KR20240055941A

KR20240055941A - 마스크 조립체 및 이의 제조 방법

Info

Publication number: KR20240055941A
Application number: KR1020220135639A
Authority: KR
Inventors: 이종대; 장원영
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2022-10-20
Filing date: 2022-10-20
Publication date: 2024-04-30

Abstract

마스크 조립체는, 프레임 개구부를 포함하는 프레임, 및 마스크 시트를 포함하고, 상기 마스크 시트는, 제1 증착 개구부를 포함하는 제1 바디부, 각각이 상기 제1 바디부의 일측으로부터 돌출된 제1 인장부들, 및 각각이 상기 제1 바디부의 타측으로부터 돌출된 제1 결합부들을 포함하는 제1 마스크, 및 제2 증착 개구부를 포함하는 제2 바디부, 각각이 상기 제2 바디부의 일측으로부터 돌출된 제2 인장부들, 및 각각이 상기 제2 바디부의 타측으로부터 돌출된 제2 결합부들을 포함하는 제2 마스크를 포함하고, 상기 제1 결합부들은 대응되는 상기 제2 결합부들과 중첩하는 마스크 조립체.

Description

마스크 조립체 및 이의 제조 방법{MASK ASSEMBLY AND METHOD FOR MANUFACTURING OF THE SAME}

본 발명은 마스크 조립체 및 이의 제조 방법에 관한 것으로 보다 상세하게는 표시패널의 공통층을 형성하는 마스크 조립체 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.

표시 패널은 복수의 화소들을 포함한다. 화소들 각각은 트랜지스터와 같은 구동 소자 및 유기 발광 소자와 같은 표시 소자를 포함한다. 표시 소자는 기판 상에 전극 및 다양한 기능층들을 적층하여 형성될 수 있다.

표시 소자를 구성하는 기능층들은 관통하도록 정의된 오픈 영역을 갖는 마스크를 이용하여 패터닝되어 제공된다. 이때, 패터닝된 기능층들의 형상은 마스크의 오픈 영역의 형상 등에 따라 제어될 수 있다. 이에 따라 패터닝된 기능층들의 증착 품질을 개선하기 위하여 오픈 영역이 정밀도가 높게 가공된 마스크 조립체 및 이러한 마스크 조립체의 제조 방법에 대한 기술 개발을 필요로 하고 있다.

본 발명은 대면적 표시 패널의 공통층을 형성하는 마스크 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 마스크 조립체의 품질이 개선된 마스크 조립체 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

마스크 조립체는 서로 교차하는 제1 방향 및 제2 방향을 따라 연장되고 프레임 개구부를 포함하는 프레임; 및 상기 프레임과 결합된 마스크 시트를 포함하고, 상기 마스크 시트는, 상기 프레임 개구부와 대응되는 적어도 하나의 제1 증착 개구부를 포함하는 제1 바디부 및 각각이 상기 제1 바디부 중 상기 프레임 개구부와 중첩하는 일측으로부터 돌출된 제1 결합부들을 포함하는 제1 마스크; 및 상기 프레임 개구부와 대응되는 적어도 하나의 제2 증착 개구부를 포함하는 제2 바디부 및 각각이 상기 제2 바디부 중 상기 프레임 개구부와 중첩하는 일측으로부터 돌출된 제2 결합부들을 포함하는 제2 마스크를 포함하고, 상기 제1 마스크의 상기 일측과 상기 제2 마스크의 상기 일측은 상기 프레임 개구부 내에서 서로 마주하고, 상기 제1 결합부들은 대응되는 상기 제2 결합부들과 중첩한다.

상기 제1 결합부들의 두께는 상기 제1 바디부의 두께보다 얇고, 상기 제2 결합부들의 두께는 상기 제2 바디부의 두께보다 얇고, 서로 중첩하는 어느 하나의 제1 결합부의 두께 및 어느 하나의 제2 결합부의 두께의 합은 상기 제1 바디부의 두께 및 상기 제2 바디부의 두께 중 적어도 어느 하나와 동일한 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 제1 결합부들 각각은 상기 제2 바디부의 상기 일측에 접촉하고, 상기 제2 결합부들 각각은 상기 제1 바디부의 상기 일측에 접촉하는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 제1 바디부의 상기 일측 및 상기 제2 바디부의 상기 일측은 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 결합부들 각각은, 상기 제2 바디부의 일측과 인접한 끝단에서 제1 바디부의 일측에 가까워질수록 상기 제1 방향에서의 폭이 증가하고, 상기 제2 결합부들 각각은, 상기 제1 바디부의 일측과 인접한 끝단에서 제2 바디부의 일측에 가까워질수록 상기 제1 방향에서의 폭이 증가하는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 제1 결합부들은 상기 제1 바디부의 상기 일측에서 상기 제1 바디부의 두께 방향을 따라 제1 높이로 돌출된 제1-1 결합부들 및 상기 제1 바디부의 상기 타측에서 상기 두께 방향을 따라 상기 제1 높이와 상이한 제2 높이로 돌출되고 상기 제1-1 결합부들과 교번 배치된 제1-2 결합부들을 포함하고, 상기 제2 결합부들은 상기 제2 바디부의 상기 일측에서 상기 두께 방향을 따라 상기 제2 높이로 돌출된 제2-1 결합부들 및 상기 제2 바디부의 상기 두께 방향을 따라 상기 제1 높이로 돌출되고 상기 제2-1 결합부들과 교번 배치된 제2-2 결합부들을 포함하고, 상기 제1-1 결합부들은 대응되는 상기 제2-1 결합부들과 중첩하고, 상기 제1-2 결합부들은 대응되는 상기 제2-2 결합부들과 중첩하는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 제1 마스크는 각각이 상기 제1 바디부 중 대응되는 타측들으로부터 돌출되고 상기 프레임과 적어도 일부가 중첩하는 제1 인장부들을 더 포함하고, 상기 제2 마스크는 각각이 상기 제2 바디부 중 대응되는 타측들으로부터 돌출되고 상기 프레임과 적어도 일부가 중첩하는 제2 인장부들을 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에서 볼 때, 상기 제1 인장부들 및 상기 제1 결합부들은 상기 적어도 하나의 제1 증착 개구부와 비중첩하고, 상기 제2 인장부들 및 상기 제2 결합부들은 상기 적어도 하나의 제2 증착 개구부와 비중첩하는 것을 특징으로 할 수 있다.

서로 중첩하는 어느 하나의 제1 결합부 및 어느 하나의 제2 결합부가 중첩하는 결합 영역의 제1 방향에서의 폭은 500um이상 5mm이하인 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 프레임, 제1 마스크, 및 상기 제2 마스크 각각은 인바 및 스테인레스 스틸 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 적어도 하나의 제1 증착 개구부 및 상기 적어도 하나의 제2 증착 개구부 각각은 복수로 제공되고, 상기 제1 증착 개구부들의 배열 형상 및 상기 제2 증착 개구부들의 배열 형상은 서로 동일한 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 제1 증착 개구부들은 상기 제1 방향을 따라 이격 배열된 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 제1 증착 개구부들은 n행 x m열(n과 m은 자연수)로 제공되고 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따라 이격 배열된 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 적어도 하나의 제1 증착 개구부 및 상기 적어도 하나의 제2 증착 개구부 각각은 복수로 제공되고, 상기 제1 증착 개구부들의 배열 형상과 상기 제2 증착 개구부들의 배열 형상은 서로 상이한 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 제1 마스크는 각각이 상기 제1 바디부의 대응되는 상기 타측들로부터 돌출되고, 두 개의 상기 제1 인장부들 사이에 배치된 제1 서브 인장부들을 더 포함하고, 상기 제2 마스크는 각각이 상기 제2 바디부의 대응되는 상기 타측들로부터 돌출되고, 두 개의 상기 제2 인장부들 사이에 배치된 제2 서브 인장부들을 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 제1 마스크는 각각이 상기 제1 바디부의 상기 일측으로부터 돌출되고, 두 개의 상기 제1 결합부들 사이에 배치된 제1 서브 결합부들을 더 포함하고, 상기 제2 마스크는 각각이 상기 제2 바디부의 상기 일측으로부터 돌출되고, 두 개의 상기 제2 결합부들 사이에 배치된 제2 서브 결합부들을 더 포함하고, 상기 제1 서브 결합부들은 대응되는 상기 제2 서브 결합부들과 중첩하는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 제1 인장부들 중 인접한 두 개의 제1 인장부들 사이는 평면상에서 곡선을 갖고, 상기 제2 인장부들 중 인접한 두 개의 제2 인장부들 사이는 평면상에서 곡선을 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.

마스크 조립체 제조 방법은 적어도 하나의 제1 증착 개구부를 포함하는 제1 바디부, 상기 제1 바디부로부터 돌출된 제1 인장부들, 및 상기 제1 바디부로부터 돌출된 제1 결합부들이 형성된 제1 마스크를 프레임 상에 배치시키는 단계; 적어도 하나의 제2 증착 개구부를 포함하는 제2 바디부, 상기 제2 바디부로부터 돌출된 제2 인장부들, 및 상기 제2 바디부로부터 돌출된 제2 결합부들이 형성된 제2 마스크를 상기 프레임 상에 배치시키는 단계; 상기 제1 결합부들과 대응되는 상기 제2 결합부들을 얼라인 시키는 단계; 얼라인된 상기 제1 결합부들과 상기 제2 결합부들을 결합시켜 마스크 시트를 형성하는 단계; 상기 제1 인장부들과 상기 제2 인장부들을 인장시키는 단계; 및 인장된 상기 마스크 시트를 상기 프레임 상에 결합시키는 단계를 포함한다.

상기 제1 결합부들과 상기 제2 결합부들은 용접 공정에 의해 결합되고, 상기 마스크 시트와 상기 프레임은 용접 공정에 의해 결합되는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 프레임은 서로 교차하는 제1 방향 및 제2 방향을 따라 연장된 사각 형상을 가지고, 상기 제1 인장부들 중 일부는 상기 제1 바디부 중 제1 방향을 따라 연장된 상측 및 하측에서 제2 방향으로 돌출되고, 상기 제1 인장부들 중 나머지는 상기 제1 바디부 중 제2 방향을 따라 연장된 일측에서 제1 방향으로 돌출되고, 상기 제2 인장부들 중 일부는 상기 제2 바디부 중 제1 방향을 따라 연장된 상측 및 하측에서 제2 방향으로 돌출되고, 상기 제2 인장부들 중 나머지는 상기 제2 바디부 중 제2 방향을 따라 연장된 일측에서 제1 방향으로 돌출되고, 상기 인장시키는 단계는, 상기 제1 및 제2 인장부들 각각이 돌출된 방향으로 인장시키는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 제1 인장부들 및 상기 제2 인장부들 각각의 적어도 일부를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 마스크 조립체는 복수 개의 마스크들을 하나의 마스크 시트로 형성함에 따라, 표시 패널이 대면적화 되더라도, 이에 대응되도록 마스크의 개수를 증가시켜 마스크 시트의 크기를 용이하게 조절할 수 있다.

