A connection body of an expandable mask and a frame, wherein the size of the expanded frame portion is greater than at least 1,500 mm x 1,800 mm x 1,800 mm.

A method of manufacturing a connection body of an expandable mask and a frame in which a plurality of masks and an expansion frame portion supporting the masks are connected,
(a) providing a border frame portion;
(b) forming a mask cell sheet portion including a plurality of mask cell regions by connecting a plurality of unit grid bars along the X-axis direction and the Y-axis direction;
(c) manufacturing an expanded frame part by attaching the mask cell sheet part to the border frame part;
(d) attaching a plurality of masks to the plurality of mask cell regions of the mask cell sheet portion, respectively;
Including,
The mask includes one opening,
In step (b), both ends of the unit grid bar are connected to the border frame portion, the X-axis unit grid bar constitutes a first grid sheet portion, and the Y-axis unit grid bar constitutes a second grid sheet portion,
The upper surface of the X-axis unit grid bar constituting the first grid sheet portion and the upper surface of the Y-axis unit grid bar constituting the second grid sheet portion share the same horizontal plane. .

According to clause 11,
A method of manufacturing a connection body of an expandable mask and a frame, wherein a groove is formed at a portion where the X-axis unit grid bar constituting the first grid sheet portion and the Y-axis unit grid bar constituting the second grid sheet portion intersect.

According to clause 12,
An expandable frame-integrated mask, wherein a groove formed at a portion where the unit grid bars intersect is formed in at least one of the X-axis unit grid bar and the Y-axis unit grid bar.

According to clause 11,
The mask has a rectangular shape, the mask cell area has a rectangular shape smaller than the border of the mask, and the opening has a rectangular shape smaller than the mask cell area,
A method of manufacturing a connection body of an expandable mask and a frame, wherein a portion of the mask excluding the opening covers the mask cell area when viewed in a planar direction.

According to clause 11,
A method of manufacturing a connection body of an expandable mask and a frame, wherein at least one of the unit grid bars formed in the first direction or the second direction has a length longer than 1,040 mm.

According to clause 15,
A method of manufacturing a connection body between an expandable mask and a frame, wherein the unit grid bar, the length of which is longer than 1,040 mm, is prepared by cutting along the wound longitudinal direction of the metal coil.

According to clause 13,
In step (d),
(d1) preparing a template;
(d2) adhering a mask metal film on the template;
(d3) manufacturing a mask by forming an opening in the mask metal film;
(d4) moving the template to which the mask is attached to correspond to the mask on the mask cell area;
(d5) welding and attaching two sides of the mask to the first grid sheet portion or the second grid sheet portion located at the top;
A method of manufacturing a connection body of an expandable mask and a frame, including a.