KR20240036560A - 반사형 마스크 블랭크, 반사형 마스크, 반사형 마스크 블랭크의 제조 방법 및 반사형 마스크의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
반사형 마스크 블랭크는, 기판과, EUV 광을 반사하는 다층 반사막과, 상기 EUV 광의 위상을 시프트시키는 위상 시프트막을 이 순으로 갖는다. 상기 위상 시프트막은, 개구 패턴이 형성될 예정의 막이다. 상기 위상 시프트막은, 상기 EUV 광에 대한 굴절률이 0.920 이하이고, 상기 EUV 광에 대한 소쇠 계수가 0.024 이상이고, 막 두께가 50㎚ 이하이고, 라인 앤 스페이스 패턴을 대상 기판에 형성한 경우의 전사상의 규격화상 로그 슬로프(Normalized Image Log Slope)가 2.9 이상이고, 상기 전사상의 초점 심도의 여유도 범위가 60㎚ 이하이다.
Description
본 개시는, 반사형 마스크 블랭크, 반사형 마스크, 반사형 마스크 블랭크의 제조 방법 및 반사형 마스크의 제조 방법에 관한 것이다.
근년, 반도체 디바이스의 미세화에 수반하여, 극단 자외선(Extreme Ultra-Violet: EUV)을 사용한 노광 기술인 EUV 리소그래피(EUVL)가 개발되고 있다. EUV란, 연X선 및 진공 자외선을 포함하고, 구체적으로는 파장이 0.2㎚ 내지 100㎚ 정도의 광이다. 현시점에서는, 13.5㎚ 정도의 파장의 EUV가 주로 검토되고 있다.
EUVL에서는, 반사형 마스크가 사용된다. 반사형 마스크는, 유리 기판 등의 기판과, 기판 상에 형성되는 다층 반사막과, 다층 반사막 상에 형성되는 위상 시프트막을 포함한다. 위상 시프트막에는, 개구 패턴이 형성된다. EUVL에서는, 위상 시프트막의 개구 패턴을 반도체 기판 등의 대상 기판에 전사한다. 전사하는 것은, 축소하여 전사하는 것을 포함한다.
특허문헌 1의 실시예 1에는, Ta층과 Mo층을 교호로 포함하는 위상 시프트막이 개시되어 있다. Ta는, 굴절률이 0.943이고, 소쇠 계수가 0.041이다(특허문헌 1의 단락 0045). Mo는, 굴절률이 0.921이고, 소쇠 계수가 0.006이다(특허문헌 1의 단락 0046).
특허문헌 1의 실시예 4에는, Ta층과 Ru층을 교호로 포함하는 위상 시프트막이 개시되어 있다. Ru는, 굴절률이 0.888이고, 소쇠 계수가 0.017이다(특허문헌 1의 단락 0046).
특허문헌 2의 실시예 4에는, RuNi 합금(Ru:Ni=0.65:0.35)을 포함하는 위상 시프트막이 개시되어 있다. RuNi 합금(Ru:Ni=0.65:0.35)은, 굴절률이 0.905이고, 소쇠 계수가 0.035이다.
종래부터, EUVL용의 위상 시프트막의 화학 조성 및 구조에 대하여 검토되고 있지만, 위상 시프트막의 개구 패턴이 홀이나 라인 앤 스페이스가 혼재하게 되는 로직에 적합한 패턴을 포함하는 경우에 대하여 충분한 검토가 이루어져 있지 않았다.
본 개시의 일 양태는, EUV 광을 사용하여 반사형 마스크로부터 대상 기판에 전사되는 라인 앤 스페이스 패턴의 전사 정밀도를 향상시키는, 기술을 제공한다.
본 개시의 일 양태에 관한 반사형 마스크 블랭크는, 기판과, EUV 광을 반사하는 다층 반사막과, 상기 EUV 광의 위상을 시프트시키는 위상 시프트막을 이 순으로 갖는다. 상기 위상 시프트막은, 개구 패턴이 형성될 예정의 막이다. 상기 위상 시프트막은, 상기 EUV 광에 대한 굴절률이 0.920 이하이고, 상기 EUV 광에 대한 소쇠 계수가 0.024 이상이고, 막 두께가 50㎚ 이하이고, 라인 앤 스페이스 패턴을 대상 기판에 형성한 경우의 전사상의 규격화상 로그 슬로프(Normalized Image Log Slope)가 2.9 이상이고, 상기 전사상의 초점 심도의 여유도 범위가 60㎚ 이하이다.
본 개시의 일 양태에 의하면, EUV 광을 사용하여 반사형 마스크로부터 대상 기판에 전사되는 라인 앤 스페이스 패턴의 전사 정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 1은, 일 실시 형태에 관한 반사형 마스크 블랭크를 도시하는 단면도이다.
도 2는, 일 실시 형태에 관한 반사형 마스크를 도시하는 단면도이다.
도 3은, 도 2의 반사형 마스크에서 반사되는 EUV 광의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 4는, 위상 시프트막의 화학 조성과 굴절률과 소쇠 계수의 관계의 일례를 도시하는 도면이다.
도 5는, 전사상의 광 강도 분포의 일례를 도시하는 도면이다.
도 6은, 일 실시 형태에 관한 반사형 마스크 블랭크의 제조 방법을 도시하는 흐름도이다.
도 7은, 일 실시 형태에 관한 반사형 마스크의 제조 방법을 도시하는 흐름도이다.
도 2는, 일 실시 형태에 관한 반사형 마스크를 도시하는 단면도이다.
도 3은, 도 2의 반사형 마스크에서 반사되는 EUV 광의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 4는, 위상 시프트막의 화학 조성과 굴절률과 소쇠 계수의 관계의 일례를 도시하는 도면이다.
도 5는, 전사상의 광 강도 분포의 일례를 도시하는 도면이다.
도 6은, 일 실시 형태에 관한 반사형 마스크 블랭크의 제조 방법을 도시하는 흐름도이다.
도 7은, 일 실시 형태에 관한 반사형 마스크의 제조 방법을 도시하는 흐름도이다.
이하, 본 개시를 실시하기 위한 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 각 도면에 있어서 동일한 또는 대응하는 구성에는 동일한 부호를 붙이고, 설명을 생략하는 경우가 있다. 명세서 중, 수치 범위를 나타내는 「내지」는, 그 전후에 기재된 수치를 하한값 및 상한값으로서 포함하는 것을 의미한다.
도 1을 참조하여, 일 실시 형태에 관한 반사형 마스크 블랭크(1)에 대하여 설명한다. 반사형 마스크 블랭크(1)는, 예를 들어 기판(10)과, 다층 반사막(11)과, 보호막(12)과, 위상 시프트막(13)과, 에칭 마스크막(14)을 이 순서로 갖는다. 다층 반사막(11)과, 보호막(12)과, 위상 시프트막(13)과, 에칭 마스크막(14)은, 이 순서로, 기판(10)의 제1 주면(10a)에 형성된다. 또한, 반사형 마스크 블랭크(1)는, 적어도, 기판(10)과, 다층 반사막(11)과, 위상 시프트막(13)을 갖고 있으면 된다.
