KR20240030664A

KR20240030664A - 기판 지지 장치 및 방법

Info

Publication number: KR20240030664A
Application number: KR1020220110001A
Authority: KR
Inventors: 심홍득; 오동현
Original assignee: 참엔지니어링(주)
Priority date: 2022-08-31
Filing date: 2022-08-31
Publication date: 2024-03-07

Abstract

본 발명은, 수평방향으로 연장된 일면을 가지는 스테이지부와, 스테이지부에 설치되며, 흡착력을 제공하기 위한 배관부와, 스테이지부의 일면의 복수의 위치에 배치되며, 배관부와 연결되는 복수개의 커플러부와, 기판을 척킹하기 위해, 복수개의 커플러부 중에서 선택되는 커플러부에 탈부착될 수 있고, 스테이지부의 일면에 안착될 수 있는 척부를 포함하는 기판 지지 장치와, 이에 적용되는 기판 지지 방법으로서, 다양한 기판을 안정적으로 지지할 수 있는 기판 지지 장치 및 방법이 제시된다.

Description

기판 지지 장치 및 방법{SUBSTRATE SUPPORT APPARATUS AND METHOD}

본 발명은 기판 지지 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 다양한 기판을 안정적으로 지지할 수 있는 기판 지지 장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이, 반도체 등은 기판에 원하는 동작특성을 가지는 각종 전자 소자를 형성하고, 형성된 전자 소자의 구동 및 보호를 위한 각종 부품을 부착하는 방식으로 제조된다.

한편, 기판은 제조 공정이 진행되는 중에 스테이지에 안정적으로 고정되어야 한다. 따라서, 스테이지에는 진공척이 설치되고, 설치된 진공척을 사용하여 스테이지에 안착된 기판을 흡착하여 고정시킨다.

그런데, 기판은 탑재할 디바이스의 종류에 따라 그 크기나 형상이 다양할 수 있다. 또한, 기판은 크기와 형상에 따라서 기판을 안정적으로 지지할 수 있는 지지 위치가 달라질 수 있다.

하지만, 종래에는 진공척이 스테이지의 상면 상의 복수 위치에 고정 설치되었고, 설치된 이후에는 스테이지 상에서 진공척의 위치를 이동시킬 수 없었다.

따라서, 종래에는 스테이지에 안착시킬 기판의 크기나 형상이 달라지면 스테이지를 분해하고 기판의 크기와 형상에 맞춰서 진공척을 재설치하는 어려움이 있었다. 즉, 종래에는 동일한 공정을 수행하는 기판이더라도, 기판의 크기나 형상이 다르게 되면, 동일한 스테이지에 크기나 형상이 다른 기판을 연속하여 안착시켜서 동일 공정을 수행하지 못하고, 공정을 일시 중단한 이후 스테이지를 분해하고 진공척을 재설치한 다음에, 크기나 형상이 다른 기판을 스테이지에 안착시켜서 동일 공정을 수행하였다.

본 발명의 배경이 되는 기술은 하기의 특허문헌에 게재되어 있다.

KR

10-2346975

B1

본 발명은 단순한 구조로 다양한 기판을 안정적으로 지지할 수 있는 기판 지지 장치 및 방법을 제공한다.

본 발명은 기판을 지지할 위치의 변경이 신속하고 용이한 기판 지지 장치 및 방법을 제공한다.

본 발명의 실시 형태에 따른 기판 지지 장치는, 수평방향으로 연장된 일면을 가지는 스테이지부; 상기 스테이지부에 설치되며, 흡착력을 제공하기 위한 배관부; 상기 스테이지부의 일면의 복수의 위치에 배치되며, 상기 배관부와 연결되는 복수개의 커플러부; 기판을 척킹하기 위해, 상기 복수개의 커플러부 중에서 선택되는 커플러부에 탈부착될 수 있고, 상기 스테이지부의 일면에 안착될 수 있는 척부;를 포함한다.

상기 커플러부는 상단부가 상기 스테이지부의 일면보다 높게 돌출되고, 상기 척부는 상기 커플러부의 돌출된 부위에 탈부착될 수 있다.

상기 커플러부는 상단부가 상기 스테이지부의 일면과 같은 높이에 배치되거나, 상기 스테이지부의 일면보다 낮은 높이에 배치되며, 상기 스테이지부는 일면에 상기 커플러부의 상단부를 노출시키기 위한 홈을 가지며, 상기 척부는 상기 커플러부의 노출된 부위에 탈부착될 수 있다.

상기 척부의 개수는 상기 커플러부의 개수보다 적거나 같으며, 상기 척부는 상기 선택되는 커플러부의 배치에 따라 기판을 지지하는 위치를 변경할 수 있다.

상기 스테이지부는, 수평방향으로 연장된 일면과 타면을 가지며, 상기 복수개의 커플러부가 상하방향으로 관통하도록 장착되는 베이스 부재; 상기 베이스 부재의 타면 측에 형성되며, 상기 복수개의 커플러부 각각의 적어도 하부가 수용되는 배관실;을 포함할 수 있다.

상기 배관실은 복수의 영역을 가지며, 상기 척부는 상기 복수의 영역 중 일부 영역에서 상대적으로 세밀하거나 성기게 배치될 수 있다.

상기 커플러부는, 상기 스테이지부의 일면을 상하방향으로 관통하도록 배치되는 커플러 바디; 상기 척부로 제공하기 위한 흡착력을 공급받기 위해, 상기 커플러 바디의 하부에 장착되며 일부가 절곡되고, 상기 배관부와 연결되며 상기 커플러 바디와 연통하는 어댑터; 상기 척부가 원터치 방식으로 삽입 고정될 수 있도록 상기 커플러 바디의 상부에 장착되며, 상기 커플러 바디와 연통하는 커넥터;를 포함할 수 있다.

상기 커넥터는 상기 척부의 삽입에 의해 상부가 개방되고, 상기 척부가 분리되면 상부가 폐쇄되도록 형성될 수 있다.

상기 척부는 상기 커플러부로부터 흡착력을 제공받아서 기판을 흡착하기 위한 진공패드를 가질 수 있다.

