KR20240055410A - 듀얼 필터를 적용한 efem의 공기정화장치 - Google Patents

듀얼 필터를 적용한 efem의 공기정화장치 Download PDF

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KR20240055410A
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이광재
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주식회사 저스템
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Abstract

본 실시예는 EFEM(Equipment Front End Module)으로 건조공기를 필터링하여 투입하는 공기정화장치에 있어서, 상기 EFEM으로부터 공급받은 건조공기를 제거하는 제1 필터, 상기 제1 필터를 통과한 건조공기에 포함된 수분 및 이물질을 흡착하여 제거하는 흡착부, 상기 흡착부에서 전달되는 건조공기를 송풍하는 송풍기, 및 상기 송풍기에서 전달되는 건조공기를 필터링하고, 복수의 영역으로 분할된 제2 필터를 포함하고, 상기 제2 필터의 복수의 영역은 건조공기의 순환로에 배치된 도어에 의해 개방 또는 차단되는, 공기정화장치를 제공할 수 있다.

Description

듀얼 필터를 적용한 EFEM의 공기정화장치 {EFEM Air Purifier With Dual Filter}
본 실시예는 듀얼 필터를 적용한 EFEM의 공기정화장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 필터의 교체 시에도 연속적으로 공기정화 운전이 가능한 공기정화장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에 있어서 웨이퍼 및 이에 형성되는 반도체 소자는 고정밀도의 물품으로, 보관 및 운반 시 외부의 오염 물질과 충격으로부터 손상되지 않도록 주의해야 한다. 특히, 웨이퍼의 보관 및 운반의 과정에서 그 표면이 먼지, 수분, 각종 유기물 등과 같은 불순물에 의해 오염되지 않도록 관리가 필요하다.
종래에는 반도체의 제조 수율 및 품질의 향상을 위하여, 클린룸(clean room) 내에서의 웨이퍼의 처리가 이루어지곤 하였다. 그러나 소자의 고집적화, 미세화, 웨이퍼의 대형화가 진행됨에 따라, 비교적 큰 공간인 클린룸을 관리하는 것이 비용적으로도 기술적으로도 곤란해져 왔고, EFEM(Equipment Front End Module)을 포함하는 반도체 공정장치는 로드포트모듈(LPM; Load Port Module), 웨이퍼 용기(FOUP; Front Opening Unified Pod), 팬필터유닛(FFU; Fan Filter Unit) 및 웨이퍼 이송챔버 등을 포함하여 이루어질 수 있다.
특히, 최근 반도체 공정에서 습도의 중요성이 강조 되고 있는데, EFEM 설비의 풉 내부의 웨이퍼는 공정 대기 또는 공정 진행중에 있어서 작업환경 내의 수분(H2O)와 산소(O2) 등로 인해 웨이퍼 표면에 자연 산화막을 성장시켜 반도체 소자 특성에 해를 끼치고 생산성을 저하시키는 등의 악영향을 끼친다.
이에 따라 EFEM의 내부 공간을 밀폐함과 함께 내부 공간의 분위기를 질소(불활성 가스)로 치환함으로써, 내부 공간으로부터 산소나 수분을 제거하는 방법이 제안되었으나, 질소를 대량으로 소비하면 러닝 코스트가 높아지므로, 질소를 내부 공간에서 순환시킴으로써 질소의 소비를 억제하고 있다.
EFEM의 공기 정화를 위해서는 EFEM 내부에 공기정화장치를 설치할 수 있으나, 이송로봇 등의 구조물에 의한 공간 제약이나, 웨이퍼 이송 및 반송 경로를 확보하기 위하여 공간의 제약이 발생할 수 있다. 이에 따라, EFEM 외부에 별도의 공기정화장치에 의해 정화된 공기를 EFEM으로 재투입하는 구조를 가질 수 있다.
공기정화장치는 필터 등에 의해 공기정화를 수행하여 흄, 수분, 파티클 등을 제거할 수 있다. 다만, 공기정화장치의 필터는 시간이 지남에 따라 교체가 필요하게 되고, 필터의 교체 과정에서 공기정화공정이 멈추게 됨으로써 EFEM으로 공급되는 건조공기의 청정도가 낮아지게 되는 문제점이 발생하게 된다.
