KR20240051699A - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 Download PDF

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KR20240051699A
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안병인
김태용
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Abstract

본 발명은 내장형 듀얼 아답터를 이용하여 하나의 로드 포트 모듈로도 듀얼 로더의 기능을 수행할 수 있어서 장비의 활용도를 높이고 장비의 밑면적을 최소화할 수 있게 하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것으로서, 제 1 기판들이 수용된 제 1 용기가 로딩되는 로드 포트 모듈; 상기 제 1 용기로부터 상기 제 1 기판들을 이송하는 트랜스퍼 로봇; 상기 트랜스퍼 로봇에 의해서 이송된 상기 제 1 기판들을 임시 수용하는 제 1 아답터 영역; 상기 로드 포트 모듈로부터 상기 제 1 용기가 탈거된 이후, 상기 로드 포트 모듈에 로딩된 제 2 용기로부터 상기 트랜스퍼 로봇에 의해 이송된 제 2 기판들을 임시 수용하는 제 2 아답터 영역; 및 상기 제 1 아답터 영역에 임시 수용되었다가 공정을 마친 상기 제 1 기판들이 비어 있는 상기 제 2 용기에 수용될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇으로 제 1 기판 이송 제어 신호를 인가하는 제어부;를 포함할 수 있다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{Apparatus and method for processing substrate}
본 발명은 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 내장형 듀얼 아답터를 이용하여 하나의 로드 포트 모듈로도 듀얼 로더의 기능을 수행할 수 있어서 장비의 활용도를 높이고 장비의 밑면적을 최소화할 수 있게 하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 등의 기판에 대한 전기적인 검사 공정을 수행하는 프로버(Prober) 설비는, 예컨대 카세트, 전면 개방 일체식 포드(FOUP, Front Open Unified Pod), 전면 개방 운반 박스(FOSB, Front Opening Shipping Box) 등의 용기가 안착되는 로드 포트 모듈(Load Port Module)과, 로드 포트 모듈로부터 기판들을 이송하는 트랜스퍼 로봇 및 복수개의 탐침을 갖는 프로브 카드를 이용하여 이송된 기판에 대한 전기적인 검사 공정을 수행하는 검사 모듈 등이 설치될 수 있다.
종래의 프로버 설비는 로드 포트 모듈에 적재된 제 1 용기의 내부에 수용되었던 제 1 기판이 검사를 마친 후에 다시 제 1 용기로 복귀되는 일명 컴백홈(come back home) 방식으로 운용되고 있다.
그러나, 이러한 컴백홈 방식의 프로버 설비는 기판들이 원래 수용되었던 용기로 복귀되는 동안에 용기가 반드시 로드 포트 모듈에 머물러야 하기 때문에 용기의 정체 현상이 심하게 발생되어 생산성이 크게 떨어지는 문제점이 있었고, 이를 극복하기 위해서 2개 이상의 용기가 적재될 수 있도록 2개 이상의 로드 포트 모듈이 설치된 일명 듀얼 로더(Dual Loader)가 적용된다 하더라도 장비의 밑면적(Foot print)이 넓어지고, 로드 포트 모듈의 추가 설치로 인한 비용이 크게 증대되며, 소모되는 용기의 개수가 크게 증대되고, 기판의 내부 이송 경로, 즉 로딩 및 언로딩 경로가 매우 복잡해지는 등 많은 문제점들이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 기판들이 원래 수용되었던 용기로 복귀하지 않고, 다음 용기로 복귀할 수 있게 하고, 내부에 내장형 듀얼 아답터를 이용하여 하나의 로드 포트 모듈로도 듀얼 로더의 기능을 수행할 수 있어서 장비의 활용도를 높이고 장비의 밑면적을 최소화할 수 있게 하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 기판 처리 장치는, 제 1 기판들이 수용된 제 1 용기가 로딩되는 로드 포트 모듈; 상기 제 1 용기로부터 상기 제 1 기판들을 이송하는 트랜스퍼 로봇; 상기 트랜스퍼 로봇에 의해서 이송된 상기 제 1 기판들을 임시 수용하는 제 1 아답터 영역; 상기 로드 포트 모듈로부터 상기 제 1 용기가 탈거된 이후, 상기 로드 포트 모듈에 로딩된 제 2 용기로부터 상기 트랜스퍼 로봇에 의해 이송된 제 2 기판들을 임시 수용하는 제 2 아답터 영역; 및 상기 제 1 아답터 영역에 임시 수용되었다가 공정을 마친 상기 제 1 기판들이 비어 있는 상기 제 2 용기에 수용될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇으로 제 1 기판 이송 제어 신호를 인가하는 제어부;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제어부는, 상기 로드 포트 모듈로부터 상기 제 2 용기가 탈거된 이후, 상기 로드 포트 모듈에 로딩된 제 3 용기로부터 제 3 기판들을 비어 있는 상기 제 1 아답터 영역으로 이송될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇에 제 3 기판 이송 제어 신호를 인가할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제어부는, 상기 제 2 아답터 영역에 임시 수용되었다가 공정을 마친 상기 제 2 기판들이 비어 있는 상기 제 3 용기에 수용될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇으로 제 2 기판 이송 제어 신호를 인가할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제어부는, 상기 로드 포트 모듈로부터 상기 제 2 용기가 탈거되고, 비어 있는 상기 제 1 용기가 재로딩된 이후, 상기 제 2 아답터 영역에 임시 수용되었다가 공정을 마친 상기 제 2 기판들이 상기 제 1 용기로 이송될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇에 제 2 기판 이송 제어 신호를 인가할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 로드 포트 모듈은, 장비의 밑면적을 줄이기 위해서 한번에 1개의 용기만 안착될 수 있는 싱글 타입의 로드 포트 모듈일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 트랜스퍼 로봇은, 상기 로드 포트 모듈에 안착된 상기 제 1 용기의 높이에서 상기 제 1 아답터 영역의 높이 또는 상기 제 2 아답터 영역의 높이까지 승하강될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 장비의 밑면적을 줄이기 위해서 상기 제 1 아답터 영역과 상기 제 2 아답터 영역은 수직 방향으로 배치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 복수개의 탐침을 갖는 프로브 카드를 이용하여 상기 기판에 대한 전기적인 검사 