또한, 하나의 마스크 시트를 네 방향에서 인장하여 프레임에 결합시키는 구조를 가짐에 따라 마스크 시트 자체의 무게로 인해 처지는 현상을 방지할 수 있다. 뿐만 아니라, 다수의 인장부들이 개구부와 비-중첩함에 따라, 마스크 시트의 인장 시 개구부들의 형상이 변형되는 것을 방지할 수 있으므로, 제작 정밀도가 향상된 마스크 조립체 및 이의 제조 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다. 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 분해 사시도이다.
도 4는 도 2a의 I-I'를 따라 절단한 단면도이다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 9는 도 8의 II-II'를 따라 절단한 단면도이다.
도 10인 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 시트의 일 부분을 확대한 평면도이다.
도 11a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 11b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크들을 도시한 사시도이다.
도 12a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크들을 도시한 사시도이다.
도 12b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크들의 일 부분을 확대한 사시도이다.
도 12c는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 평면도이다.
도 12d는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 평면도이다.
도 13a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법을 도시한 사시도이다.
도 13b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법을 도시한 사시도이다.
도 13c는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법을 도시한 사시도이다.
도 13d는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법을 도시한 사시도이다.
도 13e는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법을 도시한 평면도이다.

본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 “상에 있다”, “연결된다”, 또는 “결합된다”고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.

동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. “및/또는”은 연관된 구성요소들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

또한, “아래에”, “하측에”, “위에”, “상측에” 등의 용어는 도면에 도시된 구성요소들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 갖는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 여기서 명시적으로 정의되지 않는 한 너무 이상적이거나 지나치게 형식적인 의미로 해석되어서는 안된다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 단면도이다. 도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다. 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 분해 사시도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 분해 사시도이다. 도 4는 도 2a의 I-I'를 따라 절단한 단면도이다.

도 1을 참조하면, 일 실시예에 따른 증착 장치(ED)는 챔버(CB), 증착 부재(EP), 고정 부재(PP), 마스크 어셈블리(MSA)를 포함할 수 있다. 마스크 조립체(MSA)는 마스크들이 결합된 마스크 시트(MK) 및 프레임(MF)을 포함할 수 있다. 일 실시예에 따른 증착 장치(ED)는 인라인 시스템을 구현하기 위한 추가 기계 장치를 더 포함할 수 있다.

챔버(CB)는 기판(SUB)에 증착 고정을 진행할 수 있는 내부 공간을 제공할 수 있다. 챔버(CB)의 상기 내부 공간에는 증착 부재(EP), 고정 부재(PP), 및 마스크 어셈블리(MSA)가 배치될 수 있다. 챔버(CB)는 밀폐된 공간을 형성할 수 있고, 증착 조건을 진공으로 설정할 수 있다. 챔버(CB)는 적어도 하나의 게이트(gate)를 구비할 수 있고, 게이트를 통해서 챔버(CB)가 개폐될 수 있다. 마스크(MK), 마스크 프레임(MF) 및 기판(SUB)은 챔버(CB)에 구비된 게이트를 통하여 출입할 수 있다.

챔버(CB)는 바닥면(BP), 바닥면과 제2 방향(DR2)에서 마주하는 천장면, 및 바닥면(BP)과 천창면을 연결하는 복수의 측벽들을 포함할 수 있다. 바닥면(BP), 천장면, 및 복수의 측벽들은 육면체 형태의 챔버(CB)를 구성한다. 챔버(CB)의 바닥면(BP)은 제1 방향(DR1) 및 제3 방향(DR3)이 정의하는 면과 평행할 수 있고, 챔버(CB)의 바닥면의 법선 방향은 제2 방향(DR2)에 평행할 수 있다. 본 명세서에서 "평면 상에서"는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)이 정의하는 면과 평행한 면을 기준으로 설정된다.

고정 부재(PP)는 챔버(CB)의 내측에 배치되고, 증착 부재(EP)와 제3 방향(DR3)에서 마주할 수 있다. 고정 부재(PP)는 기판(SUB)을 마스크 조립체(MSA) 상에 고정 시킬 수 있다. 고정 부재(PP)는 마스크(MK)를 홀딩하는 지그 또는 로봇암을 포함할 수 있다. 고정 부재(PP)는 마스크(MK)와 기판(SUB)을 밀착시키기 위한 자성체들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 자성체들은 자기력을 발생시켜 마스크(MK)를 고정 시킬 수 있고, 마스크(MK)와 고정 부재(PP) 사이에 배치된 기판(SUB)은 마스크(MK)와 밀착될 수 있다.

기판(SUB)은 증착 물질이 증착되는 가공 대상물일 수 있다. 기판(SUB)은 지지 기판 및 지지 기판 상에 배치된 합성 수지층을 포함할 수 있다. 표시 패널의 제조 공정 후반부에서 지지 기판은 제거될 수 있고, 상기 합성 수지층은 도 1의 베이스층(BL)에 대응될 수 있다. 증착 공정을 통해 형성하는 구성에 따라, 기판(SUB)은 베이스층(BL, 도 1 참조) 상에 형성된 표시 패널(DP, 도 1 참조)의 일부 구성들을 포함할 수 있다.

증착 부재(EP)는 챔버(CB) 내부에 고정 부재(PP)와 제2 방향(DR2)을 따라 마주하며 배치될 수 있다. 증착 부재(EP)는 증착 물질(EM)이 수용되는 공간 및 적어도 하나 이상의 노즐(NZ)을 포함할 수 있다. 증착 물질(EM)은 승화 또는 기화가 가능한 무기물, 금속, 또는 유기물을 포함할 수 있다. 예를 들어, 증착 물질(EM)은 표시 패널(DP, 도 6 참조)에 포함된 기능층들을 형성하기 위한 유기 물질을 포함할 수 있다. 그러나, 증착 물질(EM)이 상기 예에 제한되는 것은 아니다. 승화 또는 기화된 증착 물질(EM)은 노즐(NZ)을 통해 기판(SUB)을 향해 분사될 수 있다. 증착 물질(EM)은 마스크 조립체(MSA)를 통과하여 기판(SUB)에 증착될 수 있다.

일 실시예에 따른 증착 장치(ED)는 단면상에서 수직형으로 배치된 기판(SUB)에 증착 공정을 진행하는 것을 도시하였으나, 증착 공정은 이에 한정되는 것은 아니며, 기판(SUB)이 수평형으로 배치된 상태에서 증착 공정이 진행될 수 있으며, 이때, 증착 물질(EM)은 마스크 조립체(MSA)를 통과하여 기판(SUB)에 증착될 수 있다.

일 실시예에 따른 증착 장치(ED)는 대면적을 갖는 마스크 조립체(MSA)가 중력에 의해 처짐이 발생하는 것이 방지하기 위한 스테이지를 더 포함할 수 있다. 스테이지는 챔버(CB)의 측벽들 중 적어도 어느 하나의 측벽에 고정되고, 마스크 조립체(MSA)를 지지할 수 있다.

일 실시예에서 증착 장치(ED)는 마스크 조립체(MSA)와 증착 부재(EP) 사이에 배치된 방열 플레이트를 더 포함할 수 있다. 방열 플레이트는 열 전도율이 높은 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 방열 플레이트는 알루미늄 또는 구리 등의 금속, 이의 합금, 탄소, 또는 그라파이트 등을 포함할 수 있다. 방열 플레이트는 증착 부재(EP)로부터 방출되는 열을 흡수하여 마스크 조립체(MSA)가 증착 공정 중 열에 의해 변형되는 것을 방지할 수 있다.

도 2a 내지 도 4를 참조하면, 마스크 조립체(MSA)는 마스크 시트(MK) 및 프레임(MF)을 포함할 수 있다. 본 명세서에서 마스크 시트(MK)는 복수의 마스크들(MS1, MS2)이 용접 공정에 의해 서로 결합된 상태로 정의될 수 있다.

일 실시예에 따른 프레임(MF)은 프레임 개구부(M-OP)를 포함할 수 있다. 증착 부재(EP, 도 1 참조)에서 분사된 증착 물질(EM, 도 1 참조)은 프레임 개구부(M-OP)를 통해 마스크 시트(MK)로 제공될 수 있다. 마스크 시트(MK) 및 프레임(MF)은 인바 및 스테인레스 스틸 중 어느 하나를 포함할 수 있다.

제1 및 제2 마스크들(MS1, MS2)은 프레임(MF) 상에 배치될 수 있다. 제1 마스크(MS1)는 제1 바디부(MM1), 복수의 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3), 및 복수의 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)을 포함할 수 있다. 제1 바디부(MM1), 복수의 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3), 및 복수의 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)은 실질적으로 일체의 구조물로 제공되나, 설명의 편의를 위해 분리하여 설명하도록 한다.

제1 바디부(MM1)는 프레임 개구부(M-OP)와 대응되는 적어도 하나의 제1 개구부(OP1)를 포함할 수 있다. 제1 개구부(OP1)는 복수로 제공될 수 있다. 도 2a에는 제1 바디부(MM1)가 2행x1열의 배열 형태를 갖는 두 개의 제1 개구부들(OP1)을 포함하는 것을 예서적으로 도시하였다. 제1 바디부(MM1)의 일측들(청구항의 "타측들")은 프레임(MF)과 중첩하고, 제1 바디부(MM1)의 타측(청구항의 "일측") 중 적어도 일부는 프레임 개구부(M-OP)와 중첩할 수 있다.

제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3)은 제1 바디부(MM1)의 일측들로부터 돌출될 수 있다. 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3)은 제1 마스크(MS1)를 프레임(MF)에 결합하는 공정에서 제1 마스크(MS1)를 인장시키기 위한 구조물이 결합되는 부분들일 수 있다.

제1 상측 인장부들(U1-1, U1-2)은 제1 바디부(MM1)의 제2 방향(DR2)으로 연장된 일측들 중 프레임(MF)의 상측에 중첩하는 제1 바디부(MM1)로부터 제1 방향(DR1)을 따라 돌출될 수 있다.

제1 하측 인장부들(B1-1, B1-2)은 제1 바디부(MM1)의 제2 방향(DR2)으로 연장된 일측들 중 프레임(MF)의 하측에 중첩하는 제1 바디부(MM1)로부터 제1 방향(DR1)을 따라 돌출될 수 있다. 제1-1 상측 인장부(U1-1)는 제1 방향(DR1)에서 제1-1 하측 인장부(B1-1)와 정렬되고, 제1-2 상측 인장부(U1-2)는 제1 방향(DR1)에서 제1-2 하측 인장부(B1-2)와 정렬될 수 있다.