이러한 배경에서, 본 실시예의 목적은, 전술한 기술적 문제점을 해결하기 위해, N2 GAS 사용대비 습도 및 온도 조절이 신속한 CDA로 사용을 전환함으로써, 종래의 N2 GAS의 사용 비용을 절감해서 운영할 수 있는 EFEM의 공기정화장치 및 공기정화방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 실시예의 목적은, 전술한 기술적 문제점을 해결하기 위해, 필터 및 흡착부에 의해 습기제거와 동시에 흄성분도 함께 제거함으로써, 별도의 추가적인 흄제거 장치의 장착이 불필요하여 설치공간이나 설치비용을 절감할 수 있는 EFEM의 공기정화장치 및 공기정화방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 실시예의 목적은, 전술한 기술적 문제점을 해결하기 위해, 도어의 개폐에 의해 듀얼 필터의 교대 운전을 통해 일부 필터에 대해 교체를 수행하더라도, 나머지 필터에 의해 연속적으로 필터링 동작을 수행하여 안정적인 공기 필터링이 기능한 EFEM의 공기정화장치 및 공기정화방법을 제공하는 것이다.
전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 실시예는, 일 측면에서, EFEM(Equipment Front End Module)으로 공기를 필터링하여 투입하는 공기정화장치에 있어서, 상기 EFEM으로부터 공급받은 공기를 제거하는 제1 필터; 상기 제1 필터를 통과한 건조공기에 포함된 수분 및 이물질을 흡착하여 제거하는 흡착부; 상기 흡착부와 결합되고, 공기를 송풍하는 송풍기; 및 상기 송풍기에 의해 송풍되는 공기를 필터링하고, 복수의 영역으로 분할된 제2 필터를 포함하고, 상기 제2 필터의 복수의 영역은 공기의 순환로에 배치된 도어에 의해 개방 또는 차단되는, 공기정화장치를 제공할 수 있다.
공기정화장치에서 상기 제1 필터는 상기 EFEM의 하부에서 전달되는 공기에 포함된 흄(FUME)을 제거할 수 있다.
공기정화장치에서 상기 흡착부는, 제1 유로와 연결된 제1 흡착제; 및 제2 유로와 연결된 제2 흡착제를 포함하고, 상기 제1 필터에서 공급되는 공기는 상기 제1 유로 또는 상기 제2 유로에 선택적으로 공급될 수 있다.
공기정화장치에서 상기 제1 흡착제가 재생되는 동안 상기 제2 흡착제는 흡착 동작을 수행하고, 상기 제1 흡착제가 흡착 동작을 수행하는 동안 상기 제2 흡착제는 재생될 수 있다.
공기정화장치에서 상기 흡착부는, 공기의 습도가 기준습도값 이하인 경우에는 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로로 공기를 통과시키지 않고, 흡착제를 통과하지 않는 제3 유로로 공기를 바이패스시킬 수 있다.
공기정화장치에서 상기 송풍기는 상기 흡착부에서 전달된 공기를 제1 방향 또는 제2 방향으로 선택적으로 전달할 수 있다.
공기정화장치에서 상기 송풍기는 상기 제2 필터의 제1 영역을 통과하도록 공기를 제어하거나, 또는 상기 제2 필터의 제2 영역을 통과하도록 공기를 제어할 수 있다.
공기정화장치에서 상기 송풍기의 동작 제어 타이밍은 상기 도어의 개폐 타이밍에 대응될 수 있다.
공기정화장치에서 상기 도어의 단면적은 상기 제2 필터의 분할된 각 영역의 크기에 대응되고, 상기 도어는 슬라이딩 방식으로 상기 제2 필터의 각 영역의 공기 순환을 선택적으로 차단할 수 있다.
공기정화장치에서 상기 제2 필터의 각 영역은 분리 가능한 별개의 필터로 구성되고, 일 영역에 배치된 필터의 교체를 수행하는 동안 타 영역에 배치된 필터의 공기 정화 동작을 지속할 수 있다.
공기정화장치에서 상기 제2 필터의 각 영역은 차단구조체에 의해 공간적으로 분리될 수 있다.
공기정화장치에서 상기 제2 필터를 통과한 공기는 상기 EFEM으로 재투입되어 기 설정된 습도조건에 도달할 때까지 반복 순환에 의한 제습을 수행할 수 있다.
