KR20240045565A

KR20240045565A - Sample holder for transmission electron microscope

Info

Publication number: KR20240045565A
Application number: KR1020220125036A
Authority: KR
Inventors: 손지희
Original assignee: 현대제철 주식회사
Priority date: 2022-09-30
Filing date: 2022-09-30
Publication date: 2024-04-08

Abstract

본 발명은, 자체적으로 각도 조절이 가능하여 다양한 각도에서 정확한 분석이 가능한 시료 홀더로서, 적어도 일부 구간이 선단으로 갈수록 두께가 얇아지는 형상으로 형성되고, 상기 선단에 시료를 안착하는 몸체부; 적어도 일부 구간이 일측으로 갈수록 두께가 얇아지는 형상으로 형성되고, 타측에서 상기 몸체부의 일부분과 회동 가능하게 연결되며, 상기 몸체부에 안착된 상기 시료를 고정하는 고정부; 및 상기 몸체부와 회동 가능하도록 연결되고, 상기 몸체부의 각도를 조절하는 조절부; 를 포함하고, 상기 몸체부는, 상기 선단에 소정의 깊이로 홈이 형성되어, 상기 시료가 안착하는 안착부; 를 포함할 수 있다.The present invention is a sample holder capable of self-adjusting its angle and enabling accurate analysis from various angles, comprising: a body portion in which at least some sections are formed in a shape where the thickness becomes thinner toward the tip, and the sample is placed on the tip; a fixing part formed in a shape in which at least some sections become thinner toward one side, rotatably connected to a portion of the body portion on the other side, and fixing the sample seated on the body portion; and an adjuster rotatably connected to the body and adjusting the angle of the body. It includes: a seating portion in which the body portion has a groove formed at a predetermined depth at the distal end to seat the sample; may include.

Description

Sample holder for transmission electron microscope {SAMPLE HOLDER FOR TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE}

본 발명은 시료 홀더에 관한 것으로, 보다 상세하게는 각도를 조절하여 다양한 각도에서 실험을 진행할 수 있는 투과전자현미경용 시료 홀더에 관한 것이다.The present invention relates to a sample holder, and more specifically, to a sample holder for a transmission electron microscope that can adjust the angle to conduct experiments at various angles.

투과전자현미경(TEM; Transmission Electron Microscope)은 전자현미경의 가장 기본적인 형태로, 얇은 시료에 전자를 통과시켜 확대된 상을 얻는 장치이다. 투과전자현미경용 시료는 두께가 약 50 ~ 80㎛인 박형 포일(thin foil) 형태를 가질 수 있으며, 이때, 시료는 투과전자현미경용 시료 홀더에 안착되어 분석이 진행될 수 있다.Transmission Electron Microscope (TEM) is the most basic form of electron microscope and is a device that obtains an enlarged image by passing electrons through a thin sample. The sample for transmission electron microscopy may be in the form of a thin foil with a thickness of approximately 50 to 80㎛, and in this case, the sample may be placed in the sample holder for transmission electron microscopy and analysis may be performed.