제1 측부 인장부들(RS1-1, RS1-2, RS1-3)은 제1 바디부(MM1)의 제1 방향(DR1)으로 연장된 일측으로부터 제2 방향(DR2)을 따라 돌출될 수 있다. 제1 측부 인장부들(RS1-1, RS1-2, RS1-3)은 제1 방향(DR1)을 따라 이격되어 배열될 수 있다.

본 실시예서 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에서 볼 때, 제1 개구부들(OP1)과 비중첩할 수 있다. 이에 따라, 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3)을 구조물에 연결하여 소정의 방향으로 인장시키더라도 제1 개구부들(OP1)의 형상이 유지될 수 있다.

제2 바디부(MM2)는 프레임 개구부(M-OP)와 대응되는 적어도 하나의 제2 개구부(OP2)를 포함할 수 있다. 제2 개구부(OP2)는 복수로 제공될 수 있다. 도 2a에는 제2 바디부(MM2)가 2행x1열의 배열 형태를 갖는 두 개의 제2 개구부들(OP2)을 포함하는 것을 예서적으로 도시하였다. 일 실시예에 따르면 제1 바디부(MM1)에 포함된 제1 개구부들(OP1)의 배열 형상 및 제2 바디부(MM2)에 포함된 제2 개구부들(OP2)의 배열 형상은 서로 동일할 수 있다.

제2 바디부(MM2)의 일측들(청구항의 "타측들")은 프레임(MF)과 중첩하고, 제2 바디부(MM2)의 타측(청구항의 "일측") 중 적어도 일부는 프레임 개구부(M-OP)와 중첩할 수 있다.

제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3)은 제2 바디부(MM2)의 일측들로부터 돌출될 수 있다. 제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3)은 제2 마스크(MS2)를 프레임(MF)에 결합하는 공정에서 제2 마스크(MS2)를 인장시키기 위한 구조물이 결합되는 부분들일 수 있다.

제2 상측 인장부들(U2-1, U2-2)은 제2 바디부(MM2)의 제2 방향(DR2)으로 연장된 일측들 중 프레임(MF)의 상측에 중첩하는 제2 바디부(MM2)로부터 제1 방향(DR1)을 따라 돌출될 수 있다.

제2 하측 인장부들(B2-1, B2-2)은 제2 바디부(MM2)의 제2 방향(DR2)으로 연장된 일측들 중 프레임(MF)의 하측에 중첩하는 제2 바디부(MM2)로부터 제1 방향(DR1)을 따라 돌출될 수 있다. 제2-1 상측 인장부(U2-1)는 제1 방향(DR1)에서 제2-1 하측 인장부(B2-1)와 정렬되고, 제2-2 상측 인장부(U2-2)는 제1 방향(DR1)에서 제2-2 하측 인장부(B2-2)와 정렬될 수 있다.

제2 측부 인장부들(RS2-1, RS2-2, RS2-3)은 제2 바디부(MM2)의 제1 방향(DR1)으로 연장된 일측으로부터 제2 방향(DR2)을 따라 돌출될 수 있다. 제2 측부 인장부들(RS2-1, RS2-2, RS2-3)은 제1 방향(DR1)을 따라 이격되어 배열될 수 있다.

제1-1 측부 인장부(RS1-1)는 제2 방향(DR2)에서 제2-1 측부 인장부(RS2-1)와 정렬되고, 제1-2 측부 인장부(RS1-2)는 제2 방향(DR2)에서 제2-2 측부 인장부(RS2-2)와 정렬되고, 제1-3 측부 인장부(RS1-3)는 제2 방향(DR2)에서 제2-3 측부 인장부(RS2-3)와 정렬될 수 있다.

상술한 제1 마스크(MS1) 및 제2 마스크(MS2)에 포함된 인장부들 각각이 돌출된방향과 교차한 방향에서의 폭은 15mm이상 50mm이하 일 수 있다.

본 실시예서 제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에서 볼 때, 제2 개구부들(OP2)과 비중첩할 수 있다. 이에 따라, 제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3)을 구조물에 연결하여 소정의 방향으로 인장시키더라도 제2 개구부들(OP2)의 형상이 유지될 수 있다.

일 실시예에 따르면, 마스크 조립체(MSA)를 제조하는 공정에서 프레임(MF)의 외부로 돌출된 마스크 시트(MK)의 연장부들이 제거될 수 있다. 이에 관한 설명은 후술하도록 한다.

도 2b에 도시된 것과 같이, 일 실시예에 따른 제1 마스크(MS1)는 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)을 포함할 수 있다. 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)은 프레임 개구부(M-OP)와 중첩하는 제1 비다부(MM1)의 타측으로부터 제2 방향(DR2)으로 돌출될 수 있다. 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에서 볼 때, 제1 개구부들(OP1)과 비중첩할 수 있다.

제2 마스크(MS2)는 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)을 포함할 수 있다. 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)은 프레임 개구부(M-OP)와 중첩하는 제2 비다부(MM2)의 타측으로부터 제2 방향(DR2)으로 돌출될 수 있다. 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에서 볼 때, 제2 개구부들(OP2)과 비중첩할 수 있다.

제1-1 결합부(C1-1)는 평면상에서 제2-1 결합부(C2-1)와 중첩하고, 제1-2 결합부(C1-2)는 평면상에서 제2-2 결합부(C2-2)와 중첩하고, 제1-3 결합부(C1-3)는 평면상에서 제2-3 결합부(C2-3)와 중첩할 수 있다.

도 3에 도시된 것과 같이, 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3) 및 이와 대응되는 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)은 용접 공정으로 결합될 수 있고, 제1 마스크(MS1) 및 제2 마스크(MS2)가 결합된 상태에서 하나의 마스크 시트(MK)로 프레임(MF) 상에 제공될 수 있다.

도 2a 및 도 3에 도시된 것과 같이, 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3) 및 이와 대응되는 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)이 용접 공정에 의해 결합될 때 결합 영역(WA)에는 결합 용접 돌기들(WT)이 형성될 수 있다. 본 명세서에서 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3) 및 이와 대응되는 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)이 중첩하는 영역을 "결합 영역(WA)"으로 정의할 수 있다.

마스크 시트(MK)는 상술한 연결부들을 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 인장한 상태에서 프레임(MF) 상에 용접 공정으로 부착될 수 있다. 도 2a에 도시된 것과 같이, 마스크 시트(MK)가 용접 공정에 의해 프레임(MF)에 결합될 때 프레임 용접 돌기들(WB)이 형성될 수 있다. 프레임 용접 돌기들(WB)은 프레임(FM)과 중첩하는 제1 바디부(MM1) 및 제2 바디부(MM2) 상에 형성될 수 있다.

도 4에 도시된 것과 같이, 제1 바디부(MM1)와 제2 바디부(MM2)가 동일한 두께를 가질 때, 동일 평면 상에서 제1 바디부(MM1)로부터 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)이 돌출된 높이와 제2 바디부(MM2)로부터 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)이 돌출된 높이는 서로 상이할 수 있다.

예를 들어, 제1-2 결합부(C1-2)는 제1 바디부(MM1)로부터 제1 높이에서 제2 바디부(MM2)를 향하는 방향으로 돌출되고, 제2-2 결합부(C2-2)는 제2 바디부(MM2)로부터 제1 높이보다 작은 제2 높이에서 제1 바디부(MM1)를 향하는 방향으로 돌출될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 제1-2 결합부(C1-2)의 두께 및 제2-2 결합부(C2-2)의 두께의 합은 제1 바디부(MM1) 및 제2 바디부(MM2)의 두께(TH)보다 작거나 동일할 수 있다.

일 실시예에 따르면, 제1-2 결합부(C1-2)의 끝 단은 제2 바디부(MM2)와 접촉하고, 제2-2 결합부(C2-2)의 끝 단은 제1 바디부(MM1)와 접촉할 수 있다. 제1-2 결합부(C1-2)와 제2-2 결합부(C2-2)는 용접 공정을 통해 서로 결합될 수 있다. 결합 영역(WA)에는 결합 용접 돌기(WT)가 형성될 수 있다. 결합 용접 돌기(WT)의 직경은 300um 내외이 일 수 있다. 결합 영역(WA)은 적어도 하나의 결합 용접 돌기(WT)가 형성되기 위한 마진 폭을 가질 수 있다. 이에 따라, 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3) 및 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3) 각각의 제1 방향(DR2) 및/또는 제2 방향(DR2)에서의 폭은 500um이상 5mm이하일 수 있다. 일 실시예에 따르면, 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3) 각각의 폭은 제1 바디부(MM1)의 폭보다 같거나 크고, 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3) 각각의 폭은 제2 바디부(MM2)의 폭보다 같거나 클 수 있다. 본 발명에 따르면, 결합부들의 폭이 대응되는 바디부의 폭과 같거나 큰 폭을 포함함에 따라, 인장부들을 소정의 구조물로 인장시키더라도, 바디부들의 변형을 최소화 할 수 있다. 이에 따라, 품질이 개선된 마스크 시트(MK)를 제공할 수 있다.

도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다. 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다. 도 1 내지 도 4에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다. 도 5a를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA-a)는 마스크들(MSA, MS2)이 결합된 마스크 시트(MK) 및 프레임(MF)을 포함할 수 있다. 제1 마스크(MS1)는 제1 바디부(MM1), 복수의 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3), 및 복수의 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)을 포함할 수 있다. 제2 마스크(MS2)는 제2 바디부(MM2), 제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3), 및 복수의 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)을 포함할 수 있다.

본 실시예에 따른 인장부들은 도 2a에서 설명한 인장부들과 달리, 프레임(MF)의 외각으로 돌출된 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3) 및 제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3)이 제거된 상태로 제공될 수 있다. 이는 마스크들(MSA, MS2)을 프레임(MF)에 결합한 후, 프레임(MF)의 외각으로 돌출된 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3) 및 제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3)을 제거하여 형성될 수 있다.

일 실시예에 따르면, 프레임(MF)에는 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3), 제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3), 제1 바디부(MM1), 및 제2 바디부(MM2)와 대응되는 홈이 정의될 수 있다. 따라서, 마스크들(MSA, MS2)은 프레임(MF)의 홈에 안정적으로 끼워진 상태에서 프레임(MF)과 결합될 수 있다.

도 5b를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA-b)는 마스크들(MSA, MS2)이 결합된 마스크 시트(MK) 및 프레임(MF)을 포함할 수 있다. 제1 마스크(MS1)는 제1 바디부(MM1) 및 복수의 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)을 포함할 수 있다. 제2 마스크(MS2)는 제2 바디부(MM2) 및 복수의 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)을 포함할 수 있다.