공기정화장치에서 상기 제2 필터는 2개의 필터가 결합된 것일 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시예에 의하면, EFEM의 내부공간의 분위기를 조절하도록 공기-예를 들어, 건조공기-를 정화하여 순환류로 사용함으로써, CDA의 콘트롤으로 N2의 콘트롤 대비 작업자의 안전성을 확보하는 동시에 운영 비용을 저감할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, N2 GAS 사용대비 습도 및 온도 조절이 신속한 CDA로 사용을 전환함으로써, 종래의 N2 GAS의 사용 비용을 절감해서 운영할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 공기정화장치에서 일부 필터의 교체 과정에서도 연속적으로 필터링 공정을 수행할 수 있어, EFEM에서 내부 공기의 제습을 안정적으로 진행할 수 있고, 필터 교체에 의한 공정 중단을 방지할 수 있다.
도 1은 EFEM의 내부 기류 흐름을 예시한 도면이다.
도 2는 EFEM에 결합된 공기정화장치를 예시한 도면이다.
도 3은 공기정화장치의 내부 구성을 예시한 도면이다.
도 4는 공기정화장치의 도어 개폐 동작을 예시한 제1 예시 도면이다.
도 5는 공기정화장치의 도어 개폐 동작을 예시한 제2 예시 도면이다.
이하, 본 발명의 일부 실시예들은 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음을 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 1은 EFEM의 내부 기류 흐름을 예시한 도면이다.
도 1을 참조하면, EFEM(100)은 프레임(110), 팬필터유닛(120), 풉(130), 이송챔버(140), 웨이퍼이송장치(150) 등을 포함할 수 있다.
프레임(110)은 EFEM(100)의 내부 이송챔버(140)를 형성하고, 팬필터유닛(120)으로부터 기체를 공급받을 수 있다.
팬필터유닛(120)은 이송챔버(140)의 상부에 배치되고, 이송챔버(140)의 내부로 기체를 필터링하여 공급할 수 있다.
풉(130)은 로드포트모듈(LPM: Load Port Module) 등에 결합되어 웨이퍼 이송 및 반송 공정 이외의 시간에 웨이퍼를 저장하는 장치일 수 있다.
이송챔버(140)는 웨이퍼이송장치(150)를 통해 웨이퍼의 식각 공정 등을 위해 다른 장비로 이송 및 반송할 수 있다.
풉(130)은 EFEM(100)의 일 측면에 결합되고, 웨이퍼 이송을 위한 이송 경로를 형성할 수 있다.
EFEM(100)의 내부의 공기는 풉(130)에서 웨이퍼가 이송 및 반송되는 과정에 풉(130)으로 전달될 수 있고, 이로 인해 풉(130) 내부 공간으로 파티클을 전달하거나 습도를 상승시키게 되므로 EFEM 내부 공기의 청정도 및 습도를 적절하게 조절할 필요가 있다.
도 2는 EFEM에 결합된 공기정화장치를 예시한 도면이다.
도 2를 참조하면, EFEM(100)은 외부에서 도관(101, 102)에 의해 연결된 공기정화장치(200)에 의해 건조공기의 수분, 파티클, 흄 등의 제거를 수행하여 재투입하는 동작을 수행할 수 있다.
공기정화장치(200)는 건조공기(CDA; Clean Dry Air)를 인입하는 인입구와 건조공기를 배출하는 배출구와 건조공기를 재투입하는 재투입구 등을 구비하는 EFEM(Equipment Front End Module)에 연결되어 건조공기를 순환시켜 EFEM의 내부공간의 분위기를 조절할 수 있다.
도관(101)는 EFEM(100)으로부터 공기를 공기정화장치(200)으로 전달하는 도관일 수 있고, 도관(102)는 공기정화장치(200)에서 수분, 파티클, 흄 등을 제거한 건조공기를 EFEM(100)으로 재투입하는 도관일 수 있다.
EFEM(100) 내부에는 이송로봇에 의한 부피를 차지하거나, 웨이퍼 이송 및 반송을 위한 경로를 형성하기에 공기정화장치의 배치를 위한 공간을 확보하지 못할 수 있고, 유지 보수의 용이성을 위해 공기정화장치(200)은 EFEM(100)의 외부에 설치될 수 있다.
도 3은 공기정화장치의 내부 구성을 예시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 공기정화장치(200)는 제1 필터(210), 흡착부(220), 필터 시스템(230) 등을 포함할 수 있다.
제1 필터(210)은 EFEM에서 공급 및 전달되는 공기를 필터링하는 필터일 수 있다. 예를 들어, 제1 필터(210)는 카본 필터로서 EFEM의 하부에서 전달되는 건조공기에 포함된 흄(Fume) 등을 흡착하기 위한 필터일 수 있다.