종래의 시료 홀더는 작업 툴을 사용하여 시료 홀더의 고정 플레이트를 분리하고, 시료를 고정시키는 과정을 거쳤다. 이때, 각도 조정이 불가피하여 여러 각도로 형성된 서포트 바를 교체해야만 했다. 이러한 장착 과정에서 불안정한 핸들링에 의해, 오정렬, 시료와 시료 홀더의 간섭 및 낙하에 의한 손상 등이 초래되었다. 이로 인하여, 곧 시료 재가공으로 인한 분석 일정 지연, 비용 증가, 작업성 저하 등의 문제점이 존재하였다.In the conventional sample holder, the fixing plate of the sample holder was separated using a work tool, and the sample was fixed. At this time, angle adjustment was inevitable, so the support bars formed at various angles had to be replaced. During this mounting process, unstable handling resulted in misalignment, interference between the sample and the sample holder, and damage due to falling. As a result, problems such as delay in analysis schedule due to sample reprocessing, increased cost, and reduced workability existed.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 시료 홀더 자체에서 각도를 조절하여 다양한 각도에서 분석을 진행할 수 있으며, 추가적인 서포트 바 교체 작업을 필요로 하지 않는 투과전자현미경용 시료 홀더를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.The present invention is intended to solve various problems including the problems described above, and allows analysis to be performed from various angles by adjusting the angle of the sample holder itself, and provides a sample for transmission electron microscopy that does not require additional support bar replacement work. The purpose is to provide a holder. However, these tasks are illustrative and do not limit the scope of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 투과전자현미경용 시료 홀더가 제공된다. 상기 투과전자현미경용 시료 홀더는, 적어도 일부 구간이 선단으로 갈수록 두께가 얇아지는 형상으로 형성되고, 상기 선단에 시료를 안착하는 몸체부; 적어도 일부 구간이 일측으로 갈수록 두께가 얇아지는 형상으로 형성되고, 타측에서 상기 몸체부의 일부분과 회동 가능하게 연결되며, 상기 몸체부에 안착된 상기 시료를 고정하는 고정부; 및 상기 몸체부와 회동 가능하도록 연결되고, 상기 몸체부의 각도를 조절하는 조절부; 를 포함하고, 상기 몸체부는, 상기 선단에 소정의 깊이로 홈이 형성되어, 상기 시료가 안착하는 안착부; 를 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, a sample holder for a transmission electron microscope is provided. The sample holder for a transmission electron microscope includes a body portion formed in a shape in which at least some sections become thinner toward the tip, and seating a sample on the tip; a fixing part formed in a shape in which at least some sections become thinner toward one side, rotatably connected to a portion of the body portion on the other side, and fixing the sample seated on the body portion; and an adjuster rotatably connected to the body and adjusting the angle of the body. It includes: a seating portion in which the body portion has a groove formed at a predetermined depth at the distal end to seat the sample; may include.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 몸체부는, 상기 고정부를 가압 시 상기 고정부의 일단이 상기 시료의 적어도 일부를 가압 고정하며 잠금 또는 잠금 해제될 수 있도록, 상기 몸체부의 선단에 원터치 잠금부; 를 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the body portion is provided with a one-touch locking portion at the front end of the body portion so that when pressing the fixture, one end of the fixture presses and fixes at least a portion of the sample and can be locked or unlocked. ; may include.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 안착부는, 원형 시료의 일부 영역을 고정할 수 있도록, 소정의 깊이로 원형 형상의 홈이 형성될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the seating portion may have a circular groove formed at a predetermined depth so as to fix a partial area of the circular sample.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 고정부는, 원형 시료를 분석할 수 있도록, 상기 고정부의 상기 일측에 소정의 크기의 원형의 형상으로 홀이 관통되어 형성될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the fixing part may be formed with a circular hole of a predetermined size passing through one side of the fixing part so that a circular sample can be analyzed.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 몸체부와 상기 고정부가 힌지결합되도록, 상기 몸체부 및 상기 고정부에 설치되는 제1 힌지핀; 을 더 포함하고, 상기 고정부는, 상기 몸체부에서 상기 제1 힌지핀을 중심으로 회전되어 상기 안착부가 개폐 가능하도록, 상기 고정부의 상기 타측의 적어도 일부분이 관통되어 형성되는 제1 관통홀; 을 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, a first hinge pin installed on the body portion and the fixing portion so that the body portion and the fixing portion are hinge-coupled; The fixing part further includes: a first through hole formed through at least a portion of the other side of the fixing part so that the fixing part can be opened and closed by rotating about the first hinge pin in the body part; may include.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 몸체부와 상기 조절부가 힌지결합되도록, 상기 몸체부 및 상기 조절부에 설치되는 제2 힌지핀; 을 더 포함하고, 상기 조절부는, 상기 몸체부를 상기 제2 힌지핀을 중심으로 회전 가능하도록, 상기 조절부의 일측의 적어도 일부분이 관통되어 형성되는 제2 관통홀; 을 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, a second hinge pin installed on the body portion and the adjusting portion so that the body portion and the adjusting portion are hinge-coupled; The control unit further includes: a second through hole formed through at least a portion of one side of the control unit so that the body part can be rotated about the second hinge pin; may include.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 조절부는, 상기 조절부를 기준으로, 상기 몸체부가 어느 일 방향으로 회전하였을 경우, 4°내지 6°마다 고정되어 상기 몸체부의 각도를 조절하도록 형성되고, 상기 조절부의 적어도 일면에 상기 몸체부가 회전한 각도를 나타내는 눈금이 형성될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the adjusting portion is fixed every 4° to 6° to adjust the angle of the body portion when the body portion rotates in any direction with respect to the adjusting portion, and A scale indicating the angle at which the body part is rotated may be formed on at least one surface of the adjusting part.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 몸체부의 적어도 일면에 돌출되어, 전체적으로 원기둥 형상으로 형성되는 각도 조절핀; 을 더 포함하고, 상기 조절부는, 상기 각도 조절핀이 이동할 수 있도록, 상기 조절부의 적어도 일면에서 전체적으로 곡선을 띄는 형상으로 관통되어 형성되는 각도 조절라인; 을 포함하고, 상기 각도 조절라인은, 소정의 각도마다 상기 각도 조절핀이 고정될 수 있도록, 적어도 상기 각도 조절핀의 지름과 동일한 내경을 갖는 원형의 형상으로 관통되어 형성되는 각도 조절홀; 을 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, an angle adjustment pin protrudes from at least one surface of the body portion and is formed overall in a cylindrical shape; It further includes: an angle adjustment line formed in an overall curved shape through at least one surface of the adjustment unit so that the angle adjustment pin can move; The angle adjustment line includes: an angle adjustment hole formed through a circular shape having an inner diameter at least equal to the diameter of the angle adjustment pin so that the angle adjustment pin can be fixed at a predetermined angle; may include.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상부의 적어도 일부분이 상기 몸체부를 지지할 수 있도록 상기 몸체부의 적어도 일부 하면 형상에 대응되는 형상으로 형성되는 홀더 하우스; 를 더 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, a holder house formed in a shape corresponding to the shape of at least a portion of the lower surface of the body portion so that at least a portion of the upper portion can support the body portion; may further include.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 홀더 하우스는, 상기 몸체부가 상기 홀더 하우스에 결합된 상태에서, 상기 시료의 영역 중 상기 안착부의 상면 및 상기 고정부의 하면과 비접촉하는 비접촉 영역에 대응되도록, 소정 높이로 돌출 형성되어 상기 비접촉 영역을 지지하는 지지부; 를 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the holder house is configured to correspond to a non-contact area that does not contact the upper surface of the seating part and the lower surface of the fixing part among the areas of the sample when the body part is coupled to the holder house. , a support portion that protrudes at a predetermined height and supports the non-contact area; may include.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 지지부는, 원형의 시료를 지지할 수 있도록, 상기 고정부에서 반원 형상으로 돌출되게 형성되어 상기 비접촉 영역을 지지할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the support part is formed to protrude from the fixing part in a semicircular shape to support the non-contact area so as to support a circular sample.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 각도 조절이 가능한 조절부를 적용함으로써, 시료 홀더의 각도를 빠르고 정확하게 조절할 수 있어 효율적인 분석을 실행 가능하다. 또한, 종래의 방식이었던 서포트 바를 사용하지 않아도 되기 때문에 각도마다 구비해야 했던 서포트 바를 구비할 필요가 없으며, 서포트 바를 교체 시 발생하였던 오정렬 등의 문제점을 해결할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.According to one embodiment of the present invention as described above, by applying an adjustment unit capable of adjusting the angle, the angle of the sample holder can be quickly and accurately adjusted, enabling efficient analysis. In addition, since there is no need to use support bars, which were conventional methods, there is no need to provide support bars for each angle, and problems such as misalignment that occur when replacing support bars can be solved. Of course, the scope of the present invention is not limited by this effect.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 투과전자현미경용 시료 홀더를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 투과전자현미경용 시료 홀더를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 투과전자현미경용 시료 홀더를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 투과전자현미경용 시료 홀더에서 각도 조절핀을 이동시킨 모습을 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 홀더 하우스를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 홀더 하우스를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 홀더 하우스를 결합한 투과전자현미경용 시료 홀더를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 홀더 하우스를 결합한 투과전자현미경용 시료 홀더를 개략적으로 나타내는 측면도이다.1 is a side view schematically showing a sample holder for a transmission electron microscope according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a plan view schematically showing a sample holder for a transmission electron microscope according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a side view schematically showing a sample holder for a transmission electron microscope according to another embodiment of the present invention.
Figure 4 is a side view schematically showing the angle adjustment pin being moved in the sample holder for a transmission electron microscope according to another embodiment of the present invention.
Figure 5 is a plan view schematically showing a holder house according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a side view schematically showing a holder house according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is a plan view schematically showing a sample holder for a transmission electron microscope combined with a holder house according to an embodiment of the present invention.
Figure 8 is a side view schematically showing a sample holder for a transmission electron microscope combined with a holder house according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, various preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.The embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art, and the following examples may be modified into various other forms, and the scope of the present invention is as follows. It is not limited to examples. Rather, these embodiments are provided to make the present disclosure more faithful and complete and to fully convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. Additionally, the thickness and size of each layer in the drawings are exaggerated for convenience and clarity of explanation.

