KR20240040289A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20240040289A
KR20240040289A KR1020220119122A KR20220119122A KR20240040289A KR 20240040289 A KR20240040289 A KR 20240040289A KR 1020220119122 A KR1020220119122 A KR 1020220119122A KR 20220119122 A KR20220119122 A KR 20220119122A KR 20240040289 A KR20240040289 A KR 20240040289A
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housing
opening
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KR1020220119122A
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김경민
나승은
김순현
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세메스 주식회사
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Abstract

기판 처리 장치를 제공한다. 제공되는 기판 저리 장치는, 기판 처리 장치에 있어서, 내부에 기판을 처리하는 공간이 마련된 하우징; 상기 하우징의 일부분에 형성되는 개구; 및 상기 개구를 개폐하는 밀폐 도어;를 포함한다. 또한 상기 밀폐 도어는, 둘레에 제1 실링부재와 제2 실링부재가 구비된 쐐기부를 가지고, 상기 제2 실링부재는, 상기 제1 실링부재의 후미에 위치되되 상기 제1 실링부재에 비하여 짧은 둘레를 가지고, 상기 개구의 내측면은, 상기 쐐기부의 둘레에 밀착되는 형태로 제공된다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정(예 : 클린 공정, 포토 공정, 에치 공정 등)에 사용되는 기판 처리 장치 등은 기판 처리(예 : 열처리, 액처리, 광처리, 반송처리 등)를 위한 챔버를 가진다.
한편 챔버를 에워싸는 벽면 중 일부분에는 개구와, 그 개구를 개폐하는 도어가 제공되는데, 몇몇 챔버에 제공되는 도어의 경우, 강력한 밀폐 성능을 필요로 한다.
본 발명은 밀폐 도어를 가지는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
* 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다. 실시예에 따른 기판 저리 장치는, 기판 처리 장치에 있어서, 내부에 기판을 처리하는 공간이 마련된 하우징; 상기 하우징의 일부분에 형성되는 개구; 및 상기 개구를 개폐하는 밀폐 도어;를 포함한다. 또한 상기 밀폐 도어는, 둘레에 제1 실링부재와 제2 실링부재가 구비된 쐐기부를 가지고, 상기 제2 실링부재는, 상기 제1 실링부재의 후미에 위치되되 상기 제1 실링부재에 비하여 짧은 둘레를 가지고, 상기 개구의 내측면은, 상기 쐐기부의 둘레에 밀착되는 형태로 제공된다.
일부 실시예들에서, 상기 밀폐 도어는, 상기 쐐기부의 바닥면에 형성되는 플레이트부를 가지고, 상기 플레이트부는, 상기 개구보다 넓은 면적을 가지도록 제공될 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 하우징과 맞닿는 상기 플레이트부의 표면에는, 제3 실링부재가 제공될 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 쐐기부는, 육면체 형상이되 상/하측면 또는 좌/우측면 중 어느 하나 또는 둘 모두가 테이퍼진 형태로 제공될 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 제1 실링부재와 상기 제2 실링부재의 사이 영역에 해당하는 상기 쐐기부의 둘레에는, 요홈부가 제공될 수 있고, 상기 요홈부 내의 가스를 측정하는 가스 센서;를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 밀폐 도어에는, 적어도 2개 이상의 래치 핸들이 제공될 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 래치 핸들은, 일측면이 개방된 함체부와, 상기 함체부의 내부에 위치되는 핸들부와, 상기 함체부의 외부에 위치되는 래치부와, 상기 핸들부의 일측과 상기 상기 래치부의 일측을 상기 함체부에 체결하고 상기 핸들부와 상기 래치부의 작동을 연동시키는 힌지축을 가질 수 있다.
실시예에 따른 기판 저리 장치는 밀폐 성능이 우수하며, 기판을 처리하는 과정에서 사용되는 인체에 유해한 가스가 외부로 유출될 우려가 없다.
* 본 발명의 효과가 상술한 효과들로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도를 도시한다.
도 2는 도 1의 액처리 챔버의 정단면도를 도시한다.