본 실시예에 따른 마스크 시트(MK) 도 5a에서 설명한 마스크 시트(MK)와 달리, 바디부들(MM1, MM2)로부터 돌출된 인장부들이 생략될 수 있다. 이는 마스크들(MSA, MS2)을 프레임(MF)에 결합한 후, 대응되는 바디부들(MM1, MM2)로부터 돌출된 인장부들을 제거하여 형성될 수 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다. 도 6에서 설명한 표시 패널(DP)에 포함된 층들 중, 일부 층들은 도 1 내지 도 5b에서 설명한 마스크 어셈블리(MSA)를 이용하여 증착 공정으로 형성된 층일 수 있다. 도 6은 증착 장치(ED, 도 1 참조)를 이용하여 제조되는 표시 패널(DP)의 단면을 예시적으로 도시하였다.

도 6을 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 패널(DP)은 발광형 표시 패널일 수 있다. 예를 들어, 표시 패널(DP)은 유기 발광 표시 패널, 무기 발광 표시 패널 또는 퀀텀닷(quantum dot) 발광 표시 패널일 수 있다. 유기 발광 표시 패널의 발광층은 유기 발광 물질을 포함할 수 있고, 무기 발광 표시 패널의 발광층은 무기 발광 물질을 포함할 수 있다. 퀀텀닷 발광 표시 패널의 발광층은 퀀텀닷 및 퀀텀로드 등을 포함할 수 있다. 이하, 표시 패널(DP)은 유기 발광 표시 패널로 설명된다.

표시 패널(DP)은 복수의 화소들을 포함할 수 있다. 화소들 각각은 적어도 하나의 트랜지스터 및 발광 소자를 포함할 수 있다. 도 6은 표시 패널(DP)의 화소들 중 하나의 트랜지스터(T1) 및 발광 소자(OL)가 배치된 영역을 예시적으로 도시하였다.

도 6을 참조하면, 표시 패널(DP)은 베이스층(BL), 회로 소자층(DP-CL), 표시 소자층(DP-OL) 및 봉지층(TFL)을 포함할 수 있다.

베이스층(BL)은 회로 소자층(DP-CL)이 배치되는 베이스 면을 제공할 수 있다. 베이스층(BL)은 합성 수지층을 포함할 수 있다. 표시 패널(DP)의 제조 공정의 초기에 이용되는 작업 기판 상에 합성 수지층을 형성한 후 합성 수지층 상에 도전층 및 절연층 등을 형성할 수 있다. 그 후, 작업 기판이 제거될 수 있고, 작업 기판이 제거된 합성 수지층은 베이스층(BL)에 대응할 수 있다.

베이스층(BL)의 상면에 적어도 하나의 무기층이 배치될 수 있다. 무기층은 배리어층 및/또는 버퍼층을 구성할 수 있다. 도 6은 베이스층(BL) 상에 배치된 버퍼층(BFL)을 예시적으로 도시하였다. 버퍼층(BFL)은 베이스층(BL)과 회로 소자층(DP-CL)의 반도체 패턴 사이의 결합력을 향상시킬 수 있다.

회로 소자층(DP-CL)은 버퍼층(BFL) 상에 배치될 수 있다. 회로 소자층(DP-CL)은 적어도 하나의 절연층과 회로 소자를 포함할 수 있다. 회로 소자는 신호 라인, 화소의 구동 회로 등을 포함할 수 있다. 코팅, 증착 등에 의한 절연층, 반도체층 및 도전층 형성 공정과 포토리소그래피 공정에 의한 절연층, 반도체층 및 도전층의 패터닝 공정을 통해 회로 소자층(DP-CL)이 형성될 수 있다.

본 실시예에서 회로 소자층(DP-CL)은 트랜지스터(T1), 연결 신호 라인(SCL), 연결 전극들(CNE1, CNE2) 및 복수의 절연층들(10~60)을 포함할 수 있다. 복수의 절연층들(10~60)은 버퍼층(BFL) 상에 순차적으로 적층된 제1 내지 제6 절연층들(10~60)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제6 절연층들(10~60) 각각은 무기층 및 유기층 중 어느 하나를 포함할 수 있다.

트랜지스터(T1)는 소스 영역(Sa), 액티브 영역(Aa) 및 드레인 영역(Da)을 포함하는 반도체 패턴, 및 게이트 전극(Ga)을 포함할 수 있다. 트랜지스터(T1)의 반도체 패턴은 폴리 실리콘을 포함 할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 반도체 패턴은 비정질 실리콘 또는 금속 산화물을 포함 할 수 있다.

반도체 패턴은 전도성에 따라 복수의 영역들로 구분될 수 있다. 예를 들어, 반도체 패턴은 도핑 여부 또는 금속 산화물 환원 여부에 따라 전기적 성질이 달라질 수 있다. 반도체 패턴 중 전도성이 큰 영역은 전극 또는 신호 라인 역할을 할 수 있고, 이는 트랜지스터(TR)의 소스 영역(Sa) 및 드레인 영역(Da)에 해당할 수 있다. 비-도핑 되거나 비-환원 되어 상대적으로 전도성이 작은 영역은 트랜지스터(TR)의 액티브 영역(Aa)(또는 채널 영역)에 해당할 수 있다.

연결 신호 라인(SCL)은 반도체 패턴으로부터 형성될 수 있고, 트랜지스터(T1)의 소스 영역(Sa), 액티브 영역(Aa) 및 드레인 영역(Da)과 동일 층 상에 배치 될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 연결 신호 라인(SCL)은 평면 상에서 트랜지스터(T1)의 드레인 영역(Da)에 전기적으로 연결될 수 있다.

제1 절연층(10)은 회로 소자층(DP-CL)의 반도체 패턴을 커버할 수 있다. 게이트 전극(Ga)은 제1 절연층(10) 상에 배치될 수 있다. 게이트 전극(Ga)은 액티브 영역(Aa)에 중첩할 수 있다. 게이트 전극(Ga)은 반도체 패턴을 도핑하는 공정에서 마스크로써 기능할 수 있다. 상부 전극(UE)은 제2 절연층(20) 상에 배치될 수 있다. 상부 전극(UE)은 게이트 전극(Ga)에 중첩할 수 있다.

제1 연결 전극(CNE1) 및 제2 연결 전극(CNE2)은 트랜지스터(T1)와 발광 소자(OL) 사이에 배치되어 트랜지스터(T1)와 발광 소자(OL)를 전기적으로 연결시킬 수 있다. 제1 연결 전극(CNE1)은 제3 절연층(30) 상에 배치되어 제1 내지 제3 절연층(10~30)을 관통하는 컨택홀(CNT-1)을 통해 연결 신호 라인(SCL)에 접속 할 수 있다. 제2 연결 전극(CNE2)은 제5 절연층(50) 상에 배치되어 제4 및 제5 절연층들(40, 50)을 관통하는 컨택홀(CNT-2)을 통해 제1 연결 전극(CNE1)에 접속 할 수 있다.

표시 소자층(DP-OL)은 회로 소자층(DP-CL) 상에 배치될 수 있다. 표시 소자층(DP-OL)은 발광 소자(OL) 및 화소 정의막(PDL)을 포함할 수 있다. 발광 소자(OL)는 제1 전극(AE), 정공 제어층(HCL), 발광층(EML), 전자 제어층(ECL), 및 제2 전극(CE)을 포함할 수 있다.

제1 전극(AE) 및 화소 정의막(PDL)은 제6 절연층(60) 상에 배치될 수 있다. 제1 전극(AE)은 제6 절연층(60)을 관통하는 컨택홀(CNT-3)을 통해 제2 연결 전극(CNE2)에 접속 할 수 있다. 화소 정의막(PDL)은 제1 전극(AE)의 적어도 일 부분을 노출시키는 발광 개구부(OP-PX)가 정의될 수 있고, 발광 개구부(OP-PX)에 의해 노출된 제1 전극(AE)의 일 부분은 발광 영역(PXA)에 대응될 수 있다. 비발광 영역(NPXA)은 발광 영역(PXA)을 에워쌀 수 있다.

정공 제어층(HCL) 및 전자 제어층(ECL)은 발광 영역(PXA) 및 비발광 영역(NPXA)에 공통으로 배치될 수 있다. 발광층(EML)은 발광 개구부(OP-PX)에 대응하도록 패턴 형태로 제공될 수 있다.

막 형태의 정공 제어층(HCL) 및 전자 제어층(ECL)은 발광층(EML)과 다른 방식으로 증착될 수 있다. 정공 제어층(HCL)과 전자 제어층(ECL)은 본 발명에 따른 마스크 조립체(MSA)를 이용하여 화소들에 공통으로 형성될 수 있다.

봉지층(TFL)은 복수의 박막들을 포함할 수 있다. 일 실시예의 봉지층(TFL)은 순차적으로 적층된 제1 내지 제3 박막들(EN1, EN2, EN3)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 박막들(EN1, EN2, EN3) 각각은 무기막 및 유기막 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 무기막은 수분 및/또는 산소로부터 발광 소자(OL)를 보호할 수 있다. 유기막은 먼지 입자와 같은 이물질로부터 발광 소자(OL)를 보호할 수 있다. 그러나, 발광 소자(OL)를 보호하거나 출광 효율을 향상 시킬 수 있다면, 봉지층(TFL)의 구성은 도시된 것에 한정되지 않는다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다. 도 9는 도 8의 II-II'를 따라 절단한 /단면도이다. 도 1 내지 도 4에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.

도 7을 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 조립체(MSA-A)는 마스크 시트(MK-A) 및 프레임(MF)를 포함할 수 있다. 프레임(MF)은 도 2a에서 설명한 프레임(MF)과 대응될 수 있다. 마스크 시트(MK-A)는 복수의 마스크들(MS1-A, MS2-A)이 용접 공정에 의해 서로 결합된 상태로 정의될 수 있다. 제1 및 제2 마스크들(MS1-A, MS2-A)은 프레임(MF) 상에 배치될 수 있다.

제1 마스크(MS1-A)는 제1 바디부(MM1), 복수의 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3), 및 복수의 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)을 포함할 수 있다. 일 실시예에 따른 제1 마스크(MS1-A)는 제1 서브 인장부들(US1, BS1, SS1-1, SS1-2)을 더 포함할 수 있다.

제1 바디부(MM1)는 프레임 개구부(M-OP)와 대응되는 적어도 하나의 제1 개구부(OP1)를 포함할 수 있다. 제1 개구부(OP1)는 복수로 제공될 수 있다. 제1 바디부(MM1)의 일측들은 프레임(MF)과 중첩하고, 제1 바디부(MM1)의 타측 중 적어도 일부는 프레임 개구부(M-OP)와 중첩할 수 있다.