상기 척부는, 상기 스테이지부의 일면에 안착되기 위한 안착대; 상기 안착대를 상하방향으로 관통하도록 장착되며, 상기 커플러부에 원터치 방식으로 삽입 고정되기 위한 플러그; 상기 플러그의 상부에 장착되고 상기 안착대에 지지되는 진공패드;를 포함할 수 있다.

상기 진공패드는 가요성을 가지며, 상기 척부는, 상기 진공패드보다 낮거나 같은 높이로 상기 진공패드의 외측에서 상기 안착대로부터 돌출되며, 상기 진공패드에 흡착되는 기판을 지지하기 위한 서포터;를 포함할 수 있다.

상기 안착대는 상기 스테이지부의 일면에 안착될 수 있도록 상하방향으로 연장되며 수평방향으로 이격되는 복수개의 에지 부재와, 수평방향으로 연장되며 상기 복수개의 에지 부재의 상단부를 연결시키는 연결 부재를 포함하고, 상기 플러그는 상기 복수개의 에지 부재의 사이에서 상기 연결 부재를 관통하도록 장착되며, 하단이 상기 에지 부재의 하단의 높이보다 높을 수 있다.

본 발명의 실시 형태에 따른 기판 지지 방법은, 기판 지지 장치에 지지할 기판을 준비하는 과정; 기판 지지 장치의 스테이지부에 설치된 복수개의 커플러부 중 적어도 일부를 선택하는 과정; 선택된 커플러부 마다 척부를 부착하는 과정; 척부에 기판을 로딩하는 과정;을 포함한다.

상기 복수개의 커플러부 중 적어도 일부를 선택하는 과정은, 준비된 기판으로부터 형상 정보를 획득하는 과정; 획득된 형상 정보로부터 복수개의 커플러부 중 준비된 기판을 지지할 위치에 해당하는 커플러부를 선택하는 과정;을 포함한다.

상기 복수개의 커플러부 중 적어도 일부를 선택하는 과정은, 준비된 기판으로부터 크기 정보 및 위치 정보 중 적어도 하나의 정보를 획득하는 과정; 획득된 적어도 하나의 정보로부터 복수개의 커플러부 중 준비된 기판을 지지할 위치에 해당하는 커플러부를 선택하는 과정;을 포함할 수 있다.

상기 선택된 커플러부 마다 척부를 부착하는 과정은, 상기 선택된 커플러부 마다 척부의 일부를 삽입하여 고정시키는 과정; 상기 척부의 삽입을 이용하여 상기 선택된 커플러부를 개방시켜서 상기 척부에 흡착력을 형성하는 과정;을 포함할 수 있다.

상기 척부에 기판을 로딩하는 과정은, 상기 기판을 상기 척부에 안착시키는 과정; 상기 척부에 형성된 흡착력을 이용하여 상기 기판의 복수의 위치를 흡착하여 고정시키는 과정;을 포함할 수 있다.

상기 척부에 기판을 로딩하는 과정 이후에, 상기 기판을 상기 척부로부터 언로딩하는 과정; 상기 기판 지지 장치에 지지할 다음 기판을 준비하는 과정; 상기 스테이지부에 설치된 복수개의 커플러부 중 적어도 일부를 재선택하고, 재선택된 커플러부에 척부를 재배치하는 과정; 재배치된 척부에 다음 기판을 로딩하는 과정;을 포함할 수 있다.

상기 기판 및 상기 다음 기판은 크기 및 형상 중 적어도 어느 하나가 상이하고, 상기 크기는 수평방향으로의 크기이고, 상기 형상은 상기 기판 및 상기 다음 기판 각각의 하면에 실장된 복수의 부품에 의한 요철부의 배치 형상을 포함할 수 있다.

본 발명의 실시 형태에 따르면, 기판을 흡착하여 고정시키기 위한 척부를 스테이지의 일면 상의 원하는 위치에 원하는 개수로 선택하여 배치할 수 있다. 또한, 스테이지의 일면 상에 배치된 척부를 간편하게 재배치할 수 있고, 배치되는 개수와 위치도 원하는 대로 조절할 수 있다.

따라서, 지지할 기판의 크기와 위치 및 형상이 달라지더라도, 척부의 배치 위치와 개수를 신속하게 조절하여서, 기판을 안정적으로 지지할 수 있다. 이에, 다양한 크기와 다양한 종류의 기판을 대기시간 없이 동일한 기판 지지 장치에서 안정적으로 지지해줄 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 척부와 커플러부의 탈부착을 보여주는 개략도이다.
도 3은 본 발명의 변형 예에 따른 척부를 보여주는 개략도이다.
도 4 내지 6은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 방법을 설명하기 위한 모식도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다. 단지 본 발명의 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 도면은 과장될 수 있고, 설명과 관계없는 부분은 도면에서 생략될 수 있고, 도면상의 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 장치 및 방법은 평판 디스플레이, 반도체 등을 제조하기 위한 각종 공정에서 크기와 형상이 다른 다양한 기판을 안정적으로 지지하는 것에 사용될 수 있다.

이때, 평판 디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Display), LED(Light Emitting Display) 등을 포함할 수 있다.

또한, 기판은 전자 소자가 형성되고, 형성된 전자 소자의 구동 및 보호 등을 위한 각종 부품 예컨대 백라이트유닛(BLU), 편광판(POL), 인쇄회로기판(PCB), 윈도우, 커버 등이 부착되어서 모듈화된 기판일 수 있다.

물론, 기판은 전자 소자가 형성되는 공정이 진행 중인 기판일 수도 있다. 또한, 기판은 전자 소자가 형성되는 공정이 종료된 후 부품이 부착되는 공정이 진행되기 전이거나, 부품이 부착되는 공정이 진행 중인 기판일 수도 있다.

한편, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 장치 및 방법은 크기와 형상이 다른 각종 플레이트 형태의 제조물을 제조하는 공정에서, 공정이 진행 중이거나 공정이 종료된 제조물을 지지하기 위한 지지 장치로서 다양하게 사용될 수도 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 개략도이다. 또한, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 척부와 커플러부의 탈부착을 보여주는 개략도이다.