반사형 마스크 블랭크(1)는, 도시하지 않은 기능막을 더 가져도 된다. 예를 들어, 반사형 마스크 블랭크(1)는, 기판(10)을 기준으로 하여, 다층 반사막(11)과는 반대측에, 도전막을 가져도 된다. 도전막은, 예를 들어 반사형 마스크(2)를 노광 장치의 정전 척에 흡착하는데 사용된다. 반사형 마스크 블랭크(1)는, 다층 반사막(11)과 보호막(12) 사이에, 도시하지 않은 확산 배리어막을 가져도 된다. 확산 배리어막은, 보호막(12)에 포함되는 금속 원소가 다층 반사막(11)에 확산되는 것을 억제한다.
이어서, 도 2 및 도 3을 참조하여, 일 실시 형태에 관한 반사형 마스크(2)에 대하여 설명한다. 도 2 및 도 3에 있어서, X축 방향과 Y축 방향과 Z축 방향은 서로 직교하는 방향이다. Z축 방향은, 기판(10)의 제1 주면(10a)에 대하여 수직인 방향이다. X축 방향은, 라인 앤 스페이스 패턴의 라인의 길이 방향이다. Y축 방향은, 라인의 폭 방향이다.
반사형 마스크(2)는, 예를 들어 도 1에 도시하는 반사형 마스크 블랭크(1)를 사용하여 제작되고, 위상 시프트막(13)에 개구 패턴(13a)을 포함한다. 개구 패턴(13a)은, 라인 앤 스페이스 패턴을 포함한다. 또한, 도 1에 도시하는 에칭 마스크막(14)은, 위상 시프트막(13)에 개구 패턴(13a)을 형성한 후에 제거된다.
EUVL에서는, 위상 시프트막(13)의 개구 패턴(13a)을 반도체 기판 등의 대상 기판에 전사한다. 전사하는 것은, 축소하여 전사하는 것을 포함한다. 이하, 기판(10), 다층 반사막(11), 보호막(12), 위상 시프트막(13) 및 에칭 마스크막(14)에 대해서, 이 순서로 설명한다.
기판(10)은, 예를 들어 유리 기판이다. 기판(10)의 재질은, TiO2를 함유하는 석영 유리가 바람직하다. 석영 유리는, 일반적인 소다석회 유리에 비하여, 선팽창 계수가 작고, 온도 변화에 의한 치수 변화가 작다. 석영 유리는, SiO2를 80질량％ 내지 95질량％, TiO2를 4질량％ 내지 17질량％ 포함해도 된다. TiO2 함유량이 4질량％ 내지 17질량％이면, 실온 부근에서의 선팽창 계수가 대략 제로이고, 실온 부근에서의 치수 변화가 거의 발생하지 않다. 석영 유리는, SiO2 및 TiO2 이외의 제3 성분 또는 불순물을 포함해도 된다. 또한, 기판(10)의 재질은, β 석영 고용체를 석출한 결정화 유리, 실리콘, 또는 금속 등이어도 된다.
기판(10)은, 제1 주면(10a)과, 제1 주면(10a)과는 반대 방향의 제2 주면(10b)을 갖는다. 제1 주면(10a)에는, 다층 반사막(11) 등이 형성된다. 평면에서 보아(Z축 방향에서 보아) 기판(10)의 사이즈는, 예를 들어 세로 152㎜, 가로 152㎜이다. 세로 치수 및 가로 치수는, 152㎜ 이상이어도 된다. 제1 주면(10a)과 제2 주면(10b)은, 각각의 중앙에, 예를 들어 정사각형의 품질 보증 영역을 갖는다. 품질 보증 영역의 사이즈는, 예를 들어 세로 142㎜, 가로 142㎜이다. 제1 주면(10a)의 품질 보증 영역은, 0.15㎚ 이하의 제곱 평균 조도(RMS)와, 100㎚ 이하의 평탄도를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 제1 주면(10a)의 품질 보증 영역은, 위상 결함을 발생시키는 결점을 갖지 않는 것이 바람직하다.
다층 반사막(11)은, EUV 광을 반사한다. 다층 반사막(11)은, 예를 들어 고굴절률층과 저굴절률층을 교호로 적층한 것이다. 고굴절률층의 재질은 예를 들어 실리콘(Si)이고, 저굴절률층의 재질은 예를 들어 몰리브덴(Mo)이고, Mo/Si 다층 반사막이 사용된다. 또한, Ru/Si 다층 반사막, Mo/Be 다층 반사막, Mo 화합물/Si 화합물 다층 반사막, Si/Mo/Ru 다층 반사막, Si/Mo/Ru/Mo 다층 반사막, Si/Ru/Mo/Ru 다층 반사막 등도, 다층 반사막(11)으로서 사용 가능하다.
다층 반사막(11)을 구성하는 각 층의 막 두께 및 층의 반복 단위의 수는, 각 층의 재질 및 EUV 광에 대한 반사율에 따라서 적절히 선택할 수 있다. 다층 반사막(11)은, Mo/Si 다층 반사막인 경우, 입사각 θ(도 3 참조)가 6°인 EUV 광에 대하여 60％ 이상의 반사율을 달성하기 위해서는, 막 두께 2.3±0.1㎚의 Mo층과, 막 두께 4.5±0.1㎚의 Si층을 반복 단위수가 30 이상 60 이하가 되도록 적층하면 된다. 다층 반사막(11)은, 입사각 θ가 6°인 EUV 광에 대하여 60％ 이상의 반사율을 갖는 것이 바람직하다. 반사율은, 보다 바람직하게는 65％ 이상이다.
다층 반사막(11)을 구성하는 각 층의 성막 방법은, 예를 들어 DC 스퍼터링법, 마그네트론 스퍼터링법, 또는 이온빔 스퍼터링법 등이다. 이온빔 스퍼터링법을 사용하여 Mo/Si 다층 반사막을 형성하는 경우, Mo층과 Si층의 각각의 성막 조건의 일례는 하기와 같다.
<Si층의 성막 조건>
타깃: Si 타깃
스퍼터 가스: Ar 가스
가스압: 1.3×10-2Pa 내지 2.7×10-2Pa
이온 가속 전압: 300V 내지 1500V
성막 속도: 0.030㎚/sec 내지 0.300㎚/sec
Si층의 막 두께: 4.5±0.1㎚
<Mo층의 성막 조건>
타깃: Mo 타깃
스퍼터 가스: Ar 가스
가스압: 1.3×10-2Pa 내지 2.7×10-2Pa
이온 가속 전압: 300V 내지 1500V
성막 속도: 0.030㎚/sec 내지 0.300㎚/sec
Mo층의 막 두께: 2.3±0.1㎚
<Si층과 Mo층의 반복 단위>
반복 단위수: 30 내지 60(바람직하게는 40 내지 50).
보호막(12)은, 다층 반사막(11)과 위상 시프트막(13) 사이에 형성되고, 에칭 가스로부터 다층 반사막(11)을 보호한다. 에칭 가스는, 위상 시프트막(13)에 개구 패턴(13a)(도 2 참조)을 형성하는데 사용한다. 에칭 가스는, 예를 들어 할로겐계 가스, 산소계 가스, 또는 이들의 혼합 가스이다. 에칭 가스의 상세에 대해서는, 후술한다. 보호막(12)은, 에칭 가스에 노출되어도 제거되지 않고, 다층 반사막(11) 상에 남는다.