제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3)은 제1 바디부(MM1)의 일측들로부터 돌출될 수 있다. 제1 상측 인장부들(U1-1, U1-2)은 제1 바디부(MM1)의 제2 방향(DR2)으로 연장된 일측들 중 프레임(MF)의 상측에 중첩하는 제1 바디부(MM1)로부터 제1 방향(DR1)을 따라 돌출될 수 있다.

제1 하측 인장부들(B1-1, B1-2)은 제1 바디부(MM1)의 제2 방향(DR2)으로 연장된 일측들 중 프레임(MF)의 하측에 중첩하는 제1 바디부(MM1)로부터 제1 방향(DR1)을 따라 돌출될 수 있다.

본 실시예에서 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에서 볼 때, 제1 개구부들(OP1)과 비중첩할 수 있다.

제1 서브 인장부들(US1, BS1, SS1-1, SS1-2) 각각은 인접한 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3) 사이에 배치될 수 있다.

예를 들어, 제1 상측 서브 인장부(US1)는 제1-1 상측 인장부(U1-1)와 제1-2 상측 인장부(U1-2) 사이에 배치되고, 제1 하측 서브 인장부(BS1)는 제1-1 하측 인장부(B1-1)와 제1-2 하측 인장부(B1-2) 사이에 배치될 수 있다. 제1-1 측부 서브 인장부(SS1-1)는 제1-1 측부 인장부(RS1-1)와 제1-2 측부 인장부(RS1-2) 사이에 배치되고, 제1-2 측부 서브 인장부(SS1-2)는 제1-2 측부 인장부(RS1-2)와 제1-3 측부 인장부(RS1-3) 사이에 배치될 수 있다. 본 실시예에 따르면, 제1 서브 인장부들(US1, BS1, SS1-1, SS1-2) 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에서 볼 때, 제1 개구부들(OP1)과 중첩할 수 있다.

제1 서브 인장부들(US1, BS1, SS1-1, SS1-2)은 제1 마스크(MS1-A)를 프레임(MF)에 결합하는 공정에서 제1 마스크(MS1-A)를 인장시키기 위한 구조물이 추가적으로 결합되는 부분들일 수 있다.

제2 마스크(MS2-A)는 제2 바디부(MM2), 복수의 제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3), 및 복수의 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)을 포함할 수 있다. 일 실시예에 따른 제2 마스크(MS2-A)는 제2 서브 인장부들(US2, BS2, SS2-1, SS2-2)을 더 포함할 수 있다.

제2 바디부(MM2)는 프레임 개구부(M-OP)와 대응되는 적어도 하나의 제2 개구부(OP2)를 포함할 수 있다. 제2 개구부(OP2)는 복수로 제공될 수 있다. 제2 바디부(MM2)의 일측들은 프레임(MF)과 중첩하고, 제2 바디부(MM2)의 타측 중 적어도 일부는 프레임 개구부(M-OP)와 중첩할 수 있다.

제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3)은 제2 바디부(MM2)의 일측들로부터 돌출될 수 있다. 제2 상측 인장부들(U2-1, U2-2)은 제2 바디부(MM2)의 제2 방향(DR2)으로 연장된 일측들 중 프레임(MF)의 상측에 중첩하는 제2 바디부(MM2)로부터 제1 방향(DR1)을 따라 돌출될 수 있다.

제2 하측 인장부들(B2-1, B2-2)은 제2 바디부(MM2)의 제2 방향(DR2)으로 연장된 일측들 중 프레임(MF)의 하측에 중첩하는 제2 바디부(MM2)로부터 제1 방향(DR1)을 따라 돌출될 수 있다.

본 실시예에서 제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에서 볼 때, 제2 개구부들(OP2)과 비중첩할 수 있다.

제2 서브 인장부들(US2 BS2 SS2-1, SS2-2) 각각은 인접한 제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3) 사이에 배치될 수 있다.

예를 들어, 제2 상측 서브 인장부(US2)는 제2-1 상측 인장부(U2-1)와 제2-2 상측 인장부(U2-2) 사이에 배치되고, 제2 하측 서브 인장부(BS2)는 제2-1 하측 인장부(B2-1)와 제2-2 하측 인장부(B2-2) 사이에 배치될 수 있다. 제2-1 측부 서브 인장부(SS2-1)는 제2-1 측부 인장부(RS2-1)와 제2-2 측부 인장부(RS2-2) 사이에 배치되고, 제2-2 측부 서브 인장부(SS2-2)는 제2-2 측부 인장부(RS2-2)와 제2-3 측부 인장부(RS2-3) 사이에 배치될 수 있다. 본 실시예에 따르면, 제1 서브 인장부들(US1, BS1, SS1-1, SS1-2) 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에서 볼 때, 제1 개구부들(OP1)과 중첩할 수 있다.

제2 서브 인장부들(US2, BS2 SS2-1, SS2-2)은 제2 마스크(MS2-A)를 프레임(MF)에 결합하는 공정에서 제2 마스크(MS2-A)를 인장시키기 위한 구조물이 추가적으로 결합되는 부분들일 수 있다.

제1 마스크(MS1-A)는 도 2b에서 설명한 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)를 포함하고, 제2 마스크(MS2-A)는 도 2b에서 설명 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)을 포함할 수 있다. 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3) 중 대응되는 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)은 서로 중첩하여 결합 영역(WA)이 정의되고 결합 영역(WA)에 용접 공정을 진행하여 서로 결합될 수 있다. 결합 영역(WA)에는 결합 용접 돌기(WT)가 형성될 수 있다.

도 8 및 도 9를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 조립체(MSA-B)는 마스크 시트(MK-B) 및 프레임(MF)를 포함할 수 있다. 프레임(MF)은 도 2a에서 설명한 프레임(MF)과 대응될 수 있다. 마스크 시트(MK-B)는 복수의 마스크들(MS1-B, MS2-B)이 용접 공정에 의해 서로 결합된 상태로 정의될 수 있다. 제1 및 제2 마스크들(MS1-B, MS2-B)은 프레임(MF) 상에 배치될 수 있다.

마스크 시트(MK-B)는 포함된 마스크들(MS1-B, MS2-B)에 관한 설명은 도 7의 마스크 시트(MK-A)에서 설명한 마스크들(MS1-A, MS1-A)과 유사할 수 있으며, 도 7과의 차이점을 중점적으로 설명하도록 한다.

일 실시예에 따른 제1 마스크(MS1-B)는 제1 서브 결합부들(SC1)을 더 포함할 수 있다. 제1 서브 결합부들(SC1)은 인접한 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3, 도 2b 참조) 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어 어느 하나의 제1 서브 결합부(SC1)는 제1-1 결합부(C1-1) 및 제1-2 결합부(C1-2) 사이에 배치되고, 다른 하나의 제1 서브 결합부(SC1)는 제1-2 결합부(C1-2) 및 제1-3 결합부(C1-3) 사이에 배치될 수 있다. 제1 서브 결합부들(SC1)은 제2 방향(DR2)에서 볼 때, 제1 개구부들(OP1)과 중첩할 수 있다.

제2 마스크(MS2-B)는 제2 서브 결합부들(SC2)을 더 포함할 수 있다. 제2 서브 결합부들(SC2)은 인접한 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3, 도 2b 참조) 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어 어느 하나의 제2 서브 결합부(SC2)는 제2-1 결합부(C2-1) 및 제2-2 결합부(C2-2) 사이에 배치되고, 다른 하나의 제2 서브 결합부(SC2)는 제2-2 결합부(C1-2) 및 제2-3 결합부(C1-3) 사이에 배치될 수 있다. 제2 서브 결합부들(SC2)은 제2 방향(DR2)에서 볼 때, 제2 개구부들(OP2)과 중첩할 수 있다.

본 실시예에서 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3, 도 2b 참조) 및 이에 대응되는 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3, 도 2b 참조)이 중첩되는 영역은 제1 결합 영역(WA1)으로 정의되고, 제1 서브 결합부들(SC1) 및 이에 대응되는 제2 서브 결합부들(SC2)이 중첩하는 영역을 제2 결합 영역(WA2)으로 정의할 수 있다. 제1 결합 영역(WA1)에 용접 공정을 통해 제1 용접 돌기(WT1)가 형성되고, 제2 결합 영역(WA2)에 용접 공정을 통해 제2 용접 돌기(WT2)가 형성될 수 있다.

도 7 내지 9의 실시예에 따르면 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에서 볼 때, 대응되는 개구부들과 중첩하는 인장부들 및 결합부들을 더 포함함에 따라, 마스크 시트를 제조하는 과정에서 보다 견고하게 마스크들을 인장시킬 수 있다. 이에 따라, 마스크들의 처짐 불량을 방지할 수 있다.

도 10인 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 시트의 일 부분을 확대한 평면도이다. 도 1 내지 도 4에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.

도 10을 참조하면 일 실시예에 따른 마스크 시트(MK-a)는 제1 마스크(MS1-a) 및 제2 마스크(MS2-a)를 포함할 수 있다.

제1 마스크(MS1-a)는 제1 바디부(MM1), 제1 결합부(CT1), 및 도 2b에서 설명한 제1 인장부들을 포함할 수 있다. 제1 결합부(CT1)는 제1 바디부(MM1)의 타측에서부터 제2 방향(DR2)을 따라 제2 바디부(MM2)를 향해 돌출될 수 있다. 일 실시예에 따른 제1 결합부(CT1) 중 제1 바디부(MM1)로부터 돌출된 시작 부분(C1-S)은 평면상에서 곡선 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 제1 결합부(CT1)는 제1 결합부(CT1)의 끝단에서 제1 바디부(MM1)와 가까워질수록 제1 방향(DR1)에서의 폭은 증가할 수 있다.

제2 마스크(MS2-a)는 제2 바디부(MM2), 제2 결합부(CT2), 및 도 2b에서 설명한 제2 인장부들을 포함할 수 있다. 제2 결합부(CT1)는 제2 바디부(MM2)의 타측에서부터 제2 방향(DR2)을 따라 제1 바디부(MM1)를 향해 돌출될 수 있다. 일 실시예에 따른 제2 결합부(CT2) 중 제2 바디부(MM2)로부터 돌출된 시작 부분(C2-S)은 평면상에서 곡선 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 제2 결합부(CT2)는 제2 결합부(CT2)의 끝단에서 제2 바디부(MM2)와 가까워질수록 제1 방향(DR1)에서의 폭은 증가할 수 있다.