여기서, 도 2의 (a)는 척부가 커플러부로부터 탈착된 상태를 보여주는 개략도이고, 도 2의 (b)는 척부가 커플러부에 부착된 상태를 보여주는 개략도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 장치는, 수평방향으로 연장된 일면을 가지는 스테이지부(100), 스테이지부(100)에 설치되며, 흡착력을 제공하기 위한 배관부(400), 스테이지부(100)의 일면의 복수의 위치에 배치되며, 배관부(400)와 연결되는 복수개의 커플러부(200), 기판을 척킹하기 위해, 복수개의 커플러부(200) 중에서 선택되는 커플러부에 탈부착될 수 있고, 스테이지부(100)의 일면에 안착될 수 있는 척부(300)를 포함한다.

스테이지부(100)는 기판 지지 장치의 본체로서, 복수개의 커플러부(200)와, 척부(300)와 배관부(400)를 지지하는 역할을 한다. 스테이지부(100)는 기판이 처리되는 공정을 수행하기 위한 공정 챔버(미도시)의 내부에 배치될 수 있다. 스테이지부(100)는 기판과 동일한 형상으로 형성될 수 있다. 예컨대 스테이지부(100)는 사각 플레이트의 형상으로 형성될 수 있다. 물론, 스테이지부(100)의 형상은 다양할 수 있다. 또한, 스테이지부(100)는 기판보다 큰 면적을 가질 수 있다.

스테이지부(100)는, 베이스 부재(110) 및 배관실(120)을 포함할 수 있다. 이때, 베이스 부재(110)는 스테이지부(100)의 상부를 형성할 수 있다. 또한, 베이스 부재(110)는 복수개의 커플러부(200)를 지지할 수 있다. 베이스 부재(110)는 수평방향으로 연장된 일면과 타면을 가질 수 있다. 이때, 일면을 상면이라고 지칭할 수 있고, 타면을 하면이라고 지칭할 수 있다. 또한, 베이스 부재(110)의 일면은 스테이지부(100)의 일면일 수 있다. 베이스 부재(110)는 일면에 척부(300)가 안착될 수 있다. 베이스 부재(110)의 일면과 타면을 관통하도록 복수개의 커플러부(200)가 장착될 수 있다. 베이스 부재(110)는 타면 측에 배관실(120)이 형성될 수 있다. 한편, 베이스 부재(110)를 상부판 부재라고 지칭할 수도 있다.

배관실(120)은 스테이지부(100)의 하부를 형성할 수 있다. 또한, 배관실(120)은 베이스 부재(110)를 지지할 수 있고, 배관부(400)를 지지 및 보호할 수 있다. 배관실(120)은 상부가 개방될 수 있다. 배관실(120)의 상부의 개구를 커버하도록 베이스 부재(110)가 장착될 수 있다. 즉, 배관실(120)은 베이스 부재(110)의 타면을 감싸도록 설치될 수 있고, 배관실(120)과 베이스 부재(110) 사이에 내부 공간이 형성될 수 있고, 내부 공간에 배관부(400)가 수용될 수 있다. 한편, 베이스 부재(110)와 배관실(120) 사이에 형성된 내부 공간을 배관실(120)의 내부 공간이라고 지칭할 수도 있다.

배관실(120)은 베이스 부재(110)의 둘레를 따라 연장되는 측벽 부재, 베이스 부재(110)의 타면과 대향하도록 배치되며, 측벽 부재에 장착되는 하부판 부재를 포함할 수 있다. 측벽 부재는 사각 프레임 형상일 수 있고, 하부판 부재는 사각 플레이트 형상일 수 있다. 측벽 부재는 베이스 부재(110)를 하부판 부재에 지지시킬 수 있다. 하부판 부재는 공정 챔버에 지지될 수 있다.

배관실(120)과 베이스 부재(110) 사이에 격벽이 구비될 수 있다. 격벽은 그 개수가 적어도 하나 이상일 수 있고, 배관실(120)과 베이스 부재(110) 사이의 내부 공간을 복수의 영역으로 분리시킬 수 있다. 이때, 배관실(120)과 베이스 부재(110) 사이의 복수의 영역을 배관실(120)의 복수의 영역이라고 지칭할 수도 있다. 복수의 영역은 수평방향으로 나열될 수 있고, 복수의 영역 사이마다 격벽이 배치될 수 있다. 격벽은 배관실(120)의 하부판 부재의 일면을 따라 수평방향으로 소정 길이로 연장될 수 있고, 상하방향으로 소정 높이를 가질 수 있다. 또한, 격벽은 베이스 부재(110)의 타면을 지지해줄 수 있다.

한편, 스테이지부(100)는 베이스 부재(110)만 포함하도록 형성될 수도 있다. 이러한 경우, 베이스 부재(110)의 타면에 배관부(400)가 설치되어 지지될 수 있다. 또한, 배관부(400)는 공정 챔버의 내부에 노출될 수 있다.

복수개의 커플러부(200)는 베이스 부재(110)의 일면 상의 원하는 위치에 원하는 개수의 척부(300)를 탈부착시키는 역할과, 배관부(400)로부터 흡착력을 제공받아서 부착된 척부(300)로 공급해주는 역할을 한다. 여기서, 부착된 척부(300)는 복수개의 커플러부(200) 중에서 선택된 커플러부에 부착된 척부를 의미할 수 있다.

복수개의 커플러부(200)는 베이스 부재(110)의 일면을 따라 수평방향으로 나열될 수 있고, 베이스 부재(110)의 일면과 타면을 상하방향으로 관통하도록 설치될 수 있다. 또한, 복수개의 커플러부(200)는 각각의 일단부가 베이스 부재(110)의 일면으로부터 상측으로 돌출될 수 있다. 즉, 복수개의 커플러부(200)는 각각의 일단부가 베이스 부재(110)의 일면보다 높게 돌출될 수 있다. 이때, 일단부를 상단부라고 지칭할 수 있다. 척부(300)는 복수개의 커플러부(200)의 각각의 돌출된 부위에 탈부착될 수 있다. 한편, 복수개의 커플러부(200)는 각각의 타단부가 베이스 부재(110)의 타면으로부터 하측으로 돌출될 수 있고, 배관실(120)의 내부에 수용될 수 있다. 이때, 타단부를 하단부라고 지칭할 수 있다.

한편, 복수개의 커플러부(200)는 각각의 상단부가 베이스 부재(110)의 일면과 같은 높이에 배치될 수도 있다. 또한, 복수개의 커플러부(200)는 각각의 상단부가 베이스 부재(110)의 일면보다 낮은 높이에 배치될 수도 있다. 이러한 경우, 베이스 부재(110)는 일면에 커플러부(200)의 상단부를 노출시키기 위한 홈을 가질 수 있고, 척부(300)는 커플러부(200)의 노출된 부위에 탈부착될 수 있다.