제1 필터(210)은 퓸제거용 카본필터(Fume Carbon Filter)에 의해 건조공기에 포함된 흄(Fume) 성분을 흡착해서 제거한 후에 건조공기가 1% 이상의 습도로 유입시에는 전단부에 설치된 예열히터(Pre Heater)를 작동시켜 건조시키는 것도 가능할 수 있다.
흡착부(220)는 제1 흡착제(220-1) 및 제2 흡착제(220-2) 등을 포함할 수 있다. 흡착부(220)는 제1 필터(210)를 통과한 건조공기에 포함된 수분 및 이물질을 흡착하여 제거할 수 있다.
흡착부(220)의 제1 흡착제(220-1)는 제1 유로와 연결되고, 제1 밸브(V1) 및/또는 제4 밸브(V4)에 의해 건조공기의 전달 여부를 조절할 수 있다.
흡착부(220)의 제2 흡착제(220-2)는 제2 유로와 연결되고, 제2 밸브(V2) 및/또는 제5 밸브(V5)에 의해 건조공기의 전달 여부를 조절할 수 있다.
제1 필터(210)에서 흡착부(220)로 공급되는 건조공기는 제1 유로 또는 제2 유로에 선택적으로 공급될 수 있다. 제1 유로 및 제2 유로는 Y 유로로 합지되어 통합된 유로를 형성할 수 있고, 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)의 개폐에 의해 건조공기의 공급 대상이 결정될 수 있다.
제1 흡착제(220-1)가 재생되는 동안 제2 흡착제(220-2)는 흡착 동작을 수행하고, 제1 흡착제(220-1)가 흡착 동작을 수행하는 동안 제2 흡착제(220-2)는 재생될 수 있다. 이러한 방법으로 제1 흡착제 및 제2 흡착제를 교번적으로 구동하여 재생 및 흡착을 반복함으로써 흡착부의 수명을 증대시킬 수 있다.
흡착부(220)는 제3 유로와 연결되고, 제3 밸브(V3)에 의해 건조공기의 전달 여부가 조절되는 바이패스를 포함할 수 있다. EFEM에서 배출되는 건조공기의 습도가 일정한 기준습도값 이하인 경우-예를 들어, 1% 습도 미만-에는, 흡착제에 의한 흡착을 수행하지 않고 바이패스에 의한 순환으로 흡착제의 재생 속도를 향상시키고, 수명을 증대시킬 수 있다.
필터 시스템(230)은 흡착부(220)에서 전달한 수분 등이 제거된 건조공기를 전달받아 다시 필터링하는 구성일 수 있다.
필터 시스템(230)은 송풍기를 포함할 수 있고, 송풍기는 필터 시스템(230)의 하류에 설치되어 건조공기를 송풍하는 송풍수단일 수 있다. 송풍기는 저소음의 송풍팬(Blower Fan)을 장착하고 팬속도(Fan Speed)의 풍속을 조절하는 것도 가능할 수 있다.
도 4는 공기정화장치의 도어 개폐 동작을 예시한 제1 예시 도면이다.
도 5는 공기정화장치의 도어 개폐 동작을 예시한 제2 예시 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 공기정화장치(200)의 필터 시스템(230)은 송풍기(231), 도어(232), 제2 필터(233) 등을 포함할 수 있다.
송풍기(231)는 제2 필터(233)-예를 들어, ULPA 필터-로 건조공기를 통과시킬 수 있다. 제2 필터(233)는, EFEM의 재투입구에 설치되어 건조공기를 필터링하는 필터부재로서, 울파필터(ULPA Filter; Ultra-Low Penetration Air Filter)로 이루어져 건조공기에 포함된 잔여 파티클과 퓸을 최종적으로 제거하여 건조공기를 추가적으로 정화시켜 건조공기의 청정도를 향상시키게 된다.
종래의 기술에 따르면 제2 필터(233)는 하나의 단일 필터에 의해 파티클을 제거하게 되므로, 필터의 교체 시에는 공기정화장치의 동작을 중단시켜야 하는 문제점이 발생하였다.
본 실시예에 따르면, 송풍기(231)에서 전달되는 건조공기를 필터링하고, 복수의 영역으로 분할된 제2 필터(233)에 의해 일부 필터의 교체 시에도 연속적인 공기정화 공정을 수행할 수 있다.