이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will now be described with reference to drawings that schematically show ideal embodiments of the present invention. In the drawings, variations of the depicted shape may be expected, for example, depending on manufacturing technology and/or tolerances. Accordingly, embodiments of the present invention should not be construed as being limited to the specific shape of the area shown in this specification, but should include, for example, changes in shape resulting from manufacturing.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 투과전자현미경용 시료 홀더(1)를 개략적으로 나타내는 측면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 투과전자현미경용 시료 홀더(1)를 개략적으로 나타내는 평면도이다.Figure 1 is a side view schematically showing a sample holder 1 for a transmission electron microscope according to an embodiment of the present invention, and Figure 2 is a schematic view of a sample holder 1 for a transmission electron microscope according to an embodiment of the present invention. It is a floor plan that represents

먼저, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 따른 투과전자현미경용 시료 홀더(1)는, 몸체부(10), 고정부(20) 및 조절부(30)를 포함할 수 있다.First, as shown in FIGS. 1 and 2, the sample holder 1 for a transmission electron microscope according to one embodiment may include a body portion 10, a fixing portion 20, and an adjusting portion 30. there is.

도 1에 도시된 바와 같이, 몸체부(10)는, 적어도 일부 구간이 선단으로 갈수록 두께가 얇아지는 형상으로 형성되고, 선단에 시료(A)를 안착할 수 있다. 이때, 몸체부(10)는 전체적으로 원기둥 또는 다각기둥 형상으로 형성될 수 있다.As shown in FIG. 1, the body portion 10 is formed in a shape in which at least some sections become thinner toward the tip, and the sample A can be seated at the tip. At this time, the body portion 10 may be formed overall into a cylindrical or polygonal column shape.

예컨대, 몸체부(10)는, 스틸, 스테인레스, 알루미늄, 마그네슘 및 아연 중 어느 하나 이상의 재질을 선택하여 구성되는 구조체일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 적절한 강도와 내구성을 갖는 다양한 재질이 사용될 수 있다.For example, the body portion 10 may be a structure made of one or more materials selected from steel, stainless steel, aluminum, magnesium, and zinc. However, it is not limited to this, and various materials with appropriate strength and durability can be used.

몸체부(10)는, 선단에 소정의 깊이로 홈(12)이 형성되어, 시료(A)가 안착하는 안착부(11)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 시료(A)가 장착되는 과정에서 오정렬을 발생을 방지할 수 있으며, 오정렬로 인한 시료(A)의 낙하 및 오염 등의 문제 또한 방지 가능하다.The body portion 10 may include a seating portion 11 in which a groove 12 is formed at a predetermined depth at the tip and in which the sample A is seated. Accordingly, misalignment can be prevented during the process of mounting the sample (A), and problems such as dropping and contamination of the sample (A) due to misalignment can also be prevented.