도 3은 밀폐 도어가 구비되는 기판 처리 장치의 하우징 요부를 도시한다.
도 4는 도 3의 밀폐 도어를 다른 측면에서 도시한다.
도 5는 밀폐 도어의 요부 단면도를 도시한다.
도 6은 래치 핸들을 개략적으로 도시한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여, 실시예에 따른 기판 처리 장치를 구체적으로 설명한다.
도 1은 실시예에 따른 기판 처리 장치(1)의 사시도를 도시하고, 도 2는 도 1의 액처리 챔버(400)의 정단면도를 도시한다.
도 1, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 처리 장치(1)는 인덱스 모듈(10), 처리 모듈(20), 그리고 제어기(30)를 포함할 수 있다. 상부에서 바라볼 때, 인덱스 모듈(10)과 처리 모듈(20)은 일 방향을 따라 배치될 수 있고, 이하, 인덱스 모듈(10)과 처리 모듈(20)이 배치된 방향을 제1 방향(X)이라 하고, 상부에서 바라볼 때 제1 방향(X)과 수직한 방향을 제2 방향(Y)이라 하고, 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)에 모두 수직한 방향을 제3 방향(Z)이라 한다.
인덱스 모듈(10)의 전체 또는 일부, 처리 모듈(20)의 전체 또는 일부, 제어기(30)의 전체 또는 일부는 소정 부피를 갖는 하우징(40)의 내부 공간에 위치될 수 있다. 하우징(40)은 금속 재질로 제공될 수 있다.
인덱스 모듈(10)은 기판(W)이 수납된 용기(C)로부터 기판(W)을 처리 모듈(20)로 반송하고, 처리 모듈(20)에서 처리가 완료된 기판(W)을 용기(C)로 수납할 수 있다. 인덱스 모듈(10)의 길이 방향은 제2 방향(Y)으로 제공될 수 있다. 인덱스 모듈(10)은 로드 포트(12)와 인덱스 프레임(14)을 가질 수 있다. 인덱스 프레임(14)을 기준으로 로드 포트(12)는 처리 모듈(20)의 반대 측에 위치된다. 기판(W)들이 수납된 용기(C)는 로드 포트(12)에 놓인다. 로드 포트(12)는 복수 개가 제공될 수 있으며, 복수의 로드 포트(12)는 제2 방향(Y)을 따라 배치될 수 있다.
용기(C)로는 전면 개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod : FOUP)와 같은 밀폐용 용기일 수 있다. 용기(C)는 오버헤드 트랜스퍼(Overhead Transfer), 오버헤드 컨베이어(Overhead Conveyor), 그리고 자동 안내 차량(Automatic Guided Vehicle) 등과 같은 이송 수단(미도시)이나 작업자에 의해 로드 포트(12)에 놓일 수 있다.
인덱스 프레임(14)에는 인덱스 로봇(120)이 제공될 수 있다. 인덱스 프레임(14) 내에는 길이 방향이 제2 방향(Y)으로 가이드 레일(124)이 제공되고, 인덱스 로봇(120)은 가이드 레일(124) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다. 인덱스 로봇(120)은 기판(W)이 놓이는 핸드(122)를 포함하며, 핸드(122)는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(Z)을 축으로 한 회전, 그리고 제3 방향(Z)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. 핸드(122)는 복수 개가 상하 방향으로 이격되게 제공되고, 핸드(122)들은 서로 독립적으로 전진 및 후진 이동할 수 있다.