공정을 수행하는 검사 모듈;을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 트랜스퍼 로봇은, 상기 제 1 아답터 영역에 수용된 상기 제 1 기판들을 상기 검사 모듈로 이송하고, 검사 공정을 모두 마친 상기 제 1 기판을 상기 제 1 아답터 영역으로 재수용하거나, 또는 상기 제 2 아답터 영역에 수용된 상기 제 2 기판들을 상기 검사 모듈로 이송하고, 검사 공정을 모두 마친 상기 제 2 기판을 상기 제 2 아답터 영역으로 재수용할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 기판 또는 상기 제 2 기판은 웨이퍼이고, 상기 제 1 용기 또는 상기 제 2 용기는 적어도 카세트, 전면 개방 일체식 포드(FOUP, Front Open Unified Pod), 전면 개방 운반 박스(FOSB, Front Opening Shipping Box) 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 아답터 영역은, 적어도 상기 제 1 용기의 상기 제 1 기판의 최대 수용 개수 이상의 기판을 수용할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 아답터 영역은, 회전 장치에 의해 회전되거나 또는 승하강 장치에 의해 승하강될 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 기판 처리 방법은, (a) 제 1 기판들이 수용된 제 1 용기가 로드 포트 모듈에 1차로 로딩되는 단계; (b) 트랜스퍼 로봇이 상기 제 1 용기로부터 제 1 아답터 영역으로 상기 제 1 기판들을 이송하는 단계; (c) 상기 제 1 용기가 상기 로드 포트 모듈로부터 탈거되는 단계; (d) 제 2 기판들이 수용된 제 2 용기가 상기 로드 포트 모듈에 2차로 로딩되는 단계; (e) 상기 트랜스퍼 로봇이 상기 제 2 용기로부터 제 2 아답터 영역으로 상기 제 2 기판들을 이송하는 단계; 및 (f) 상기 트랜스퍼 로봇이 공정을 마친 상기 제 1 아답터 영역의 상기 제 1 기판들을 비어 있는 상기 제 2 용기로 이송하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 (f) 단계 이후에, (g) 상기 제 2 용기가 상기 로드 포트 모듈로부터 탈거되는 단계; (h) 제 3 기판들이 수용된 제 3 용기가 상기 로드 포트 모듈에 3차로 로딩되는 단계; 및 (i) 상기 트랜스퍼 로봇이 상기 제 3 용기로부터 제 3 기판들을 비어 있는 상기 제 1 아답터 영역으로 이송하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 (i) 단계 이후에, (j) 상기 트랜스퍼 로봇이 공정을 마친 상기 제 2 아답터 영역의 상기 제 2 기판들을 비어 있는 상기 제 3 용기로 이송하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 (f) 단계 이후에, (k) 상기 제 2 용기가 상기 로드 포트 모듈로부터 탈거되는 단계; (l) 비어 있는 상기 제 1 용기가 상기 로드 포트 모듈로 재로딩되는 단계; 및 (m) 상기 트랜스퍼 로봇이 공정을 마친 상기 제 2 아답터 영역의 상기 제 2 기판들을 상기 제 1 용기로 이송하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 (b) 단계에서, 상기 트랜스퍼 로봇은 상기 로드 포트 모듈에 안착된 상기 제 1 용기의 높이에서 상기 제 1 아답터 영역의 높이로 승하강되고, 상기 (e) 단계에서, 상기 트랜스퍼 로봇은 상기 로드 포트 모듈에 안착된 상기 제 2 용기의 높이에서 상기 제 2 아답터 영역의 높이로 승하강될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 (b) 단계 이후에, (n) 검사 모듈에서 복수개의 탐침을 갖는 프로브 카드를 이용하여 상기 제 1 아답터 영역의 상기 제 1 기판에 대한 전기적인 검사 공정을 수행하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 (n) 단계에서, 상기 트랜스퍼 로봇은, 상기 제 1 아답터 영역에 수용된 상기 제 1 기판들을 상기 검사 모듈로 이송하고, 검사 공정을 모두 마친 상기 제 1 기판을 상기 제 1 아답터 영역으로 재수용할 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 기판 처리 장치는, 제 1 기판들이 수용된 제 1 용기가 로딩되는 로드 포트 모듈; 상기 제 1 용기로부터 상기 제 1 기판들을 이송하는 트랜스퍼 로봇; 상기 트랜스퍼 로봇에 의해서 이송된 상기 제 1 기판들을 임시 수용하는 제 1 아답터 영역; 상기 로드 포트 모듈로부터 상기 제 1 용기가 탈거된 이후, 상기 로드 포트 모듈에 로딩된 제 2 용기로부터 상기 트랜스퍼 로봇에 의해 이송된 제 2 기판들을 2차로 임시 수용하는 제 2 아답터 영역; 및 상기 제 1 아답터 영역에 임시 수용되었다가 공정을 마친 상기 제 1 기판들이 비어 있는 상기 제 2 용기에 수용될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇으로 제 1 기판 이송 제어 신호를 인가하는 제어부;를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 로드 포트 모듈로부터 상기 제 2 용기가 탈거된 이후, 상기 로드 포트 모듈에 로딩된 제 3 용기로부터 제 3 기판들을 비어 있는 상기 제 1 아답터 영역으로 이송될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇에 제 3 기판 이송 제어 신호를 인가하고, 상기 제 2 아답터 영역에 임시 수용되었다가 공정을 마친 상기 제 2 기판들이 비어 있는 상기 제 3 용기에 수용될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇으로 제 2 기판 이송 제어 신호를 인가하거나, 또는, 상기 제어부는, 상기 로드 포트 모듈로부터 상기 제 2 용기가 탈거되고, 비어 있는 상기 제 1 용기가 재로딩된 이후, 상기 제 2 아답터 영역에 임시 수용되었다가 공정을 마친 상기 제 2 기판들이 상기 제 1 용기로 이송될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇에 제 2 기판 이송 제어 신호를 인가할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 여러 실시예들에 따르면, 기판들이 원래 수용되었던 용기로 복귀하지 않고, 다음 용기로 복귀할 수 있게 하고, 내부에 내장형 듀얼 아답터를 이용하여 하나의 로드 포트 모듈로도 듀얼 로더의 기능을 수행할 수 있어서 장비의 활용도를 높이고 장비의 밑면적을 최소화할 수 있으며, 용기의 정체 현상을 방지하여 생산성이 크게 향상시키고, 모듈의 추가 설치로 인한 비용 낭비를 방지할 수 있으며, 소모되는 용기의 개수를 줄일 수 있고, 기판의 내부 이송 경로, 즉 로딩 및 언로딩 경로를 단순화시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 외관 사시도이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치를 나타내는 평단면도이다.