예컨대, 안착부(11)는, 소정의 깊이로 원형 형상의 홈(12)이 형성될 수 있다. 이로 인하여, 다양한 크기의 원형 및 환형 형상으로 제공되는 시료(A)를 안착시킬 수 있으며, 특히, 3mm 디스크 형상으로 제공되는 시료(A)를 안정감 있게 안착시켜 정확도 높은 TKD(Transmission Kikuchi Diffraction) 분석을 진행할 수 있다.For example, the seating portion 11 may have a circular groove 12 formed at a predetermined depth. Due to this, it is possible to seat samples (A) that are provided in circular and annular shapes of various sizes, and in particular, samples (A) that are provided in a 3mm disk shape can be safely seated to perform highly accurate Transmission Kikuchi Diffraction (TKD) analysis. You can proceed.

몸체부(10)는, 후술될 고정부(20)를 가압 시 고정부(20)의 일단이 시료(A)의 적어도 일부를 가압 고정하며 잠금 또는 잠금 해제될 수 있도록, 몸체부(10)의 선단에 원터치 잠금부(13)를 포함할 수 있다.The body portion 10 is such that when the fixing portion 20, which will be described later, is pressed, one end of the fixing portion 20 presses and fixes at least a portion of the sample A and can be locked or unlocked. It may include a one-touch locking portion 13 at the tip.

예컨대, 원터치 잠금부(13)는, 돌출형 후크 및 고리와 탄성 부재 등을 이용하여 고정부(20)를 가압하였을 때, 돌출형 후크가 고리로부터 분리되어 고정부(20)가 개방될 수 있다. 또한, 고정부(20)를 다시 한 번 가압하였을 때, 돌출형 후크가 고리에 채워지면서 고정부(20)가 시료(A)를 고정하도록 형성될 수 있다.For example, when the one-touch locking part 13 presses the fixing part 20 using a protruding hook, a ring, an elastic member, etc., the protruding hook may be separated from the hook and the fixing part 20 may be opened. . Additionally, when the fixing part 20 is pressed again, the protruding hook may be filled into the ring and the fixing part 20 may be formed to fix the sample A.

다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 자석, 스프링, 걸쇠, 걸림쇠 등 적어도 하나의 다양한 부재를 이용하여 원터치로 고정부(20)를 잠금 또는 잠금 해제할 수 있다.However, it is not limited to this, and the fixing part 20 can be locked or unlocked with one touch using at least one various member such as a magnet, spring, latch, or latch.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 고정부(20)는, 적어도 일부 구간이 일측으로 갈수록 두께가 얇아지는 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 고정부(20)는, 시료(A)를 고정할 수 있도록, 전체적으로 다각기둥 형상으로 형성될 수 있다.As shown in FIGS. 1 and 2, the fixing portion 20 may be formed in a shape in which at least some sections become thinner toward one side. At this time, the fixing part 20 may be formed as a whole into a polygonal pillar shape so as to fix the sample A.

예컨대, 고정부(20)는, 몸체부(10)와 동일한 재질로 구성되는 구조체일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 시료(A)를 적절하게 가압할 수 있는 다양한 재질이 사용될 수 있다.For example, the fixing part 20 may be a structure made of the same material as the body part 10. However, it is not limited to this, and various materials that can appropriately pressurize the sample (A) may be used.

고정부(20)는, 타측에서 몸체부(10)의 일부분과 회동 가능하게 연결되며, 몸체부(10)에 안착된 시료(A)를 고정할 수 있다.The fixing part 20 is rotatably connected to a portion of the body 10 on the other side and can fix the sample A seated on the body 10.

바람직하게, 고정부(20)는, 안착부(11)와 소정 거리 떨어진 위치와 회동 가능하게 연결되어, 적어도 소정 거리와 동일한 길이로 형성되어, 안착부(11)에 안착된 시료(A)를 고정할 수 있다.Preferably, the fixing part 20 is rotatably connected to a position away from the seating part 11 by a predetermined distance and is formed to have a length at least equal to the predetermined distance, so as to hold the sample A mounted on the seating part 11. It can be fixed.

이때, 투과전자현미경용 시료 홀더(1)는, 몸체부(10) 및 고정부(20)에 설치되는 제1 힌지핀(40)을 더 포함할 수 있으며, 고정부(20)는, 제1 힌지핀(40)을 통해 몸체부(10)와 힌지결합 될 수 있다.At this time, the sample holder 1 for a transmission electron microscope may further include a first hinge pin 40 installed on the body portion 10 and the fixing portion 20, and the fixing portion 20 may include a first hinge pin 40. It can be hinged with the body portion 10 through the hinge pin 40.

구체적으로, 고정부(20)는, 몸체부(10)에서 제1 힌지핀(40)을 중심으로 회전되어 안착부(11)가 개폐 가능하도록, 고정부(20)의 타측의 적어도 일부분이 관통되어 형성되는 제1 관통홀(22)을 포함할 수 있다.Specifically, the fixing part 20 is rotated about the first hinge pin 40 in the body part 10 so that the seating part 11 can be opened and closed, so that at least a portion of the other side of the fixing part 20 penetrates. It may include a first through hole 22 formed by

보다 더 구체적으로, 고정부(20)의 제1 관통홀(22) 내부에, 제1 힌지핀(40)의 적어도 일부가 관통하도록 설치될 수 있다.More specifically, at least a portion of the first hinge pin 40 may be installed inside the first through hole 22 of the fixing part 20 so that it penetrates.