제1 결합부(CT1)와 제2 결합부(CT2)는 용접 공정으로 결합될 수 있으며, 제1 결합부(CT1)와 제2 결합부(CT2)가 중첩하는 영역에 용접 돌기(WT)가 형성될 수 있다.

본 실시예에 따르면, 제1 결합부(CT1) 및 제2 결합부(CT2) 각각은 끝단에서부터대응되는 바디부(MM1, MM2)와 가까워질수록 증가하는 폭을 가짐에 따라, 마스크 시트(MK-a)를 인장시킨 상태에서 프레임(MF, 도 2a 참조)에 결합시킬 때, 서로 결합된 제1 결합부(CT1) 및 제2 결합부(CT2)에 가해지는 응력이 집중되는 현상을 감소시킬 수 있다.

도 11a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다. 도 11b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크들을 도시한 사시도이다. 도 1 내지 도 4에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.

도 11a 및 도 11b를 참조하면, 마스크 조립체(MSA-C)는 마스크 시트(MK-C) 및 프레임(MF)을 포함할 수 있다. 프레임(MF)은 도 2a에서 설명한 프레임(MF)과 대응될 수 있다. 본 명세서에서 마스크 시트(MK-C)는 복수의 마스크들(MS1-C, MS2-C, MS3-C)이 용접 공정에 의해 서로 결합된 상태로 정의될 수 있다.

제1 마스크(MS1-C)는 제1 바디부(MM1), 복수의 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3), 및 복수의 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)을 포함할 수 있다.

제1 바디부(MM1)는 프레임 개구부(M-OP)와 대응되는 적어도 하나의 제1 개구부(OP1)를 포함할 수 있다. 제1 개구부(OP1)는 복수로 제공될 수 있다. 제1 바디부(MM1)의 일측들은 프레임(MF)과 중첩하고, 제1 바디부(MM1)의 타측 중 적어도 일부는 프레임 개구부(M-OP)와 중첩할 수 있다. 제1 바디부(MM1)의 타측은 제2 바디부(MM2)의 어느 하나의 타측과 마주할 수 있다.

제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)은 제1 바디부(MM1)의 제1 방향(DR1)으로 연장된 타측으로부터 돌출될 수 있다. 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)은 제2 마스크(MS2-C)의 어느 하나의 타측을 향해 돌출될 수 있다.

제3 마스크(MS3-C)는 제3 바디부(MM3), 복수의 제3 인장부들(U3-1, U3-2, B3-1, B3-2, RS3-1, RS3-2, RS3-3), 및 복수의 제3 결합부들(C3-1, C3-2, C3-3)을 포함할 수 있다.

제3 바디부(MM3)는 프레임 개구부(M-OP)와 대응되는 적어도 하나의 제3 개구부(OP3)를 포함할 수 있다. 제3 개구부(OP3)는 복수로 제공될 수 있다. 제3 바디부(MM3)의 일측들은 프레임(MF)과 중첩하고, 제3 바디부(MM3)의 타측 중 적어도 일부는 프레임 개구부(M-OP)와 중첩할 수 있다. 제3 바디부(MM3)의 타측은 제2 바디부(MM2)의 다른 하나의 타측과 마주할 수 있다.

제3 인장부들(U3-1, U3-2, B3-1, B3-2, RS3-1, RS3-2, RS3-3)은 제3 바디부(MM3)의 일측들로부터 돌출될 수 있다. 제3 상측 인장부들(U3-1, U3-2)은 제3 바디부(MM3)의 제2 방향(DR2)으로 연장된 일측들 중 프레임(MF)의 상측에 중첩하는 제3 바디부(MM3)로부터 제1 방향(DR1)을 따라 돌출될 수 있다.

제3 하측 인장부들(B3-1, B3-2)은 제3 바디부(MM3)의 제2 방향(DR2)으로 연장된 일측들 중 프레임(MF)의 하측에 중첩하는 제3 바디부(MM3)로부터 제1 방향(DR1)을 따라 돌출될 수 있다.

제3 측부 인장부들(RS3-1, RS3-2, RS3-3)은 제3 바디부(MM3)의 제1 방향(DR1)으로 연장된 일측으로부터 제2 방향(DR2)을 따라 돌출될 수 있다. 제3 측부 인장부들(RS3-1, RS3-2, RS3-3)은 제1 방향(DR1)을 따라 이격되어 배열될 수 있다.

제3 결합부들(C3-1, C3-2, C3-3)은 제3 바디부(MM3)의 제1 방향(DR1)으로 연장된 타측으로부터 돌출될 수 있다. 제3 결합부들(C3-1, C3-2, C3-3)은 제2 마스크(MS2-C)의 다른 하나의 타측을 향해 돌출될 수 있다.

본 실시예에서 제3 인장부들(U3-1, U3-2, B3-1, B3-2, RS3-1, RS3-2, RS3-3)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에서 볼 때, 제3 개구부들(OP3)과 비중첩할 수 있다.

제2 마스크(MS2-C)는 제1 마스크(MS1-C)와 제3 마스크(MS3-C) 사이에 배치될 수 있다. 제2 마스크(MS2-C)는 제2 바디부(MM2), 복수의 제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2), 및 복수의 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3, C2-4, C2-5, C2-6)을 포함할 수 있다.

제2 바디부(MM2)는 프레임 개구부(M-OP)와 대응되는 적어도 하나의 제2 개구부(OP2)를 포함할 수 있다. 제2 개구부(OP2)는 복수로 제공될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 제1 내지 제3 바디부(MM1, MM2, MM3)에 포함된 개구부들(OP1, OP2, OP3) 각각은 2행 x 1열의 동일한 배열 형상을 가질 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 내지 제3 바디부들(MM1, MM2, MM3) 중 적어도 어느 하나의 바디부에 포함된 개구부들의 배열 형상은 나머지 바디부들에 포함된 개구부들의 배열 형상과 상이할 수 있다.

제2 바디부(MM2) 중 제1 방향(DR1)으로 연장된 일측들은 프레임(MF)과 중첩하고, 제2 바디부(MM2) 중 제2 방향(DR2)으로 연장된 타측들 중 적어도 일부는 프레임 개구부(M-OP)와 중첩할 수 있다. 제2 바디부(MM2) 중 어느 하나의 타측은 제1 바디부(MM1)의 타측과 마주하고, 제2 바디부(MM2) 중 다른 하나의 타측은 제3 바디부(MM2)의 타측과 마주할 수 있다.

제2 상측 인장부들(U2-1, U2-2)은 제2 바디부(MM2)의 일측들 중 프레임(MF)의 상측에 중첩하는 제2 바디부(MM2)로부터 제1 방향(DR1)을 따라 돌출될 수 있다.

제2 하측 인장부들(B2-1, B2-2)은 제2 바디부(MM2)의 일측들 중 프레임(MF)의 하측에 중첩하는 제2 바디부(MM2)로부터 제1 방향(DR1)을 따라 돌출될 수 있다.

제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3, C2-4, C2-5, C2-6)은 제2 바디부(MM2)의 제1 방향(DR1)으로 연장된 타측들로부터 돌출될 수 있다. 제2-1 내지 제2-3 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)은 제1 마스크(MS1-C)의 타측을 향해 돌출되고, 제2-4 내지 제2-6 결합부들(C2-4, C2-5, C2-6)은 제3 마스크(MS3-C)의 타측을 향해 돌출될 수 있다.

제1-1 결합부(C1-1)는 제2-1 결합부(C2-1)와 중첩하고, 제1-2 결합부(C1-2)는 제2-2 결합부(C2-2)와 중첩하고, 제1-3 결합부(C1-3)는 제2-3 결합부(C2-3)와 중첩할 수 있다. 제1 마스크(MS1-C)와 제2 마스크(MS2-C)의 결합부들은 서로 중첩하는 영역에서 용접 공정을 통해 서로 결합될 수 있다. 이에 따라, 결합부들이 서로 중첩하는 영역 제1 용접 돌기(WT1)이 형성될 수 있다.

제3-1 결합부(C3-1)는 제2-4 결합부(C2-4)와 중첩하고, 제3-2 결합부(C3-2)는 제2-5 결합부(C2-5)와 중첩하고, 제3-3 결합부(C3-3)는 제2-6 결합부(C2-6)와 중첩할 수 있다. 제3 마스크(MS3-C)와 제2 마스크(MS2-C)의 결합부들은 서로 중첩하는 영역에서 용접 공정을 통해 서로 결합될 수 있다. 이에 따라, 결합부들이 서로 중첩하는 영역 제2 용접 돌기(WT2)이 형성될 수 있다.

본 실시예에서와 같이 프레임(MF)의 끝단에 배치된 제1 및 제3 마스크들(MS1-C, MS3-C) 사이에 배치된 사이 마스크는 제2 마스크(MS2-C)와 대응되는 형상을 가질 수 있으며, 사이 마스크는 복수로 제공되고, 사이 마스크들 각각은 제2 마스크(MS2-C)와 대응되는 형상을 가질 수 있다.

도 12a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크들을 도시한 사시도이다. 도 12b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크들의 일 부분을 확대한 사시도이다. 도 12c는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 평면도이다. 도 12d는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 평면도이다. 도 1 내지 도 4에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.

도 12a를 참조하면, 일 실시예에 따른 제1 마스크(MS1-1)는 제1 바디부(MM1), 복수의 제1 인장부들(U1-1, U1-2, U1-3, B1-1, B1-2, B1-3, RS1-1, RS1-2, RS1-3, RS1-4), 및 복수의 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3, C1-4)을 포함할 수 있다.

제1 바디부(MM1)는 프레임 개구부(M-OP)와 대응되는 적어도 하나의 제1 개구부(OP1)를 포함할 수 있다. 제1 개구부(OP1)는 복수로 제공될 수 있다. 제1 바디부(MM1)는 3행 x 2열의 배열 형상을 갖는 6개의 제1 개구부들(OP1)을 포함할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 제1 상측 인장부들(U1-1, U1-2, U1-3) 및 제1 하측 인장부들(B1-1, B1-2, B1-3) 각각의 개수는 제1 개구부들(OP1)의 배열 형상인 2열의 개수보다 하나 더 많을 수 있다.

제1 측부 인장부들(RS1-1, RS1-2, RS1-3, RS1-4) 및 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3, C1-4) 각각의 개수는 제1 개구부들(OP1)의 배열 형상인 3행의 개수보다 하나 더 많을 수 있다.

제2 마스크(MS2-1)는 제2 바디부(MM2), 복수의 제2 인장부들(U2-1, U2-2, U2-3, B2-1, B2-2, B2-3, RS2-1, RS2-2, RS2-3, RS2-4), 및 복수의 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3, C2-4)을 포함할 수 있다. 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3, C2-4)은 대응되는 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3, C1-4)과 중첩할 수 있다.