복수개의 커플러부(200)는 배관실(120)의 복수의 영역 중 일부 영역에서 상대적으로 세밀하거나 성기게 배치될 수 있다. 세밀하게 배치되는 것은 수평방향으로 복수개의 커플러부(200)의 서로 간의 간격이 상대적으로 좁게 배치되는 것이고, 성기게 배치되는 것은 수평방향으로 복수개의 커플러부(200)의 서로 간의 간격이 상대적으로 넓게 배치되는 것일 수 있다.

복수개의 커플러부(200)는 수평방향으로 베이스 부재(110)의 일면을 따라 격자 형태로 배열될 수 있다. 이때, 격자 형태는 사각 격자 형태, 삼각 격자 형태 등 다양할 수 있다.

커플러부(200)는, 베이스 부재(110)의 일면을 상하방향으로 관통하도록 배치되는 커플러 바디(210), 척부(300)로 제공하기 위한 흡착력을 공급받기 위해, 커플러 바디(210)의 하부에 장착되며 일부가 수평방향으로 절곡되고, 배관부(400)와 연결되며 커플러 바디(210)와 연통하는 어댑터(220)와, 척부(300)가 원터치 방식으로 삽입 고정될 수 있도록 커플러 바디(210)의 상부에 장착되며, 커플러 바디(210)와 연통하는 커넥터(230)를 포함할 수 있다.

커플러 바디(210)는 커플러부(200)의 본체로서, 예컨대 상하방향으로 연장될 수 있고, 중공형으로 형성될 수 있다. 커플러 바디(210)는 베이스 부재(110)를 상하방향으로 관통하도록 장착될 수 있다. 이때, 커플러 바디(210)는 상단부가 베이스 부재(110)의 일면과 동일 높이에 위치하거나, 일면으로부터 소정 높이만큼 높게 위치할 수 있다. 물론, 커플러 바디(210)는 상단부가 베이스 부재(110)의 일면과 타면 사이에 위치할 수도 있다. 커플러 바디(210)는 하단부가 베이스 부재(110)의 타면보다 낮고, 배관실(120)의 하부판 부재의 일면보다 높은 높이에 위치할 수 있다. 커플러 바디(210)는 상단부에 체결 부재로서 너트 부재가 구비될 수 있다. 커플러 바디(210)는 상단부와 하단부 사이의 외주면에 고정 부재로서 와셔 부재가 구비될 수 있다. 커플러 바디(210)는 너트 부재 및 와셔 부재를 이용하여 베이스 부재(110)에 상하방향으로 고정될 수 있다.

어댑터(220)는 배관 어댑터라고 지칭할 수도 있다. 어댑터(220)는 커플러 바디(210)를 배관부(400)에 연결시키는 역할을 한다. 어댑터(220)는 배관실(120)과 베이스 부재(110) 사이에 내부 공간에 수용될 수 있다. 어댑터(220)는, 커플러 바디(210)의 하단부로부터 하방으로 연장되는 제1 몸체와, 제1 몸체로부터 수평방향으로 절곡되며, 배관부(400)와 연결되는 제2 몸체를 포함할 수 있다. 제1 몸체를 상부 몸체라고 지칭할 수 있고, 제2 몸체를 하부 몸체라고 지칭할 수 있다.

커넥터(230)는 피팅 커넥터라고 지칭할 수도 있다. 커넥터(230)는 커플러 바디(210)에 척부(300)를 연결시키는 역할과, 원터치 방식으로 척부(300)와 결합되어 척부(300)를 탈부착 가능하게 부착시키는 역할을 한다. 여기서, 원터치 방식은 커넥터(230)와 척부(300) 각각의 있는 그대로의 상태에서, 척부(300)의 일부를 커넥터(230)에 삽입하여서 부착시키고, 이와 마찬가지로 척부(300)의 전술한 일부를 커넥터(230)로부터 이탈시켜서 탈착시키는 방식으로, 커넥터(230)에 척부(300)를 신속하고 간편하게 탈부착시킬 수 있다. 커넥터(230)는 베이스 부재(110)의 일면 상에서 커플러 바디(210)의 상단부에 장착될 수 있고, 전술한 너트 부재에 의해 커플러 바디(210)의 상단부에 고정될 수 있다.

커넥터(230)는 척부(300)의 삽입에 의해 상부가 개방되고, 척부(300)가 분리되면 상부가 폐쇄되도록 형성될 수 있다. 즉, 척부(300)를 삽입시킨 상태에서 커넥터(230)의 상부가 개방됨으로써, 커넥터(230)로부터 척부(300)로 커플러 바디(210)와 어댑터(220)와 배관부(400)의 내부에 형성된 진공에 의한 흡입력을 전달해줄 수 있다. 또한, 척부(300)를 분리시킨 상태에서 커넥터(230)의 상부가 폐쇄됨으로써, 커넥터(230)로부터 척부(300)로 전술한 흡입력이 전달되는 것을 차단함과 함께, 커플러 바디(210)와 어댑터(220)와 배관부(400)의 내부를 진공 상태 그대로 안정적으로 유지시킬 수 있다. 이를 위한 커넥터(230)의 구조로는 예컨대 S 커플러의 원터치 피팅 구조가 유사하게 적용될 수 있다. 물론, 커넥터(230)의 구조로 삽입 및 분리에 의해 원터치로 개폐가 제어되는 것을 만족하는 범주 내에서 다양한 피팅 구조의 커플러가 적용될 수 있다.

척부(300)는 베이스 부재(110)의 일면 상의 원하는 위치에서 커플러부(200)에 부착되어서, 커플러부(200)로부터 흡착력을 인가받을 수 있고, 인가받은 흡착력을 이용하여 기판을 흡착하여 지지해줄 수 있다. 척부(300)는 개수가 복수개일 수 있고, 커플러부(200)의 개수보자 적거나 같을 수 있다. 척부(300)는 복수개의 커플러부(200) 중 선택된 커플러부(200)에 부착되는데, 이때, 선택된 커플러부(200)의 배치에 따라, 기판을 지지하는 위치를 변경할 수 있다. 즉, 척부(300)는 베이스 부재(110)의 일면 상의 원하는 위치에 원하는 개수로 배치되어서, 기판을 지지해주는 역할을 한다. 한편, 척부(300)는 배관실(120)의 복수의 영역 중 일부 영역 상에서 상대적으로 세밀하거나 성기게 배치될 수 있다.