이에 따라, 시료(A)를 고정하기 위하여, 작업자가 수작업으로 시료(A)를 장착하고 고정판에 연결된 나사를 돌리는 등의 수작업을 하지 않아도 되어, 작업의 효율성을 높일 수 있다.Accordingly, in order to fix the sample (A), the worker does not have to perform manual work such as manually mounting the sample (A) and turning the screw connected to the fixing plate, thereby increasing work efficiency.

고정부(20)는, 원형 시료를 분석할 수 있도록, 고정부(20)의 일측에 소정의 크기의 원형의 형상으로 홀(21)이 관통되어 형성될 수 있다.The fixing part 20 may be formed with a circular hole 21 of a predetermined size passing through one side of the fixing part 20 so that a circular sample can be analyzed.

예컨대, 원형 형상의 홀(21)은, 고정되는 시료(A)의 지름보다 작은 크기로 형성될 수 있다.For example, the circular hole 21 may be formed to have a size smaller than the diameter of the sample A to be fixed.

이로 인하여, 다양한 크기의 원형 및 환형 형상으로 제공되는 시료(A)를 고정할 수 있으며, 특히, 3mm 디스크 형상으로 제공되는 시료(A)를 안정감 있게 고정시켜 정확도 높은 TKD(Transmission Kikuchi Diffraction) 분석을 진행할 수 있다.Due to this, it is possible to fix samples (A) that are provided in circular and annular shapes of various sizes, and in particular, samples (A) that are provided in a 3 mm disk shape can be fixed stably, enabling highly accurate Transmission Kikuchi Diffraction (TKD) analysis. You can proceed.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 투과전자현미경용 시료 홀더(1')를 개략적으로 나타내는 측면도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 투과전자현미경용 시료 홀더(1')에서 각도 조절핀(32)을 이동시킨 모습을 개략적으로 나타내는 측면도이다.Figure 3 is a side view schematically showing a sample holder 1' for a transmission electron microscope according to another embodiment of the present invention, and Figure 4 is a side view showing the sample holder 1' for a transmission electron microscope according to another embodiment of the present invention. This is a side view schematically showing the angle adjustment pin 32 being moved.

도 1 및 도 2를 참고하면, 조절부(30)는, 몸체부(10)와 회동 가능하도록 연결되고, 몸체부(10)의 각도를 조절할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2 , the adjusting unit 30 is rotatably connected to the body 10 and can adjust the angle of the body 10 .

이때, 투과전자현미경용 시료 홀더(1)는, 몸체부(10) 및 조절부(30)에 설치되는 제2 힌지핀(50)을 더 포함할 수 있으며, 조절부(30)는, 제2 힌지핀(50)을 통해 몸체부(10)와 힌지결합 될 수 있다.At this time, the sample holder 1 for a transmission electron microscope may further include a second hinge pin 50 installed on the body portion 10 and the adjusting portion 30, and the adjusting portion 30 may include a second hinge pin 50. It can be hinged with the body portion 10 through the hinge pin 50.

구체적으로, 조절부(30)는, 몸체부(10)를 제2 힌지핀(50)을 중심으로 회전 가능하도록, 조절부(30)의 일측의 적어도 일부분이 관통되어 형성되는 제2 관통홀(31)을 포함할 수 있다.Specifically, the adjusting unit 30 has a second through hole formed through at least a portion of one side of the adjusting unit 30 so that the body 10 can be rotated about the second hinge pin 50. 31) may be included.

보다 더 구체적으로, 조절부(30)의 제2 관통홀(31) 내부에, 제2 힌지핀(50)의 적어도 일부가 설치될 수 있다.More specifically, at least a portion of the second hinge pin 50 may be installed inside the second through hole 31 of the adjustment unit 30.

예컨대, 조절부(30)는, 제 2 힌지핀(50)을 포함하고, 자석, 스프링, 걸쇠, 걸림쇠 등 다양한 부재를 이용하여 각도를 조절 및 고정할 수 있다.For example, the adjustment unit 30 includes a second hinge pin 50, and the angle can be adjusted and fixed using various members such as magnets, springs, latches, and latch.

조절부(30)는, 조절부(30)를 기준으로, 몸체부(10)가 어느 일 방향으로 회전하였을 경우, 4°내지 6°마다 고정되어 몸체부(10)의 각도를 조절하도록 형성될 수 있다.The adjusting unit 30 is fixed every 4° to 6° to adjust the angle of the body 10 when the body 10 rotates in any direction with respect to the adjusting unit 30. You can.

바람직하게, 조절부(30)는, 5°마다 고정되어 몸체부(10)의 각도를 조절하도록 형성될 수 있다.Preferably, the adjuster 30 may be fixed every 5° to adjust the angle of the body 10.

이에 따라, 시료(A)를 고정하는 작업을 한 번만 진행하여, 추후에 서포트 바 등의 각도 조절을 위한 장치를 설치하는 번거로움을 제거할 수 있으며, 그로 인한 시료(A)의 오염이나 낙하 등의 문제점을 방지할 수 있다.Accordingly, the task of fixing the sample (A) is performed only once, eliminating the inconvenience of later installing devices for angle adjustment, such as a support bar, resulting in contamination or dropping of the sample (A). problems can be prevented.