제어기(30)는 기판 처리 장치(1)를 제어할 수 있다. 제어기(30)는 기판 처리 장치(1)의 제어를 실행하는 마이크로프로세서(컴퓨터)로 이루어지는 프로세스 컨트롤러와, 오퍼레이터가 기판 처리 장치를 관리하기 위해서 커맨드 입력 조작 등을 행하는 키보드나, 기판 처리 장치(1)의 가동 상황을 가시화해서 표시하는 디스플레이 등으로 이루어지는 유저 인터페이스와, 기판 처리 장치(1)에서 실행되는 처리를 프로세스 컨트롤러의 제어로 실행하기 위한 제어 프로그램이나, 각종 데이터 및 처리 조건에 따라 각 구성부에 처리를 실행시키기 위한 프로그램, 즉 처리 레시피가 저장된 기억부를 구비할 수 있다. 또한 유저 인터페이스 및 기억부는 프로세스 컨트롤러에 접속되어 있을 수 있다. 처리 레시피는 기억 부 중 기억 매체에 기억되어 있을 수 있고, 기억 매체는, 하드 디스크이어도 되고, CD-ROM, DVD 등의 가반성 디스크나, 플래시 메모리 등의 반도체 메모리 일 수도 있다.
제어기(30)는 기판 처리 장치(1)를 제어할 수 있다.
처리 모듈(20)은 버퍼 유닛(200), 반송 챔버(300), 액처리 챔버(400), 그리고 건조 챔버(500)를 포함할 수 있다. 버퍼 유닛(200)은 처리 모듈(20)로 반입되는 기판(W)과 처리 모듈(20)로부터 반출되는 기판(W)이 일시적으로 머무르는 공간을 제공한다. 액처리 챔버(400)는 기판(W) 상에 액을 공급하여 기판(W)을 액처리하는 액처리 공정을 수행한다. 건조 챔버(500)는 기판(W) 상에 잔류하는 액을 제거하는 건조 공정을 수행한다. 반송 챔버(300)는 버퍼 유닛(200), 액처리 챔버(400), 그리고 건조 챔버(500) 간에 기판(W)을 반송한다.
반송 챔버(300)는 그 길이 방향이 제1 방향(X)으로 제공될 수 있다. 버퍼 유닛(200)은 인덱스 모듈(10)과 반송 챔버(300) 사이에 배치될 수 있다. 액처리 챔버(400)와 건조 챔버(500)는 반송 챔버(300)의 측부에 배치될 수 있다. 액처리 챔버(400)와 반송 챔버(300)는 제2 방향(Y)을 따라 배치될 수 있다. 건조 챔버(500)와 반송 챔버(300)는 제2 방향(Y)을 따라 배치될 수 있다. 버퍼 유닛(200)은 반송 챔버(300)의 일단에 위치될 수 있다.
액처리 챔버(400)들은 반송 챔버(300)의 양측에 배치되고, 건조 챔버(500)들은 반송 챔버(300)의 양측에 배치되며, 액처리 챔버(400)들은 건조 챔버(500)들보다 버퍼 유닛(200)에 더 가까운 위치에 배치될 수 있다. 반송 챔버(300)의 일측에서 액처리 챔버(400)들은 제1 방향(X) 및 제3 방향(Z)을 따라 각각 A X B(A, B는 각각 1 또는 1 보다 큰 자연수) 배열로 제공될 수 있다. 또한 반송 챔버(300)의 일측에서 건조 챔버(500)들은 제1 방향(X) 및 제3 방향(Z)을 따라 각각 C X D(C, D는 각각 1 또는 1 보다 큰 자연수)개가 제공될 수 있다. 상술한 바와 달리, 반송 챔버(300)의 일측에는 액처리 챔버(400)들만 제공되고, 그 타측에는 건조 챔버(500)들만 제공될 수 있다.
반송 챔버(300)는 반송 로봇(320)을 가질 수 있다. 반송 챔버(300) 내에는 길이 방향이 제1 방향(X)으로 가이드 레일(324)이 제공되고, 반송 로봇(320)은 가이드 레일(324) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다. 반송 로봇(320)은 기판(W)이 놓이는 핸드(322)를 포함할 수 있고, 핸드(322)는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(Z)을 축으로 한 회전, 그리고 제3 방향(Z)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. 핸드(322)는 복수 개가 상하 방향으로 이격되게 제공되고, 핸드(322)들은 서로 독립적으로 전진 및 후진 이동할 수 있다.