보호막(12)은, 세정액인 황산과수(SPM: Sulfuric acid-hydrogen Peroxide Mixture)에 대하여 내성을 갖고, 황산과수로부터 다층 반사막(11)을 보호한다. 황산과수는, 예를 들어 도시하지 않은 레지스트막의 제거, 또는 반사형 마스크(2)의 세정 등에 사용된다. 레지스트막은, 에칭 마스크막(14)(에칭 마스크막(14)이 존재하지 않는 경우에는 위상 시프트막(13)) 상에 형성된다.
보호막(12)은, 예를 들어 루테늄(Ru), 로듐(Rh) 및 실리콘(Si)에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함한다. 보호막(12)은, 로듐을 포함하는 경우, 로듐만을 포함해도 되지만, 로듐에 추가하여, 질소(N), 산소(O), 탄소(C), 붕소(B), 루테늄(Ru), 니오븀(Nb), 몰리브덴(Mo), 탄탈(Ta), 이리듐(Ir), 팔라듐(Pd), 지르코늄(Zr), 이트륨(Y) 및 티타늄(Ti)으로 이루어지는 군에서 선택되는 원소를 더 포함해도 된다.
보호막(12)의 재질은, 로듐 합금이어도 된다. 로듐 합금은, Rh에 추가하여, Ru, Nb, Mo, Ta, Ir, Pd, Zr, Ti 및 Y로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 원소 X를 포함한다. 원소 X가 Ru, Nb, Mo, Zr, Ti, Y의 경우에는, 굴절률 n을 크게 증가시키지 않고, 소쇠 계수 k를 작게 할 수 있기 때문에, EUV 광에 대한 반사율을 향상시킨다. 원소 X가 Ru, Ta, Ir, Pd, Y의 경우에는 특정한 가스에 대한 에칭 내구성이나 세정에 대한 내구성을 향상시킬 수 있다. 원소 X로서는, Ru, Nb, Mo, Y 및 Zr이 바람직하다.
X와 Rh의 원소비(X:Rh)는, 바람직하게는 1:99 내지 1:1이다. 본 명세서에 있어서, 원소비란, 몰비이다. 비의 값(X/Rh)이 1/99 이상이면, EUV 광에 대한 반사율이 양호하다. 비의 값(X/Rh)이 1 이하이면, 보호막(12)의 에칭 가스에 대한 내구성이 양호하다. X와 Rh의 원소비(X:Rh)는, 보다 바람직하게는 3:10 내지 1:1이다.
보호막(12)은, Rh에 추가하여, N, O, C 및 B로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 원소 Z를 포함해도 된다. 원소 Z는, 보호막(12)의 에칭 가스에 대한 내구성을 저하시켜 버리는 반면, 보호막(12)의 결정성을 저하시킴으로써 보호막(12)의 평활성을 향상시킨다. 원소 Z를 포함하는 보호막(12)은, 비결정 구조, 또는 미결정 구조를 갖는다. 보호막(12)이 비결정 구조, 또는 미결정 구조를 갖는 경우, 보호막(12)의 X선 회절 프로파일은 명료한 피크를 갖지 않는다.
보호막(12)이 Rh에 추가하여 Z를 포함하는 경우, Rh의 함유량 또는 Rh와 X의 합계의 함유량은 40at％ 내지 99at％이며 또한 Z의 합계의 함유량은 1at％ 내지 60at％인 것이 바람직하다. 보호막(12)이 Rh에 추가하여 Z를 포함하는 경우, Rh의 함유량 또는 Rh와 X의 합계의 함유량은 80at％ 내지 99at％이며 또한 Z의 합계의 함유량은 1at％ 내지 20at％인 것이 보다 바람직하다.
보호막(12)은, Rh를 90at％ 이상 포함하고, X와 Z의 적어도 하나를 포함하고, 또한 10.0g/㎤ 내지 14.0g/㎤의 막 밀도를 갖는 경우, 비결정 구조, 또는 미결정 구조를 갖는다. 보호막(12)의 막 밀도는, 바람직하게는 11.0g/㎤ 내지 13.0g/㎤이다. 또한, 보호막(12)은, Rh를 100at％ 포함하고, 또한 11.0g/㎤ 내지 12.0g/㎤의 막 밀도를 갖는 경우, 비결정 구조, 또는 미결정 구조를 갖는다. 또한, 보호막(12)의 막 밀도는, X선 반사율법을 사용하여 측정한다.
보호막(12)의 막 두께는, 1.0㎚ 이상 10.0㎚ 이하가 바람직하고, 2.0㎚ 이상 3.5㎚ 이하가 보다 바람직하다.
보호막(12)의 제곱 평균 조도(RMS)는, 0.3㎚ 이하가 바람직하고, 0.1㎚ 이하가 보다 바람직하다.
보호막(12)의 성막 방법은, 예를 들어 DC 스퍼터링법, 마그네트론 스퍼터링법, 또는 이온빔 스퍼터링법 등이다. DC 스퍼터링법을 사용하여 Rh막을 형성하는 경우, 성막 조건의 일례는 하기와 같다.
<Rh막의 성막 조건>
타깃: Rh 타깃
스퍼터 가스: Ar 가스
가스압: 1.0×10-2Pa 내지 1.0×100Pa
타깃 면적당의 투입 전력 밀도: 1.0W/㎠ 내지 8.5W/㎠
성막 속도: 0.020㎚/sec 내지 1.000㎚/sec
Rh막의 막 두께: 1㎚ 내지 10㎚.
또한, Rh막을 형성하는 경우, 스퍼터 가스로서, N2 가스, 또는 Ar 가스와 N2의 혼합 가스를 사용해도 된다. 스퍼터 가스 중의 N2 가스의 체적비(N2/(Ar+N2))는 0.05 이상 1.0 이하이다.
DC 스퍼터링법을 사용하여, RhO막을 형성하는 경우, 성막 조건의 일례는 하기와 같다.
<RhO막의 성막 조건>
타깃: Rh 타깃
스퍼터 가스: O2 가스, 또는 Ar 가스와 O2의 혼합 가스
스퍼터 가스 중의 O2 가스의 체적비(O2/(Ar+O2)): 0.05 내지 1.0
가스압: 1.0×10-2Pa 내지 1.0×100Pa
타깃 면적당의 투입 전력 밀도: 1.0W/㎠ 내지 8.5W/㎠
성막 속도: 0.020㎚/sec 내지 1.000㎚/sec
RhO막의 막 두께: 1㎚ 내지 10㎚.
DC 스퍼터링법을 사용하여, RhRu막을 형성하는 경우, 성막 조건의 일례는 하기와 같다.
<RhRu막의 성막 조건>
타깃: Rh타깃 및 Ru타깃(또는 RhRu타깃)
스퍼터 가스: Ar 가스
가스압: 1.0×10-2Pa 내지 1.0×100Pa
타깃 면적당의 투입 전력 밀도: 1.0W/㎠ 내지 8.5W/㎠
성막 속도: 0.020㎚/sec 내지 1.000㎚/sec
RhRu막의 막 두께: 1㎚ 내지 10㎚.