제2 바디부(MM2)는 프레임 개구부(M-OP)와 대응되는 적어도 하나의 제2 개구부(OP2)를 포함할 수 있다. 제2 개구부(OP2)는 복수로 제공될 수 있다. 제2 바디부(MM2)는 3행 x 2열의 배열 형상을 갖는 6개의 제2 개구부들(OP2)을 포함할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 제2 상측 인장부들(U2-1, U2-2, U2-3) 및 제2 하측 인장부들(B2-1, B2-2, B2-3) 각각의 개수는 제2 개구부들(OP2)의 배열 형상인 2열의 개수보다 하나 더 많을 수 있다.

제2 측부 인장부들(RS2-1, RS2-2, RS2-3, RS2-4) 및 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3, C2-4) 각각의 개수는 제2 개구부들(OP2)의 배열 형상인 3행의 개수보다 하나 더 많을 수 있다.

본 실시예에 따르면, 제1 및 제2 마스크들(MS1-1, MS2-1)에 포함된 개구부들의 개수는 n행 x m열의 배열 형상을 가질 수 있다. 제1 및 제2 마스크들(MS1-1, MS2-1)에 포함된 상측 및 하측 인장부들의 개수는 m열보다 하나 이상 많을 수 있으며, 측부 인장부들 및 결합부들의 개수는 n행보다 하나 이상 많을 수 있다.

도 12b를 참조하면, 일 실시예에 따른 제1 마스크(MS1-2)는 제1 바디부(MM1)의 타측으로부터 제2 바디부(MM2)의 타측을 향해 돌출된 복수의 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3, C1-4) 및 제1 인장부들(U1, B1)을 포함할 수 있다. 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3, C1-4)은 제1 바디부(MM1)의 타측에서부터 제1 높이로 돌출된 제1-1 그룹 결합부(C1-1, C1-3) 및 제1 바디부(MM1)의 타측에서부터 제2 높이로 돌출된 제1-2 그룹 결합부(C1-2, C1-4)를 포함할 수 있다. 제1 높이는 제2 높이와 상이할 수 있다. 제1-1 그룹 결합부(C1-1, C1-3) 및 제1-2 그룹 결합부(C1-2, C1-4)는 서로 교번하여 배치될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 제1-1 그룹 결합부(C1-1, C1-3)와 제1-2 그룹 결합부(C1-2, C1-4)는 제1 방향(DR1)에서 보았을 때, 서로 비중첩할 수 있다.

제2 마스크(MS2-2)는 제2 바디부(MM2)의 타측으로부터 제1 바디부(MM1)의 타측을 향해 돌출된 복수의 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3, C2-4) 및 제2 인장부들(U1, B1)을 포함할 수 있다. 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3, C2-4)은 제2 바디부(MM2)의 타측에서부터 제2 높이로 돌출된 제2-1 그룹 결합부(C2-1, C2-3) 및 제2 바디부(MM2)의 타측에서부터 제1 높이로 돌출된 제2-2 그룹 결합부(C2-2, C2-4)를 포함할 수 있다. 제1 높이는 제2 높이와 상이할 수 있다. 제2-1 그룹 결합부(C2-1, C2-3) 및 제2-2 그룹 결합부(C2-2, C2-4)는 서로 교번하여 배치될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 제2-1 그룹 결합부(C2-1, C2-3)와 제2-2 그룹 결합부(C2-2, C2-4)는 제1 방향(DR1)에서 보았을 때, 서로 비중첩할 수 있다.

제1 마스크(MS1-2) 및 제2 마스크(MS2-2)를 제2 방향(DR2)으로 이동시켰을 때, 제1-1 그룹 결합부(C1-1, C1-3)와 제2-1 그룹 결합부(C2-1, C2-3)는 서로 결합되고, 제1-2 그룹 결합부(C1-2, C1-4)와 제2-2 그룹 결합부(C2-2, C2-4)는 서로 결합될 수 있다.

도 12c를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크(MS-3)는 상측 인장부들(U1, U2, U3, U4), 하측 인장부들(B1, B2, B3, B4), 측부 인장부들(RS1, RS2, RS3, RS4, RS5), 및 결합부들(C1, C2, C3, C4, C5)를 포함할 수 있다. 결합부들(C1, C2, C3, C4, C5)은 인접한 마스크의 바디부로부터 돌출된 인접부들과 결합되는 부분일 수 있다.

본 실시예에 따른 바디부(MM)는 서로 다른 면적을 갖는 개구부들(OP1, OP2)을 포함할 수 있다. 즉, 하나의 마스크(MS-3) 내에서 서로 다른 형상을 갖는 개구부들(OP1, OP2)을 포함할 수 있다. 제1 개구부(OP1)는 제1 면적을 갖고 단수로 제공되고, 제2 개구부(OP2)는 제1 면적보다 작은 제2 면적을 갖고 복수로 제공될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 하나의 마스크(MS-3) 내에서 서로 다른 면적을 갖는 세 종류 이상의 개구부들을 포함할 수 있다.

도 12d를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크(MS-4)는 상측 인장부들(U1, U2, U3, U4), 하측 인장부들(B1, B2, B3, B4), 측부 인장부들(RS1, RS2, RS3, RS4, RS5, RS6), 및 결합부들(C1, C2, C3, C4, C5, C6)를 포함할 수 있다. 결합부들(C1, C2, C3, C4, C5, C6)은 인접한 마스크의 바디부로부터 돌출된 인접부들과 결합되는 부분일 수 있다. 본 실시예에 따른 마스크(MS-4)는 5행 x 3열의 배열 형상을 갖는 개구부들을 포함할 수 있다.

본 실시예에 따르면 인접한 인장부들 사이에는 마스크(MS-4)의 내측을 향하는 방향으로 오목한 곡률부들(CV1, CV2, CV3)을 포함할 수 있다. 곡률부들(CV1, CV2, CV3)은 평면상에서 곡선 형상을 가질 수 있다.

제1 곡률부(CV1)는 상측 인장부들(U1, U2, U3, U4) 중 인접한 두 개의 상측 인장부들 사이에 형성될 수 있다. 제2 곡률부(CV2)는 하측 인장부들(B1, B2, B3, B4) 중 인접한 두 개의 하측 인장부들 사이에 형성될 수 있다. 제3 곡률부(CV3)는 측부 인장부들(RS1, RS2, RS3, RS4, RS5, RS6) 중 인접한 두 개의 측부 인장부들 사이에 형성될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제3 곡률부(CV3)는 생략될 수 있다.

본 실시예에 따르면, 마스크(MS-4)의 내측을 향하는 방향으로 갈수록 폭이 증가하는 인장부들을 포함함에 따라, 인장부들을 구조물을 통해 인장시키는 과정에서 가해지는 응력이 집중되는 현상을 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 마스크(MS-4)를 보다 견고하게 인장시킬 수 있다.

도 13a 내지 도 13d는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법을 도시한 사시도들이다. 도 13e는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법을 도시한 평면도이다. 도 1 내지 도 4에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며 중복된 설명은 생략한다. 도 13a 내지 도 13e를 참조하여 도 1 내지 도 4에서 설명한 마스크 조립체(MSA)의 제조 방법을 설명하도록 한다.

도 13a를 참조하면, 제1 마스크(MS1)를 프레임(MF) 상에 배치시키는 단계를 포함할 수 있다.

프레임(MF)은 프레임 개구부(M-OP)가 형성될 수 있다. 제1 마스크(MS1)는 제1 개구부들(OP1)이 형성된 제1 바디부(MM1), 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3), 및 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)을 포함할 수 있다. 제1 개구부들(OP1)과 제1 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3)은 인바 또는 스테인레스 스틸을 포함하는 원장 기판에 에칭 공정을 진행하여 형성할 수 있다. 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)은 원장 기판에 하프 에칭 공정을 진행하여 형성할 수 있다.

이후, 제2 마스크(MS2)를 프레임(MF) 상에 배치시키는 단계를 포함할 수 있다. 제2 마스크(MS2)는 제2 개구부들(OP2)이 형성된 제2 바디부(MM2), 제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3), 및 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)을 포함할 수 있다. 제2 개구부들(OP2)과 제2 인장부들(U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3)은 인바 또는 스테인레스 스틸을 포함하는 원장 기판에 에칭 공정을 진행하여 형성할 수 있다. 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)은 원장 기판에 하프 에칭 공정을 진행하여 형성할 수 있다.

이후, 도 13b를 참조하면, 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)과 대응되는 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)을 얼라인 시키는 단계를 포함할 수 있다. 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)은 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)과 일대일로 대응되며, 평면상에서 서로 중첩될 수 있다.

이후, 얼라인된 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)과 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)을 결합시켜 마스크 시트(MK)를 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)과 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)은 일대일로 중첩하여 결합 영역(WA)을 정의하고, 결합 영역(WA) 내에서 용접 공정을 통해 제1 결합부들(C1-1, C1-2, C1-3)과 제2 결합부들(C2-1, C2-2, C2-3)을 결합시킬 수 있다. 이때, 결합 용접 돌기(WT)가 결합 영역(WA) 내에 형성될 수 있다. 제1 및 제2 마스크들(MS1, MS2)은 용접 공정에 의해 하나의 마스크 시트(MK)로 형성할 수 있다.

이후, 도 13c를 참조하면, 마스크 시트(MK)의 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3, U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3)을 인장시키는 단계를 포함할 수 있다. 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3, U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3)에는 대응되는 클램프들(CR1-1, CR1-2, CR2-1, CR2-2)이 결합될 수 있다.

대응되는 바디부(MM1, MM2)으로부터 제1 방향(DR1)으로 돌출된 인장부들(U1-1, U1-2, U2-1, U2-2)은 제1-1 클램프들(CR1-1)에 의해 제1 방향(DR1)으로 인장될 수 있다. 대응되는 바디부(MM1, MM2)으로부터 제4 방향(DR4)으로 돌출된 인장부들(B1-1, B1-2, B2-1, B2-2)은 제1-2 클램프들(CR1-2)에 의해 제4 방향(DR4)으로 인장될 수 있다. 대응되는 바디부(MM1, MM2)으로부터 제5 방향(DR5)으로 돌출된 인장부들(RS1-1, RS1-2, RS1-3)은 제2-1 클램프들(CR2-1)에 의해 제5 방향(DR5)으로 인장될 수 있다. 대응되는 바디부(MM1, MM2)으로부터 제2 방향(DR2)으로 돌출된 인장부들(RS2-1, RS2-2, RS2-3)은 제2-2 클램프들(CR2-2)에 의해 제2 방향(DR2)으로 인장될 수 있다.