도 3은 도 1의 기판 처리 장치를 나타내는 정단면도이다.
도 4 내지 도 11은 도 1의 기판 처리 장치의 작동 과정을 순서에 따라 단계적으로 나타내는 측단면도들이다.
도 12는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 방법을 나타내는 순서도이다.
도 13은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 기판 처리 방법을 나타내는 순서도이다.
도 14는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 기판 처리 방법을 나타내는 순서도이다.
도 15는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 기판 처리 방법을 나타내는 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)를 나타내는 외관 사시도이고, 도 2는 도 1의 기판 처리 장치(100)를 나타내는 평단면도이고, 도 3은 도 1의 기판 처리 장치(100)를 나타내는 정단면도이고, 도 4는 도 1의 기판 처리 장치(100)를 나타내는 측단면도이다.
먼저, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는, 크게 로드 포트 모듈(10)(Load Port Module)과, 트랜스퍼 로봇(20)(Transfer robot)과, 듀얼 아답터(Dual adapter)와, 제어부(30) 및 검사 모듈(40)을 포함할 수 있다.
예컨대, 로드 포트 모듈(10)은, 제 1 기판(W1)들이 수용된 제 1 용기(C1)가 1차로 로딩되는 모듈로서, 제 1 용기(C1)의 밑면과 대응되는 로드 포트 스테이지나, 제 1 용기(C1)의 개방이 가능한 전면과 대응되는 셔터 등이 설치될 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 로드 포트 모듈(10)은, 장비의 밑면적을 줄이기 위해서 한번에 1개의 용기만 안착될 수 있는 싱글 타입의 로드 포트 모듈일 수 있다.
그러나, 이러한 로드 포트 모듈(10)은 싱글 타입의 로드 포트 모듈에만 반드시 국한되지 않는 것으로서, 이외에도 듀얼 타입이나 그 이상의 로드 포트 모듈 등이 적용될 수 있다.
따라서, 로드 포트 모듈(10)을 이용하여 기판을 수용한 용기들이 1개씩 차례 차례로 장치에 로딩 및 언로딩될 수 있다.
또한, 예컨대, 트랜스퍼 로봇(20)은, 제 1 용기(C1)로부터 제 1 기판(W1)들을 듀얼 아답터나 검사 모듈(40)로 이송할 수 있는 일종의 이송 장치로서, 로드 포트 모듈(10)과 듀얼 아답터 사이, 또는 로드 포트 모듈(10)과 검사 모듈(40) 사이에 설치될 수 있다.
이러한 트랜스퍼 로봇(20)은 도면에 반드시 국한되지 않는 것으로서, 이송암 등을 이용하여 기판의 밑면을 들어 올린 후에 원하는 장소로 이송할 수 있는 매우 다양한 형태의 로봇이나 이송 장치들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 듀얼 아답터는, 적어도 2개 이상의 용기 내부에 수용되었던 모든 기판들을 수용할 수 있는 용량을 가진 일종의 장치 내부의 버퍼나 스테이지 구조체일 수 있다.
예를 들면, 용기 내부에 최대 25장의 기판들이 수용되는 경우, 듀얼 아답터는 50장 이상의 기판들이 수용되게 내부 용량을 형성할 수 있다.
더욱 구체적으로는, 듀얼 아답터는, 트랜스퍼 로봇(20)에 의해서 이송된 제 1 기판(W1)들을 1차로 임시 수용하는 제 1 아답터 영역(A) 및 로드 포트 모듈(10)로부터 제 1 용기(C1)가 탈거된 이후, 로드 포트 모듈(10)에 2차로 로딩된 제 2 용기(C2)로부터 트랜스퍼 로봇(20)에 의해 이송된 제 2 기판(W2)들을 2차로 임시 수용하는 제 2 아답터 영역(B)을 포함할 수 있다.
여기서, 제 1 아답터 영역(A)과 제 2 아답터 영역(B)은 하나의 몸체에 일체로 형성되거나, 또는 각각 별도의 몸체에 설치될 수 있는 것으로서, 제 1 아답터 영역(A) 또는 제 2 아답터 영역(B)은, 각각 또는 일체로 회전 장치(50)에 의해 회전되거나 또는 승하강 장치(60)에 의해 승하강될 수 있다.
예를 들면, 제 1 아답터 영역(A)은, 적어도 제 1 용기(C1)의 제 1 기판(W1)의 최대 수용 개수 이상의 기판을 수용할 수 있고, 제 2 아답터 영역(B) 역시, 적어도 제 2 용기(C2)의 제 2 기판(W2)의 최대 수용 개수 이상의 기판을 수용할 수 있는 것으로서, 예컨대, 용기 내부에 최대 25장의 기판들이 수용되는 경우, 제 1 아답터 영역(A)에는 25장 이상의 기판들이 수용되게 내부 용량을 형성할 수 있고, 제 2 아답터 영역(B) 역시 25장 이상의 기판들이 수용되게 내부 용량을 형성할 수 있다.
따라서, 이러한 듀얼 아답터를 이용하면, 로드 포트 모듈(10)에 로딩된 제 1 용기(C1) 내부에 수용되었던 제 1 기판(W1)들을 제 1 아답터 영역(A)으로 모두 이송한 다음, 로드 포트 모듈(10)로부터 제 1 용기(C1)를 탈거한 후, 로드 포트 모듈(10)에 제 2 용기(C2)를 로딩하고, 제 2 용기(C2) 내부에 수용되었던 제 2 기판(W2)들을 제 2 아답터 영역(B)으로 모두 이송할 수 있다.