버퍼 유닛(200)은 기판(W)이 놓이는 버퍼(220)를 복수 개 구비한다. 버퍼(220)들은 제3 방향(Z)을 따라 서로 간에 이격되도록 배치될 수 있다. 버퍼 유닛(200)은 전면(Front Face)과 후면(Rear Face)이 개방된다. 전면은 인덱스 모듈(10)과 마주보는 면이고, 후면은 반송 챔버(300)와 마주보는 면이다. 인덱스 로봇(120)은 전면을 통해 버퍼 유닛(200)에 접근하고, 반송 로봇(320)은 후면을 통해 버퍼 유닛(200)에 접근할 수 있다.
액처리 챔버(400)는 챔버 하우징(410), 컵(420), 지지 유닛(440), 액 공급 유닛(460), 그리고 승강 유닛(480)을 가질 수 있다.
챔버 하우징(410)은 기판(W)이 처리되는 내부 공간을 가질 수 있다. 챔버 하우징(410)은 대체로 육면체의 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 챔버 하우징(410)은 직육면체의 형상을 가질 수 있다. 또한 챔버 하우징(410)에는 기판(W)이 반입되거나, 반출되는 개구(미도시)가 형성될 수 있다. 또한 챔버 하우징(410)에는 개구를 선택적으로 개폐하는 도어(미도시)가 설치될 수 있다.
컵(420)은 상부가 개방된 통 형상을 가질 수 있다. 컵(420)은 처리 공간을 가지고, 기판(W)은 처리 공간 내에서 액처리 될 수 있다. 지지 유닛(440)은 처리 공간에서 기판(W)을 지지한다. 액 공급 유닛(460)은 지지 유닛(440)에 지지된 기판(W) 상으로 처리액을 공급한다. 처리액은 복수 종류로 제공될 수 있고, 기판(W) 상으로 순차적으로 공급될 수 있다. 승강 유닛(480)은 컵(420)과 지지 유닛(440) 간의 상대 높이를 조절한다.
컵(420)은 복수의 회수통(422, 424, 426)을 가질 수 있다. 회수통들(422, 424, 426)은 각각 기판 처리에 사용된 액을 회수하는 회수 공간을 가질 수 있다. 각각의 회수통들(422, 424, 426)은 지지 유닛(440)을 감싸는 링 형상으로 제공될 수 있다. 액 처리 공정이 진행시 기판(W)의 회전에 의해 비산되는 처리액은 각 회수통(422, 424, 426)의 유입구(422a, 424a, 426a)를 통해 회수 공간으로 유입된다.
컵(420)은 제1 회수통(422), 제2 회수통(424), 그리고 제3 회수통(426)을 가질 수 있다. 제1 회수통(422)은 지지 유닛(440)을 감싸도록 배치되고, 제2 회수통(424)은 제1 회수통(422)을 감싸도록 배치되고, 제3 회수통(426)은 제2 회수통(424)을 감싸도록 배치될 수 있다. 제2 회수통(424)으로 액을 유입하는 제2 유입구(424a)는 제1 회수통(422)으로 액을 유입하는 제1 유입구(422a)보다 상부에 위치되고, 제3 회수통(426)으로 액을 유입하는 제3 유입구(426a)는 제2 유입구(424a)보다 상부에 위치될 수 있다.
지지 유닛(440)은 지지판(442)과 구동축(444)을 가질 수 있다. 지지판(442)의 상면은 대체로 원형으로 제공되고 기판(W)보다 큰 직경을 가질 수 있다. 지지판(442)의 중앙부에는 기판(W)의 후면을 지지하는 지지핀(442a)이 제공되고, 지지핀(442a)은 기판(W)이 지지판(442)으로부터 일정 거리 이격되도록 그 상단이 지지판(442)으로부터 돌출되게 제공될 수 있다. 지지판(442)의 가장자리부에는 척핀(442b)이 제공될 수 있다. 척핀(442b)은 지지판(442)으로부터 상부로 돌출되게 제공되며, 기판(W)이 회전될 때 기판(W)이 지지 유닛(440)으로부터 이탈되지 않도록 기판(W)의 측부를 지지한다. 구동축(444)은 구동기(446)에 의해 구동되며, 기판(W)의 저면 중앙과 연결되며, 지지판(442)을 그 중심축을 기준으로 회전시킨다.