척부(300)는, 스테이지부(100)의 베이스 부재(110)의 일면에 안착되기 위한 안착대(310), 안착대(310)를 상하방향으로 관통하도록 장착되며, 커플러부(200)에 원터치 방식으로 삽입 고정되기 위한 플러그(320), 플러그(320)의 상부에 장착되고 안착대(310)에 지지되며, 커플러부(200)로부터 흡착력을 제공받아서 기판을 흡착하기 위한 진공패드(330), 및 진공패드(330)보다 낮거나 같은 높이로, 진공패드(330)의 외측에서 안착대(310)로부터 돌출되며, 진공패드(330)에 흡착되는 기판을 지지하기 위한 서포터(340)를 포함할 수 있다.

안착대(310)는 척부(300)의 본체로서, 작업자가 척부(300)를 핸들링하기 용이하도록 하는 손잡이의 역할과, 플러그(320)가 베이스 부재(110)의 일면에 대하여 상하방향으로 수직하도록 플러그(320)의 자세를 안정적으로 유지해주는 역할과, 진공패드(330)와 서포터(340)를 지지해주는 역할을 한다. 안착대(310)는 척부(300)의 하부 구조를 형성할 수 있다. 안착대(310)는 베이스 부재(110)의 일면에 안착될 수 있다. 안착대(310)는, 스테이지부(100)의 베이스 부재(110)의 일면에 안착될 수 있도록 상하방향으로 연장되며 수평방향으로 이격되는 복수개의 에지 부재(311)와, 수평방향으로 연장되며 복수개의 에지 부재(311)의 일단부 예컨대 상단부를 연결시키는 연결 부재(312)와, 복수개의 에지 부재(311)의 타단부 예컨대 하단부로부터 수평방향으로 돌출되는 접촉 부재(313)를 포함할 수 있다.

에지 부재(311)는 복수개 예컨대 두 개일 수 있다. 복수개의 에지 부재(311)는 수평방향으로 서로 마주보도록 배치될 수 있다. 복수개의 에지 부재(311) 사이에 플러그(320)가 배치될 수 있다. 연결 부재(312)는 복수개의 에지 부재(311)의 일단부에 지지될 수 있다. 연결 부재(312)를 상하방향으로 관통하도록 플러그(320)가 장착될 수 있다. 접촉 부재(313)는 에지 부재(311)와 동일한 개수일 수 있다. 접촉 부재(313)는 베이스 부재(110)의 일면과 상대적으로 넓은 면적으로 접촉하여서 에지 부재(311)를 안정적으로 지지해줄 수 있다. 여기서, 상대적으로 넓은 면적으로 접촉하는 것은 예컨대 에지 부재(311)가 베이스 부재(110)의 일면에 접촉하는 경우의 에지 부재(311)와 베이스 부재(110)의 일면의 접촉 면적보다 넓은 면적으로 접촉 부재(313)와 베이스 부재(110)가 접촉하는 것을 의미한다.

플러그(320)는 안착대(310)가 베이스 부재(110)의 일면에 안착되는 것에 의하여 커플러부(200)의 커넥터(230)에 삽입 및 고정되는 역할과, 커넥터(230)에 삽입 및 고정되는 동시에 커넥터(230)의 상부를 개방시키는 역할과, 커넥터(230)의 내부의 진공을 진공패드(330)로 전달하여 진공패드(330)에 흡착력을 인가해주는 역할을 한다.

플러그(320)는 상단부가 연결 부재(312)로부터 상방으로 돌출될 수 있고, 하부가 연결 부재(312)로부터 하방으로 돌출될 수 있다. 플러그(320)의 하단부의 높이는 접촉 부재(313)의 접촉면의 높이보다 높을 수 있다. 이때, 접촉 부재(313)의 접촉면은 접촉 부재(313)가 베이스 부재(110)에 접촉할 때의 접촉면으로서, 즉, 접촉 부재(313)의 하면일 수 있다. 플러그(320)의 하단부의 외경은 커넥터(230)에 삽입되어 커넥터(230)의 내주면이 밀착될 수 있도록 하는 소정의 크기를 가질 수 있다. 플러그(320)의 상단부에는 진공패드(330)가 연결될 수 있다.

플러그(320)는 플러그 바디(321), 플러그 바디(321)의 상단부와 하단부 사이에서 플러그 바디(321)의 외주면으로부터 돌출되는 핸들러(322), 플러그 바디(321)의 상단부와 핸들러(322) 사이에서 플러그 바디(321)에 결합되며, 연결 부재(312)의 타면 예컨대 하면과 접촉되는 하면 고정 너트(323), 플러그 바디(321)의 상단부에 결합되며, 연결 부재(312)의 일면 예컨대 상면에 접촉되어 하면 고정 너트(323)와 함께 플러그 바디(321)를 연결 부재(312)에 고정시키는 상면 고정 너트(324)를 포함할 수 있다.

진공패드(330)는 기판의 타면 예컨대 하면을 흡착하여 지지하는 역할을 한다. 진공패드(330)는 내부가 상방으로 개방되며 플러그(320)에 연통될 수 있다. 진공패드(33)는 상하방향으로 신축될 수 있도록, 가요성을 가지며 벨로우즈 타입으로 형성될 수 있다. 진공패드(330)는 기판과 접촉되지 않은 상태에서 서포터(340)의 일단부 예컨대 상단부보다 상측으로 돌출될 수 있다. 진공패드(330)는 기판과 접촉된 상태에서 기판을 흡착하여 지지할 수 있다. 이때, 진공패드(330)의 일단부 예컨대 상단부는 서포터(340)의 일단부와 동일한 높이가 될 수 있다.

서포터(340)는 진공패드(330)가 기판의 타면을 흡착하여 지지할 때, 진공패드(330)와 함께 기판의 타면을 지지해주는 역할을 한다. 서포트(340)는 예컨대 중공의 원통체 형상일 수 있고, 진공패드(330)의 외주면을 따라 연장될 수 있다. 서포트(340)는 연결 부재(312)의 일면의 가장자리에 지지될 수 있다.