또한, 예컨대, 제어부(30)는, 로드 포트 모듈(10)과, 트랜스퍼 로봇(20)과, 듀얼 아답터 및 검사 모듈(40)에 제어 신호를 인가하여 제어할 수 있는 제어 회로, 제어 기판, 연산 장치, 중앙 처리 장치, 프로그램이 내장된 저장 장치, 마이크로프로세서, 집적 회로, 반도체 칩, 전자 부품, 제어반, 제어 패널, 전자 통신 단말기, 스마트폰, 스마트패드, 컴퓨터, 서버 컴퓨터, 스마트기기 등의 각종 제어 장치일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 제어부(30)는 제 1 아답터 영역(A)에 임시 수용되었다가 공정을 마친 제 1 기판(W1)들이 비어 있는 제 2 용기(C2)에 수용될 수 있도록 트랜스퍼 로봇(20)으로 제 1 기판 이송 제어 신호를 인가할 수 있다.
또한, 예컨대, 제어부(30)는, 로드 포트 모듈(10)로부터 제 2 용기(C2)가 탈거된 이후, 로드 포트 모듈(10)에 3차로 로딩된 제 3 용기(C3)로부터 제 3 기판(W3)들을 비어 있는 제 1 아답터 영역(A)으로 이송될 수 있도록 트랜스퍼 로봇(20)에 제 3 기판 이송 제어 신호를 인가할 수 있다.
또한, 예컨대, 제어부(30)는, 제 2 아답터 영역(B)에 임시 수용되었다가 공정을 마친 제 2 기판(W2)들이 비어 있는 제 3 용기(C3)에 수용될 수 있도록 트랜스퍼 로봇(20)으로 제 2 기판 이송 제어 신호를 인가할 수 있다.
또한, 예컨대, 제어부(30)는, 로드 포트 모듈(10)로부터 제 2 용기(C2)가 탈거되고, 비어 있는 제 1 용기(C1)가 재로딩된 이후, 제 2 아답터 영역(B)에 임시 수용되었다가 공정을 마친 제 2 기판(W2)들이 제 1 용기(C1)로 이송될 수 있도록 트랜스퍼 로봇(20)에 제 2 기판 이송 제어 신호를 인가할 수 있다.
이러한 제어부(30)에 의해 제어되는 트랜스퍼 로봇(20)은, 로드 포트 모듈(10)에 안착된 제 1 용기(C1)의 높이에서 제 1 아답터 영역(A)의 높이 또는 제 2 아답터 영역(B)의 높이까지 승하강될 수 있다.
여기서, 장비의 밑면적을 줄이기 위해서 상기 제 1 아답터 영역(A)과 상기 제 2 아답터 영역(B)은 수직 방향으로 배치될 수 있다.
한편, 예컨대, 검사 모듈(40)은 복수개의 탐침(41)을 갖는 프로브 카드(42)를 이용하여 상기 기판에 대한 전기적인 검사 공정을 수행하는 검사 장치일 수 있다.
따라서, 트랜스퍼 로봇(20)은, 제 1 아답터 영역(A)에 수용된 제 1 기판(W1)들을 검사 모듈(40)로 이송하고, 검사 공정을 모두 마친 제 1 기판(W1)을 제 1 아답터 영역(A)으로 재수용할 수 있고, 제 2 아답터 영역(B)에 수용된 제 2 기판(W2)들을 검사 모듈(40)로 이송하고, 검사 공정을 모두 마친 제 2 기판(W2)을 제 2 아답터 영역(B)으로 재수용할 수 있다.
여기서, 예컨대, 제 1 기판(W1), 제 2 기판(W2) 및 제 3 기판(W3)은 웨이퍼이고, 제 1 용기(C1), 제 2 용기(C2) 및 제 3 용기(C3)는 적어도 카세트, 전면 개방 일체식 포드(FOUP, Front Open Unified Pod), 전면 개방 운반 박스(FOSB, Front Opening Shipping Box) 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
도 4 내지 도 11은 도 1의 기판 처리 장치(100)의 작동 과정을 순서에 따라 단계적으로 나타내는 측단면도들이다.
도 4 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)의 작동 과정을 보다 상세하게 단계적으로 설명하면, 먼저, 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 기판(W1)들이 수용된 제 1 용기(C1)가 로드 포트 모듈(10)에 1차로 로딩될 수 있다.
이 때, 제 1 아답터 영역(A)과 제 2 아답터 영역(B)은 모두 비어 있을 수 있다.
이어서, 도 5에 도시된 바와 같이, 트랜스퍼 로봇(20)이 제 1 용기(C1)로부터 제 1 아답터 영역(A)으로 제 1 기판(W1)들을 이송할 수 있다.
이 때, 트랜스퍼 로봇(20)은 로드 포트 모듈(10)에 안착된 제 1 용기(C1)의 높이에서 제 1 아답터 영역(A)의 높이로 승하강되면서 제 1 기판(W1)을 이송할 수 있다.
여기서, 제 1 아답터 영역(A)은 상부에 설치되어 있고, 제 2 아답터 영역(B)은 하부에 설치되어 있는 것으로 도시되어 있지만, 이에 반드시 국한되지 않는 것으로서, 반대로 제 1 아답터 영역(A)이 하부에 설치되고, 제 2 아답터 영역(B)이 상부에 설치되는 등 매우 다양한 형태로 설치될 수 있다.
이 때, 도 3에 도시된 바와 같이, 제 1 검사 모드가 시작될 수 있는 것으로서, 트랜스퍼 로봇(20)이 제 1 아답터 영역(A)의 제 1 기판(W1)을 검사 모듈(40)로 이송할 수 있고, 검사 모듈(40)에서 복수개의 탐침(41)을 갖는 프로브 카드(42)를 이용하여 제 1 아답터 영역(A)의 제 1 기판(W1)에 대한 전기적인 검사 공정을 수행할 수 있다.
이어서, 도 6에 도시된 바와 같이, 비어 있는 상태인 제 1 용기(C1)가 로드 포트 모듈(10)로부터 탈거될 수 있고, 제 2 기판(W2)들이 수용된 새로운 제 2 용기(C2)가 로드 포트 모듈(10)에 2차로 로딩될 수 있다.
이어서, 도 7에 도시된 바와 같이, 트랜스퍼 로봇(20)이 제 2 용기(C2)로부터 제 2 아답터 영역(B)으로 제 2 기판(W2)들을 이송할 수 있다.
이 때, 트랜스퍼 로봇(20)은 로드 포트 모듈(10)에 안착된 제 2 용기(C2)의 높이에서 제 2 아답터 영역(B)의 높이로 승하강되면서 제 2 기판(W2)들을 이송할 수 있다.