액 공급 유닛(460)은 노즐(462)을 포함할 수 있다. 노즐(462)은 기판(W)으로 처리액을 공급할 수 있다. 처리액은 케미칼, 린스액 및 유기용제 등일 수 있다. 케미칼은 강산 또는 강염기의 성질을 가지는 것일 수 있다. 또한 린스액은 순수(純水)일 수 있다. 유기용제는 이소프로필알코올(IPA)일 수 있다.
액 공급 유닛(460)은 복수의 노즐(462)들을 포함할 수 있고, 각각의 노즐(462)들에서는 서로 상이한 종류의 처리액을 공급할 수 있다. 예컨대, 노즐(462)들 중 어느 하나에서는 케미칼을 공급하고, 노즐(462)들 중 다른 하나에서는 린스액을 공급하고, 노즐(462)들 중 또 다른 하나에서는 유기용제를 공급할 수 있다.
제어기(30)는 노즐(462)들 중 다른 하나에서 기판(W)으로 린스액을 공급한 이후, 노즐(462)들 중 또 다른 하나에서 유기용제를 공급하도록 액 공급 유닛(460)을 제어할 수 있다. 이에 기판(W) 상에 공급된 린스액은 표면 장력이 작은 유기용제로 치환될 수 있다.
승강 유닛(480)은 컵(420)을 상하 방향으로 이동시킨다. 컵(420)의 상하 이동에 의해 컵(420)과 기판(W) 간의 상대 높이가 변경된다. 이에 의해 기판(W)에 공급되는 액의 종류에 따라 처리액을 회수하는 회수통(422, 424, 426)이 변경되므로, 액들이 분리 회수될 수 있다. 상술한 바와 달리, 컵(420)은 고정 설치되고, 승강 유닛(480)은 지지 유닛(440)을 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.
도 3은 밀폐 도어(42)가 구비되는 기판 처리 장치(1)의 하우징(40) 요부를 도시하고, 도 4는 도 3의 밀폐 도어(42)를 다른 측면에서 도시한다.
도 3, 도 4에 도시된 바와 같이, 기판 처리 장치(1)의 하우징(40)에는 소정 면적을 가지는 개구(41)와, 개구(41)를 개폐하는 밀폐 도어(42)가 제공된다. 개구(41)는 인덱스 모듈(10) 및 처리 모듈(20) 등을 유지보수하기 위한 용도로 사용될 수 있다.
개구(41)는 처리 모듈(20)의 특정 챔버[버퍼 유닛(200), 반송 챔버(300), 액처리 챔버(400), 건조 챔버(500) 등]와 연통되도록 제공될 수 있다. 개구(41)는 특정 크기가 특정 형태로 제한되지 않는다.
밀폐 도어(1000)는 쐐기부(1100)와 플레이트부(1200)를 포함할 수 있다.
쐐기부(1100)는 개구(41)에 삽입된다. 쐐기부(1100)는 소정 두께(전후 방향의 폭을 의미)를 갖되, 개구(41)를 향하는 방향을 따라 그 수직 단면적이 줄어드는 선형적으로 형태일 수 있다. 하나의 예로서, 쐐기부(1100)는 소정 두께를 육면체 형상이되, 상/하측면(1101, 1102) 또는 좌/우측면(1103, 1104) 중 어느 하나 또는 둘 모두가 테이퍼진 형태로 제공될 수 있다.
개구(41)의 내측면(42)은 쐐기부(1100)의 둘레[상/하/좌/우측면(1101, 1102, 1103, 1104)]에 밀착되는 형태로 제공된다.