제2 필터(233)는 제1 서브필터(233-1) 및 제2 서브필터(233-2)를 포함할 수 있고, 제1 서브필터(233-1)의 동작 또는 제2 서브필터의(233-2)의 동작은 택일될 수 있다. 듀얼 필터로서 제1 서브필터(233-1) 및 제2 서브필터(233-2)를 구비함으로써, 각각의 슬롯에서 도어의 개폐 여부를 결정하고, 각각의 필터를 독립적으로 구동할 수 있게 된다. 실제 단면적이 동일한 경우에도 복수의 영역으로 구분하여, 건조공기 내의 파티클 농도, 습도 등을 고려하여 일부 영역에 대해서만 선택적으로 도어를 개방하여 필터링을 수행함으로써, EFEM 내부 공기의 상태 변화에 즉각적으로 대응할 수 있다.
제2 필터(233)의 복수의 영역은 건조공기의 순환로에 배치된 도어(232)에 의해 개방 또는 차단될 수 있다. 도어(232)는 건조공기의 유량을 제어할 수 있고, 건조공기의 통과 여부를 제어할 수 있다.
도어(232)는 제1 서브도어(232-1) 및 제2 서브도어(232-2)에 의해 개방 또는 차단될 수 있고, 이로 인해 송풍기(231)에서 전달되는 건조공기의 유로를 형성할 수 있다. 도 4와 같이, 제1 서브도어(232-1) 및 차단구조체(234)에 의해 제1 서브필터(233-1)에는 건조공기가 통과하지 않고, 제2 서브필터(233-2)에만 건조공기가 통과하여 필터링 동작을 수행할 수 있다. 도 5에서는 제2 서브도어(232-2) 및 차단구조체(234)에 의해 제2 서브필터(233-2)에는 건조공기가 통과하지 않고, 제1 서브필터(233-1)에만 건조공기가 통과하여 필터링 동작을 수행할 수 있다.
송풍기(231)는 흡착부를 통과하는 건조공기를 당기기 위해 활용되거나, 흡착부를 통과하는 건조공기를 밀어내기 위해 활용될 수 있다. 예를 들어, 송풍기(231)는 흡착부의 상부 및 제2 필터(233)의 하부 사이에 배치될 수 있으나, 송풍기(233)는 제2 필터(233)의 상부에 배치될 수 있다. 송풍기(231)를 배치함으로써 공기의 자연 순환 속도보다 빠르게 필터링 동작을 수행할 수 있게 된다.
송풍기(231)는 흡착부를 통과하는 건조공기를 제1 방향-예를 들어, 제1 서브필터(233-1) 방향, 좌측 방향- 또는 제2 방향-예를 들어, 제2 서브필터(233-2) 방향, 우측 방향-으로 선택적으로 전달할 수 있다.
송풍기(231)의 동작 제어 타이밍은 상기 도어의 개폐 타이밍에 대응될 수 있고, 제어장치(미도시) 등에 의해 수행될 수 있다. 제어장치(미도시)는 PC 또는 프로세서 등과 같은 연산이 가능한 매체일 수 있다.
도어(232)의 단면적은 제2 필터(233)의 분할된 각 영역의 크기에 대응될 수 있다. 실제 도어(232)의 단면적과 제2 필터(233)의 영역별 크기는 동일할 수 있으나, 밀폐 정도 및 도어의 이격 정도를 고려하여 도어의 단면적을 필터의 단면적보다 더 크게 설정할 수 있다.
또한, 도어(232)는 슬라이딩 방식으로 제2 필터의 각 영역의 건조공기 순환을 선택적으로 차단하도록 설계되어, 공간 활용도를 증대시킬 수 있다. 만약, 2개의 서브필터 각각에 대해 도어를 배치하는 경우 공간상 제약이 발생할 수 있으므로, 하나의 도어의 좌우 슬라이딩에 의해 필터의 개폐를 선택적으로 조절할 수 있다. 이 경우, 슬라이딩에 의해 슬롯별로 배치된 복수의 필터의 동작 순서 및 동작 여부를 결정할 수 있다. 예를 들어, 도 4의 제1 서브도어(232-1) 및 도 5의 제2 서브도어(232-2)는 별개의 도어일 수 있으나, 일 실시예에 의한 도어가 슬라이딩 방식의 도어인 경우에는 하나의 도어로 정의될 수 있다.