위상 시프트막(13)은, 개구 패턴(13a)이 형성될 예정의 막이다. 개구 패턴(13a)은, 반사형 마스크 블랭크(1)의 제조 공정에서는 형성되지 않고, 반사형 마스크(2)의 제조 공정에서 형성된다. 위상 시프트막(13)은, 도 3에 도시하는 제1 EUV 광 L1에 대하여, 제2 EUV 광 L2의 위상을 시프트시킨다. 제1 EUV 광 L1은, 위상 시프트막(13)을 투과하지 않고 개구 패턴(13a)을 통과하고, 다층 반사막(11)에서 반사되어, 다시 위상 시프트막(13)을 투과하지 않고 개구 패턴(13a)을 통과한 광이다. 제2 EUV 광 L2는, 위상 시프트막(13)에 흡수되면서 위상 시프트막(13)을 투과하고, 다층 반사막(11)에서 반사되어, 다시 위상 시프트막(13)에 흡수되면서 위상 시프트막(13)을 투과한 광이다. 제1 EUV 광 L1과 제2 EUV 광 L2의 위상차는, 예를 들어 170° 내지 250°이다. 제1 EUV 광 L1의 위상이, 제2 EUV 광 L2의 위상보다도, 진행되어 있어도 되고, 지연되어 있어도 된다. 제1 EUV 광 L1과 제2 EUV 광 L2의 위상차는, 170° 내지 250°가 바람직하고, 180° 내지 245°가 보다 바람직하고, 190° 내지 240°가 더욱 바람직하고, 190° 내지 235°가 특히 바람직하다. 위상 시프트막(13)은, 제1 EUV 광 L1과 제2 EUV 광 L2의 간섭을 이용하여, 전사상의 콘트라스트를 향상시킨다. 전사상은, 위상 시프트막(13)의 개구 패턴(13a)을 대상 기판에 전사한 상이다.
종래부터, EUVL용의 위상 시프트막(13)의 화학 조성 및 구조에 대하여 검토되고 있지만, 개구 패턴(13a)이 라인 앤 스페이스 패턴을 포함하는 경우에 대하여 충분한 검토가 이루어져 있지 않았다.
본 발명자는, 위상 시프트막(13)의 EUV 광에 대한 굴절률 n과, 위상 시프트막(13)의 EUV 광에 대한 소쇠 계수 k에 착안하였다. 위상 시프트막(13)에 포함될 수 있는 각 원소의 굴절률과 소쇠 계수를 도 4에 도시한다. 본 발명자는, 상세하게는 실시예의 란에서 설명하지만, 굴절률 n이 0.920 이하이며 소쇠 계수 k가 0.024 이상인 범위의 일부에, 라인 앤 스페이스 패턴의 전사 정밀도를 향상시킬 수 있는 범위(예를 들어 도 4에 도시하는 범위 A)가 존재하는 것을 발견하였다.
위상 시프트막(13)의 광학 특성(굴절률 n과 소쇠 계수 k)은, Center for X-Ray Optics, Lawrence Berkeley National Laboratory의 데이터베이스의 값 또는 후술하는 반사율의 「입사각의 의존성」으로부터 산출한 값을 사용한다.
EUV 광의 입사각 θ와, EUV 광에 대한 반사율 R과, 위상 시프트막(13)의 굴절률 n과, 위상 시프트막(13)의 소쇠 계수 k는, 하기의 식 (1)을 만족시킨다.
R=|(sinθ-((n+ik)2-cos2θ)1/2)/(sinθ+((n+ik)2-cos2θ)1/2)|··· (1)
입사각 θ와 반사율 R의 조합을 복수 측정하고, 복수의 측정 데이터와 식 (1)의 오차가 최소가 되도록, 최소 제곱법으로 굴절률 n과 소쇠 계수 k를 산출한다.
위상 시프트막(13)은, 굴절률 n이 0.920 이하이고, 소쇠 계수 k가 0.024 이상이고, 막 두께 t가 50㎚ 이하이고, 전사상의 규격화상 로그 슬로프 NILS가 2.90 이상이고, 전사상의 초점 심도의 여유도 범위 m이 60㎚ 이하이다. 전사상은, 개구 패턴(13a)에 포함되는 라인 앤 스페이스 패턴을 대상 기판에 전사한 전사상이다.
전사상의 규격화상 로그 슬로프 NILS는, 전사상의 콘트라스트를 나타내는 수치이고, 하기 식 (1)을 사용하여 산출한다.
상기 식 (1)에 있어서, I(x)는 전사상의 광 강도(최대 강도로 규격화한 강도, 무차원량)이고, x는 전사상의 폭 방향(라인에 직교하는 방향이며, 도 3에서는 Y축 방향에 상당하는 방향임)의 위치(단위: ㎚)이고, CD는 전사상의 한계 치수(Critical Dimension)이다.
I(x)는, 광학 결상 이론에 기초하는, 리소그래피 시뮬레이션으로 구한다. 광학 결상 이론에 기초하는 시뮬레이션은, 예를 들어 공지 문헌(마쓰모토 고이치 저, "리소그래피 광학", 회지 「광학」, 일본 광학회, 2001년 3월, 제30권, 제3호, p.40-p.47)에 기초하여 실시한다.
<시뮬레이션 조건>
EUV 광의 파장: 13.5㎚
입사각 θ: 6°
EUV 노광 장치의 개구수 NA: 0.33
위상 시프트막의 개구 패턴: 라인 앤 스페이스
패턴 전사상의 축소 배율: 4배
전사상의 라인 피치 p: 26㎚, 28㎚, 32㎚, 36㎚
전사상의 Duty비(라인 폭과 스페이스 폭의 비): 1:1
전사상의 한계 치수 CD: 13㎚, 14㎚, 16㎚, 18㎚
EUV 노광 장치의 조명계: 이중극 조명(σ0.7/0.5).
또한, 후술하는 사영 효과를 I(x)에 반영하기 위해, 도 3에 도시하는 바와 같이 EUV 광의 광축은 Z축 방향을 향할수록 Y축 방향으로 경사진다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 입사 광선은 Z축 부방향을 향할수록 Y축 정방향으로 경사지고, 반사 광선은 Z축 정방향을 향할수록 Y축 정방향으로 경사진다. X축 방향으로부터 보았을 때에 EUV 광의 광축은 경사져 있지만, Y축 방향으로부터 보았을 때에 EUV 광의 광축은 수직이다. X축 방향은, EUV 광의 입사면(입사 광선과 반사 광선을 포함하는 면)에 직교하는 방향이다.
시뮬레이션에서는, 상기에서는 ZY 평면에서의 계산을 예시했지만, 거기에 추가하여 도 3의 ZX 평면에서 경사진 입사광에 대해서도 계산해도 된다. 그 경우, 8종류의 I(x)가 구해진다.
전사상의 규격화상 로그 슬로프 NILS는, 도 5에 도시하는 바와 같이 I(x)의 피크의 폭이 CD와 동등해지는 x(x=x1)에서, lnI(x)(I(x)의 자연대수)의 기울기를 산출하고, 산출한 기울기와 CD의 곱으로서 구해진다. NILS가 클수록, 전사상의 콘트라스트가 크다. 전사상의 라인 피치 32㎚, 전사상의 한계 치수 CD 16㎚에 있어서의 NILS는, 예를 들어 2.9 이상이고, 바람직하게는 3.0 이상이다. 또한, NILS의 상한은 특별히 제한은 없지만 바람직하게는 4.5 이하, 보다 바람직하게는 3.5 이하이다. I(x)는, 후술하는 베스트 포커스에서의 값이다.