이 때, 도 3에 도시된 바와 같이, 제 2 검사 모드가 시작될 수 있는 것으로서, 트랜스퍼 로봇(20)이 제 2 아답터 영역(B)의 제 2 기판(W2)을 검사 모듈(40)로 이송할 수 있고, 검사 모듈(40)에서 복수개의 탐침(41)을 갖는 프로브 카드(42)를 이용하여 제 2 아답터 영역(B)의 제 2 기판(W2)에 대한 전기적인 검사 공정을 수행할 수 있다.
여기서, 트랜스퍼 로봇(20)은, 제 1 아답터 영역(A)에 수용된 제 1 기판(W1)들을 검사 모듈(40)로 이송하고, 검사 공정을 모두 마친 제 1 기판(W1)을 제 1 아답터 영역(A)으로 재수용할 수 있다.
이어서, 도 8에 도시된 바와 같이, 트랜스퍼 로봇(20)이 공정을 마친 상기 제 1 아답터 영역(A)의 제 1 기판(W1)들을 비어 있는 제 2 용기(C2)로 이송할 수 있다.
즉, 검사를 마친 제 1 기판(W1)은 원래 수용되었던 제 1 용기(C1)로 컴백홈 방식으로 복귀하지 않고, 그 대신에 제 1 기판(W1)은 새로운 제 2 용기(C1)에 수용될 수 있다.
이어서, 도 9에 도시된 바와 같이, 제 2 용기(C2)가 로드 포트 모듈(10)로부터 탈거되고, 제 3 기판(W3)들이 수용된 새로운 제 3 용기(C3)가 로드 포트 모듈(10)에 3차로 로딩될 수 있다.
이어서, 도 10에 도시된 바와 같이, 트랜스퍼 로봇(20)이 제 3 용기(C3)로부터 제 3 기판(W3)들을 비어 있는 상기 제 1 아답터 영역(A)으로 이송할 수 있다.
이어서, 도 11에 도시된 바와 같이, 트랜스퍼 로봇(20)이 공정을 마친 제 2 아답터 영역(B)의 제 2 기판(W2)들을 비어 있는 제 3 용기(C3)로 이송할 수 있다.
따라서, 최초의 제 1 용기(C1)는 비어 있을 수 있지만, 최종적으로 제 1 기판(W1)은 제 2 용기(C2)에 수용될 수 있고, 제 2 기판(W2)은 제 3 용기(C3)에 수용될 수 있는 등 이러한 과정이 후속 공정에서도 지속적으로 이어질 수 있다.
한편, 용기와 기판의 규격이 항상 일치해야 하는 경우, 도 9에 도시된 바와 같이, 제 2 용기(C2)가 로드 포트 모듈(10)로부터 탈거된 다음, 비어 있던 제 1 용기(C1)가 로드 포트 모듈(10)로 재로딩될 수 있다.
따라서, 트랜스퍼 로봇(20)이 공정을 마친 제 2 아답터 영역(B)의 제 2 기판(W2)들을 제 1 용기(C1)로 이송하는 것도 가능하다.
즉, 이 경우에는 최종적으로 제 1 용기(C1)에 제 2 기판(W2)이 수용되고, 제 2 용기(C2)에 제 1 기판(W1)이 수용될 수 있다.
그러므로, 본 발명에 의하면, 기판들이 원래 수용되었던 용기로 복귀하지 않고, 다음 용기로 복귀할 수 있게 하고, 내부에 내장형 듀얼 아답터를 이용하여 하나의 로드 포트 모듈(10)로도 듀얼 로더의 기능을 수행할 수 있어서 장비의 활용도를 높이고 장비의 밑면적을 최소화할 수 있으며, 용기의 정체 현상을 방지하여 생산성이 크게 향상시키고, 모듈의 추가 설치로 인한 비용 낭비를 방지할 수 있으며, 소모되는 용기의 개수를 줄일 수 있고, 기판의 내부 이송 경로, 즉 로딩 및 언로딩 경로를 단순화시킬 수 있다.
도 12는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 방법을 나타내는 순서도이다.
도 1 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 방법은, (a) 제 1 기판(W1)들이 수용된 제 1 용기(C1)가 로드 포트 모듈(10)에 1차로 로딩되는 단계와, (b) 트랜스퍼 로봇(20)이 상기 제 1 용기(C1)로부터 제 1 아답터 영역(A)으로 상기 제 1 기판(W1)들을 이송하는 단계와, (n) 검사 모듈(40)에서 복수개의 탐침(41)을 갖는 프로브 카드(42)를 이용하여 상기 제 1 아답터 영역(A)의 상기 제 1 기판(W1)에 대한 전기적인 검사 공정을 수행하는 단계와, (c) 상기 제 1 용기(C1)가 상기 로드 포트 모듈(10)로부터 탈거되는 단계와, (d) 제 2 기판(W2)들이 수용된 제 2 용기(C2)가 상기 로드 포트 모듈(10)에 2차로 로딩되는 단계와, (e) 상기 트랜스퍼 로봇(20)이 상기 제 2 용기(C2)로부터 제 2 아답터 영역(B)으로 상기 제 2 기판(W2)들을 이송하는 단계와, (f) 상기 트랜스퍼 로봇(20)이 공정을 마친 상기 제 1 아답터 영역(A)의 상기 제 1 기판(W1)들을 비어 있는 상기 제 2 용기(C2)로 이송하는 단계와, (g) 상기 제 2 용기(C2)가 상기 로드 포트 모듈(10)로부터 탈거되는 단계와, (h) 제 3 기판(W3)들이 수용된 제 3 용기(C3)가 상기 로드 포트 모듈(10)에 3차로 로딩되는 단계와, (i) 상기 트랜스퍼 로봇(20)이 상기 제 3 용기(C3)로부터 제 3 기판(W3)들을 비어 있는 상기 제 1 아답터 영역(A)으로 이송하는 단계 및 (j) 상기 트랜스퍼 로봇(20)이 공정을 마친 상기 제 2 아답터 영역(B)의 상기 제 2 기판(W2)들을 비어 있는 상기 제 3 용기(C3)로 이송하는 단계를 포함할 수 있다.