쐐기부(1100)의 둘레에는 제1 실링부재(1110)와 제2 실링부재(1120)가 제공된다. 제1 실링부재(1110)와 제2 실링부재(1120)는 러버 또는 실리콘 재질로 제공될 수 있다. 제2 실링부재(1120)는 제1 실링부재(1110)의 후미에 위치되며, 제1 실링부재(1110)에 비하여 짧은 둘레를 가진다. 쐐기부(1100)가 개구(41)에 삽입된 상태에서, 제1 실링부재(1110)와 제2 실링부재(1120)는 쐐기부(1100)의 둘레면과 도어(42)의 내측면 사이의 틈을 마감한다.
플레이트부(1200)는 쐐기부(1100)의 바닥면[쐐기부(1100)가 개구(41)와 등지는 면]에 구비된다. 쐐기부(1100)와 플레이트부(1200)는 일체로 구성되나, 선택적으로 쐐기부(1100)와 플레이트부(1200)는 각각 개별적으로 제작된 후, 결합되어도 무방하다.
플레이트부(1200)는 개구(41)보다 큰 수직 단면적을 가진다. 즉 밀폐 도어(1000)가 개구(41)에 결합된 상태에서, 플레이트부(1200)는 하우징(40)의 외측에 위치되며, 개구(41)와 마주하는 플레이트부(1200)의 배면 가장자리는 개구(41)에 인접한 하우징(40)의 소정 영역에 맞닿는다.
하우징(40)과 맞닿는 플레이트부(1200)의 표면(배면 가장자리)에는, 제3 실링부재(1230)가 제공될 수 있다. 제3 실링부재(1230)는 하우징(40)과 플레이트부(1200) 사이의 틈을 마감한다.
도 5는 밀폐 도어(42)의 요부 단면도를 도시한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 제1 실링부재(1110)와 제2 실링부재(1120)의 사이 영역에 해당하는 쐐기부(1100)의 둘레에는 요홈부(1300)가 제공될 수 있고, 기판 처리 장치(1)는 요홈부(1300) 내의 가스를 측정하는 가스 센서(미도시)를 더 포함할 수 있다.
가스 센서는 하우징(40)의 내부에서 사용된 가스가 밀폐 도어(1000)와 개구(41)의 틈 사이로 누출되었는지 여부를 측정한다. 가스 센서는 그 전체가 요홈부(1300) 내에 위치될 수 있고, 선택적으로 가스를 감지하는 부분만 요홈부(1300) 내에 위치될 수도 있다.
다시 도 3, 도 4를 참조하면, 밀폐 도어(1000)에는 세이프티 인터락(1500)이 제공될 수 있다. 세이프티 인터락(Safety Interlock, 1500)은 설비가 정상상태를 벗어나게 되어 발생하는 이상 상황을 알리고, 이상 상황시, 즉시 설비를 정지시키겨 재해를 예방하는 기능을 가진 인터락을 의미한다.
밀폐 도어(1000)에는 적어도 2개 이상의 래치 핸들(1400)이 구비되고, 밀폐 도어(1000)는 하우징(40)에 탈부착 가능한 형태로 제공될 있다.
도 6은 래치 핸들(1400)을 개략적으로 도시한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 래치 핸들(1400)은 함체부(1410), 핸들부(1420), 래치부(1430) 및 힌지축(1440)을 포함할 수 있다.
함체부(1410)는 소정 부피를 가지고, 일측면(전면)이 개방된 형태로 제공된다. 함체부(1410)는 특정 형태로 제한되지 않으나, 하나의 예로서, 도면에 도시된 바와 같이, 직육면체에 가까운 형태일 수 있다.
핸들부(1420)는 함체부(1410)의 내부 공간에 위치된다. 핸들부(1420)는 막대와 유사한 형태로 제공된다. 함체부(1410)와 핸들부(1420) 사이에 사용자가 핸들부(1420)를 파지할 수 있는 공간이 마련되도록, 핸들부(1420)의 길이는 함체부(1410) 내부 공간의 길이보다 짧은 길이를 가지도록 구성될 수 있다.