전사상의 초점 심도의 여유도 범위 m은, 전사상의 라인 피치 p가 26㎚, 28㎚, 32㎚, 36㎚일 때의, 베스트 포커스의 최댓값과 최솟값의 차이다. 베스트 포커스는, x=x1에 있어서의 I(x)가 최대가 되는 EUV 노광 장치의 초점 위치이다. 여유도 범위 m이 작을수록, 복수의 라인 피치 p에 대하여 동시에 초점을 맞추는 것이 용이하다. 여유도 범위 m의 상한은, 바람직하게는 60㎚ 이하, 보다 바람직하게는 55㎚ 이하이다. 여유도 범위 m의 하한은 특별히 제한은 없지만, 여유도 범위 m은 0㎚ 이상, 바람직하게는 5㎚ 이상이다.
위상 시프트막(13)의 굴절률 n이 작을수록, 위상 시프트막(13)의 막 두께 t가 작아도, 규격화상 로그 슬로프 NILS가 크다. 굴절률 n은, 예를 들어 0.920 이하이고, 바람직하게는 0.910 이하이고, 보다 바람직하게는 0.900 이하이다. 또한, 굴절률 n은, 바람직하게는 0.880 이상, 보다 바람직하게는 0.885 이상이다.
위상 시프트막(13)의 소쇠 계수 k가 클수록, 초점 심도의 여유도 범위 m이 작아지고, 규격화상 로그 슬로프 NILS를 향상시킬 수 있다. 한편으로, 소쇠 계수 k가 너무 크면, 피치가 큰 라인 앤 스페이스 패턴에 있어서의 규격화상 로그 슬로프 NILS가 저하되어 버린다. 소쇠 계수 k는, 예를 들어 0.024 이상이고, 바람직하게는 0.030 이상이고, 보다 바람직하게는 0.035 이상, 더욱 바람직하게는 0.040 이상이다. 또한, 소쇠 계수 k는, 바람직하게는 0.065 이하, 보다 바람직하게는 0.060 이하, 더욱 바람직하게는 0.055 이하, 특히 바람직하게는 0.050 이하이다.
위상 시프트막(13)의 막 두께 t가 작을수록, 사영 효과(섀도잉 효과)가 저감된다. 섀도잉 효과란, 예를 들어 도 3에 도시하는 바와 같이, EUV 광의 입사각 θ가 0°가 아닌(예를 들어 6°인) 것에 기인하여, 개구 패턴(13a)의 개구 테두리 부근에, 위상 시프트막(13)이 EUV 광을 차단하는 영역이 발생하고, 전사상의 치수가 원하는 치수로부터 어긋나는 것을 말한다.
또한, 위상 시프트막(13)의 막 두께 t가 작을수록, 개구 패턴(13a)의 가공 정밀도가 좋다.
위상 시프트막의 막 두께 t는, 예를 들어 50㎚ 이하이고, 바람직하게는 45㎚ 이하이고, 보다 바람직하게는 35㎚ 이하이다. 또한, 막 두께 t는, 바람직하게는 15㎚ 이상이고, 보다 바람직하게는 20㎚ 이상이다.
위상 시프트막(13)의 반사율은, 12％ 이하가 바람직하고, 11％ 이하가 보다 바람직하고, 10％ 이하가 더욱 바람직하다. 또한, 위상 시프트막(13)의 반사율의 하한은 특별히 제한은 없지만, 1.2％ 이상이 바람직하고, 2.0％ 이상이 보다 바람직하다. 여기서, 위상 시프트막(13)의 반사율은, 도 3에 도시하는 제1 EUV 광 L1에 대한 제2 EUV 광 L2의 상대 반사율(제1 EUV 광 L1의 반사율을 100％로 했을 때의 제2 EUV 광의 반사율)이다.
위상 시프트막(13)은, 예를 들어 이리듐(Ir), 백금(Pt), 금(Au), 은(Ag) 오스뮴(Os) 및 레늄(Re)으로 이루어지는 제1군에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함한다. Ir, Pt, Au, Os 및 Re는, 위상 시프트막(13)의 에칭 속도를 향상시킬 수 있다. 또한, Ir과 Pt는, 황산과수에 대한 내성을 향상시킬 수 있다.
위상 시프트막(13)은, 상기의 제1군에서 선택되는 1개의 원소에 추가하여, 루테늄(Ru), 실리콘(Si), 탄탈(Ta), 니오븀(Nb), 텅스텐(W) 및 크롬(Cr)으로 이루어지는 제2군에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함해도 된다. Ru, Si, Ta, Nb, W 및 Cr은, 위상 시프트막(13)의 에칭 속도를 향상시킬 수 있다. 또한, Ru, Si, Ta는, 황산과수에 대한 내성을 향상시킬 수 있다.
위상 시프트막(13)은, 단층막이어도 되고, 적층막이어도 된다. 단층막은, 단금속 또는 합금을 포함한다. 합금은, 예를 들어 상기 제1군에서 선택되는 2개 이상의 원소를 포함해도 되고, 상기 제2군에서 선택되는 2개 이상의 원소를 포함해도 되고, 상기 제1군에서 선택되는 1개 이상의 원소와 상기 제2군에서 선택되는 1개 이상의 원소를 포함해도 된다. 적층막은 적어도, 제1층과, 제1층과는 다른 화학 조성의 제2층을 포함한다. 제1층 및 제2층은, 각각, 단금속, 또는 합금을 포함한다. 적층막은, 제1층과 제2층을 반복하여 포함해도 된다.
위상 시프트막(13)이 제1층과 제2층을 포함하는 경우, 위상 시프트막(13)의 굴절률 n은 하기 식 (2)로부터 산출한다.
상기 식 (2)에 있어서, n1은 제1층의 굴절률이고, n2는 제2층의 굴절률이고, t1은 제1층의 막 두께이고, t2는 제2층의 막 두께이고, d1은 제1층의 밀도이고, d2는 제2층의 밀도이고, M1은 제1층의 원자량이고, M2는 제2층의 원자량이다.
위상 시프트막(13)이 제1층과 제2층을 포함하는 경우, 위상 시프트막(13)의 소쇠 계수 k는 하기 식 (3)으로부터 산출한다.
상기 식 (3)에 있어서, k1은 제1층의 소쇠 계수이고, k2는 제2층의 소쇠 계수이고, t1은 제1층의 막 두께이고, t2는 제2층의 막 두께이고, d1은 제1층의 밀도이고, d2는 제2층의 밀도이고, M1은 제1층의 원자량이고, M2는 제2층의 원자량이다.
또한, 위상 시프트막(13)은, 제1층 및 제2층에 추가하여, 제1층 및 제2층과는 다른 화학 조성의 제3층을 포함해도 된다. 제3층을 포함하는 경우도, 상기 식 (2) 및 상기 식 (3)과 마찬가지의 식을 사용하여, 굴절률 n과 소쇠 계수 k를 산출 가능하다.