한편, 서포터(340)는 무정전 금속 재질을 포함할 수 있고, 무정전 수지 재질을 포함할 수도 있다. 또한, 서포터(340)는 기판의 타면을 용이하게 접촉하여 지지할 수 있록 상술한 원통체 형상 외에도 그 형상이 다양하게 변형될 수 있다.

도 3은 본 발명의 변형 예에 따른 척부를 보여주는 개략도이다.

즉, 본 발명의 실시 예에 따른 척부(300)는 하기의 변형 예들을 포함하여 다양한 변형 예를 가질 수 있다. 예컨대 도 3의 (a)를 참조하면, 본 발명의 제1 변형 예에 따르면, 척부(300a)는 서포터(340a)가 육각 기둥의 형상의 외면을 가질 수 있다. 이 경우, 서포터(340a)의 일면 예컨대 상면의 형상이 육각 링의 형상일 수 있고, 이에, 기판의 타면과 육각 링의 형상으로 접촉될 수 있다. 따라서, 제1 변형 예의 서포터(340a)는 기판의 타면과 육각 링의 형상으로 접촉됨에 따라, 실시 예의 서포터(340)가 기판의 타면과 원형 링의 형상으로 접촉되는 것에 비하여, 접촉 면의 면적을 줄여줄 수 있다.

또한, 도 3의 (b)를 참조하면, 본 발명의 제2 변형 예에 따른 척부(300b)는 서포터(340b)가 사각 기둥의 형상의 외면을 가질 수 있다. 이 경우, 서포터(340b)의 일면 예컨대 상면의 형상이 사각 링의 형상일 수 있고, 이에, 기판의 타면과 사각 링의 형상으로 접촉될 수 있다. 이로부터, 제2 변형 예의 서포터(340b)는 실시 예의 서포터(340)가 기판의 타면과 원형 링의 형상으로 접촉되는 것에 비하여, 접촉 면의 면적을 늘려줄 수 있다.

도 4 내지 6은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 방법을 설명하기 위한 모식도이다.

이하, 도 1 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 방법을 상세하게 설명한다.

본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 방법은, 기판 지지 장치에 지지할 기판(S1)을 준비하는 과정, 기판 지지 장치의 스테이지부(100)에 설치된 복수개의 커플러부(200) 중 적어도 일부를 선택하는 과정, 선택된 커플러부 마다 척부(300)를 부착하는 과정, 척부(300)에 기판(S1)을 로딩하는 과정을 포함한다.

또한, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 방법은, 척부(300)에 기판(S1)을 로딩하는 과정 이후에, 기판(S1)을 척부(300)로부터 언로딩하는 과정, 기판 지지 장치에 지지할 다음 기판(S2, S3)을 준비하는 과정, 스테이지부(100)에 설치된 복수개의 커플러부(200) 중 적어도 일부를 재선택하고, 재선택된 커플러부(200)에 척부(300)를 재배치하는 과정, 재배치된 척부(300)에 다음 기판(S2, S3)을 로딩하는 과정을 포함할 수 있다.

우선, 기판 지지 장치에 지지할 기판(S1)을 준비한다.

기판(S1)은 예컨대 평판 디스플레이를 제조하기 위한 기판으로서, 전자 소자가 형성되고, 형성된 전자 소자의 구동 및 보호 등을 위한 각종 부품 예컨대 백라이트유닛(BLU), 편광판(POL), 인쇄회로기판(PCB), 윈도우, 커버 등이 부착되어서 모듈화되어 준비될 수 있다.

이러한 기판(S1)은 수평방향으로 소정 크기를 가질 수 있다. 또한, 기판(S1)은 하면에 복수의 부품(미도시)이 실장될 수 있다. 이로부터 기판(S1)의 하면에 요철부가 형성될 수 있다. 여기서, 철부는 부품이 실장된 부위일 수 있고, 요부는 철부와 철부 사이의 부위일 수 있다. 요철부에 의하여 기판(S1)의 하면은 수평방향으로 높이가 일정하지 않을 수 있다. 이때, 기판(S1)의 하면의 소정 지점들은 서로 동일한 높이를 가질 수 있으며, 이러한 지점을 기판(S1)의 하면의 지지점이라고 지칭할 수 있다. 이때, 기판(S1)의 하면의 지지점의 분포 위치 및 분포 개수는 요철부의 배치 형상에 따라 결정될 수 있다.

이후, 기판 지지 장치의 스테이지부(100)에 설치된 복수개의 커플러부(200) 중 적어도 일부를 선택한다.

이때, 준비된 기판(S1)으로부터 형상 정보를 획득하고, 획득된 형상 정보로부터 복수개의 커플러부(200) 중 준비된 기판(S1)을 지지할 위치에 해당하는 커플러부(200)를 선택할 수 있다. 즉, 기판(S1)의 하면의 요철부의 형상 정보를 획득할 수 있다. 이는, 기판(S1)을 준비하는 과정 중에, 작업자가 기판(S1)의 하면의 요철부를 확인하여 형상 정보를 획득할 수 있다. 또한, 기판(S1)을 준비하는 과정 중에, 카메라로 기판(S1)의 하면의 요철부를 촬영하고, 촬영된 이미지를 컴퓨터로 판독하여 형상 정보를 획득할 수 있다. 물론, 미리 정해진 기판(S1)의 사양(spec) 정보로부터 기판(S1)의 하면의 요철부의 형상 정보 획득할 수 있다. 이 과정에서, 기판(S1)의 하면의 지지점의 분포 위치와 분포 개수를 확인할 수 있다. 이어서, 획득된 형상 정보로부터 복수개의 커플러부(200) 중 준비된 기판(S1)을 지지할 위치에 해당하는 커플러부(200)를 선택할 수 있다. 즉, 확인된 기판(S1)의 하면의 지지점의 분포 위치와 분포 개수로부터 복수개의 커플러부(200) 중에서 기판(S1)을 지지할 위치에 해당하는 커플러부(200)를 선택할 수 있다.