래치부(1430)는 함체부(1410)의 외부에 위치되되, 그 일측이 함체부(1410)에 맞닿는다. 래치부(1430)는 함체부(1410)에 체결되는 암(1431)과, 암(1431)의 일측에 구비되는 가압바(1432)를 포함할 수 있다.
힌지축(1440)은 함체부(1410)의 길이 방향 일측 영역에 함체부(1410)의 높이 방향으로 결합되어, 핸들부(1420)의 길이 방향 일측과, 래치부(1430)의 일측을 함체부(1410)에 체결한다. 또한 힌지축(1440)은 핸들부(1420)와 래치부(1430)의 작동을 연동시킨다.
핸들부(1420)는 힌지축(1440)을 중심으로 회동 가능하고, 타측이 함체부(1410)의 내부 공간에 위치되는 제1 위치와, 함체부(1410)의 외부로 노출되는 제2 위치를 가진다.
핸들부(1420)가 제1 위치일 때, 래치부(1430)의 타측은 하우징(40)의 내측면을 가압하는 상태가 되고, 핸들부(1420)가 제2 위치일 때, 래치부(1430)의 타측은 하우징(40)의 내측면으로부터 소정 거리 이격된 상태가 된다.
핸들부(1420)에는 핸들부(1420)가 제1 위치일 때, 핸들부(1420)가 외력에 의하여 회동되지 않도록, 잠금 기능을 수행하는 잠금부(1421)가 더 제공될 수 있다.
밀폐 도어(1000)는 반드시 하우징(40)에 탈부착 가능한 형태로 제공되어야 하는 것은 아니며, 일부 실시예들에서, 밀폐 도어(1000)은 일측 가장자리가 하우징(40)에 힌지 결합되도록 제공될 수도 있다.
* 이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
1000 : 밀폐 도어
1100 : 쐐기부
1110 : 제1 실링부재 120 : 제2 실링부재
1200 : 플레이트부
1230 : 제3 실링부재
1300 : 요홈부
1400 : 래치 핸들
1410 : 함체부 1420 : 핸들부
1430 : 래치부 1440 : 힌지축
1500 : 세이프티 인터락

Claims (7)

  1. 기판 처리 장치에 있어서,
    내부에 기판을 처리하는 공간이 마련된 하우징;
    상기 하우징의 일부분에 형성되는 개구; 및
    상기 개구를 개폐하는 밀폐 도어;를 포함하되,
    상기 밀폐 도어는, 둘레에 제1 실링부재와 제2 실링부재가 구비된 쐐기부를 가지고,
    상기 제2 실링부재는, 상기 제1 실링부재의 후미에 위치되되 상기 제1 실링부재에 비하여 짧은 둘레를 가지고,
    상기 개구의 내측면은, 상기 쐐기부의 둘레에 밀착되는 형태로 제공되는, 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀폐 도어는, 상기 쐐기부의 바닥면에 형성되는 플레이트부를 가지고,
    상기 플레이트부는, 상기 개구보다 넓은 면적을 가지도록 제공되는, 기판 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 하우징과 맞닿는 상기 플레이트부의 표면에는, 제3 실링부재가 제공되는, 기판 처리 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 쐐기부는, 육면체 형상이되 상/하측면 또는 좌/우측면 중 어느 하나 또는 둘 모두가 테이퍼진 형태로 제공되는, 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 실링부재와 상기 제2 실링부재의 사이 영역에 해당하는 상기 쐐기부의 둘레에는, 요홈부가 제공되고,
    상기 요홈부 내의 가스를 측정하는 가스 센서;를 포함하는, 기판 처리 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀폐 도어에는, 적어도 2개 이상의 래치 핸들(Latch Handle)이 제공되는, 기판 처리 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 래치 핸들은,
    일측면이 개방된 함체부와,
    상기 함체부의 내부에 위치되는 핸들부와,
    상기 함체부의 외부에 위치되는 래치부와,
    상기 핸들부의 일측과 상기 상기 래치부의 일측을 상기 함체부에 체결하고 상기 핸들부와 상기 래치부의 작동을 연동시키는 힌지축을 가지는, 기판 처리 장치.
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