위상 시프트막(13)은, 예를 들어 Ir을 포함하거나, Ir과 Re를 포함한다. 이 경우, 바람직하게는 Re와 Ir의 원소비(Re:Ir)가 0:1 내지 1:1이다. 위상 시프트막(13)은, Ir만을 포함해도 되지만, 바람직하게는 Ir에 추가하여 Re를 포함한다. Re는, 위상 시프트막(13)의 광학 특성(굴절률 n 및 소쇠 계수 k)을 손상시키는 일 없이, 위상 시프트막(13)의 에칭 속도를 향상시킬 수 있다. 비의 값(Re/Ir)이 1 이하이면, 위상 시프트막(13)의 황산과수에 대한 내구성이 양호하다. Re와 Ir의 원소비(Re:Ir)는, 바람직하게는 1:9 내지 5:5이고, 보다 바람직하게는 2:8 내지 4:6이다.
위상 시프트막(13)은, Ir을 포함하거나, Ir과 Ru를 포함해도 된다. 이 경우, 바람직하게는 Ru와 Ir의 원소비(Ru:Ir)가 0:1 내지 1:1이다. 위상 시프트막(13)은, Ir만을 포함해도 되지만, 바람직하게는 Ir에 추가하여 Ru를 포함한다. Ru는, 위상 시프트막(13)의 굴절률 n을 저하시켜, 위상 시프트막(13)의 막 두께 t를 작게 할 수 있고, 나아가서는 NILS를 높일 수 있다. 비의 값(Ru/Ir)이 1 이하이면, 위상 시프트막(13)의 소쇠 계수 k의 저하를 억제할 수 있고, 초점 심도의 여유도 범위 m이 너무 커지는 것을 억제할 수 있다. Ru와 Ir의 원소비(Ru:Ir)는, 바람직하게는 1:9 내지 5:5이고, 보다 바람직하게는 2:8 내지 4:6이다.
위상 시프트막(13)은, Ir과 Re와 Ru를 포함해도 된다. 이 경우, 바람직하게는 Re와 Ir의 원소비(Re:Ir)가 1:99 내지 80:20이고, Ru와 Ir의 원소비(Ru:Ir)가 1:99 내지 80:20이다. Re와 Ir의 원소비(Re:Ir)는, 보다 바람직하게는 1:9 내지 5:5이고, 더욱 바람직하게는 2:8 내지 3:7이다. Ru와 Ir의 원소비(Ru:Ir)는, 보다 바람직하게는 1:9 내지 4:6이고, 더욱 바람직하게는 1:9 내지 2:8이다.
위상 시프트막(13)은, Re와 Ru를 포함하는 경우, Ir을 포함해도 되고, Ir을 포함하지 않아도 된다. 이 경우, 바람직하게는 Ru와 Re의 원소비(Ru:Re)가 3:7 내지 7:3이다. Re에 대하여 Ru를 추가함으로써, 황산과수에 대한 내구성이 향상되는 반면, 소쇠 계수 k가 저하되어 버린다. 비의 값(Ru/Re)이 3/7 이상이면, 위상 시프트막(13)의 황산과수에 대한 내구성이 양호하다. 비의 값(Ru/Re)이 7/3 이하이면, 위상 시프트막(13)의 소쇠 계수 k의 저하를 억제할 수 있고, 초점 심도의 여유도 범위 m이 너무 커지는 것을 억제할 수 있다. Ru와 Re의 원소비(Ru:Re)는, 보다 바람직하게는 5:5 내지 6:4이다.
위상 시프트막(13)의 개구 패턴(13a)의 형성에는, 상기한 바와 같이, 에칭 가스가 사용된다. 에칭 가스는, 예를 들어 할로겐계 가스, 산소계 가스, 또는 이들의 혼합 가스이다.
할로겐계 가스로서는, 염소계 가스와, 불소계 가스를 들 수 있다. 염소계 가스는, 예를 들어 Cl2 가스, SiCl4 가스, CHCl3 가스, CCl4 가스, BCl3 가스 또는 이들의 혼합 가스이다. 불소계 가스는, 예를 들어 CF4 가스, CHF3 가스, SF6 가스, BF3 가스, XeF2 가스 또는 이들의 혼합 가스이다. 산소계 가스는, O2 가스, O3 가스 또는 이들의 혼합 가스이다.
위상 시프트막(13)이 Ir을 포함하는 경우, 할로겐계 가스로서는 불소계 가스가 바람직하다. 불소계 가스는, 단독으로 사용되는 것보다도, 산소계 가스와의 혼합 가스로서 사용되는 것이 바람직하다. 산소계 가스와 불소계 가스의 체적비(산소계 가스:불소계 가스)는, 바람직하게는 10:90 내지 50:50이고, 보다 바람직하게는 20:80 내지 40:60이다.
에칭 가스를 사용한 보호막(12)의 에칭 속도에 대한, 에칭 가스를 사용한 위상 시프트막(13)의 에칭 속도의 비를, 선택비라고도 칭한다. 선택비는, 바람직하게는 5 이상이다. 선택비가 클수록, 보호막(12)의 에칭 내성이 좋다. 선택비는, 바람직하게는 200 이하이고, 보다 바람직하게는 100 이하이다.
위상 시프트막(13)은, 황산과수에 의한 에칭 속도가 0㎚/min 내지 0.05㎚/min이다. 황산과수는, 레지스트막의 제거, 또는 반사형 마스크(2)의 세정 등에 사용된다. 위상 시프트막(13)의 황산과수에 의한 에칭 속도가 0.05㎚/min이면, 세정 시에 위상 시프트막(13)의 손상을 억제할 수 있다.
위상 시프트막(13)의 성막 방법은, 예를 들어 DC 스퍼터링법, 마그네트론 스퍼터링법, 또는 이온빔 스퍼터링법 등이다.
에칭 마스크막(14)은, 위상 시프트막(13) 상에 형성되고, 위상 시프트막(13)에 개구 패턴(13a)을 형성하는데 사용된다. 에칭 마스크막(14) 상에는, 도시하지 않은 레지스트막이 마련된다. 반사형 마스크(2)의 제조 공정에서는, 우선 레지스트막에 제1 개구 패턴을 형성하고, 다음으로 제1 개구 패턴을 사용하여 에칭 마스크막(14)에 제2 개구 패턴을 형성하고, 다음으로 제2 개구 패턴을 사용하여 위상 시프트막(13)에 제3 개구 패턴(13a)을 형성한다. 제1 개구 패턴과 제2 개구 패턴과 제3 개구 패턴(13a)은, 평면에서 보아(Z축 방향에서 보아) 동일한 치수 및 동일한 형상을 갖는다. 에칭 마스크막(14)은, 레지스트막의 박막화를 가능하게 한다.
에칭 마스크막(14)은, Ru, Al, Hf, Y, Cr, Nb, Ti, Mo, Ta 및 Si로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함한다. 에칭 마스크막(14)은, 상기의 원소에 추가하여, O, N, C 및 B로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함해도 된다. 에칭 마스크막(14)은, 바람직하게는 O, N 및 B로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함하고, 보다 바람직하게는 O 및 N으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함한다.
에칭 마스크막(14)의 막 두께는, 2㎚ 이상 30㎚ 이하가 바람직하고, 2㎚ 이상 25㎚ 이하가 보다 바람직하고, 2㎚ 이상 10㎚ 이하가 더욱 바람직하다.