또한, 준비된 기판(S1)으로부터 크기 정보 및 위치 정보 중 적어도 하나의 정보를 획득하고, 획득된 적어도 하나의 정보로부터 복수개의 커플러부(200) 중 준비된 기판(S1)을 지지할 위치에 해당하는 커플러부(200)를 선택할 수 있다. 즉, 기판(S1)을 준비하는 과정 중에, 작업자가 기판(S1)을 관찰하여 크기 정보를 획득하거나, 측정 기구를 사용하여 기판(S1)의 크기를 측정하여 크기 정보를 획득하거나, 미리 정해진 기판(S1)의 사양(spec) 정보로부터 기판(S1)의 크기 정보를 획득할 수 있다. 한편, 기판(S1)의 위치 정보는 스테이지부(100) 상에 기판(S1)을 안착시킬 위치에 대한 정보로서, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 방법이 적용되는 공정에서, 기판(S1)을 처리하는 공정 레시피에 따라 정해질 수 있으며, 작업자가 공정 레시피를 확인하여 획득할 수 있다.

이후, 선택된 커플러부 마다 척부(300)를 부착한다. 선택된 커플러부(200) 마다 그 상측에 척부(300)를 배치하고, 배치된 척부(300)의 플러그(320)를 선택된 커플러부(200)의 커넥터(230)에 각각 삽입하여 고정시킬 수 있다. 이때, 척부(300)의 플러그(320)의 삽입을 이용하여 선택된 커플러부(200)의 커넥터(230)를 개방시켜서 척부(300)에 흡착력을 형성할 수 있다. 이러한 척부(300)의 부착은 작업자에 의해 메뉴얼 방식으로 수행되거나, 로봇 암에 의해 자동으로 수행될 수 있다.

이후, 척부(300)에 기판(S1)을 로딩한다. 예컨대 작업자 혹은 로봇 암에 의해, 기판(S1)을 파지하여 기판 지지 장치의 스테이지부(100)의 상측으로 운반하고, 선택된 커플러부 마다 부착된 척부(300) 상에 기판(S1)을 안착시키고, 척부(300)에 형성된 흡착력을 이용하여, 기판(S1)의 하면의 지지점을 척부(300)에 흡착시켜 고정시킬 수 있다. 이에 의해, 기판(S1)의 하면의 요철부가 척부(300)와 충돌하거나 간섭되는 것을 방지할 수 있다. 이후, 기판(S1)에 대한 처리 공정을 수행할 수 있다. 이때, 처리 공정은 다양할 수 있다. 또한, 처리 공정 중에 기판(S1)이 안정적으로 척부(300)에 흡착 지지될 수 있다.

이후, 기판(S1)을 척부(300)로부터 언로딩한다. 처리를 완료한 기판(S1)을 척부(300)로부터 상승시켜 흡착을 해제시키고, 기판 지지 장치의 외측으로 이송할 수 있다.

이후, 기판 지지 장치에 지지할 다음 기판(S2, S3)을 준비한다.

이때, 다음 기판(S2, S3)은 크기 및 형상 중 적어도 어느 하나가 기판(S1)과 상이할 수 있다.

따라서, 다음 기판(S2, S3)을 안정적으로 기판 지지 장치에 안착시키기 위해, 스테이지부(100)에 설치된 복수개의 커플러부(200) 중 적어도 일부를 재선택하고, 재선택된 커플러부(200)에 척부(300)를 재배치한다.

이를 위해, 다음 기판(S2, S3)에 대한 형상 정보, 크기 정보 및 위치 정보 중 적어도 하나의 정보를 획득할 수 있고, 획득된 정보로부터 복수개의 커플러부(200) 중 다음 기판(S2, S3)을 지지할 위치에 해당하는 커플러부(200)를 재선택할 수 있다. 또한, 재선택된 커플러부(200)에 척부(300)를 재배치할 수 있다.

이때, 앞서서 기판(S1)을 안착시키기 위해 커플러부(200)에 부착되었던 척부(300)를 커플러부(200)로부터 들어올리는 것만으로, 간편하게 커플러부(200)와 척부(300)를 탈착시킬 수 있다.

또한, 척부(300)의 탈착 시에 커플러부(200)의 커넥터(230)가 자동으로 폐쇄될 수 있고, 척부(300)의 재부착 시에 커플러부(200)의 커넥터(230)가 자동으로 개방될 수 있으므로, 척부(300)의 탈부착 시, 커플러부(200)와 배관부(400)의 진공을 그대로 유지한 상태로 척부(300)를 신속하게 재배치할 수 있다.

따라서, 척부(300)를 복수개의 커플러부(200) 상에서 재배치하는 것만으로, 크기, 형상 등이 상이한 기판을 기판 지지 장치에 연달아서 안착시킬 수 있다.

이후, 재배치된 척부(300)에 다음 기판(S2, S3)을 로딩한다.

즉, 다음 기판(S2, S3)을 재배치된 척부(300)에 안착시키고, 척부(300)에 형성된 흡착력을 이용하여, 다음 기판(S2, S3)을 고정시킬 수 있다.

본 발명의 상기 실시 예는 본 발명의 설명을 위한 것이고, 본 발명의 제한을 위한 것이 아니다. 본 발명의 상기 실시 예에 개시된 구성과 방식은 서로 결합하거나 교차하여 다양한 형태로 조합 및 변형될 것이고, 이에 의한 변형 예들도 본 발명의 범주로 볼 수 있음을 주지해야 한다. 즉, 본 발명은 청구범위 및 이와 균등한 기술적 사상의 범위 내에서 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 본 발명이 해당하는 기술 분야에서의 업자는 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

100: 스테이지부
110: 베이스 부재
200: 커플러부
230: 커넥터
300: 척부
310: 안착대
330: 진공패드
340: 서포터
400: 배관부