조절부(30)는, 조절부(30)의 적어도 일면에 몸체부(10)가 회전한 각도를 나타내는 눈금(미도시)이 형성될 수 있다.The adjusting unit 30 may have a scale (not shown) formed on at least one surface of the adjusting unit 30 to indicate the angle at which the body 10 is rotated.

바람직하게, 눈금(미도시)은 5도마다 형성될 수 있으나, 이에 국한되지 않고 작업자가 요구하는 다양한 각도가 표시될 수 있다.Preferably, the scale (not shown) may be formed every 5 degrees, but is not limited to this and various angles required by the operator may be displayed.

예컨대, 눈금(미도시)은, 조절부(30)에 인쇄되거나, 각인되거나 전자 방식으로 구현되는 등 다양한 방법을 이용하여 형성될 수 있다.For example, the scale (not shown) may be formed using various methods, such as being printed on the adjusting unit 30, engraved, or implemented electronically.

이에 따라, 작업자가 각도를 직접 확인하면서 원하는 각도를 조절할 수 있다.Accordingly, the operator can adjust the desired angle while directly checking the angle.

조절부(30)는, 조절부(30)의 타측에 연결 부재(35)가 형성될 수 있다. 예컨대, 연결 부재(35)는, 전체적으로 원기둥 형상으로 형성되어, 분석 장치 및 이동 장치 등과 같은 다양한 장치에 연결되어 분석 실험을 진행할 수 있다.The adjustment unit 30 may have a connection member 35 formed on the other side of the adjustment unit 30. For example, the connection member 35 is formed as a whole in a cylindrical shape and can be connected to various devices such as analysis devices and mobile devices to conduct analysis experiments.

도 3 및 도 4를 참고하면, 몸체부(10)는, 몸체부(10)의 적어도 일면에 돌출되어, 전체적으로 원기둥 형상으로 형성되는 각도 조절핀을 더 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 3 and 4 , the body portion 10 may further include an angle adjustment pin that protrudes from at least one surface of the body portion 10 and is generally formed in a cylindrical shape.

구체적으로, 각도 조절핀(32)은, 각도 조절핀(32)의 전체적으로 원기둥 형상으로 형성되되, 선단이 볼록한 형상으로 제작될 수 있다. 이에 따라, 분석 진행 중 각도를 조절할 때, 작업자가 각도 조절핀(32)을 간편하게 이동할 수 있다.Specifically, the angle adjustment pin 32 may be formed overall into a cylindrical shape, but may be manufactured with a convex tip. Accordingly, when adjusting the angle during analysis, the operator can easily move the angle adjustment pin 32.

예컨대, 각도 조절핀(32)은, 몸체부(10)와 동일한 재질로 구성되는 구조체일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 적절한 강도와 내구성을 갖는 다양한 재질이 사용될 수 있다.For example, the angle adjustment pin 32 may be a structure made of the same material as the body portion 10. However, it is not limited to this, and various materials with appropriate strength and durability can be used.

이때, 조절부(30)는, 각도 조절핀(32)이 이동할 수 있도록, 조절부(30)의 적어도 일면에서 전체적으로 곡선을 띄는 형상으로 관통되어 형성되는 각도 조절라인(33)을 포함할 수 있다.At this time, the adjusting unit 30 may include an angle adjusting line 33 formed through an overall curved shape on at least one surface of the adjusting unit 30 so that the angle adjusting pin 32 can move. .

예컨대, 각도 조절라인(33)은, 각도 조절핀(32)의 지름보다 작은 내경을 갖도록 형성될 수 있다.For example, the angle adjustment line 33 may be formed to have an inner diameter smaller than the diameter of the angle adjustment pin 32.

구체적으로, 각도 조절라인(33)은, 소정의 각도마다 각도 조절핀(32)이 고정될 수 있도록, 원형의 형상으로 관통되어 형성되는 각도 조절홀(34)을 포함할 수 있다.Specifically, the angle adjustment line 33 may include an angle adjustment hole 34 formed through a circular shape so that the angle adjustment pin 32 can be fixed at each predetermined angle.

보다 더 구체적으로, 각도 조절홀(34)은, 각도 조절핀(32)과 적어도 동일한 내경을 갖도록 형성될 수 있다.More specifically, the angle adjustment hole 34 may be formed to have an inner diameter that is at least the same as the angle adjustment pin 32.

바람직하게, 각도 조절홀(34)은, 5도마다 형성될 수 있으나, 이에 국한되지 않고 작업자가 요구하는 다양한 각도에서 형성될 수 있다.Preferably, the angle adjustment hole 34 may be formed every 5 degrees, but is not limited to this and may be formed at various angles required by the operator.