제2 필터(233)의 각 영역은 분리 가능한 별개의 필터로 구성되고, 일 영역에 배치된 필터의 교체를 수행하는 동안 타 영역에 배치된 필터의 건조공기 정화 동작을 지속할 수 있다.
제2 필터(233)의 각 영역은 차단구조체(234)에 의해 공간적으로 분리될 수 있다. 이러한 방법을 통해 일부 필터의 교체 과정에서도 공간적으로 분리된 다른 필터의 필터링 동작에 의해 파티클 등을 효과적으로 제거할 수 있다.
제2 필터(233)를 통과한 건조공기는 EFEM으로 재투입되어 기 설정된 습도조건에 도달할 때까지 반복 순환에 의한 제습을 수행할 수 있다.
제2 필터(233)는 2개의 필터가 결합된 것일 수 있고, 이는 듀얼 필터로 정의될 수 있으며, 제2 필터를 형성하는 서브 필터의 개수는 이에 제한되지 않는다.
일 실시예에 따라 듀얼 필터를 형성함에 따라 단면적이 감소하게 되는 문제점이 발생하는 경우, 단일 필터를 사용하는 경우보다 필터 및 송풍기의 사이즈를 증가시킬 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 실시예에 의하면, 발명의 배경이 되는 기술에서 언급한 문제들을 해결하거나 최소한 그러한 문제를 완화시켜줄 수 있다.
이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥 상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과 한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (13)

  1. EFEM(Equipment Front End Module)으로 공기를 필터링하여 투입하는 공기정화장치에 있어서,
    상기 EFEM으로부터 공급받은 공기를 필터링하는 제1 필터;
    상기 제1 필터를 통과한 공기에 포함된 수분 및 이물질을 흡착하여 제거하는 흡착부;
    상기 흡착부와 결합되어, 공기를 송풍하는 송풍기; 및
    상기 송풍기에 의해 송풍되는 공기를 필터링하고, 복수의 영역으로 분할된 제2 필터를 포함하고,
    상기 제2 필터의 복수의 영역은 공기의 순환로에 배치된 도어에 의해 개방 또는 차단되는, 공기정화장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 필터는 상기 EFEM의 하부에서 전달되는 공기에 포함된 흄(FUME)을 제거하는, 공기정화장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 흡착부는, 제1 유로와 연결된 제1 흡착제; 및
    제2 유로와 연결된 제2 흡착제를 포함하고,
    상기 제1 필터에서 공급되는 공기는 상기 제1 유로 또는 상기 제2 유로에 선택적으로 공급되는, 공기정화장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1 흡착제가 재생되는 동안 상기 제2 흡착제는 흡착 동작을 수행하고,
    상기 제1 흡착제가 흡착 동작을 수행하는 동안 상기 제2 흡착제는 재생되는, 공기정화장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 흡착부는, 공기의 습도가 기준습도값 이하인 경우에는 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로로 공기를 통과시키지 않고, 흡착제를 통과하지 않는 제3 유로로 공기를 바이패스시키는, 공기정화장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 송풍기는 상기 흡착부를 통과하는 공기를 제1 방향 또는 제2 방향으로 선택적으로 전달하는, 공기정화장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 송풍기는 상기 제2 필터의 제1 영역을 통과하도록 공기를 제어하거나, 또는 상기 제2 필터의 제2 영역을 통과하도록 공기를 제어하는, 공기정화장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 송풍기의 동작 제어 타이밍은 상기 도어의 개폐 타이밍에 대응되는, 공기정화장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 도어의 단면적은 상기 제2 필터의 분할된 각 영역의 크기에 대응되고, 상기 도어는 슬라이딩 방식으로 상기 제2 필터의 각 영역의 공기 순환을 선택적으로 차단하는, 공기정화장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 필터의 각 영역은 분리 가능한 별개의 필터로 구성되고, 일 영역에 배치된 필터의 교체를 수행하는 동안 타 영역에 배치된 필터의 공기 정화 동작을 지속하는, 공기정화장치.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 제2 필터의 각 영역은 차단구조체에 의해 공간적으로 분리되는, 공기정화장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제2 필터를 통과한 공기는 상기 EFEM으로 재투입되어 기 설정된 습도조건에 도달할 때까지 반복 순환에 의한 제습을 수행하는, 공기정화장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 필터는 2개의 필터가 결합된 것인, 공기정화장치.
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