Claims

수평방향으로 연장된 일면을 가지는 스테이지부;
상기 스테이지부에 설치되며, 흡착력을 제공하기 위한 배관부;
상기 스테이지부의 일면의 복수의 위치에 배치되며, 상기 배관부와 연결되는 복수개의 커플러부;
기판을 척킹하기 위해, 상기 복수개의 커플러부 중에서 선택되는 커플러부에 탈부착될 수 있고, 상기 스테이지부의 일면에 안착될 수 있는 척부;를 포함하는 기판 지지 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 커플러부는 상단부가 상기 스테이지부의 일면보다 높게 돌출되고,
상기 척부는 상기 커플러부의 돌출된 부위에 탈부착될 수 있는 기판 지지 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 커플러부는 상단부가 상기 스테이지부의 일면과 같은 높이에 배치되거나, 상기 스테이지부의 일면보다 낮은 높이에 배치되며,
상기 스테이지부는 일면에 상기 커플러부의 상단부를 노출시키기 위한 홈을 가지며,
상기 척부는 상기 커플러부의 노출된 부위에 탈부착될 수 있는 기판 지지 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 척부의 개수는 상기 커플러부의 개수보다 적거나 같으며,
상기 척부는 상기 선택되는 커플러부의 배치에 따라 기판을 지지하는 위치를 변경하는 기판 지지 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 스테이지부는,
수평방향으로 연장된 일면과 타면을 가지며, 상기 복수개의 커플러부가 상하방향으로 관통하도록 장착되는 베이스 부재;
상기 베이스 부재의 타면 측에 형성되며, 상기 복수개의 커플러부 각각의 적어도 하부가 수용되는 배관실;을 포함하는 기판 지지 장치.
청구항 5에 있어서,
상기 배관실은 복수의 영역을 가지며,
상기 척부는 상기 복수의 영역 중 일부 영역에서 상대적으로 세밀하거나 성기게 배치되는 기판 지지 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 커플러부는,
상기 스테이지부의 일면을 상하방향으로 관통하도록 배치되는 커플러 바디;
상기 척부로 제공하기 위한 흡착력을 공급받기 위해, 상기 커플러 바디의 하부에 장착되며 일부가 절곡되고, 상기 배관부와 연결되며 상기 커플러 바디와 연통하는 어댑터;
상기 척부가 원터치 방식으로 삽입 고정될 수 있도록 상기 커플러 바디의 상부에 장착되며, 상기 커플러 바디와 연통하는 커넥터;를 포함하는 기판 지지 장치.
청구항 7에 있어서,
상기 커넥터는 상기 척부의 삽입에 의해 상부가 개방되고, 상기 척부가 분리되면 상부가 폐쇄되도록 형성되는 기판 지지 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 척부는 상기 커플러부로부터 흡착력을 제공받아서 기판을 흡착하기 위한 진공패드를 가지는 기판 지지 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 척부는,
상기 스테이지부의 일면에 안착되기 위한 안착대;
상기 안착대를 상하방향으로 관통하도록 장착되며, 상기 커플러부에 원터치 방식으로 삽입 고정되기 위한 플러그;
상기 플러그의 상부에 장착되고 상기 안착대에 지지되는 진공패드;를 포함하는 기판 지지 장치.
청구항 10에 있어서,
상기 진공패드는 가요성을 가지며,
상기 척부는,
상기 진공패드보다 낮거나 같은 높이로 상기 진공패드의 외측에서 상기 안착대로부터 돌출되며, 상기 진공패드에 흡착되는 기판을 지지하기 위한 서포터;를 포함하는 기판 지지 장치.
청구항 10에 있어서,
상기 안착대는 상기 스테이지부의 일면에 안착될 수 있도록 상하방향으로 연장되며 수평방향으로 이격되는 복수개의 에지 부재와, 수평방향으로 연장되며 상기 복수개의 에지 부재의 상단부를 연결시키는 연결 부재를 포함하고,
상기 플러그는 상기 복수개의 에지 부재의 사이에서 상기 연결 부재를 관통하도록 장착되며, 하단부가 상기 에지 부재의 하단부의 높이보다 높은 기판 지지 장치.
기판 지지 장치에 지지할 기판을 준비하는 과정;
기판 지지 장치의 스테이지부에 설치된 복수개의 커플러부 중 적어도 일부를 선택하는 과정;
선택된 커플러부 마다 척부를 부착하는 과정;
척부에 기판을 로딩하는 과정;을 포함하는 기판 지지 방법.
청구항 13에 있어서,
상기 복수개의 커플러부 중 적어도 일부를 선택하는 과정은,
준비된 기판으로부터 형상 정보를 획득하는 과정;
획득된 형상 정보로부터 복수개의 커플러부 중 준비된 기판을 지지할 위치에 해당하는 커플러부를 선택하는 과정;을 포함하는 기판 지지 방법.
청구항 13에 있어서,
상기 복수개의 커플러부 중 적어도 일부를 선택하는 과정은,
준비된 기판으로부터 크기 정보 및 위치 정보 중 적어도 하나의 정보를 획득하는 과정;
획득된 적어도 하나의 정보로부터 복수개의 커플러부 중 준비된 기판을 지지할 위치에 해당하는 커플러부를 선택하는 과정;을 포함하는 기판 지지 방법.
청구항 13에 있어서,
상기 선택된 커플러부 마다 척부를 부착하는 과정은,
상기 선택된 커플러부 마다 척부의 일부를 삽입하여 고정시키는 과정;
상기 척부의 삽입을 이용하여 상기 선택된 커플러부를 개방시켜서 상기 척부에 흡착력을 형성하는 과정;을 포함하는 기판 지지 방법.
청구항 16에 있어서,
상기 척부에 기판을 로딩하는 과정은,
상기 기판을 상기 척부에 안착시키는 과정;
상기 척부에 형성된 흡착력을 이용하여 상기 기판의 복수의 위치를 흡착하여 고정시키는 과정;을 포함하는 기판 지지 방법.
청구항 13에 있어서,
상기 척부에 기판을 로딩하는 과정 이후에,
상기 기판을 상기 척부로부터 언로딩하는 과정;
상기 기판 지지 장치에 지지할 다음 기판을 준비하는 과정;
상기 스테이지부에 설치된 복수개의 커플러부 중 적어도 일부를 재선택하고, 재선택된 커플러부에 척부를 재배치하는 과정;
재배치된 척부에 다음 기판을 로딩하는 과정;을 포함하는 기판 지지 방법.
청구항 18에 있어서,
상기 기판 및 상기 다음 기판은 크기 및 형상 중 적어도 어느 하나가 상이하고,
상기 크기는 수평방향으로의 크기이고,
상기 형상은 상기 기판 및 상기 다음 기판 각각의 하면에 실장된 복수의 부품에 의한 요철부의 배치 형상을 포함하는 기판 지지 방법.