에칭 마스크막(14)의 성막 방법은, 예를 들어 DC 스퍼터링법, 마그네트론 스퍼터링법, 또는 이온빔 스퍼터링법 등이다.
이어서, 도 6을 참조하여, 일 실시 형태에 관한 반사형 마스크 블랭크(1)의 제조 방법에 대하여 설명한다. 반사형 마스크 블랭크(1)의 제조 방법은, 예를 들어 도 6에 도시하는 스텝 S101 내지 S105를 갖는다. 스텝 S101에서는, 기판(10)을 준비한다. 스텝 S102에서는, 기판(10)의 제1 주면(10a)에 다층 반사막(11)을 형성한다. 스텝 S103에서는, 다층 반사막(11) 상에 보호막(12)을 형성한다. 스텝 S104에서는, 보호막(12) 상에 위상 시프트막(13)을 형성한다. 스텝 S105에서는, 위상 시프트막(13) 상에 에칭 마스크막(14)을 형성한다. 또한, 반사형 마스크 블랭크(1)의 제조 방법은, 적어도, 스텝 S101, S102 및 S104를 갖고 있으면 된다. 반사형 마스크 블랭크(1)의 제조 방법은, 도시하지 않은 기능막을 형성하는 스텝을 더 가져도 된다.
이어서, 도 7을 참조하여, 일 실시 형태에 관한 반사형 마스크(2)의 제조 방법에 대하여 설명한다. 반사형 마스크(2)의 제조 방법은, 도 7에 도시하는 스텝 S201 내지 S204를 갖는다. 스텝 S201에서는, 반사형 마스크 블랭크(1)를 준비한다. 스텝 S202에서는, 에칭 마스크막(14)을 가공한다. 에칭 마스크막(14) 상에는, 도시하지 않은 레지스트막이 마련된다. 우선 레지스트막에 제1 개구 패턴을 형성하고, 다음으로 제1 개구 패턴을 사용하여 에칭 마스크막(14)에 제2 개구 패턴을 형성한다. 스텝 S203에서는, 제2 개구 패턴을 사용하여 위상 시프트막(13)에 제3 개구 패턴(13a)을 형성한다. 스텝 S203에서는, 에칭 가스를 사용하여 위상 시프트막(13)을 에칭한다. 스텝 S204에서는, 레지스트막 및 에칭 마스크막(14)을 제거한다. 레지스트막의 제거에는, 예를 들어 황산과수가 사용된다. 에칭 마스크막(14)의 제거에는, 예를 들어 에칭 가스가 사용된다. 스텝 S204(에칭 마스크막(14)의 제거)에서 사용되는 에칭 가스는, 스텝 S203(개구 패턴(13a)의 형성)에서 사용되는 에칭 가스와 동종이어도 된다. 또한, 반사형 마스크(2)의 제조 방법은, 적어도, 스텝 S201 및 S203을 갖고 있으면 된다.
실시예
이하, 실험 데이터에 대하여 설명한다. 하기의 예 1 내지 예 8 및 예 10이 실시예이고, 하기의 예 9 및 예 11이 비교예이다.
예 1에서는, 기판과 다층 반사막과 보호막과 위상 시프트막을 포함하는 EUV 마스크 블랭크를 제작하였다.
기판으로서는, SiO2-TiO2계의 유리 기판(외형 6인치(한 변이 152㎜)인 정사각형, 두께가 6.3㎜)을 준비하였다. 이 유리 기판은, 20℃에서의 열팽창 계수가 0.02×10-7/℃이고, 영률이 67GPa이고, 푸아송비가 0.17이고, 비강성은 3.07×107㎡/s2이었다. 기판의 제1 주면의 품질 보증 영역은, 연마에 의해 0.15㎚ 이하의 제곱 평균 조도(RMS)와, 100㎚ 이하의 평탄도를 갖고 있었다. 기판의 제2 주면에는, 마그네트론 스퍼터링법을 사용하여 두께 100㎚의 Cr막을 성막하였다. Cr막의 시트 저항은 100Ω/□였다.
다층 반사막으로서는, Mo/Si 다층 반사막을 형성하였다. Mo/Si 다층 반사막은, 이온빔 스퍼터링법을 사용하여 Si층(막 두께 4.5㎚)과 Mo층(막 두께 2.5㎚)을 성막하는 것을 40회 반복함으로써 형성하였다. Mo/Si 다층 반사막의 합계 막 두께는 272㎚((4.5㎚+2.3㎚)×40)였다.
보호막으로서는, Rh막(막 두께 2.5㎚)을 형성하였다. Rh막은, DC 스퍼터링법을 사용하여 형성하였다. 보호막을 형성한 후의 다층 반사막에 의한 EUV 광의 반사율, 즉, 도 3에 도시하는 제1 EUV 광 L1의 반사율은, 최대로 64.5％였다.
예 1에서는, 위상 시프트막으로서, Ir막(막 두께 32㎚, Ir 함유량 100at％)을 형성하였다. Ir막은, DC 스퍼터링법을 사용하여 형성하였다. 위상 시프트막의 특성을 표 1에 나타낸다.
예 2 내지 예 11에서는, 위상 시프트막의 화학 조성과 막 두께 이외, 예 1과 동일 조건에서 EUV 마스크 블랭크를 제작하였다. 위상 시프트막의 특성을 표 1에 나타낸다. 또한, 위상 시프트막은, 예 2 내지 예 8 및 예 11에서는 합금막이고, 예 9 및 예 10에서는 단금속막이었다.
표 1에 있어서, 위상 시프트막의 SPM 내성과, 위상 시프트막의 에칭 속도 ER은, 하기의 조건에서 측정하였다.
위상 시프트막의 SPM 내성은, EUV 마스크 블랭크를, 100℃의 황산과수에 20분간 침지하고, X선 반사율법(XRR: X-ray Reflectometry)으로 위상 시프트막의 막 두께 변화를 측정하고, 위상 시프트막의 황산과수에 대한 에칭 속도로 평가하였다. 황산과수는, 농황산과 과산화수소수를 75체적％:25체적％(농황산:과산화수소수)로 혼합하여 얻었다. 농황산은, 황산을 96체적％, 물을 4체적％ 포함하는 것이었다. 과산화수소수는, 과산화수소를 30체적％ 내지 35체적％, 물을 65체적％ 내지 70체적％ 포함하는 것이었다. SPM 내성이 「○」인 것은, 위상 시프트막의 황산과수에 대한 에칭 속도가 0.05㎚/min 이하인 것을 의미한다. SPM 내성이 「×」인 것은, 위상 시프트막의 황산과수에 대한 에칭 속도가 0.05㎚/min보다도 큰 것을 의미한다.
위상 시프트막의 에칭 속도 ER은, EUV 마스크 블랭크를, ICP(유도 결합 방식) 플라스마 에칭 장치의 시료대 상에 설치하고, 하기의 조건에서 ICP 플라스마 에칭을 실시하고, 구하였다.
<ICP 플라스마 에칭의 조건>
ICP 안테나 바이어스: 200W
기판 바이어스: 40W
트리거 압력: 3.5×100Pa
에칭 압력: 3.0×10-1Pa
에칭 가스: O2와 CF4의 혼합 가스
가스 유량(CF4/O2): 24/8sccm 내지 4/28sccm.