따라서, 각도 조절핀(32)은, 어느 하나의 각도 조절홀에서 다른 하나의 각도 조절홀로 이동 시, 작업자가 일정 힘으로 가압하여 각도 조절라인(32)을 이동할 수 있도록 하여, 작업자가 원하는 각도로 조정 가능하다.Therefore, the angle adjustment pin 32 allows the operator to move the angle adjustment line 32 by pressing it with a certain force when moving from one angle adjustment hole to another angle adjustment hole, so that the angle adjustment line 32 is adjusted to the angle desired by the operator. It is adjustable.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 홀더 하우스(60)를 개략적으로 나타내는 평면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 홀더 하우스(60)를 개략적으로 나타내는 측면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 홀더 하우스(60)를 결합한 투과전자현미경용 시료 홀더(1'')를 개략적으로 나타내는 평면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 홀더 하우스(60)를 결합한 투과전자현미경용 시료 홀더(1'')를 개략적으로 나타내는 측면도이다.Figure 5 is a plan view schematically showing the holder house 60 according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a side view schematically showing the holder house 60 according to an embodiment of the present invention, and Figure 7 is a schematic view of the holder house 60 according to an embodiment of the present invention. It is a plan view schematically showing a sample holder 1'' for a transmission electron microscope combined with the holder house 60 according to an embodiment of the present invention, and Figure 8 is a plan view showing a sample holder 1'' combined with the holder house 60 according to an embodiment of the present invention. This is a side view schematically showing the sample holder 1'' for a transmission electron microscope.

도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 투과전자현미경용 시료 홀더(1'')는, 상부의 적어도 일부분이 몸체부(10)를 지지할 수 있도록 몸체부(10)의 적어도 일부 하면 형상에 대응되는 형상으로 형성되는 홀더 하우스(60)를 더 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 5 to 8, the sample holder 1'' for a transmission electron microscope is shaped at least on the lower surface of the body 10 so that at least a portion of the upper part can support the body 10. It may further include a holder house 60 formed in a corresponding shape.

예컨대, 홀더 하우스(60)는, 적어도 몸체부(10)의 너비와 동일하게 형성되어 몸체부(10)를 안정적으로 지지할 수 있으며, 몸체부(10)의 너비보다 넓게 형성되어 상부의 일부분은 몸체부(10)의 일부 하면 형상에 대응되도록 형성되고, 그 영역을 제외한 부분은 수평으로 형성될 수 있다.For example, the holder house 60 is formed to be at least the same as the width of the body 10 to stably support the body 10, and is formed to be wider than the width of the body 10 so that a portion of the upper portion is It is formed to correspond to the shape of a portion of the lower surface of the body portion 10, and the portion excluding that area may be formed horizontally.

도 7 및 도 8을 참고하면, 홀더 하우스(60)는, 몸체부(10)가 홀더 하우스(60)에 결합된 상태에서, 시료(A)의 영역 중 안착부(11)의 상면 및 고정부(20)의 하면과 비접촉하는 비접촉 영역에 대응되도록, 소정 높이로 돌출 형성되어 비접촉 영역을 지지하는 지지부(61)를 포함할 수 있다.Referring to Figures 7 and 8, the holder house 60 is the upper surface and the fixing part of the seating part 11 in the area of the sample A in a state in which the body part 10 is coupled to the holder house 60. It may include a support portion 61 that protrudes at a predetermined height and supports the non-contact area so as to correspond to the non-contact area that is not in contact with the lower surface of (20).

구체적으로, 지지부(61)는, 몸체부(10)가 홀더 하우스(60)에 결합된 상태에서, 홀더 하우스(60)와 시료(A) 간의 거리와 동일하게 돌출되어 형성될 수 있다.Specifically, the support portion 61 may be formed to protrude equal to the distance between the holder house 60 and the sample A when the body portion 10 is coupled to the holder house 60.

이에 따라, 시료(A) 장착 과정에서 시료(A)를 지지한 상태로 장착을 진행하기 때문에, 흔들림으로 인한 오정렬 등의 문제점을 방지할 수 있다.Accordingly, since the installation is carried out while supporting the sample (A) during the process of mounting the sample (A), problems such as misalignment due to shaking can be prevented.

지지부(61)는, 원형의 시료를 지지할 수 있도록, 고정부(10)에서 반원 형상으로 돌출되게 형성되어 비접촉 영역을 지지할 수 있다. 다만, 이에 국한되는 것이 아니라 다양한 형상의 시료를 고정할 수 있도록, 다양한 형상으로 돌출되기 형성될 수 있다.The support part 61 is formed to protrude from the fixing part 10 in a semicircular shape so as to support a circular sample and can support the non-contact area. However, it is not limited to this, and may be formed to protrude into various shapes so as to be able to fix samples of various shapes.

홀더 하우스(60)는, 연결 부재(35)를 끼워 넣을 수 있도록, 소정의 깊이로 홈이 형성되는 연결 홀(62)을 포함할 수 있다.The holder house 60 may include a connection hole 62 in which a groove is formed at a predetermined depth so that the connection member 35 can be inserted.

바람직하게, 연결 홀(62)은 연결 부재(35)와 대응되는 형상으로 형성되어, 연결 부재(35)를 끼움에 따라, 몸체부(10)가 고정되도록 할 수 있다.Preferably, the connection hole 62 is formed in a shape corresponding to the connection member 35, so that the body portion 10 can be fixed by inserting the connection member 35.

이에 따라, 시료(A)를 장착하는 과정에 있어서, 불안정한 핸들링에 의해 시료(A) 및 투과전자현미경용 시료 홀더(1'')가 충돌하는 현상을 방지할 수 있으며, 그로 인해 발생하는 불량률을 저하시킬 수 있다.Accordingly, in the process of mounting the sample (A), it is possible to prevent the sample (A) and the sample holder 1'' for a transmission electron microscope from colliding due to unstable handling, and to reduce the resulting defect rate. It can deteriorate.