이후, 도 13d를 참조하면, 인장된 상태에서 마스크 시트(MK)를 프레임(MF)에 결합하는 단계를 더 포함할 수 있다. 도 13d에는 클램프들(CR1-1, CR1-2, CR2-1, CR2-2)이 생략되었다. 마스크 시트(MK)는 인장된 상태에서 프레임(MF)에 용접 공정을 통해 결합될 수 있다. 이에 따라, 마스크 시트(MK) 중 프레임(MF)과 중첩하는 영역에 프레임 용접 돌기들(WB)이 형성될 수 있다.

이후, 도 13e를 참조하면, 마스크 시트(MK)의 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3, U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3) 각각의 적어도 일부를 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다. 도 13e에는 인장부들을 제거하는 단계 후, 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3, U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3)의 일 부분이 프레임(MF) 상에 잔존하는 것을 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 인장부들을 제거하는 단계 후 도 5b에서 설명한 것과 같이 인장부들(U1-1, U1-2, B1-1, B1-2, RS1-1, RS1-2, RS1-3, U2-1, U2-2, B2-1, B2-2, RS2-1, RS2-2, RS2-3)은 대응되는 바디부(MM1, MM2)로부터 전부가 제거될 수 있다.

도 13e에 도시된 마스크 조립체(MSA)로 도 6에서 설명한 표시 패널(DP)에 포함된 기능층들을 형성할 수 있다. 기능층들은 공통층으로 정의될 수 있다.

본 발명에 따른 마스크 조립체(MSA)는 복수 개의 마스크들을 하나의 마스크 시트로 형성함에 따라, 표시 패널(DP)이 대면적화 되더라도, 이에 대응되도록 마스크의 개수를 증가시켜 마스크 시트의 크기를 용이하게 조절할 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

ED: 증착 장치
MSA: 마스크 조립체
MK: 마스크 시트
MF: 프레임
M-OP: 프레임 개구부
SUB: 기판
PP: 고정 부재
EP: 증착 부재
EM: 증착 물질
NZ: 노즐

Claims

서로 교차하는 제1 방향 및 제2 방향을 따라 연장되고 프레임 개구부를 포함하는 프레임; 및
상기 프레임과 결합된 마스크 시트를 포함하고,
상기 마스크 시트는,
상기 프레임 개구부와 대응되는 적어도 하나의 제1 증착 개구부를 포함하는 제1 바디부 및 각각이 상기 제1 바디부 중 상기 프레임 개구부와 중첩하는 일측으로부터 돌출된 제1 결합부들을 포함하는 제1 마스크; 및
상기 프레임 개구부와 대응되는 적어도 하나의 제2 증착 개구부를 포함하는 제2 바디부 및 각각이 상기 제2 바디부 중 상기 프레임 개구부와 중첩하는 일측으로부터 돌출된 제2 결합부들을 포함하는 제2 마스크를 포함하고,
상기 제1 마스크의 상기 일측과 상기 제2 마스크의 상기 일측은 상기 프레임 개구부 내에서 서로 마주하고,
상기 제1 결합부들은 대응되는 상기 제2 결합부들과 중첩하는 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 제1 결합부들의 두께는 상기 제1 바디부의 두께보다 얇고,
상기 제2 결합부들의 두께는 상기 제2 바디부의 두께보다 얇고,
서로 중첩하는 어느 하나의 제1 결합부의 두께 및 어느 하나의 제2 결합부의 두께의 합은 상기 제1 바디부의 두께 및 상기 제2 바디부의 두께 중 적어도 어느 하나와 동일한 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 제1 결합부들 각각은 상기 제2 바디부의 상기 일측에 접촉하고,
상기 제2 결합부들 각각은 상기 제1 바디부의 상기 일측에 접촉하는 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 제1 바디부의 상기 일측 및 상기 제2 바디부의 상기 일측은 상기 제1 방향으로 연장되고,
상기 제1 결합부들 각각은, 상기 제2 바디부의 일측과 인접한 끝단에서 제1 바디부의 일측에 가까워질수록 상기 제1 방향에서의 폭이 증가하고,
상기 제2 결합부들 각각은, 상기 제1 바디부의 일측과 인접한 끝단에서 제2 바디부의 일측에 가까워질수록 상기 제1 방향에서의 폭이 증가하는 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 제1 결합부들은 상기 제1 바디부의 상기 일측에서 상기 제1 바디부의 두께 방향을 따라 제1 높이로 돌출된 제1-1 결합부들 및 상기 제1 바디부의 상기 일측에서 상기 두께 방향을 따라 상기 제1 높이와 상이한 제2 높이로 돌출되고 상기 제1-1 결합부들과 교번 배치된 제1-2 결합부들을 포함하고,
상기 제2 결합부들은 상기 제2 바디부의 상기 일측에서 상기 두께 방향을 따라 상기 제2 높이로 돌출된 제2-1 결합부들 및 상기 제2 바디부의 상기 두께 방향을 따라 상기 제1 높이로 돌출되고 상기 제2-1 결합부들과 교번 배치된 제2-2 결합부들을 포함하고,
상기 제1-1 결합부들은 대응되는 상기 제2-1 결합부들과 중첩하고,
상기 제1-2 결합부들은 대응되는 상기 제2-2 결합부들과 중첩하는 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 제1 마스크는 각각이 상기 제1 바디부 중 대응되는 타측들으로부터 돌출되고 상기 프레임과 적어도 일부가 중첩하는 제1 인장부들을 더 포함하고,
상기 제2 마스크는 각각이 상기 제2 바디부 중 대응되는 타측들으로부터 돌출되고 상기 프레임과 적어도 일부가 중첩하는 제2 인장부들을 더 포함하는 마스크 조립체.
제6 항에 있어서,
상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에서 볼 때, 상기 제1 인장부들 및 상기 제1 결합부들은 상기 적어도 하나의 제1 증착 개구부와 비중첩하고, 상기 제2 인장부들 및 상기 제2 결합부들은 상기 적어도 하나의 제2 증착 개구부와 비중첩하는 마스크 조립체.
제6 항에 있어서,
상기 제1 마스크는 각각이 상기 제1 바디부의 대응되는 타측들로부터 돌출되고, 두 개의 상기 제1 인장부들 사이에 배치된 제1 서브 인장부들을 더 포함하고,
상기 제2 마스크는 각각이 상기 제2 바디부의 대응되는 상기 타측들로부터 돌출되고, 두 개의 상기 제2 인장부들 사이에 배치된 제2 서브 인장부들을 더 포함하는 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 프레임, 제1 마스크, 및 상기 제2 마스크 각각은 인바 및 스테인레스 스틸 중 어느 하나를 포함하는 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 제1 증착 개구부 및 상기 적어도 하나의 제2 증착 개구부 각각은 복수로 제공되고,
상기 제1 증착 개구부들의 배열 형상 및 상기 제2 증착 개구부들의 배열 형상은 서로 동일한 마스크 조립체.
제10 항에 있어서,
상기 제1 증착 개구부들은 상기 제1 방향을 따라 이격 배열된 마스크 조립체.
제10 항에 있어서,
상기 제1 증착 개구부들은 n행 x m열(n과 m은 자연수)로 제공되고 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따라 이격 배열된 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 제1 증착 개구부 및 상기 적어도 하나의 제2 증착 개구부 각각은 복수로 제공되고,
상기 제1 증착 개구부들의 배열 형상과 상기 제2 증착 개구부들의 배열 형상은 서로 상이한 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
서로 중첩하는 어느 하나의 제1 결합부 및 어느 하나의 제2 결합부가 중첩하는 결합 영역의 제1 방향에서의 폭은 500um이상 5mm이하인 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 제1 마스크는 각각이 상기 제1 바디부의 상기 일측으로부터 돌출되고, 두 개의 상기 제1 결합부들 사이에 배치된 제1 서브 결합부들을 더 포함하고,
상기 제2 마스크는 각각이 상기 제2 바디부의 상기 일측으로부터 돌출되고, 두 개의 상기 제2 결합부들 사이에 배치된 제2 서브 결합부들을 더 포함하고,
상기 제1 서브 결합부들은 대응되는 상기 제2 서브 결합부들과 중첩하는 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 제1 인장부들 중 인접한 두 개의 제1 인장부들 사이는 평면상에서 곡선을 갖고,
상기 제2 인장부들 중 인접한 두 개의 제2 인장부들 사이는 평면상에서 곡선을 갖는 마스크 조립체.
적어도 하나의 제1 증착 개구부를 포함하는 제1 바디부, 상기 제1 바디부로부터 돌출된 제1 인장부들, 및 상기 제1 바디부로부터 돌출된 제1 결합부들이 형성된 제1 마스크를 프레임 상에 배치시키는 단계;
적어도 하나의 제2 증착 개구부를 포함하는 제2 바디부, 상기 제2 바디부로부터 돌출된 제2 인장부들, 및 상기 제2 바디부로부터 돌출된 제2 결합부들이 형성된 제2 마스크를 상기 프레임 상에 배치시키는 단계;
상기 제1 결합부들과 대응되는 상기 제2 결합부들을 얼라인 시키는 단계;
얼라인된 상기 제1 결합부들과 상기 제2 결합부들을 결합시켜 마스크 시트를 형성하는 단계;
상기 제1 인장부들과 상기 제2 인장부들을 인장시키는 단계; 및
인장된 상기 마스크 시트를 상기 프레임 상에 결합시키는 단계를 포함하는 마스크 조립체 제조 방법.
제17 항에 있어서,
상기 제1 결합부들과 상기 제2 결합부들은 용접 공정에 의해 결합되고,
상기 마스크 시트와 상기 프레임은 용접 공정에 의해 결합되는 마스크 조립체 제조 방법.
제17 항에 있어서,
상기 프레임은 서로 교차하는 제1 방향 및 제2 방향을 따라 연장된 사각 형상을 가지고,
상기 제1 인장부들 중 일부는 상기 제1 바디부 중 제1 방향을 따라 연장된 상측 및 하측에서 제2 방향으로 돌출되고, 상기 제1 인장부들 중 나머지는 상기 제1 바디부 중 제2 방향을 따라 연장된 일측에서 제1 방향으로 돌출되고,
상기 제2 인장부들 중 일부는 상기 제2 바디부 중 제1 방향을 따라 연장된 상측 및 하측에서 제2 방향으로 돌출되고, 상기 제2 인장부들 중 나머지는 상기 제2 바디부 중 제2 방향을 따라 연장된 일측에서 제1 방향으로 돌출되고,
상기 인장시키는 단계는,
상기 제1 및 제2 인장부들 각각이 돌출된 방향으로 인장시키는 마스크 조립체 제조 방법.
제17 항에 있어서,
상기 제1 인장부들 및 상기 제2 인장부들 각각의 적어도 일부를 제거하는 단계를 더 포함하는 마스크 조립체 제조 방법.