여기서, 예컨대, 상기 (b) 단계에서, 상기 트랜스퍼 로봇(20)은 상기 로드 포트 모듈(10)에 안착된 상기 제 1 용기(C1)의 높이에서 상기 제 1 아답터 영역(A)의 높이로 승하강되고, 상기 (e) 단계에서, 상기 트랜스퍼 로봇(20)은 상기 로드 포트 모듈(10)에 안착된 상기 제 2 용기(C2)의 높이에서 상기 제 2 아답터 영역(B)의 높이로 승하강될 수 있다.
또한, 예컨대, 상기 (n) 단계에서, 상기 트랜스퍼 로봇(20)은, 상기 제 1 아답터 영역(A)에 수용된 상기 제 1 기판(W1)들을 상기 검사 모듈(40)로 이송하고, 검사 공정을 모두 마친 상기 제 1 기판(W1)을 상기 제 1 아답터 영역(A)으로 재수용할 수 있다.
도 13은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 기판 처리 방법을 나타내는 순서도이다.
도 1 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 기판 처리 방법은, (a) 제 1 기판(W1)들이 수용된 제 1 용기(C1)가 로드 포트 모듈(10)에 1차로 로딩되는 단계와, (b) 트랜스퍼 로봇(20)이 상기 제 1 용기(C1)로부터 제 1 아답터 영역(A)으로 상기 제 1 기판(W1)들을 이송하는 단계와, (n) 검사 모듈(40)에서 복수개의 탐침(41)을 갖는 프로브 카드(42)를 이용하여 상기 제 1 아답터 영역(A)의 상기 제 1 기판(W1)에 대한 전기적인 검사 공정을 수행하는 단계와, (c) 상기 제 1 용기(C1)가 상기 로드 포트 모듈(10)로부터 탈거되는 단계와, (d) 제 2 기판(W2)들이 수용된 제 2 용기(C2)가 상기 로드 포트 모듈(10)에 2차로 로딩되는 단계와, (e) 상기 트랜스퍼 로봇(20)이 상기 제 2 용기(C2)로부터 제 2 아답터 영역(B)으로 상기 제 2 기판(W2)들을 이송하는 단계와, (f) 상기 트랜스퍼 로봇(20)이 공정을 마친 상기 제 1 아답터 영역(A)의 상기 제 1 기판(W1)들을 비어 있는 상기 제 2 용기(C2)로 이송하는 단계와, (k) 상기 제 2 용기(C2)가 상기 로드 포트 모듈(10)로부터 탈거되는 단계와, (l) 비어 있는 상기 제 1 용기(C1)가 상기 로드 포트 모듈(10)로 재로딩되는 단계 및 (m) 상기 트랜스퍼 로봇(20)이 공정을 마친 상기 제 2 아답터 영역(B)의 상기 제 2 기판(W2)들을 상기 제 1 용기(C1)로 이송하는 단계를 포함할 수 있다.
도 14는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 기판 처리 방법을 나타내는 순서도이다.
도 14에 도시된 바와 같이, 먼저 카세트 1(제 1 용기)을 로드 포트 모듈(LPM)에 장착하고(S101), 카세트 1 내 웨이퍼(제 1 기판)을 제 1 아답터(A)(제 1 아답터 영역)로 이동시킬 수 있다(S102).
이어서, 제 1 아답터(A) 내 첫 번째 웨이퍼인지를 판단하고(S103), 첫 번째가 아닌 경우, 웨이퍼들이 모두 제 1 아답터(A)로 이송되었는지를 판단하여(S104) 첫 번째인 경우, 스테이지(검사 모듈)에서 양산(검사)를 진행할 수 있고(S105), 모두 이송된 경우, 카세트 1(제 1 용기) 내 웨이퍼(제 1 기판) 이동을 완료할 수 있다(S106).
이어서, 카세트 1(제 1 용기) 탈거 후, 카세트 2(제 2 용기)를 장착하고(S107), 카세트 2 내 웨이퍼(제 2 기판)을 제 2 아답터(B)(제 2 아답터 영역)로 이동시킬 수 있다(S108).
이어서, 카세트 2(제 2 용기) 내 웨이퍼(제 2 기판)이 모두 제 2 아답터(B)로 이동하였나를 판단하여(S109) 카세트 2(제 2 용기) 내 웨이퍼(제 2 기판) 이동을 완료할 수 있다(S110).
이어서, 테스트가 완료된 제 1 아답터(A)의 웨이퍼(제 1 기판)을 카세트 2(제 2 용기)로 이동할 수 있다(S111).
이어서, 제 2 아답터(B) 내 웨이퍼(제 2 기판)가 카세트 2(제 2 용기)로 모두 이동되었는지를 판단하여(S112) 카세트 2(제 2 용기)로 작업 완료 후, 카세트 2(제 2 용기)를 언로딩할 수 있다(S113).
이어서, 카세트 2(제 2 용기) 탈거 후, 카세트 3(제 3 용기)를 장착하고(S114), 카세트 3 내 웨이퍼(제 3 기판)을 제 1 아답터(A)로 이동시킬 수 있다(S115).
이어서, 카세트 3(제 3 용기) 내 웨이퍼(제 3 기판)이 모두 제 1 아답터(A)로 이동하였나를 판단하여(S116) 카세트 3(제 3 용기) 내 웨이퍼(제 3 기판) 이동을 완료할 수 있다(S117).
이어서, 테스트가 완료된 제 2 아답터(B)의 웨이퍼(제 2 기판)을 카세트 3(제 3 용기)로 이동할 수 있다(S118).
이어서, 제 2 아답터(B) 내 웨이퍼(제 2 기판)가 카세트 3(제 3 용기)로 모두 이동되었는지를 판단하여(S119) 카세트 3(제 3 용기)로 작업 완료 후, 카세트 3(제 3 용기)를 언로딩할 수 있다(S120).
이어서, 이러한 과정을 카세트 n까지 연속 동작되게 할 수 있고(S121), 종료 이벤트(Lot end) 발생시 종료할 수 있다(S122).
도 15는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 기판 처리 방법을 나타내는 순서도이다.
도 15에 도시된 바와 같이, 먼저 카세트 1(제 1 용기)을 로드 포트 모듈(LPM)에 장착하고(S201), 카세트 1 내 웨이퍼(제 1 기판)을 제 1 아답터(A)로 이동시킬 수 있다(S202).