또한, 표 1에 있어서, 위상 시프트막의 반사율은, 도 3에 도시하는 제1 EUV 광 L1에 대한 제2 EUV 광 L2의 상대 반사율(제1 EUV 광 L1의 반사율을 100％로 했을 때의 제2 EUV 광의 반사율)이다.
표 1로부터 명백한 바와 같이, 예 1 내지 예 8 및 예 10에 의하면, 위상 시프트막의 굴절률 n이 0.920 이하이고, 위상 시프트막의 소쇠 계수 k가 0.024 이상이고, 위상 시프트막의 막 두께 t가 50㎚ 이하이고, 전사상의 규격화상 로그 슬로프 NILS가 2.9 이상이고, 전사상의 초점 심도의 여유도 범위 m이 60㎚ 이하였다. 단, 예 10에서는, 위상 시프트막으로서 Pd막을 사용했으므로, SPM 내성이 나빴다.
예 9에 의하면, 위상 시프트막의 소쇠 계수 k가 0.024 미만이고, 전사상의 규격화상 로그 슬로프 NILS가 2.9 미만이고, 전사상의 초점 심도의 여유도 범위 m이 60㎚를 초과하고 있었다.
예 11에 의하면, 위상 시프트막의 굴절률 n이 0.920을 초과하고 있고, 전사상의 규격화상 로그 슬로프 NILS가 2.9 미만이었다.
이상, 본 개시에 관한 반사형 마스크 블랭크, 반사형 마스크, 반사형 마스크 블랭크의 제조 방법 및 반사형 마스크의 제조 방법에 대하여 설명했지만, 본 개시는 상기 실시 형태 등에 한정되지 않는다. 특허 청구 범위에 기재된 범주 내에서, 각종 변경, 수정, 치환, 부가, 삭제 및 조합이 가능하다. 그것들에 대해서도 당연히 본 개시의 기술적 범위에 속한다.
본 출원은, 2021년 7월 30일에 일본 특허청에 출원한 일본 특허출원 제2021-125887호에 기초하는 우선권을 주장하는 것이고, 일본 특허출원 제2021-125887호의 전체 내용을 본 출원에 원용한다.
1: 반사형 마스크 블랭크
2: 반사형 마스크
10: 기판
11: 다층 반사막
12: 보호막
13: 위상 시프트막
14: 에칭 마스크막
2: 반사형 마스크
10: 기판
11: 다층 반사막
12: 보호막
13: 위상 시프트막
14: 에칭 마스크막
Claims (16)
- 기판과, EUV 광을 반사하는 다층 반사막과, 상기 EUV 광의 위상을 시프트시키는 위상 시프트막을 이 순으로 갖는 반사형 마스크 블랭크이며,
상기 위상 시프트막은, 개구 패턴이 형성될 예정의 막이고,
상기 위상 시프트막은, 상기 EUV 광에 대한 굴절률이 0.920 이하이고, 상기 EUV 광에 대한 소쇠 계수가 0.024 이상이고, 막 두께가 50㎚ 이하이고, 라인 앤 스페이스 패턴을 대상 기판에 형성한 경우의 전사상의 규격화상 로그 슬로프(Normalized Image Log Slope)가 2.9 이상이고, 상기 전사상의 초점 심도의 여유도 범위가 60㎚ 이하인, 반사형 마스크 블랭크. - 제1항에 있어서, 상기 위상 시프트막은 Ir, Pt, Au, Ag, Os 및 Re로 이루어지는 제1군에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함하는, 반사형 마스크 블랭크.
- 제1항에 있어서, 상기 위상 시프트막은 Ir, Pt, Au, Os 및 Re로 이루어지는 제1군에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함하는, 반사형 마스크 블랭크.
- 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 위상 시프트막은, 상기 제1군에서 선택되는 적어도 하나의 원소에 추가하여, Ru, Si, Ta, Nb, W 및 Cr로 이루어지는 제2군에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함하는, 반사형 마스크 블랭크.
- 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 위상 시프트막은, Ir 또는 Ir과 Re를 포함하고,
Re와 Ir의 원소비(Re:Ir)가 0:1 내지 1:1인, 반사형 마스크 블랭크. - 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 위상 시프트막은, Ir 또는 Ir과 Ru를 포함하고,
Ru와 Ir의 원소비(Ru:Ir)가 0:1 내지 1:1인, 반사형 마스크 블랭크. - 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 위상 시프트막은 Ir과 Re와 Ru를 포함하고, Re와 Ir의 원소비(Re:Ir)가 1:99 내지 80:20이고, Ru와 Ir의 원소비(Ru:Ir)가 1:99 내지 80:20인, 반사형 마스크 블랭크.
- 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 위상 시프트막은 Re와 Ru를 포함하고, Ru와 Re의 원소비(Ru:Re)가 3:7 내지 7:3인, 반사형 마스크 블랭크.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 위상 시프트막은, 황산과수에 의한 에칭 속도가 0㎚/min 내지 0.05㎚/min인, 반사형 마스크 블랭크.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다층 반사막과 상기 위상 시프트막 사이에, 상기 위상 시프트막에 상기 개구 패턴을 형성하는데 사용하는 에칭 가스로부터 상기 다층 반사막을 보호하는 보호막을 갖고,
상기 에칭 가스를 사용한 상기 보호막의 에칭 속도에 대한, 상기 에칭 가스를 사용한 상기 위상 시프트막의 에칭 속도의 비가 5 이상인, 반사형 마스크 블랭크. - 제10항에 있어서, 상기 보호막은 Ru, Rh 및 Si에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함하는, 반사형 마스크 블랭크.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 위상 시프트막은, 상기 EUV 광에 대한 굴절률이 0.885 이상인, 반사형 마스크 블랭크.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 위상 시프트막 상에, 에칭 마스크막을 갖고,
상기 에칭 마스크막은 Ru, Al, Hf, Y, Cr, Nb, Ti, Mo, Ta 및 Si로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함하는, 반사형 마스크 블랭크. - 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 반사형 마스크 블랭크를 구비하고,
상기 위상 시프트막에 상기 개구 패턴을 포함하는, 반사형 마스크. - 기판 상에, EUV 광을 반사하는 다층 반사막을 형성하는 것과,
상기 다층 반사막 상에, 상기 EUV 광의 위상을 시프트시키는 위상 시프트막을 형성하는 것
을 갖고,
상기 위상 시프트막은, 개구 패턴이 형성될 예정의 막이고,
상기 위상 시프트막은, 상기 EUV 광에 대한 굴절률이 0.920 이하이고, 상기 EUV 광에 대한 소쇠 계수가 0.024 이상이고, 막 두께가 50㎚ 이하이고, 라인 앤 스페이스 패턴을 대상 기판에 형성한 경우의 전사상의 규격화상 로그 슬로프(Normalized Image Log Slope)가 2.9 이상이고, 상기 전사상의 초점 심도의 여유도 범위가 60㎚ 이하인, 반사형 마스크 블랭크의 제조 방법. - 제15항에 기재된 제조 방법을 사용하여 제조한 반사형 마스크 블랭크를 준비하는 것과,
상기 위상 시프트막에 상기 개구 패턴을 형성하는 것
을 갖는, 반사형 마스크의 제조 방법.
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