따라서, 본 발명의 투과전자현미경용 시료 홀더(1,1',1'')에 따르면, 원터치 타입으로 조절 가능한 고정부(20)를 통해, 추가적인 작업 툴을 사용하여 시료(A)를 고정할 필요가 없다.Therefore, according to the sample holder (1, 1', 1'') for a transmission electron microscope of the present invention, the sample (A) can be fixed using an additional work tool through the one-touch type adjustable fixing part (20). no need.

뿐만 아니라, 조절부(30)로 각도 조절이 가능하여 각도 조절용 서프트 바가 불필요하며, 교체 작업이 필요하지 않아 정확도를 높일 수 있는 효과가 있다.In addition, since the angle can be adjusted using the adjusting unit 30, a suft bar for angle adjustment is unnecessary, and no replacement work is required, which has the effect of improving accuracy.

이 외에도, 안착부(11) 및 홀더 하우스(60)의 구조를 통해, 시료(A)를 안정적으로 장착할 수 있어, 낙하 및 오염에 대한 문제를 해결과 동시에 불량과 재가공으로 발생하는 비용을 절약할 수 있다.In addition, the structure of the seating portion 11 and the holder house 60 allows the sample (A) to be mounted stably, solving problems with dropping and contamination while saving costs arising from defects and reprocessing. can do.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true scope of technical protection of the present invention should be determined by the technical spirit of the attached patent claims.

1, 1', 1'': 투과전자현미경용 시료 홀더
10: 몸체부
11: 안착부
12: 홈
13: 원터치 잠금부
20: 고정부
21: 홀
22: 제 1 관통홀
30: 조절부
31: 제 2 관통홀
32: 각도 조절핀
33: 각도 조절라인
34: 각도 조절홀
35: 연결 부재
40: 제 1 힌지핀
50: 제 2 힌지핀
60: 홀더 하우스
61: 지지부
62: 연결 홀
A: 시료1, 1', 1'': Sample holder for transmission electron microscopy
10: body part
11: Seating part
12: Home
13: One-touch locking part
20: Fixing part
21: Hall
22: first through hole
30: Control unit
31: second through hole
32: Angle adjustment pin
33: Angle adjustment line
34: Angle adjustment hole
35: Connection member
40: 1st hinge pin
50: 2nd hinge pin
60: Holder House
61: support part
62: connection hole
A: Sample

Claims

A body portion in which at least some sections are formed in a shape where the thickness becomes thinner toward the tip, and the sample is seated on the tip;
a fixing part formed in a shape in which at least some sections become thinner toward one side, rotatably connected to a portion of the body portion on the other side, and fixing the sample seated on the body portion; and
an adjuster rotatably connected to the body and adjusting the angle of the body;
Including,
The body part,
a seating portion in which a groove is formed at a predetermined depth at the tip, into which the sample rests;
A sample holder for a transmission electron microscope, including a.

According to claim 1,
The body part,
a one-touch locking portion at the front end of the body portion so that when pressing the fixture, one end of the fixture presses and fixes at least a portion of the sample and can be locked or unlocked;
A sample holder for a transmission electron microscope, including a.

According to claim 1,
The seating part,
A sample holder for a transmission electron microscope in which a circular groove is formed at a predetermined depth to fix a partial area of a circular sample.

According to claim 1,
The fixing part,
A sample holder for a transmission electron microscope, wherein a circular hole of a predetermined size is formed through one side of the fixture so that a circular sample can be analyzed.

According to claim 1,
a first hinge pin installed on the body and the fixing part so that the body and the fixing part are hinged;
It further includes,
The fixing part,
a first through hole formed through at least a portion of the other side of the fixing part so that the seating part can be opened and closed by rotating about the first hinge pin in the body part;
A sample holder for a transmission electron microscope, including a.

According to claim 1,
a second hinge pin installed on the body and the control unit so that the body and the control unit are hinged;
It further includes,
The control unit,
a second through hole formed through at least a portion of one side of the adjusting part so that the body part can be rotated about the second hinge pin;
A sample holder for a transmission electron microscope, including a.

According to claim 1,
The control unit,
When the body portion is rotated in any direction based on the adjusting portion, it is fixed every 4° to 6° to adjust the angle of the body portion,
A sample holder for a transmission electron microscope, wherein a scale indicating a rotation angle of the body portion is formed on at least one surface of the adjusting portion.

According to claim 1,
An angle adjustment pin that protrudes from at least one surface of the body and is generally formed in a cylindrical shape; It further includes,
The control unit,
An angle adjustment line formed through an overall curved shape on at least one surface of the adjustment unit so that the angle adjustment pin can move;
Including,
The angle adjustment line is,
An angle adjustment hole formed through a circular shape having an inner diameter at least equal to the diameter of the angle adjustment pin so that the angle adjustment pin can be fixed at a predetermined angle;
A sample holder for a transmission electron microscope, including a.

According to claim 1,
a holder house formed in a shape corresponding to the shape of at least a lower surface of the body so that at least a portion of the upper portion can support the body;
A sample holder for a transmission electron microscope, further comprising:

According to clause 9,
The holder house is,
When the body part is coupled to the holder house, a support part protrudes at a predetermined height and supports the non-contact area to correspond to a non-contact area of the sample area that is in non-contact with the upper surface of the seating part and the lower surface of the fixing part;
A sample holder for a transmission electron microscope, including a.

According to claim 10,
The support part,
A sample holder for a transmission electron microscope that is formed to protrude from the fixing portion in a semicircular shape and supports the non-contact area so as to support a circular sample.