이어서, 제 1 아답터(A) 내 첫 번째 웨이퍼인지를 판단하고(S203), 첫 번째가 아닌 경우, 웨이퍼들이 모두 제 1 아답터(A)로 이송되었는지를 판단하여(S204) 첫 번째인 경우, 스테이지(검사 모듈)에서 양산(검사)를 진행할 수 있고(S205), 모두 이송된 경우, 카세트 1(제 1 용기) 내 웨이퍼(제 1 기판) 이동을 완료할 수 있다(S206).
이어서, 카세트 1(제 1 용기) 탈거 후, 카세트 2(제 2 용기)를 장착하고(S207), 카세트 2 내 웨이퍼(제 2 기판)을 제 2 아답터(B)로 이동시킬 수 있다(S208).
이어서, 카세트 2(제 2 용기) 내 웨이퍼(제 2 기판)이 모두 제 2 아답터(B)로 이동하였나를 판단하여(S209) 카세트 2(제 2 용기) 내 웨이퍼(제 2 기판) 이동을 완료할 수 있다(S210).
이어서, 카세트 2(제 2 용기)를 탈거할 수 있다(S211).
이어서, 카세트 1(제 1 용기)를 재장착하고(S212), 테스트가 완료된 제 1 아답터(A)의 웨이퍼(제 2 기판)을 카세트 1(제 1 용기)로 이동할 수 있다(S213).
이어서, 제 1 아답터(A) 내 웨이퍼(제 2 기판)가 카세트 1(제 1 용기)로 모두 이동되었는지를 판단하여(S214) 카세트 1(제 1 용기)로 작업 완료 후, 카세트 1(제 1 용기)을 언로딩할 수 있다(S215).
이어서, 카세트 1(제 1 용기) 탈거 후, 카세트 3(제 3 용기)를 장착하고(S216), 카세트 3 내 웨이퍼(제 3 기판)을 제 1 아답터(A)로 이동시킬 수 있다(S217).
이어서, 카세트 3(제 3 용기) 내 웨이퍼(제 3 기판)이 모두 제 1 아답터(A)로 이동하였나를 판단하여(S218) 카세트 3(제 3 용기) 내 웨이퍼(제 3 기판) 이동을 완료할 수 있다(S219).
이어서, 카세트 3(제 2 용기)를 탈거할 수 있다(S220).
이어서, 카세트 2(제 2 용기)를 재장착하고(S221), 테스트가 완료된 제 2 아답터(B)의 웨이퍼(제 3 기판)을 카세트 2(제 2 용기)로 이동할 수 있다(S222).
이어서, 제 2 아답터(B) 내 웨이퍼(제 3 기판)가 카세트 2(제 2 용기)로 모두 이동되었는지를 판단하여(S223) 카세트 2(제 2 용기)로 작업 완료 후, 카세트 2(제 2 용기)을 언로딩할 수 있다(S224).
이어서, 이러한 과정을 카세트 n까지 연속 동작되게 할 수 있고(S225), 종료 이벤트(Lot end) 발생시 종료할 수 있다(S226).
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
W1: 제 1 기판
W2: 제 2 기판
W3: 제 3 기판
C1: 제 1 용기
C2: 제 2 용기
C3: 제 3 용기
10: 로드 포트 모듈
20: 트랜스퍼 로봇
A: 제 1 아답터 영역
B: 제 2 아답터 영역
30: 제어부
40: 검사 모듈
41: 탐침
42: 프로브 카드
50: 회전 장치
60: 승하강 장치
100: 기판 처리 장치

Claims (20)

  1. 제 1 기판들이 수용된 제 1 용기가 로딩되는 로드 포트 모듈;
    상기 제 1 용기로부터 상기 제 1 기판들을 이송하는 트랜스퍼 로봇;
    상기 트랜스퍼 로봇에 의해서 이송된 상기 제 1 기판들을 임시 수용하는 제 1 아답터 영역;
    상기 로드 포트 모듈로부터 상기 제 1 용기가 탈거된 이후, 상기 로드 포트 모듈에 로딩된 제 2 용기로부터 상기 트랜스퍼 로봇에 의해 이송된 제 2 기판들을 임시 수용하는 제 2 아답터 영역; 및
    상기 제 1 아답터 영역에 임시 수용되었다가 공정을 마친 상기 제 1 기판들이 비어 있는 상기 제 2 용기에 수용될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇으로 제 1 기판 이송 제어 신호를 인가하는 제어부;
    를 포함하는, 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 로드 포트 모듈로부터 상기 제 2 용기가 탈거된 이후, 상기 로드 포트 모듈에 로딩된 제 3 용기로부터 제 3 기판들을 비어 있는 상기 제 1 아답터 영역으로 이송될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇에 제 3 기판 이송 제어 신호를 인가하는, 기판 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 제 2 아답터 영역에 임시 수용되었다가 공정을 마친 상기 제 2 기판들이 비어 있는 상기 제 3 용기에 수용될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇으로 제 2 기판 이송 제어 신호를 인가하는, 기판 처리 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 로드 포트 모듈로부터 상기 제 2 용기가 탈거되고, 비어 있는 상기 제 1 용기가 재로딩된 이후, 상기 제 2 아답터 영역에 임시 수용되었다가 공정을 마친 상기 제 2 기판들이 상기 제 1 용기로 이송될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇에 제 2 기판 이송 제어 신호를 인가하는, 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 로드 포트 모듈은, 장비의 밑면적을 줄이기 위해서 한번에 1개의 용기만 안착될 수 있는 싱글 타입의 로드 포트 모듈인, 기판 처리 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 트랜스퍼 로봇은, 상기 로드 포트 모듈에 안착된 상기 제 1 용기의 높이에서 상기 제 1 아답터 영역의 높이 또는 상기 제 2 아답터 영역의 높이까지 승하강되는, 기판 처리 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    장비의 밑면적을 줄이기 위해서 상기 제 1 아답터 영역과 상기 제 2 아답터 영역은 수직 방향으로 배치되는, 기판 처리 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    복수개의 탐침을 갖는 프로브 카드를 이용하여 상기 기판에 대한 전기적인 검사 공정을 수행하는 검사 모듈;
    을 더 포함하는, 기판 처리 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 트랜스퍼 로봇은,
    상기 제 1 아답터 영역에 수용된 상기 제 1 기판들을 상기 검사 모듈로 이송하고, 검사 공정을 모두 마친 상기 제 1 기판을 상기 제 1 아답터 영역으로 재수용하거나, 또는 상기 제 2 아답터 영역에 수용된 상기 제 2 기판들을 상기 검사 모듈로 이송하고, 검사 공정을 모두 마친 상기 제 2 기판을 상기 제 2 아답터 영역으로 재수용하는, 기판 처리 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 기판 또는 상기 제 2 기판은 웨이퍼이고,
    상기 제 1 용기 또는 상기 제 2 용기는 적어도 카세트, 전면 개방 일체식 포드(FOUP, Front Open Unified Pod), 전면 개방 운반 박스(FOSB, Front Opening Shipping Box) 중 어느 하나를 포함하는, 기판 처리 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 아답터 영역은, 적어도 상기 제 1 용기의 상기 제 1 기판의 최대 수용 개수 이상의 기판을 수용하는, 기판 처리 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 아답터 영역은, 회전 장치에 의해 회전되거나 또는 승하강 장치에 의해 승하강되는, 기판 처리 장치.
  13. (a) 제 1 기판들이 수용된 제 1 용기가 로드 포트 모듈에 1차로 로딩되는 단계;
    (b) 트랜스퍼 로봇이 상기 제 1 용기로부터 제 1 아답터 영역으로 상기 제 1 기판들을 이송하는 단계;
    (c) 상기 제 1 용기가 상기 로드 포트 모듈로부터 탈거되는 단계;
    (d) 제 2 기판들이 수용된 제 2 용기가 상기 로드 포트 모듈에 2차로 로딩되는 단계;
    (e) 상기 트랜스퍼 로봇이 상기 제 2 용기로부터 제 2 아답터 영역으로 상기 제 2 기판들을 이송하는 단계; 및
    (f) 상기 트랜스퍼 로봇이 공정을 마친 상기 제 1 아답터 영역의 상기 제 1 기판들을 비어 있는 상기 제 2 용기로 이송하는 단계;
    를 포함하는, 기판 처리 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 (f) 단계 이후에,
    (g) 상기 제 2 용기가 상기 로드 포트 모듈로부터 탈거되는 단계;
    (h) 제 3 기판들이 수용된 제 3 용기가 상기 로드 포트 모듈에 3차로 로딩되는 단계; 및
    (i) 상기 트랜스퍼 로봇이 상기 제 3 용기로부터 제 3 기판들을 비어 있는 상기 제 1 아답터 영역으로 이송하는 단계;
    를 더 포함하는, 기판 처리 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 (i) 단계 이후에,
    (j) 상기 트랜스퍼 로봇이 공정을 마친 상기 제 2 아답터 영역의 상기 제 2 기판들을 비어 있는 상기 제 3 용기로 이송하는 단계;
    를 더 포함하는, 기판 처리 방법.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 (f) 단계 이후에,
    (k) 상기 제 2 용기가 상기 로드 포트 모듈로부터 탈거되는 단계;
    (l) 비어 있는 상기 제 1 용기가 상기 로드 포트 모듈로 재로딩되는 단계; 및
    (m) 상기 트랜스퍼 로봇이 공정을 마친 상기 제 2 아답터 영역의 상기 제 2 기판들을 상기 제 1 용기로 이송하는 단계;
    를 더 포함하는, 기판 처리 방법.
  17. 제 13 항에 있어서,
    상기 (b) 단계에서, 상기 트랜스퍼 로봇은 상기 로드 포트 모듈에 안착된 상기 제 1 용기의 높이에서 상기 제 1 아답터 영역의 높이로 승하강되고,
    상기 (e) 단계에서, 상기 트랜스퍼 로봇은 상기 로드 포트 모듈에 안착된 상기 제 2 용기의 높이에서 상기 제 2 아답터 영역의 높이로 승하강되는, 기판 처리 방법.
  18. 제 13 항에 있어서,
    상기 (b) 단계 이후에,
    (n) 검사 모듈에서 복수개의 탐침을 갖는 프로브 카드를 이용하여 상기 제 1 아답터 영역의 상기 제 1 기판에 대한 전기적인 검사 공정을 수행하는 단계;
    를 더 포함하는, 기판 처리 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 (n) 단계에서,
    상기 트랜스퍼 로봇은, 상기 제 1 아답터 영역에 수용된 상기 제 1 기판들을 상기 검사 모듈로 이송하고, 검사 공정을 모두 마친 상기 제 1 기판을 상기 제 1 아답터 영역으로 재수용하는, 기판 처리 방법.
  20. 제 1 기판들이 수용된 제 1 용기가 로딩되는 로드 포트 모듈;
    상기 제 1 용기로부터 상기 제 1 기판들을 이송하는 트랜스퍼 로봇;
    상기 트랜스퍼 로봇에 의해서 이송된 상기 제 1 기판들을 임시 수용하는 제 1 아답터 영역;
    상기 로드 포트 모듈로부터 상기 제 1 용기가 탈거된 이후, 상기 로드 포트 모듈에 로딩된 제 2 용기로부터 상기 트랜스퍼 로봇에 의해 이송된 제 2 기판들을 2차로 임시 수용하는 제 2 아답터 영역; 및
    상기 제 1 아답터 영역에 임시 수용되었다가 공정을 마친 상기 제 1 기판들이 비어 있는 상기 제 2 용기에 수용될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇으로 제 1 기판 이송 제어 신호를 인가하는 제어부;를 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 로드 포트 모듈로부터 상기 제 2 용기가 탈거된 이후, 상기 로드 포트 모듈에 로딩된 제 3 용기로부터 제 3 기판들을 비어 있는 상기 제 1 아답터 영역으로 이송될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇에 제 3 기판 이송 제어 신호를 인가하고,
    상기 제 2 아답터 영역에 임시 수용되었다가 공정을 마친 상기 제 2 기판들이 비어 있는 상기 제 3 용기에 수용될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇으로 제 2 기판 이송 제어 신호를 인가하거나,
    또는, 상기 제어부는,
    상기 로드 포트 모듈로부터 상기 제 2 용기가 탈거되고, 비어 있는 상기 제 1 용기가 재로딩된 이후, 상기 제 2 아답터 영역에 임시 수용되었다가 공정을 마친 상기 제 2 기판들이 상기 제 1 용기로 이송될 수 있도록 상기 트랜스퍼 로봇에 제 2 기판 이송 제어 신호를 인가하는, 기판 처리 장치.
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